KR200273874Y1

KR200273874Y1 - 프로브카드 공급장치

Info

Publication number: KR200273874Y1
Application number: KR2019980004899U
Authority: KR
Inventors: 박병옥; 김화영
Original assignee: 박종섭; 주식회사 하이닉스반도체
Priority date: 1998-03-31
Filing date: 1998-03-31
Publication date: 2002-06-20
Also published as: KR19990038760U

Abstract

본 고안은 프로브카드를 공급하는 장치에 관한 것으로서, 특히, 받침패널 상에 돌출된 수평안내레일을 따라 수평서보모터의 수평이동나사축의 회전에 의하여 수평으로 이동하는 수평이동판과; 상기 수평이동판의 중심부 상측으로 돌출되는 수직안내판의 좌,우 양측으로 다수개 씩 일정 간격으로 배열 설치되고, 프로브카드가 설치되는 안내홈을 갖는 좌,우측보관트레이와; 상기 수직안내판의 일측면에 고정 설치된 두 개의 제1,제2지지패널상에 설치되어 좌,우측보관트레이의 안내홈에 삽입된 프로브카드를 상기 프로브장치의 프로브카드삽입홈으로 가압하여 진입시키는 제1,제2실린더로 구성된 프로브카드 공급장치인 바, 프로브카드의 장착성을 효율적으로 수행할 뿐만아니라 프로브카드를 용이하게 교환하므로 프로빙 작업을 향상시키도록 하는 매우 유용하고 효과적인 고안이다.

Description

프로브카드 공급장치

본 고안은 프로브장치에 프로브카드를 공급하는 장치에 관한 것으로, 특히, 받침패널 상에 수평 방향과 수직 방향으로 동작이 가능한 좌,우측보관트레이를 다단으로 설치하여 프로브장치의 프로브카드 삽설홈내에 제1,제2실린더로 트레이에 안치된 프로브카드를 삽입하여 장착하므로 프로브카드의 장착성을 효율적으로 수행하도록 하는 프로브카드 공급장치에 관한 것이다.

일반적으로, 메모리장치(Memory Device)는 테이터나 프로그램의 명령등을 정보로 기억하는 장치로서, 이러한 메모리장치를 제조한 후에 사용자가 원하는 상태로 결함없이 제대로 작동되도록 제조되었는 지 여부를 판별하기 위하여 메모리장치를 테스트하는 작업을 거치게 된다.

이와 같이, 웨이퍼 레벨(Wafer Level)에서의 메모리장치를 테스트하기 위하여서는 테스터와 프로버, 그리고 프로브카드등이 필요하다. 웨이퍼에 형성된 메모리장치에 신호를 인가하기 위한 목적으로 프로브카드를 이용하는 데 이 프로브카드에는 메모리장치의 패드(Pad) 수 만큼의 니들이 촘촘하게 배열되어 있다.

도 1은 일반적인 프로브장치를 개략적으로 보인 도면으로서, 프로브장치(1)의 전면부에는 본 장치를 작동시키기 위한 조작패널(2)이 설치되어 있으며, 반도체소자의 특성을 측정하기 위하여 프로브카드(5)를 프로브카드홀더(3)의 받침대(4)에 안치하고서 프로브카드삽입홈(6)으로 진입시켜서 프로브설치부(7)내에 진입시키도록 구성된다.

이와 같은 상태에서 테스팅을 수행하기 위하여 미도시된 포고블록(Pogo Block)과 프로브카드(5)를 서로 접촉시키고서 시스템값을 초기화 시킨 후에 테스팅작업을 진행하도록 하였다.

그런데, 상기한 바와 같이, 종래에는 프로브카드에 촘촘하게 배열된 니들에 테스터장치의 포고핀으로부터 신호를 받아 웨이퍼 상에 형성된 DIE와 접촉하여 신호를 인가한다. 자동으로 프로빙을 수행할 때에도 프로브카드에 형성된 니들과 웨이퍼 상에 형성된 다이(DIE) 와 직접 접촉되면서 하중이 가하여져서 니들이 휘어지는 경우가 발생하여 프로빙작업을 계속하여 진행하지 못할 뿐만아니라 프로브카드를 세팅할 때 고정하는 포인트가 두 곳밖에 되지 않으므로 니이들이 파손되어 프로브카드를 용이하게 보관하지 못하는 문제점이 발생되었다.

본 고안은 이러한 점을 감안하여 안출한 것으로서, 받침패널 상에 수평 방향과 수직 방향으로 동작이 가능한 좌,우측보관트레이를 다단으로 설치하여 프로브장치의 프로브카드 삽설홈내에 제1,제2실린더로 트레이에 안치된 프로브카드를 삽입하여 장착하므로 프로브카드의 장착성을 효율적으로 수행하는 것이 목적이다.

도 1은 종래의 일반적인 프로브장치의 사시도.

도 2는 본 고안에 따른 프로브카드 공급장치의 사시도.

도 3은 본 고안에 따른 프로브키드 공급장치의 작동상태를 보인 블록도.

도 4는 본 고안에 따른 프로브카드 공급장치의 설치 상태를 보인 도면.

도 5는 본 고안에 따른 프로브카드 공급장치의 좌측보관트레이 중에 가장 상부에 있는 트레이로 프로브카드를 삽입하는 상태를 보인 도면.

도 6은 본 고안에 따른 프로브카드 공급장치의 우측보관트레이 중에 가장 상부에 있는 트레이로 프로브카드를 삽입하는 상태를 보인 도면.

도 7은 본 고안에 따른 프로브카드 공급장치의 우측보관트레이 중에 가장 하부에 있는 트레이로 프로브카드를 삽입하는 상태를 보인 도면.

-도면의 주요부분에 대한 부호의 설명-

A : 프로브카드 공급장치 10 : 받침패널

15 : 콘트롤부 20 : 수평서보모터

25 : 수평이동나사축 27 : 수평안내레일

28 : 수평이동판 30 : 수직서보모터

32 : 수직안내판 34 : 수직이동나사축

40 : 제1지지패널 42 : 제1실린더

44 : 제1압축판 46 : 좌측보관트레이

50 : 제2지지패널 52 : 제2실린더

54 : 제2압축판 56 : 우측보관트레이

60,62 : 제1,제2지지대 70 : 제1타이밍벨트

72 : 제1로울러축 74 : 제1이동로울러

80 : 제2타이밍벨트 82 : 제2로울러축

84 : 제2이동로울러 90 : 프로브장치

이러한 목적은 받침패널 상에 돌출된 수평안내레일을 따라 수평서보모터의 수평이동나사축의 회전에 의하여 수평으로 이동하는 수평이동판과; 상기 수평이동판의 중심부 상측으로 돌출되는 수직안내판의 좌,우 양측으로 다수 개 씩 일정 간격으로 배열 설치되고, 프로브카드가 설치되는 안내홈을 갖는 좌,우측보관트레이와; 상기 수직안내판의 일측면에 고정 설치된 두 개의 제1,제2지지패널상에 설치되어 좌,우측보관트레이의 안내홈에 삽입된 프로브카드를 상기 프로브장치의 프로브카드삽입홈으로 가압하여 진입시키는 제1,제2실린더로 구성된 프로브카드 공급장치를 제공함으로써 달성된다.

이하, 첨부한 도면에 의거하여 본 고안의 구성에 대하여 상세히 설명한다.

우선, 도 2 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 본 고안 프로브카드 공급장치의 구성을 살펴 보면, 프로브카드(98)가 삽입되는 프로브카드삽입홈(96)을 형성한 프로브설치부(94)를 갖는 프로브장치(90)에서, 받침패널(10) 상에 돌출된 수평안내레일(27)을 따라 수평서보모터(20)의 수평이동나사축(25)의 회전에 의하여 수평으로 이동하는 수평이동판(28)과; 상기 수평이동판(28)의 중심부 상측으로 돌출되는 수직안내판(32)의 좌,우 양측으로 다수개 씩 일정 간격으로 배열 설치되고, 프로브카드(98)가 설치되는 안내홈(48)(58)을 갖는 좌,우측보관트레이(46)(56)와; 상기 수직안내판(32)의 일측면에 고정 설치된 두 개의 제1,제2지지패널(40)(50)상에 설치되어 좌,우측보관트레이(46)(56)의 안내홈(48)(58)에 삽입된 프로브카드(98)를 상기 프로브장치(90)의 프로브카드삽입홈(96)으로 가압하여 진입시키는 제1,제2실린더(42)(52)로 구성된다.

그리고, 상기 받침패널(10)의 일측면에는 조작을 위한 콘트롤부(15)가 설치되어 필요한 좌,우측 보관트레이(46)(56)의 안내홈(48)(58)에 안치된 프로브카드(98)를 프로브장치(90)의 프로브카드삽입홈(96)내에 진입시키도록 한다.

또한, 상기 제1,제2실린더(42)(52)의 끝단부에는 프로브카드(98)를 밀어 주는 제1,제2압축판(44)(54)이 부착되어 프로브카드(98)를 안정적으로 밀어주도록 구성된다.

그리고, 상기 수직안내판(32)의 타측에 돌출되어 있는 제1,제2지지대(60)(62)와, 상기 제1,제2지지대(60)(62)에 지지되어 동력을 발생하는 제1,제2서보모터(65)(67)와, 상기 제1,제2서보모터(65)(67)에 의하여 동력을 받아서 회전하는 제1,제2타이밍벨트(70)(80)와, 상기 제1,제2타이밍벨트(70)(80)에 의하여 회전하는 제1,제2로울러축(72)(82)에 결합 회전하여 제1,제2실린더(42)(52)에 의하여 이동하는 프로브카드(98)를 안내하는 제1,제2이동로울러(74)(84)를 더 포함하여 구성된다.

이하, 본 고안의 작용을 개략적으로 살펴보도록 한다.

본고안의 실시예의 사용 상태를 살펴 보면, 먼저 도 4에 도시된 바와 같이, 본 프로브카드 공급장치(A)를 프로브장치(90)의 측면부에 위치를 정확하게 맞추어서 설치하도록 한다.

그리고, 도 5에 도시된 바와 같이, 좌측보관트레이(46)의 가장 상부에 있는 트레이를 동작시키는 상태를 살펴 보면, 도 3의 흐름도의 순서에서와 같이, 받침패널(10) 상의 수평서보모터(20)를 콘트롤부(15)에 있는 그 트레이에 해당하는 버튼을 작동하여 수평이동나사축(25)에 의하여 수평이동판(28)을 수평안내레일(27)을 따라 우측으로 이동시킨 상태에서 좌측보관트레이(46)의 가장 상부에 있는 트레이가 프로브장치(90)의 프로브카드삽입홈(96)의 입구부에 위치시키도록 한다.

또한, 상기 콘트롤부(15)는 자동으로 제1실린더(42)가 에어 혹은 유압이 공급 되면서 피스톤을 밀어서 제1압축판(44)으로 좌측보관트레이(46)에 안치된 프로브카드(98)를 밀어줌과 동시에 제1지지대(60)에 고정된 제1서보모터(65)가 작동하여 제1타이밍벨트(70)를 회전시켜 제1로울러축(72)을 회전시켜 일체로 결합된 제1이동로울러(74) 상에 접촉되어지는 프로브카드(98)를 전방으로 밀어주어 프로브카드(98)를 프로브장치(90)의 프로브카드삽입홈(96)내에 삽입시켜 프로빙 작업을 진행하도록 한다.

그리고, 도 6에 도시된 바와 같은 우측보관트레이(56) 가운데 가장 상부에 있는 트레이를 작동하는 상태는 상기 도 5의 작동 상태 중에서 수평서보모터(20)를 반대로 작동하여 수평이동판(28)을 수평안내레일(27)을 따라 좌측으로 이동시켜 제2이동실린더(52)를 작동하여 프로브카드(98)를 밀어주는 점이 서로 다르다.

또한, 도 7에 도시된 상태는 우측보관트레이(56)의 가장 하단부에 있는 트레이에 프로브카드를 공급하는 상태를 도시하고 있으며, 우선, 콘트롤부(15)의 버튼을 눌러서 수평서보모터(20)를 작동시켜 수평이동나사축(25)에 의하여 수평이동판(28)을 화살표 방향으로 이동시키도록 하고, 연이어서 수직서보모터(30)가 동작하면서 수직이동나사축(34)을 회전시켜 수직안내판(32)을 따라 좌,우측보관트레이(46)를 상측으로 이동시켜 우측보관트레이(56)의 가장 하단부에 있는 트레이가 프로브카드삽입홈(96)내에 진입되기 위한 상태로 대기하게 된다.

그리고, 계속하여 제2실린더(52)가 작동하여 우측보관트레이(56)의 안내홈(58)에 안치되어 있는 프로브카드(98)를 제2압축판(54)으로 밀어서 전방으로 이동시킴과 동시에 제2지지대(62)에 지지된 제2서보모터(67)가 작동하여 제2타이밍벨트(80)를 회전시키면 제2로울러축(82)에 의하여 제2이동로울러(84)가 회전하여 프로브카드(98)가 프로브장치(90)의 프로브카드삽입홈(96)내에 진입시켜 프로빙작업을 진행하면 되는 것이다.

그리고, 프로빙작업을 완료한 후에는 상기한 작동과정의 반대과정을 거쳐 프로브카드삽입홈(96)내에 있는 프로브카드(98)를 원상태로 복귀시킬 수 있다.

따라서, 상기한 바와 같이 본 고안에 따른 프로브카드 공급장치를 사용하게 되면, 받침패널 상에 수평 방향과 수직 방향으로 동작이 가능한 좌,우측보관트레이를 다단으로 설치하여 프로브장치의 프로브카드 삽설홈내에 제1,제2실린더로 트레이에 안치된 프로브카드를 삽입하여 장착하므로 프로브카드의 장착성을 효율적으로 수행하도록 하고, 프로브장치내에 하나의 프로브카드를 호환하여 용이하게 교환이 가능하므로 종래에 프로브카드를 별도로 보관하여야 하는 방식에 비하여 프로브카드의 손상을 용이하게 방지하도록 하는 매우 유용하고 효과적인 고안이다.

Claims

프로브카드가 삽입되는 프로브카드삽입홈을 형성한 프로브설치부를 갖는 프로브장치에 있어서,

받침패널 상에 돌출된 수평안내레일을 따라 수평서보모터의 수평이동나사축의 회전에 의하여 수평으로 이동하는 수평이동판과;

상기 수평이동판의 중심부 상측으로 돌출되는 수직안내판의 좌,우 양측으로 다수개 씩 일정 간격으로 배열 설치되고, 프로브카드가 설치되는 안내홈을 갖는 좌,우측보관트레이와;

상기 수직안내판의 일측면에 고정 설치된 두 개의 제1,제2지지패널상에 설치되어 좌,우측보관트레이의 안내홈에 삽입된 프로브카드를 상기 프로브장치의 프로브카드삽입홈으로 가압하여 진입시키는 제1,제2실린더로 구성된 것을 특징으로 하는 프로브카드 공급장치.
제 1 항에 있어서, 상기 받침패널의 일측면에는 조작을 위한 콘트롤부가 설치되는 것을 특징으로 하는 프로브카드 공급장치.
제 1 항에 있어서, 상기 제1,제2실린더의 끝단부에는 프로브카드를 밀어 주는 제1,제2압축판이 부착되는 것을 특징으로 하는 프로브카드 공급장치.
제 1 항에 있어서, 상기 수직안내판의 타측에 돌출되어 있는 제1,제2지지대와, 상기 제1,제2지지대에 지지되어 동력을 발생하는 제1,제2서보모터와, 상기 제1,제2서보모터에 의하여 동력을 받아서 회전하는 제1,제2타이밍벨트와, 상기 제1,제2타이밍벨트에 의하여 회전하는 제1,제2로울러축에 결합되어 회전하여 제1,제2실린더에 의하여 이동하는 프로브카드를 안내하는 제1,제2이동로울러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브카드 공급장치.