KR200268670Y1 - 덕트 보호용 릴리프 댐퍼 - Google Patents

Abstract

이 고안은 덕트 보호용 릴리프 댐퍼(10)에 관한 것으로, 반도체 제조 공정중 유해한 케미컬 가스(chemical gas) 누설로 인한 긴급 배기시 압력 강하로 인한 덕트의 파손, 소음 및 변형 등을 방지할 수 있도록, 단면상 대략 반원형으로 형성되고, 하부의 양측에는 외기 유입구(18)가 형성된 커버(12)와, 상기 커버(12)의 하부에 상기 외기 유입구(18)와 연통되도록 외기 배출구(19)가 형성되고, 일단은 덕트(4)에 결합된 몸체(11)와, 상기 커버(12)의 상부에서 상기 몸체(11)의 외기 배출구(19)쪽으로 결합된 압력 조절 볼트(13)와, 상기 몸체(11) 내측에 위치된 압력 조절 볼트(13)의 단부에 소정 탄성력을 가지며 결합된 스프링(15)과, 상기 스프링(15)의 단부에 상기 덕트(4)의 압력에 따라 상기 몸체(11)의 배출구(19)를 개방하거나 폐쇄하도록 상기 몸체(11)의 배출구(19)에 결합된 댐퍼 블레이드(16)를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 함.

Description

덕트 보호용 릴리프 댐퍼{Relief damper for protecting duct}

본 고안은 덕트 보호용 릴리프 댐퍼에 관한 것으로, 더욱 상세하게 설명하면 반도체 제조 공정중 유해한 케미컬 가스(chemical gas) 누설로 인한 긴급 배기시 압력 강하로 인한 덕트의 파손, 소음 및 변형 등을 방지할 수 있는 긴급 배기 시스템의 덕트 보호용 릴리프 댐퍼에 관한 것이다.

통상 반도체 제조 공정에서는 많은 유해한 케미컬 가스가 사용되고 있으며, 상기 케미컬 가스의 누설시에는 즉시 외부로 배출할 수 있도록 긴급 배기 시스템이 구축되어 있다. 이러한 긴급 배기 시스템을 첨부된 도1을 참조하여 간략히 설명하면 다음과 같다.

도시된 바와 같이 각종 반도체가 제조되거나 또는 실험되는 각각의 룸(1') 상부에는 각종 유해 케미컬 가스를 상부로 배출하기 위한 통풍용 창(2')이 구비되어 있고, 상기 각각의 통풍용 창(2')에는 개별 덕트(14')가 연결되어 있다. 상기 각 개별 덕트(14')에는 상기 개별 덕트(14')의 개방 및 폐쇄를 결정하는 전동댐퍼(3')가 설치되어 있으며, 상기 개별 덕트(14')의 단부에는 또다른 공통 덕트(5')가 더 연결되어 있으며, 상기 공통 덕트(5')의 단부에는 모든 룸(1')의 케미컬 가스를 외부로 배출시킬 수 있도록 긴급 배기팬(6')이 설치되어 있다.

이러한 구성의 종래 긴급 배기 시스템은 특정한 룸(1')에서 유해한 케미컬 가스가 누설되었을 때, 상기 전동댐퍼(3') 및 긴급 배기팬(6')이 즉시 작동됨으로써, 상기 룸(1')의 케미컬 가스가 통풍용 창(2'), 개별 덕트(14') 및 공통 덕트(5')를 통해 신속히 외부로 배출된다.

그러나, 이러한 케미컬 가스 누출의 긴급 상황에서 상기 긴급 배기 시스템의 전동댐퍼(3')가 풀 오픈(full open)되기 전까지 대략 1분여 동안은 정상 배기가 되지 않으며 또한 공통 덕트(5') 및 개별 덕트(4')가 밀폐된 상태에서 상기 긴급 배기팬(6')이 고속 회전함으로써 상기 덕트(4',5')의 압력이 급격히 저하되고, 심한 소음, 덕트(4',5')의 파손 및 변형을 유발하는 문제가 있다. 즉, 상기 전동댐퍼(3')가 풀 오픈되지 않은 상태에서 상기 공통 덕트(4',5')는 일측이 밀폐된 것과 같고 또한 타측에서는 긴급 배기팬(6')이 고속 회전되어 덕트(4',5')의 공기를 외부로 배출시킴으로써, 상기 덕트(4',5')의 압력이 급격히 저하되고, 결국 소음을 유발하는 동시에 덕트의 파손 및 변형을 초래하게 된다.

따라서 본 고안은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로, 반도체 제조 공정중 유해한 케미컬 가스 누설로 인한 긴급 배기시 압력 강하로 인한 덕트의 파손, 소음 및 변형 등을 방지할 수 있는 긴급 배기 시스템의 덕트 보호용 릴리프 댐퍼를 제공하는데 있다.

도1은 종래의 반도체 제조 공정중 유해 가스를 신속히 방출시키기 위한 긴급 배기 시스템을 도시한 개략도이다.

도2는 본 고안에 의한 덕트 보호용 릴리프 댐퍼가 설치된 긴급 배기 시스템을 도시한 개략도이다.

도3은 본 고안에 의한 덕트 보호용 릴리프 댐퍼를 도시한 단면도이다.

도4a 및 도4b는 본 고안에 의한 덕트 보호용 릴리프 댐퍼의 작동 상태를 도시한 개략도이다.

- 도면중 주요 부호에 대한 설명 -

10; 본 고안에 의한 덕트 보호용 릴리프 댐퍼

4; 덕트(duct) 11; 몸체

12; 커버(cover) 13; 압력 조절 볼트

14; 캡(cap) 5; 스프링(spring)

6; 댐퍼 블레이드(damper blade) 7; 결합부재

8; 외기 유입구 9; 외기 배출구

상기한 목적을 달성하기 위해 본 고안에 의한 덕트 보호용 릴리프 댐퍼는 단면상 대략 반원형으로 형성되고, 하부의 양측에는 외기 유입구가 형성된 커버와, 상기 커버의 하부에 상기 외기 유입구와 연통되도록 외기 배출구가 형성되고, 일단은 덕트에 결합된 몸체와, 상기 커버의 상부에서 상기 몸체의 외기 배출구쪽으로 결합된 압력 조절 볼트와, 상기 몸체 내측에 위치된 압력 조절 볼트의 단부에 소정탄성력을 가지며 결합된 스프링과, 상기 스프링의 단부에 상기 덕트의 압력에 따라 상기 몸체의 배출구를 개방하거나 폐쇄하도록 상기 몸체의 배출구에 결합된 댐퍼 블레이드를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

상기와 같이 하여 본 고안에 의한 덕트 보호용 릴리프 댐퍼는 덕트의 압력이 외기의 압력보다 작으면 압력차에 의해 상기 몸체 내측의 댐퍼 블레이드가 스프링의 탄성력을 극복하며 상기 덕트 쪽으로 이동된다. 그러면, 외기가 상기 커버의 외기 유입구, 몸체의 외기 배출구를 따라서 상기 덕트쪽으로 흐르게 됨으로써, 상기 덕트의 압력과 외기의 압력은 항상 동일하게 유지된다.

물론, 상기 덕트의 압력과 외기의 압력이 동일하면, 상기 댐퍼 블레이드는 스프링의 복원력에 의해 상기 몸체 내측으로 이동됨으로써, 상기 외기가 상기 덕트 쪽으로 흐르지 못하게 된다.

결국, 상기와 같은 작용에 의해 덕트의 압력이 외기의 압력과 동일하게 유지됨으로써, 덕트의 소음이나, 파손 및 변형 등이 방지된다.

(실시예)

이하 본 고안이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 고안을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도2는 본 고안에 의한 덕트 보호용 릴리프 댐퍼(10)가 설치된 긴급 배기 시스템을 도시한 개략도이다.

도시된 바와 같이 반도체가 제조 또는 실험되는 다수의 룸(1)이 구비되고,상기 룸(1)에서 발생되는 각종 유해 케미컬 가스가 통과할 수 있도록 상부에는 통풍용 창(2)이 구비되어 있으며, 상기 통풍용 창(2)에는 개별 덕트(4)가 결합되어 있다. 또한, 상기 개별 덕트(4)에 설치되어 그 개별 덕트(4)의 개방 및 폐쇄를 결정할 수 있도록 전동댐퍼(3)가 구비되어 있으며, 상기 개별 덕트(4)에 공통으로 공통 덕트(5)가 연결되어 있다. 또한, 상기 공통 덕트(5)의 단부에는 긴급 배기팬(6)이 설치되어 있으며, 이러한 구성은 종래와 동일하다.

단, 본 고안은 상기 개별 덕트(4)에, 유해 케미컬 가스의 긴급 배출시 상기 개별 덕트(4) 및 공통 덕트(5)의 소음이나, 파손 또는 변형을 억제할 수 있도록, 덕트 보호용 릴리프 댐퍼(10)가 설치된 것이 특징이다.

도3은 본 고안에 의한 덕트 보호용 릴리프 댐퍼(10)를 도시한 단면도로서, 이를 참조하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

도시된 바와 같이 단면상 대략 반원형으로 형성되고, 하부의 양측에는 외기 유입구(18)가 형성된 커버(12)가 구비되어 있다.

상기 커버(12)의 하부에는 상기 외기 유입구(18)와 연통되도록 외기 배출구(19)가 형성되고, 하부의 양측단은 상기 개별 덕트(4)에 결합부재(17)에 의해 결합된 몸체(11)가 구비되어 있다.

또한, 상기 커버(12)의 상부에서 상기 몸체(11)의 외기 배출구(19)쪽으로는 일정 길이의 압력 조절 볼트(13)가 결합되어 있으며, 상기 커버(12)의 상부로 돌출된 압력 조절 볼트(13)의 상단을 보호하기 위해 커버(12)의 상면에는 캡(14)이 형성되어 있다.

또한, 상기 몸체(11) 내측에 위치된 압력 조절 볼트(13)의 단부에는 소정의 탄성력을 갖는 스프링(15)이 결합되어 있으며, 상기 스프링(15)의 하단에는 상기 개별 덕트(4)의 압력에 따라 상기 몸체(11)의 배출구(19)를 개방하거나 폐쇄하는 댐퍼 블레이드(16)가 결합되어 있다. 물론, 상기 댐퍼 블레이드(16)의 폭은 상기 몸체(11)의 외기 배출구(19) 폭과 동일하게 형성되어 있다.

도4a 및 도4b를 참조하여 본 고안에 의한 덕트 보호용 릴리프 댐퍼(10)의 작동 상태를 설명하면 다음과 같다.

먼저 도4a는 긴급 배기 시스템이 작동하여 상기 공통 덕트(5) 및 개별 덕트(4)의 압력이 강하된 경우를 도시한 것이다.

유해 케미컬 가스의 누출시 먼저 전동댐퍼(3) 및 긴급 배기팬(6)이 작동되며, 이때 상기 전동댐퍼(3)가 풀 오픈 되기 전에는 상기 긴급 배기팬(6)의 작동으로 인하여 상기 공통 덕트(5) 및 개별 덕트(4)의 압력이 급격하게 강하된다.

그러면, 상기 덕트 보호용 릴리프 댐퍼(10)의 블레이드(16)는 스프링(15)의 탄성력을 극복하고 상기 몸체(11)의 외기 배출구(19)에서 덕트쪽으로 하강된다. 그러면, 상기 커버(12)에 형성된 외기 유입구(18) 및 몸체(11)에 형성된 외기 배출구(19)를 따라서 외기가 상기 개별 덕트(4)에 제공되고 따라서, 상기 개별 덕트(4) 및 공통 덕트(5)의 압력은 외기와 동일하게 유지된다.

다음으로, 도4b는 전동댐퍼(3)가 완전히 풀 오픈(1full open)되어 개별 덕트(4) 및 공통 덕트(5)의 압력이 외기와 동일해진 경우를 도시한 것이다.

개별 덕트(4)의 압력과 외기의 압력이 동일해지면, 상기 댐퍼 블레이드(16)는 스프링(15)의 복원력에 의해 다시 몸체(11) 내측으로 상승되고, 따라서 상기 외기는 상기 개별 덕트(4)쪽으로 흐르지 않게 되고, 단지 룸(1)의 유해 케미컬 가스가 상기 개별 덕트(4)를 통해 외부로 배출된다.

한편, 상기 스프링(15)의 탄성력을 조절할 경우에는 상기 커버(12)의 캡을 열고, 소정 형태의 기구를 이용하여 상기 압력 조절 볼트(13)를 조정함으로써 가능하다. 즉, 상기 개별 덕트(4)의 압력에 따른 상기 댐퍼 블레이드(16)의 이동량을 조절함으로써, 적정 압력에서 상기 댐퍼 블레이드(16)가 작동되도록 할 수 있다.

이상에서와 같이 본 고안은 비록 상기의 실시예에 한하여 설명하였지만 여기예만 한정되지 않으며, 본 고안의 범주 및 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러가지로 변형된 실시예도 가능할 것이다. 즉, 본 고안은 반도체 제조 분야의 긴급 배기 시스템뿐만 아니라, 일반 배기, 생산 배기 분야에도 널리 사용될 수 있다.

따라서, 본 고안에 의한 덕트 보호용 릴리프 댐퍼에 의하면, 긴급 배기 시스템의 작동시 전동 댐퍼가 풀 오픈(full open)되기 전까지의 지연 시간이 없어지는 효과가 있다.

또한, 덕트 내부의 압력을 일정하게 유지함으로써 심한 소음, 덕트의 파손 및 변형을 억제할 수 있는 효과가 있다.

또한, 릴리프 댐퍼의 작동 압력을 스프링으로 변경함으로써, 긴급 배기 시스템의 덕트뿐만 아니라 일반배기, 생산배기 등 다른 분야에서 용이하게 사용할 수 있는 효과가 있다.

마지막으로, 긴급 배기 시스템의 초기 작동 상태를 육안으로 확인할 수 있는 효과가 있다.

Claims (1)

1. 단면상 대략 반원형으로 형성되고, 하부의 양측에는 외기 유입구(18)가 형성된 커버(12)와;

   상기 커버(12)의 하부에 상기 외기 유입구(18)와 연통되도록 외기 배출구(19)가 형성되고, 일단은 덕트(4)에 결합된 몸체(11)와;

   상기 커버(12)의 상부에서 상기 몸체(11)의 외기 배출구(19)쪽으로 결합된 압력 조절 볼트(13)와;

   상기 몸체(11) 내측에 위치된 압력 조절 볼트(13)의 단부에 소정 탄성력을 가지며 결합된 스프링(15)과;

   상기 스프링(15)의 단부에 상기 덕트(4)의 압력에 따라 상기 몸체(11)의 배출구(19)를 개방하거나 폐쇄하도록 상기 몸체(11)의 배출구(19)에 결합된 댐퍼 블레이드(16)를 포함하여 이루어진 덕트 보호용 릴리프 댐퍼(10).