KR200264233Y1 - 반도체 코팅장비의 감광제 배액장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 코팅장비의 감광제 배액장치에 관한 것으로, 종래에는 배액구를 포함하는 배액구조가 단일구조로 되어 있어 2종 이상의 감광제를 사용하는 경우에는 각 감광제가 혼합되게 되므로 부득이 각 감광제의 숫자에 맞게 별도의 코팅장치가 구비되어야 하는 문제점이 있었던 바, 본 고안에서는 상기 약액의 종류에 따라 선택적으로 배액시키도록 적어도 2개 이상의 분배구가 각각 구비되어 약액을 일차로 모으는 캐치컵의 하측에 분리통을 설치하고, 그 분리통의 각 분배구가 상기 캐치컵의 배액구와 차별 연통되도록 하는 분리수단을 포함하여 구성함으로써, 약액의 경화 및 응고 등의 화학적 반응이 일어는 것을 방지할 수 있으며, 별도의 배액장치를 추가로 설치함에 따른 생산비용 및 작업공간의 증가 등을 줄일 수 있고, 연속작업에 따른 생산성의 향상을 기대할 수 있다.

Description

반도체 코팅장비의 감광제 배액장치{PHOTO-RESIST REMOVING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR COATER}

본 고안은 반도체 코팅장비의 배출장치에 관한 것으로, 특히 하나의 유니트에서 복수개의 감광제를 혼용할 수 있는 반도체 코팅장비의 감광제 배출장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조 공정중에서 포토 공정은 마스크(또는 레티클)에 그려진 패턴을 도포, 노광, 현상 등을 통하여 실제 반도체 칩이 만들어지는 기판 위에 형성시키는 것이다.

이러한 포토 공정에 사용되는 패턴형성용 감광제(Photo Resist ; PR)로는 통상 빛에 노출된 부분이 현상되어 제거되는 양성감광제 또는 그 반대로 빛에 노출되지 않은 부분이 현상되어 제거되는 음성감광제로 구분되는데, 최근에는 패턴 형성시 감광제에 의한 반사를 개선할 목적으로 상기의 패턴형성용 감광제를 도포하기 전이나 또는 그 후에 반사방지막(Anti Reflect Coating ; ARC)을 사용하고 있다.

도 1은 종래 반사방지막 형성용 코팅장치를 개략적으로 보인 종단면도이다.

이에 도시된 바와 같이, 종래의 반사방지막 형성용 코팅장치는 ARC용 감광제가 외부로 튀는 것을 막아주는 캐치컵(1)과, 그 캐치컵(1)의 바닥 중앙에 관통 설치되어 상면에 웨이퍼(W)를 흡착하여 회전시키는 웨이퍼 척(2)과, 그 웨이퍼 척(2)의 하단에 설치되어 상기 웨이퍼(W)에 ARC용 감광제가 골고루 퍼지도록 웨이퍼 척(2)을 회전시키는 스핀모터(미도시)를 포함하여 구성되어 있다.

상기 캐치컵(1)의 바닥면 일측에는 도포공정 중에 발생되는 가스를 배기시키는 배기구(1a)가 형성되는 한편 타측에는 웨이퍼(W)에 도포되고 남은 ARC용 감광제를 회수하는 하나의 배액구(1b)가 형성되어 있다.

도면중 3은 배액관, 4는 감광제 공급노즐이다.

상기와 같은 종래의 반사방지막 형성용 코팅장치는 다음과 같이 동작된다.

즉, 상기 스핀모터(미도시)에 결합되어 회전하는 웨이퍼 척(2)에 웨이퍼(W)가 흡착되고, 그 웨이퍼(W)가 웨이퍼 척(2)의 회전시 함께 회전하는 중에 상기 웨이퍼(W)의 표면에 ARC용 감광제가 공급되어 웨이퍼(W)의 회전시 발생되는 원심력에 의해 가장자리쪽으로 흘러 골고루 도포되며, 이후 웨이퍼(W)로부터 튀겨져 나가는 ARC용 감광제는 캐치컵(1)의 내벽면에 막혀 그 내벽면을 따라 흘러 내린 다음에 배액구(1b)를 통해 배액관(3)을 통해 배액탱크(미도시)에 수집되는 일련의 과정을 반복하는 것이었다.

그러나, 상기와 같은 종래의 반사방지막 형성용 코팅장치에 있어서는, 그 배액구(1b)를 포함하는 배액구조가 단일구조로 되어 있어 2종 이상의 ARC용 감광제를 사용하는 경우에는 각 감광제가 혼합되게 되므로 부득이 각 감광제의 숫자에 맞게 별도의 코팅장치가 구비되어야 하는 문제점이 있었다.

따라서, 본 고안은 상기와 같은 종래 반사방지막 형성용 코팅장치가 가지는 문제점을 감안하여 안출한 것으로, 별도의 코팅장비를 구비하지 않고도 2종 이상의 ARC용 감광제를 연속적으로 사용할 수 있어 생산성이 향상되고 코팅장비의 부피를최소화되는 반도체 코팅장비의 감광제 배액장치를 제공하려는데 그 목적이 있다.

도 1은 종래 코팅장비의 일례를 보인 종단면도.

도 2는 본 고안 코팅장비의 일례를 보인 종단면도.

도 3은 본 고안 코팅장비의 요부인 분리통을 보인 평면도.

도 4a 및 도 4b는 본 고안 코팅장비의 분리통이 동작되는 과정을 보인 평면도.

** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 **

1 : 캐치컵 1a : 배기구

1b : 배액구 2 : 웨이퍼 척

10 : 분리통 11,12 : 분배구

13 : 격판 21,22 : 배액관

이와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여, 웨이퍼를 회전시키는 웨이퍼 척이 스핀모터의 회전축에 결합되고, 상기 웨이퍼에 공급되는 약액이 원심력에 의해 튀기는 것을 막아줌과 아울러 그 약액을 배액시키는 배액구가 바닥면에 구비되는 캐치컵이 상기한 웨이퍼 척을 감싸게 설치되는 반도체 코팅장비에 있어서 ; 상기 약액의 종류에 따라 선택적으로 배액시키도록 적어도 2개 이상의 분배구가 각각 구비되어 상기한 캐치컵의 하측에 설치되는 분리통과, 그 분리통의 각 분배구가 상기 캐치컵의 배액구와 차별 연통되도록 하는 분리수단을 포함한 반도체 코팅장비의 감광제 배액장치가 제공된다.

이하, 본 고안에 의한 반도체 코팅장비의 감광제 배액장치를 첨부도면에 도시된 일실시예에 의거하여 상세하게 설명한다.

도 2는 본 고안 코팅장비의 일례를 보인 종단면도이고, 도 3은 본 고안 코팅장비의 요부인 분리통을 보인 평면도이며, 도 4a 및 도 4b는 본 고안 코팅장비의 분리통이 동작되는 과정을 보인 평면도이다.

이에 도시된 바와 같이, 본 고안에 의한 반사방지막 형성용 코팅장치는 ARC용 감광제가 외부로 튀는 것을 막아주는 캐치컵(1)과, 그 캐치컵(1)의 하측에 설치되어 약액의 종류에 따라 상기 캐치컵(1)의 배액구(1b)와 차별 연통되는 제1,제2 분배구(11,12)가 구비되는 분리통(10)과, 상기 캐치컵(1)의 바닥 중앙에 관통 설치되어 상면에 웨이퍼(W)를 흡착하여 회전시키는 웨이퍼 척(2)과, 그 웨이퍼 척(2)의하단에 설치되어 상기 웨이퍼(W)에 ARC용 감광제가 골고루 퍼지도록 웨이퍼 척(2)을 회전시키는 스핀모터(미도시)를 포함하여 구성된다.

상기 캐치컵(1)의 바닥면 일측에는 도포공정 중에 발생되는 가스를 배기시키는 배기구(1a)가 형성되는 한편 타측에는 웨이퍼(W)에 도포되고 남은 ARC용 감광제를 회수하는 하나의 배액구(1b가 형성된다.

상기 분리통(10)의 바닥면 일측에는 전술한 제1,제2 분배구(11,12)가 형성됨과 아울러 그 각각의 분배구(11,12)를 구획시키는 격판(13)이 고정 설치되는데, 그 분리통(10)에는 각 분배구(11,12)가 감광제의 성분에 따라 서로 다른 배액관(21,22)에 차별 연통되도록 별도의 구동수단(미도시)이 결합된다. 즉, 상기 분리통(10)은 통상적인 벨트를 이용하여 분리통(10)의 각 분배구(11,12)가 캐치컵(1)의 배액구(1b)와 배액탱크(미도시)의 배액관(21,22) 사이에 선택적으로 연통되도록 각운동을 시키는 한편 통상적인 유압실리더(미도시)를 이용하여 분리통(10)의 각 분배구(11,12) 하단이 배액탱크(미도시)의 배액관(21,22) 상단에 걸리지 않고 각운동하도록 수직운동을 시키게 하는 것이 바람직하다.

도면중 종래와 동일한 부분에 대하여는 동일한 부호를 부여하였다.

상기와 같은 본 고안의 반사방지막 형성용 코팅장치는 다음과 같이 동작된다.

상기 스핀모터(미도시)에 결합되어 회전하는 웨이퍼 척(2)에 웨이퍼(W)가 흡착되고, 그 웨이퍼(W)가 웨이퍼 척(2)의 회전시 함께 회전하는 중에 상기 웨이퍼(W)의 표면에 ARC용 감광제가 공급되어 웨이퍼(W)의 회전시 발생되는 원심력에 의해 가장자리쪽으로 흘러 골고루 도포되며, 이후 웨이퍼(W)로부터 튀겨져 나가는 ARC용 감광제는 캐치컵(1)의 내벽면에 막혀 흘러 내린 다음에 배액구(1b)를 통해 분리통(10)으로 유입되고, 그 분리통(10)으로 유입된 ARC용 감광제는 격판(13)에 의해 ARC용 감광제의 성분이 구분되면서 해당 분배구(11,12)를 통해 배액탱크(미도시)에 수집되는 일련의 과정을 반복하게 된다.

즉, 상기 ARC용 감광제는 통상 2종의 약액성분을 사용하게 되므로, 제1 성분의 약액을 먼저 공급하여 웨이퍼(W)에 도포한 다음에 그 도포되고 남은 제1 성분의 약액은 캐치컵(1)의 배액구(1b)를 통해 분리통(10)으로 배액되고, 그 분리통(10)으로 배액된 제1 성분의 약액은 격판(13)에 의해 구분되어 제1 분배구(11)를 통해 배액관(21) 및 제1 배액탱크(미도시)에 수집된다.

한편, 상기 ARC용 감광제에서 제2 성분의 약액을 사용하는 경우에는 별도의 제어수단(미도시)에 의해 제어되어 상기한 분리통(10)이 승강운동 및 회전운동을 하여 제2 분배구(12)가 배액구(1b)와 배액관(22) 사이에 연통되도록 세팅된 다음에 제2 성분의 약액이 공급되어 웨이퍼(W)에 도포되고, 그 남은 제2 성분의 약액은 캐치컵(1) 및 분리통(10)을 거쳐 제2 배액탱크(미도시)에 따로 수집되는 것이다.

본 고안에 의한 변형예가 있는 경우는 다음과 같다.

전술한 일례에서는 상기 격판이 설치된 분리통(10) 자체가 회전을 하게 되는 것이나, 본 변형예에서는 상기한 분리통(10)은 정지된 상태에서 격판(13)이 회전을 하면서 약액을 성분에 따라 분리 배액시키는 것으로 그 일반적인 동작은 전술한 일례와 대동소이하다.

이렇게, 상기 분리통(10)이 부가되어 약액을 성분에 따라 분리하는 경우에는 하나의 배액로를 혼용하는 것에 비해 약액의 경화 및 응고 등의 화학적 반응이 일어는 것을 방지할 수 있으며, 이를 감안하여 약액의 성분수에 따라 별도의 배액장치를 추가로 설치함에 따른 생산비용 및 작업공간의 증가 등을 줄일 수 있다. 또한 하나의 배액장치로 두 개 이상의 배액장치를 사용한 효과를 낼 수 있으므로 연속작업에 따른 생산성의 향상을 기대할 수 있다.

참고로, 본 실시예에서는 ARC용 감광제에 대한 배액장치를 예로 들어 살펴보았으나, 본 고안은 단지 ARC용 감광제에 대한 배액장치에 한정되는 것이 아니라 적어도 2종 이상의 성분이 혼용되는 감광제의 사용시에 대하여 폭넓게 적용될 수 있다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안에 의한 반도체 코팅장비의 감광제 배액장치는 상기 약액의 종류에 따라 선택적으로 배액시키도록 적어도 2개 이상의 분배구가 각각 구비되어 약액을 일차로 모으는 캐치컵의 하측에 분리통을 설치하고, 그 분리통의 각 분배구가 상기 캐치컵의 배액구와 차별 연통되도록 하는 분리수단을 포함하여 구성함으로써, 약액의 경화 및 응고 등의 화학적 반응이 일어는 것을 방지할 수 있으며, 별도의 배액장치를 추가로 설치함에 따른 생산비용 및 작업공간의 증가 등을 줄일 수 있고, 연속작업에 따른 생산성의 향상을 기대할 수 있다.

Claims (3)

1. 웨이퍼를 회전시키는 웨이퍼 척이 스핀모터의 회전축에 결합되고, 상기 웨이퍼에 공급되는 약액이 원심력에 의해 튀기는 것을 막아줌과 아울러 그 약액을 배액시키는 배액구가 바닥면에 구비되는 캐치컵이 상기한 웨이퍼 척을 감싸게 설치되는 반도체 코팅장비에 있어서 ;

   상기 약액의 종류에 따라 선택적으로 배액시키도록 적어도 2개 이상의 분배구가 각각 구비되어 상기한 캐치컵의 하측에 설치되는 분리통과, 그 분리통의 각 분배구가 상기 캐치컵의 배액구와 차별 연통되도록 하는 분리수단을 포함한 반도체 코팅장비의 감광제 배액장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 분리통의 내측에는 각각의 분배구를 구획시키는 격판이 부착되어 상기한 분리통이 자체 회전하면서 각 분배구와 캐치컵의 배액구를 차별 연통되는 것을 특징으로 하는 반도체 코팅장비의 감광제 배액장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 분리통의 내측에는 각각의 분배구를 구획시키는 격판이 자체 회전하면서 각 분배구와 캐치컵의 배액구를 차별 연통시키는 것을 특징으로 하는 반도체 코팅장비의 감광제 배액장치.