KR20020095844A - cassette loader equipment of semiconductor device manufacturing equipment - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체장치 제조설비의 카세트 로더장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 공정 수행을 목적으로 하는 웨이퍼가 탑재된 카세트를 로봇으로 하여금 카세트로부터 웨이퍼의 인출 및 탑재함이 용이하도록 카세트를 설정 위치시키도록 하는 반도체장치 제조설비의 카세트 로더장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cassette loader device of a semiconductor device manufacturing facility, and more particularly, to a cassette having a wafer mounted thereon for the purpose of performing a process so as to allow a robot to easily extract and mount the wafer from the cassette. It relates to a cassette loader device of a semiconductor device manufacturing facility.
일반적으로 반도체장치는 웨이퍼 상에 사진, 식각, 확산, 화학기상증착, 이온주입, 금속증착 등의 공정을 선택적이고도 반복적으로 수행하는 일련의 과정을 통해 이루어진다. 이렇게 반도체장치로 제조되기까지 웨이퍼는 카세트에 복수개씩 탑재되어 각 공정을 수행하는 각각의 제조설비로 이송되는 과정을 거치게 된다. 또한, 이들 웨이퍼는 각 공정을 수행하는 반도체장치 제조설비 내에서도 설치된 로봇에 의해 일 매씩 인출되어 요구되는 위치로 이송되는 과정을 거치게 되며, 이에 대한 반도체장치 제조설비의 구성을 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.In general, a semiconductor device is a series of processes that selectively and repeatedly perform a process such as photographing, etching, diffusion, chemical vapor deposition, ion implantation, metal deposition on a wafer. Thus, until the semiconductor device is manufactured, a plurality of wafers are mounted in a cassette and transferred to respective manufacturing facilities that perform each process. In addition, these wafers are taken out one by one by a robot installed in a semiconductor device manufacturing facility that performs each process and are transferred to a required position. The configuration of the semiconductor device manufacturing facility will be described with reference to the accompanying drawings. Let's do it.
종래의 반도체장치 제조설비의 구성 중 도 1에 도시된 멀티챔버 구조의 반도체장치 제조설비(10)의 구성을 살펴보면, 생산라인으로부터 복수 웨이퍼(W)를 탑재한 카세트(K)가 투입 위치되는 로드락챔버(12)가 있고, 이 로드락챔버(12)는 구비된 도어수단(14a)을 통해 카세트(K)의 투입 및 인출에 대응하여 선택적으로 밀폐된 분위기를 이루게 된다. 또한 로드락챔버(12)의 내부에는 카세트(K)를 위치시키기 위한 테이블(16)이 설치되며, 또 그 내부는 상술한 도어수단(14a)의 개폐에 대응하여 연결된 진공압 제공수단(도면의 단순화를 위하여 생략함)의 구동으로 소정의 진공압 분위기를 이루게 된다. 그리고, 로드락챔버(12)의 일측으로는 다시 도어수단(14b)에 의해 선택적으로 연통하는 트랜스퍼챔버(18)가 설치되고, 이 트랜스퍼챔버(18) 내부에는 로드락챔버(12)에 위치되는 웨이퍼(W)를 요구되는 위치로 이송하도록 하는 로봇(20)이 설치된다. 이러한 로봇(20)의 일반적인 구성은, 도 1에 도시된 바와 같이, 트랜스퍼챔버(18)의 중심 부위를 기준하여 각 방향으로 회전 가능하게 설치되며, 일측으로 자바라 형상의 로봇암(22)과 이 로봇암(22)에 의해 연결 설치되어 웨이퍼(W)를 일 매씩 선택적으로 고정 지지하게 되는 로봇척(24)이구비된 구성을 이룬다. 이러한 구성에 더하여, 상술한 트랜스퍼챔버(18)의 다른 소정 측부에는 로봇(20)의 구동에 의해 이송되는 웨이퍼(W)에 대하여 공정을 수행하는 공정챔버(26)와 이 공정챔버(26)에서의 공정 수행 전·후 과정에서 웨이퍼(W)를 냉각 또는 가열시키는 등의 선·후 처리 과정을 수행하는 보조챔버(28) 등이 선택적으로 연통하게 설치되는 구성을 이룬다. 이러한 관계에 있어서, 로드락챔버(12) 내에 투입되는 카세트(K)는 로봇척(24)의 구동 방향 즉 트랜스퍼챔버(18)의 중심 위치로부터 소정 각도 틀어진 상태로 투입되고, 이에 대응하여 로드락챔버(12) 내부에는 투입된 카세트(K)를 로봇척(24)의 진행 방향에 있도록 회전 위치토록 하는 카세트 로더장치가 요구된다.Referring to the configuration of the semiconductor device manufacturing facility 10 of the multi-chamber structure shown in FIG. 1 among the conventional semiconductor device manufacturing facilities, a rod in which a cassette K having a plurality of wafers W mounted thereon is inserted from a production line. There is a lock chamber 12, and the load lock chamber 12 is selectively sealed in response to the input and withdrawal of the cassette (K) through the door means (14a) provided. In addition, a table 16 for positioning the cassette K is provided inside the load lock chamber 12, and the inside thereof is provided with a vacuum pressure providing means connected to the opening and closing of the door means 14a (Fig. Driving is achieved for the sake of simplicity). Then, one side of the load lock chamber 12 is provided with a transfer chamber 18 selectively communicated by the door means 14b again, and is located in the load lock chamber 12 inside the transfer chamber 18. A robot 20 is installed to transfer the wafer W to the required position. The general configuration of such a robot 20, as shown in Figure 1, is installed rotatably in each direction with respect to the center portion of the transfer chamber 18, the robot arm 22 of the bellows shape to one side and the The robot chuck 24 which is connected by the robot arm 22 to selectively fix and support the wafer W one by one forms a configuration. In addition to this configuration, the other predetermined side of the transfer chamber 18 described above is provided with a process chamber 26 for performing a process on the wafer W transferred by the robot 20 and the process chamber 26. The auxiliary chamber 28 for performing pre- and post-treatment processes such as cooling or heating the wafer W in the process before and after the process of the process is configured to be selectively connected. In this relationship, the cassette K to be loaded into the load lock chamber 12 is inserted at a predetermined angle from the driving direction of the robot chuck 24, that is, the center position of the transfer chamber 18, and correspondingly to the load lock. In the chamber 12, a cassette loader device for rotating the cassette K into the robot chuck 24 in the traveling direction is required.
상술한 카세트 로더장치의 종래 기술 구성을 살펴보면, 도 2a에 도시된 바와 같이, 생산라인으로부터 로드락챔버(12) 내부로 투입되는 카세트(K)의 하부를 받쳐 지지하는 테이블(16)이 있고, 이 테이블(16)은 그 하부에 수직하게 설치되어 테이블(16)의 회전 위치를 지지하는 회전축(30)이 설치된다. 또한 회전축(30)의 일측에는 회전축(30)을 중심으로 테이블(16)과 함께 수평한 상태로 회전 가능하게 지지되는 지지대(32)가 설치되며, 이 지지대(32)는 다시 테이블(16) 저면과 브라켓(34)으로 고정되어 회전축(30)을 중심으로 동일한 각도로 회전하게 된다. 한편, 로드락챔버(12)의 테이블(16) 하측으로 상술한 지지대(32)의 길이 방향에 대하여 소정 간격으로 이격 위치되어 교차하는 형상으로 배치되는 스크류로드(36)가 그 길이 방향을 중심으로 하여 회전 가능하도록 지지부재(38a, 38b)에 의해 지지되고, 이 스크류로드(36)의 일측 단부에는 스크류로드(36)에 회전력을 전달하기 위한모터수단(40)의 모터축과 연장 연결된 형상을 이룬다. 그리고, 스크류로드(36) 상에는 스크류로드(36)의 회전 방향에 따라 통상의 방법으로 수평 상태를 유지하며 전·후진 가능하도록 설치되는 슬라이더(42)가 설치되며, 이 슬라이더(42)의 상부 또는 하부에는 상술한 지지대(32)의 측부를 슬라이더(42)의 전·후진 방향에 대하여 지지하는 구성을 이룬다.Looking at the prior art configuration of the cassette loader device described above, as shown in Figure 2a, there is a table 16 for supporting the lower portion of the cassette (K) introduced into the load lock chamber 12 from the production line, The table 16 is installed perpendicularly to the lower portion thereof, and is provided with a rotating shaft 30 that supports the rotational position of the table 16. In addition, one side of the rotating shaft 30 is provided with a support 32 which is rotatably supported in a horizontal state with the table 16 around the rotating shaft 30, the support 32 is again the bottom of the table 16 And the bracket 34 is rotated at the same angle about the rotation axis 30. On the other hand, the screw rod 36 which is disposed below the table 16 of the load lock chamber 12 at a predetermined interval with respect to the longitudinal direction of the support 32 described above and arranged in an intersecting shape is centered on the longitudinal direction thereof. It is supported by the support members (38a, 38b) to be rotatable, one end of the screw rod 36 has a shape extending in connection with the motor shaft of the motor means 40 for transmitting a rotational force to the screw rod 36 Achieve. In addition, a slider 42 is installed on the screw rod 36 so as to be able to move forward and backward while maintaining a horizontal state according to a rotational direction of the screw rod 36. The upper part of the slider 42 or The lower part comprises the structure which supports the side part of the support stand 32 mentioned above with respect to the forward and backward direction of the slider 42. As shown in FIG.
이러한 구성의 카세트 로더장치에 의하면, 테이블(16) 상면에 카세트(K)가 위치되면, 콘트롤러는 모터수단(40)에 구동 제어신호를 인가하여 스크류로드(36)를 회전시키게 되고, 이 스크류로드(36)의 회전에 따라 상술한 슬라이더(42)는 지지대(32)의 측부를 지지하여 회전축(30)을 중심으로 회전시키는 힘을 전달하게 되고, 이때 테이블(16)은 지지대(32)의 안내에 따라 회전축(30)을 중심으로 회전하여 로봇척(24)의 구동 방향에 대향하는 위치 또는 로드락챔버(12)에 투입과 인출이 용이한 위치로 회전 위치된다.According to the cassette loader device having such a configuration, when the cassette K is positioned on the upper surface of the table 16, the controller applies a drive control signal to the motor means 40 to rotate the screw rod 36. In accordance with the rotation of the 36, the above-described slider 42 supports the side of the support 32 to transmit a force to rotate about the rotation axis 30, wherein the table 16 guides the support 32 In accordance with the rotating shaft 30 is rotated about the position opposite to the driving direction of the robot chuck 24 or the load lock chamber 12 is rotated to a position that is easy to insert and withdraw.
그러나, 상술한 구성에 있어서, 테이블(16)을 회전 위치시키기 위한 구동이 스크류로드(36)의 회전에 따른 고정부재(38a, 38b)와의 접촉 관계, 스크류로드(36)에 대한 슬라이더(42)의 접촉 슬라이딩 전·후진 구동 관계 및 슬라이더(42)와 지지대(32)의 접촉 관계 등은 기계적인 마찰에 의해 파티클 생성의 원인이 되며, 이렇게 생성되는 파티클에 의해 웨이퍼(W)가 오염되어 공정 불량 및 제조수율이 저하되는 문제가 있게 된다. 또한, 이러한 각 구성의 기계적 접촉 관계는 상호 접촉되는 부위에서의 마모가 있게 되고, 이것은 카세트(K)를 포함한 웨이퍼(W)가 정상적으로 위치되지 못하여 이송되는 웨이퍼(W)의 정렬 위치 불량에 따른 각종 문제를유발하게 된다. 그리고, 이러한 마모 관계에 의해 각 구성의 수명이 단축되어 설비의 분해 조립이 빈번하게 이루어질 뿐 아니라 그 구성의 복잡하여 설비의 분해 조립에 따른 많은 작업시간과 노동력이 요구되며, 설비의 가동률 저하로 인한 생산성이 저하되는 등의 비경제적인 문제가 있게 된다.However, in the above-described configuration, the drive for rotating the table 16 is in contact with the fixing members 38a and 38b according to the rotation of the screw rod 36, the slider 42 against the screw rod 36. Contact sliding forward / reverse drive relationship and contact relationship between the slider 42 and the support 32 cause particles to be generated by mechanical friction, and the wafer W is contaminated by the particles thus produced, resulting in poor process. And there is a problem that the production yield is lowered. In addition, the mechanical contact relationship of each of these components is abrasion at the site of contact with each other, which means that the wafer W including the cassette K is not normally positioned, so that various kinds of misalignment of the wafer W are transferred. It causes problems. In addition, due to such a wear relationship, the life of each component is shortened, so that the disassembly and assembly of the equipment is frequently performed, and the complexity of the configuration requires a lot of work time and labor according to the disassembly and assembly of the equipment, There is an uneconomical problem, such as reduced productivity.
본 발명의 목적은, 상술한 종래 기술에 따른 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 카세트를 포함한 웨이퍼를 로봇척의 이동 방향에 대응하여 위치시키기 위한 구성을 보다 단순화시키고, 기계적 접촉 관계에 의한 파티클 생성을 억제하도록 하며, 이를 통해 각 구성의 부품 수명을 연장하도록 함과 동시에 웨이퍼의 오염 및 그에 따른 공정 불량을 방지하여 제조수율을 높이도록 하는 반도체장치 제조설비의 카세트 로더장치를 제공함에 있다. 또한, 상술한 바와 같이, 각 구성의 기계적 접촉 관계에 따른 마모됨의 방지로 카세트를 포함한 웨이퍼가 로봇척의 이동 방향에 대향하여 정확하게 위치될 수 있도록 하여 그에 따른 웨이퍼의 손상이나 파손을 방지하도록 하는 반도체장치 제조설비의 카세트 로더장치를 제공함에 있다. 그리고, 상술한 각 구성의 단순화로 분해 조립이 용이하도록 함과 동시에 작업 시간과 작업자의 노동력을 절감하도록 하며, 부품의 수명을 연장으로 설비의 분해 조립의 주기를 연장하여 그 회수를 줄이도록 함으로써 설비의 가동률과 그에 따른 생산성을 향상시키도록 하는 반도체장치 제조설비의 카세트 로더장치를 제공함에 있다.An object of the present invention is to solve the problems according to the prior art described above, to simplify the configuration for positioning the wafer including the cassette corresponding to the moving direction of the robot chuck, and to suppress the particle generation by the mechanical contact relationship. In addition, the present invention provides a cassette loader device for a semiconductor device manufacturing facility which increases the manufacturing yield by preventing component contamination of the wafer and consequent process defects while extending component life of each component. In addition, as described above, the semiconductor including the cassette allows the wafer including the cassette to be accurately positioned to face the movement direction of the robot chuck by preventing wear due to the mechanical contact relationship of each component, thereby preventing damage or breakage of the wafer. The present invention provides a cassette loader device for a device manufacturing facility. In addition, by simplifying the above-described configuration, it is easy to disassemble and assemble, and at the same time, to reduce work time and labor of workers, and to prolong the life of parts to reduce the number of times by extending the cycle of disassembly and assembly of equipment. It is to provide a cassette loader device of a semiconductor device manufacturing equipment to improve the operation rate and thus productivity.
도 1은 종래의 반도체장치 제조설비의 구성을 개략적으로 나타낸 구성도이다.1 is a configuration diagram schematically showing the configuration of a conventional semiconductor device manufacturing facility.
도 2a와 도 2b는 도 1에 도시된 반도체장치 제조설비의 카세트 로더장치의 구성과 이에 따른 동작 관계를 개략적으로 나타낸 구성도이다.2A and 2B are schematic diagrams showing the configuration of the cassette loader device of the semiconductor device manufacturing facility shown in FIG.
도 3은 도 2에 도시된 Ⅱ-Ⅱ선을 기준하여 카세트 로더장치의 설치 구성을 개략적으로 나타낸 측단면도이다.3 is a side cross-sectional view schematically showing the installation configuration of the cassette loader device with reference to the II-II line shown in FIG.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 로더장치의 설치 구성을 개략적으로 나타낸 측단면도이다.Figure 4 is a side cross-sectional view schematically showing the installation configuration of the cassette loader device according to an embodiment of the present invention.
도 5는 도 4에 도시된 구성의 설치 관계를 개략적으로 나타낸 평면 상태 구성도이다.FIG. 5 is a schematic plan view showing the installation relationship of the configuration shown in FIG. 4.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
10: 제조설비 12: 로드락챔버10: manufacturing equipment 12: load lock chamber
14a, 14b: 도어수단 16: 테이블14a, 14b: Door means 16: Table
18: 트랜스퍼챔버20: 로봇18: transfer chamber 20: robot
22: 로봇암 24: 로봇척22: robot arm 24: robot chuck
26: 공정챔버28: 보조챔버26: process chamber 28: auxiliary chamber
30: 회전축32: 지지대30: rotating shaft 32: support
34: 브라켓 36: 스크류로드34: bracket 36: screw rod
38a, 38b: 지지부재 40: 모터수단38a, 38b: support member 40: motor means
42: 슬라이더 50: 종동휠42: slider 50: driven wheel
52: 구동수단54: 구동축52: drive means 54: drive shaft
56: 구동휠58: 타이밍벨트56: drive wheel 58: timing belt
60: 지지부재 62a, 62b: 발수광센서60: support member 62a, 62b: light receiving sensor
64: 반사부재64: reflective member
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 특징적 구성은, 로드락챔버 내로 투입되는 카세트를 받쳐 지지하는 테이블과; 상기 테이블의 하부를 통해 회전 가능하게 지지하는 회전축과; 상기 회전축으로부터 이격된 소정 위치에 인가되는 구동 제어신호에 따라 구비된 구동축을 회전시키는 구동수단과; 상기 구동축과 회전축 사이에 회전력을 전달하도록 설치되는 타이밍벨트; 및 상기 구동수단에 구동 제어신호를 인가하여 상기 테이블의 회전 위치를 제어하는 콘트롤러;를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.A characteristic configuration according to the present invention for achieving the above object is a table for supporting the cassette is introduced into the load lock chamber; A rotating shaft rotatably supporting the lower portion of the table; Drive means for rotating the drive shaft provided in accordance with a drive control signal applied to a predetermined position spaced apart from the rotation shaft; A timing belt installed to transmit a rotational force between the drive shaft and the rotation shaft; And a controller controlling a rotational position of the table by applying a driving control signal to the driving means.
또한, 상기 테이블의 회전 경로 상에는 그 위치를 설정하도록 하는 스토퍼;를 더 설치토록 함이 바람직하고, 이러한 상기 스토퍼는 상기 테이블의 회전 경로 상의 상기 로드락챔버에 고정 설치되는 지지부재로 구성될 수 있고, 또는 상기 테이블의 회전 경로로부터 이격된 위치에서 상기 테이블 상의 소정 부위가 위치됨을 감지하여 상기 콘트롤러로 하여금 그 회전 구동을 제어하도록 하는 감지수단으로 구성될 수 있으며, 이때 상기 감지수단으로는 상기 테이블의 회전 경로로부터 이격된 위치와 이에 회전 대응하는 상기 테이블 상에 각각 발·수광센서를 설치하여 구성되거나 상기 테이블의 회전 경로로부터 이격된 위치에 발·수광센서를 설치하고, 이에 회전 대응하는 상기 테이블 상에는 반사부재가 설치되는 구성으로 형성될 수도 있다.In addition, it is preferable to further install a stopper to set the position on the rotation path of the table, the stopper may be composed of a support member fixed to the load lock chamber on the rotation path of the table Or sensing means for detecting that a predetermined portion of the table is located at a position spaced apart from the rotation path of the table, and causing the controller to control the rotational drive. On the table corresponding to the rotation and the position and spaced apart from the rotation path and installed on the table corresponding to the rotation or receiving sensor, respectively It may be formed in a configuration that the reflection member is installed.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체장치 제조설비의 카세트 로더장치에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.Hereinafter, a cassette loader device of a semiconductor device manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체장치 제조설비의 카세트 로더장치의 구성 및 이들 구성의 결합 관계를 개략적으로 나타낸 측단면도이고, 도 5는 도 4의 구성에 따른 구성의 배치 관계를 개략적으로 나타낸 평면 상태 구성도로서, 종래와 동일한 부분에 대하여 동일한 부호를 부여하고, 그에 따른 상세한 설명은 생략하기로 한다.FIG. 4 is a side cross-sectional view schematically showing a configuration of a cassette loader device of a semiconductor device manufacturing apparatus and a coupling relationship between these configurations according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 schematically shows a layout relationship of the configuration according to the configuration of FIG. 4. In the planar state configuration diagram, the same reference numerals are given to the same parts as in the related art, and detailed description thereof will be omitted.
본 발명에 따른 카세트 로더장치의 구성은, 도 4에 도시된 바와 같이, 로드락챔버(12) 내부에는 생산라인으로부터 투입되는 카세트(K)를 위치시키기 위한 테이블(16)이 설치되고, 이 테이블(16)은 그 하부에 고정된 종동횔(50)을 통해 회전축(30)을 중심으로 회전 가능하게 지지되는 상태를 이룬다. 또한 테이블(16) 하측의 소정 위치에는 상술한 회전축(30)으로부터 소정 간격을 이루며 구동축(54)이 이격 설치되고, 이 구동축(54)의 일측 단부에는 인가되는 구동 제어신호에 따라 구동축(54)을 회전시키는 구동수단(52)이 연결 설치되고, 이 구동축(54)의 상대측 단부에는 구동축(54)에 고정되어 회전하게 되는 구동휠(56)이 설치된다. 여기서 상술한 회전축(30)과 구동축(54)은, 도 4에 도시된 바와 같이, 상호 나란한 관계로 표현되어 있으나 이에 한정되지 않고 상호 이격되어 소정 각도록 틀어지게 설치될 수도 있는 것이다. 그리고, 상술한 회전축(30)과 구동축(54) 사이에는 구동수단(52)에 의한 구동축(54)의 회전을 회전축(30)에 그대로 전달하기 위한 타이밍벨트(58)가 설치된다. 이러한 구성에 더하여 상술한 테이블(16)의 회전 경로에 대응하는 로드락챔버(12)의 측부 소정 위치에는, 도 4 또는 도 5에 도시된 바와 같이, 테이블(16)의 회전 위치를 설정하기 위한 스토퍼(60, 62a, 62b, 64)가 더 설치되며, 이러한 스토퍼(60, 62a, 62b, 64)는 테이블(16)의 회전 경로에 대향하는 로드락챔버(12)에 고정 설치되는 지지부재(60)로 구성될 수 있고, 또는 테이블(16)의 회전 경로로부터 이격된 위치에서 테이블(16) 상의 소정 부위가 위치됨을 감지하여 상술한 콘트롤러로 하여금 그 회전 구동을 제어하도록 하는 감지수단(62a, 62b, 64)으로 구성될 수 있다. 이때 감지수단(62a, 62b, 64)으로는, 도 4의 일측에 설치된 구성에서 보는 바와 같이, 테이블(16)의 회전 경로로부터 이격된 위치와 이에 회전 대응하는 상기 테이블(16) 상에 각각 발·수광센서(62a, 62b)를 설치하여 구성되거나 또는 도 4의 상대측에 설치되는 구성에서와 같이, 테이블(16)의 회전 경로로부터 이격된 로드락챔버(12) 측부 소정 위치에 발·수광센서(62a, 62b, 64)를 설치하고, 이에 회전 대응하는 테이블(16) 상에는 발광센서(62a)로부터 발산되는 광을 수광센서(62b)로 반사시키도록 하는 반사부재(64)가 설치되는 구성으로 형성될 수 있는 것이다. 그리고 이들 발·수광센서(62a, 62b)는 테이블(16)의 회전 위치를 감지하여 구비되는 콘트롤러에 인가하게 되고, 콘트롤러는 이들 신호를 수신하여 구동부(52)의 구동에 따른 테이블(16)의 회전 속도와 그 위치를 제어하게 된다.In the configuration of the cassette loader device according to the present invention, as shown in Figure 4, the table 16 for positioning the cassette (K) fed from the production line is provided in the load lock chamber 12, this table 16 forms a state rotatably supported about the rotation shaft 30 through the driven fan 50 fixed to the lower portion. In addition, the drive shaft 54 is spaced apart from the rotary shaft 30 at a predetermined position below the table 16 at a predetermined distance, and the driving shaft 54 is applied to one end of the drive shaft 54 in accordance with a driving control signal applied thereto. The drive means 52 for rotating the drive shaft 52 is connected, and a driving wheel 56 fixed to the drive shaft 54 and rotated is installed at the opposite end of the drive shaft 54. Here, the above-described rotary shaft 30 and the drive shaft 54, as shown in Figure 4, but are represented in a parallel relationship with each other, but not limited to this may be installed to be spaced apart from each other by a predetermined angle. In addition, a timing belt 58 is provided between the rotating shaft 30 and the driving shaft 54 to transmit the rotation of the driving shaft 54 by the driving means 52 to the rotating shaft 30 as it is. In addition to this configuration, as shown in FIG. 4 or FIG. 5, the rotational position of the table 16 is set at a side predetermined position of the load lock chamber 12 corresponding to the rotation path of the table 16 described above. Stoppers 60, 62a, 62b, and 64 are further installed, and the stoppers 60, 62a, 62b, and 64 are support members fixedly installed in the load lock chamber 12 opposite to the rotation path of the table 16. 60, or sensing means 62a for detecting a predetermined position on the table 16 at a position spaced apart from the rotation path of the table 16 to cause the above-described controller to control its rotational drive. 62b, 64). At this time, as the detection means 62a, 62b, 64, as shown in the configuration installed on one side of Figure 4, the position spaced from the rotation path of the table 16 and the foot on the table 16 corresponding to the rotation, respectively A light receiving / receiving sensor at a predetermined position on the side of the load lock chamber 12 spaced from the rotation path of the table 16, as in the configuration provided by the light receiving sensors 62a and 62b or on the counter side of FIG. 62a, 62b, and 64, and a reflection member 64 is provided on the table 16 corresponding to the rotation so as to reflect the light emitted from the light emitting sensor 62a to the light receiving sensor 62b. It can be formed. And these light-receiving sensors (62a, 62b) is applied to the controller provided by sensing the rotational position of the table 16, the controller receives these signals of the table 16 in accordance with the drive of the drive unit 52 It will control the rotation speed and its position.
따라서, 본 발명에 의하면, 테이블의 회전 구동이 모터수단으로부터 회전축으로 연결된 타이밍벨트로 전달되고, 또 그 위치를 스토퍼에 의해 정확하게 위치되게 됨에 따라 그 구성의 단순하고, 또 기계적 접촉 관계를 종래에 비교하여 줄이게되어 파티클 생성이 억제되고, 이를 통해 각 구성의 부품 수명이 연장되며, 파티클 생성 억제에 의한 웨이퍼의 오염 및 그에 따른 공정 불량이 방지되어 제조수율이 향상되는 효과가 있다.Therefore, according to the present invention, the rotational drive of the table is transmitted from the motor means to the timing belt connected to the rotating shaft, and the position thereof is accurately positioned by the stopper, so that the simple and mechanical contact relationship of the configuration is conventionally compared. Particles are suppressed to reduce particle generation, thereby prolonging component life of each component, and preventing contamination of wafers and process defects caused by particle generation suppression, thereby improving manufacturing yield.
또한, 스토퍼와 콘트롤러의 구동 관계로 각 구성의 기계적 접촉 관계에 따른 마모됨에 관계없이 카세트를 포함한 웨이퍼가 로봇척의 이동 방향에 대향하여 정확하게 정렬 위치됨에 따라 그에 따른 웨이퍼의 손상이나 파손을 방지하는 효과가 있다. 그리고, 상술한 각 구성의 단순화로 분해 조립이 용이하도록 함과 동시에 작업 시간과 작업자의 노동력이 절감되고, 부품의 수명을 연장으로 설비의 분해 조립의 주기의 연장과 그 회수를 줄이며, 이를 통해 설비의 가동률과 그에 따른 생산성이 향상되는 이점이 있다.In addition, regardless of wear due to the mechanical contact relationship between the stopper and the controller, the wafer including the cassette is accurately aligned and positioned to face the movement direction of the robot chuck, thereby preventing damage or damage to the wafer. have. In addition, by simplifying the above-described configuration, it is easy to disassemble and assemble, and at the same time, work time and labor of the worker are reduced, and the life of parts is extended and the period of disassembly and assembly of the facility is reduced and the number of times is reduced. There is an advantage that the utilization rate and the resulting productivity is improved.
본 발명은 구체적인 실시예에 대해서만 상세히 설명하였지만 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 변형이나 변경할 수 있음은 본 발명이 속하는 분야의 당업자에게는 명백한 것이며, 그러한 변형이나 변경은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 할 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to specific embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that modifications and variations can be made within the scope of the technical idea of the present invention, and such modifications or changes belong to the claims of the present invention. something to do.
Claims (6)
Priority Applications (1)
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| KR1020010034102A KR20020095844A (en) | 2001-06-16 | 2001-06-16 | cassette loader equipment of semiconductor device manufacturing equipment |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20050067751A (en) * | 2003-12-29 | 2005-07-05 | 동부아남반도체 주식회사 | Elevator rotation device and rotation method of loadlock chamber |
| WO2022255802A1 (en) * | 2021-06-04 | 2022-12-08 | 로체 시스템즈 | Auto teaching method and auto teaching system for transfer robot |
-
2001
- 2001-06-16 KR KR1020010034102A patent/KR20020095844A/en not_active Application Discontinuation
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