KR20020091212A - 진동 피스톤 펌프 - Google Patents

진동 피스톤 펌프 Download PDF

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KR20020091212A
KR20020091212A KR1020027013902A KR20027013902A KR20020091212A KR 20020091212 A KR20020091212 A KR 20020091212A KR 1020027013902 A KR1020027013902 A KR 1020027013902A KR 20027013902 A KR20027013902 A KR 20027013902A KR 20020091212 A KR20020091212 A KR 20020091212A
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헤르만 보이
루돌프 바아넨
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라이볼트 바쿰 게엠베하
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Abstract

본 발명은 진동 피스톤 펌프(1), 특히 진동 피스톤 진공 펌프에 관한 것이다. 본 발명의 목적은 다양한 최종압력 상태 및/또는 다양한 진공 능력을 가진 구성원을 포함하는 상기 종류의 펌프 군을 만들어내는 것이다. 상기 목적을 달성하기 위해서, 상기 펌프 군은 몇몇의 동일하게 구성된, 진동 피스톤 펌프의 모듈(2)로 이루어지며, 상기 모듈은 고객의 요구에 따라서 병렬 접속 및/또는 직렬 접속되고, 각각 진동 피스톤 드라이브가 구비된다.

Description

진동 피스톤 펌프{OSCILLATING PISTON PUMP}
진동 피스톤 펌프는 DE 41 02 710 A1에 공지되어 있다. 상기 진동 피스톤 펌프는 실린더 내에서 전후로 움직이는 피스톤을 구비한다. 상기 피스톤의 구동에는 상기 피스톤을 둘러싼 전자기 매체를 구비하고 있는 선형 드라이브 또는 진동 피스톤 드라이브가 이용된다.
상기 종류의 펌프가 진공 펌프로서 설치된다면, 피스톤 외피 및 실린더에 대해서 적합한 재료가 선택되는 경우에 상기 펌프는 건조상태로, 다시 말해서 미끄럽지 않게, 구동될 수 있다. 크랭크축 드라이브가 상기 피스톤을 위한 드라이브로서 제공되어 있는 피스톤 진공 펌프에서는, 이미 상기 장점이 사용되었다.
진공 펌프의 경우에는, 다양한 최종 압력 및/또는 진공 능력을 가진 펌프에 대한 고객의 요구를 충족하기 위해서, 정해진 펌프 원리에 따라서 여러가지 크기로 - 토출부피(獨:Foerdervolumen), 일단 또는 다단식으로 - 제조되고 제공되는 것이 일반적으로 통용되고 있다. 이러한 펌프 군의 개발 및 제조는 비용이 과도하다.
본 발명은 진동 피스톤 펌프, 특히 진동 피스톤 진공 펌프에 관한 것이며, 상기 종류의 펌프의 구동 방법 및 상기 종류의 펌프 군(獨:Pumpenfamilie)의 제조 방법에 관한 것이다.
도 1 내지 도 4는 본 발명에 따른 펌프의 다양한 실시형태에 대한 도면이며,
도 5 내지 도 7은 본 발명에 따른 펌프의 개별 모듈에 대한 단면도이며,
도 8 내지 도 10은 가능한 변형에 대한 개략도이다.
본 발명의 목적은, 넓은 진공 능력 범위 및/또는 다양한 최종 압력을 가진 펌프 군에 조립하는데 있어서 상기 서술된, 상대적으로 높은 개발 비용 및 제조 비용이 더 이상 요구되지 않는 진동 피스톤 펌프, 특히 진동 피스톤 진공 펌프를 제공하는데 있다.
상기 목적은, 상기의 펌프, 특히 진공 펌프가 몇몇의 동일하게 구성된 진동 피스톤 펌프의 모듈로 이루어지며, 상기 모듈이 고객의 요구에 따라서 병렬 및/또는 직렬 접속되고, 각각 진동 피스톤 드라이브를 구비함으로써 달성된다.
상기 종류의 펌프를 위해서는 피스톤과 선형 드라이브가 구비된 단지 하나의 모듈만을 개발하고 제조하는 것이 요구된다. 상기 종류의 진동 피스톤 펌프에서 개별 모듈이 도달가능한 최종 압력보다 작아야 하는 최종 압력들이 의도된다면, 상기의 모듈의 다수가 직렬로 접속될 수 있다. 진동 피스톤 펌프에서 개별 모듈의 진공 능력보다 큰 진공 능력들이 의도된다면, 상기의 모듈의 다수가 병렬로 접속될 수 있다. 예컨대, 개별 모듈이 1.5 m3/h의 진공 능력을 가지고 있다면, 2개, 3개 또는 4개의 모듈을 병렬 접속함으로써, 3 m3/h, 4.5 m3/h 또는 6 m3/h의 진공 능력을 가진 펌프가 제조될 수 있다. 그 밖의 장점으로서:
- 다양한 최종 압력을 가진 펌프 및 넓은 진공 능력 범위를 위해서 동일한 구성 부품이 사용됨으로써, 생산량이 증가하여 비용 절감이 달성된다;
- 다양하게 변형되어 사용된다: 병렬 접속된 모듈; 직렬 접속된 모듈; 일부는 병렬 접속된 모듈, 일부는 직렬 접속된 모듈;
- 동일한 구성 부품이 다수이기 때문에 예비해야할 부품들에 대한 복잡성이 감소된다;
- 예비 부품 시스템 및 유지 작업이 간소화 된다;
- 까다로운 구조 영역에서 선형-드라이브 기술을 추정(獨:extrapolieren)해야하는 필요성이 포기될 수 있다.
요약하자면, 단지 하나의 모듈에 의하여 다양한 최종 압력 상태 및/또는 다양한 진공 능력을 가진 구성원을 포괄하는 펌프 군이 만들어질 수 있다. 상기 모듈 자체는 상기 군의 구성원이다. 상기 모듈은 최고의 최종 압력 및 최소의 진공 능력을 갖는다.
본 발명의 그 밖의 장점 및 명세는 도 1 내지 도 10에서 개략적으로 도시된 실시예에 의해 상세하게 설명된다.
도 1 내지 도 4에 도시된 실시예에서는 본 발명에 따른 펌프는 도면부호 1로 표시되고, 그 진동 피스톤 펌프-모듈은 도면부호 2로 표시된다. 상기 모듈들은 하나의 강철 기판(獨:Schiene, 3)(도 1, 2, 4) 또는 2개의 강철 기판(4, 5)에 고정되는데, 상기 강철 기판은 한 편으로 지지 기능을 가지며, 다른 한 편으로 상기 강철 기판에는 공통의 유입 채널, 공통의 유출 채널, 중간 채널 또는 전기 라인의 수용부로 이용되는 채널들로서도 사용될 수 있는 채널들이 구비된다.
도 1 및 도 2는 3개의 모듈(2)이 있는 실시형태에 대한 도면이다. 상기 모듈은 상하로 강철 기판(3)에 고정되어 있으며, 상기 강철 기판은 수직으로 배치되고 상기 모듈(2)의 하부로 연장되어 있는 저부(6)가 설치되어 있다. 상기 모듈(2)의 유입부 및 유출부는 각각 그 양 정면 중 한 정면으로 개방되어 있다. 상기 모듈은 상기 정면으로써 강철 기판(3)에 고정된다.
상기 강철 기판(3)에는 길이방향으로 연장된 채널들이 구비된다. 상기 채널 중 한 채널는 상기 모듈(2)의 모든 유입부와 밀봉되어 결합되는 유입 채널을 형성한다. 제 2 채널은 상기 모듈의 모든 유출부와 결합 상태에 있는 유출 채널을 형성한다. 유입 채널 및 유출 채널은 바닥쪽으로 폐쇄되어 있다. 상기 강철 기판(3)의 상부 영역에는 접속 연결부(7, 8)가 구비된다. 상기 유입 채널에 할당된 연결부(7)는 입구(9)를 형성하고, 상기 유출 채널에 할당된 연결부(8)는 본 발명에 따른 펌프(1)의 출구(10)를 형성한다.
도 1 및 도 2에 따른 펌프(1)의 실시예에는 3개의 모듈(2)이 구비된다. 상기 3개의 모듈의 진공 능력은 동일하게 구성된 개별 모듈들의 진공 능력의 합과 일치한다. 다양한 진공 능력을 가진 상기 종류의 펌프(1)가 제조되는 경우에는 상기 모듈(2)의 수량이 그것에 상응하여 변동될 수 있다.
도 3에서는 상기 모듈(2)이 2개의 강철 기판(4, 5)에 고정되어 있는 실시예가 도시된다. 상기 2개의 강철 기판은 공통의 저부(6) 상에서 지지된다. 상기 종류의 실시예의 경우에는 제 1 강철 기판(4)이 유입 채널을 수용하고 제 2 강철 기판(5)이 유출 채널을 수용할 수 있다. 이것은, 상기 모듈(2)의 유입부 및 유출부가 상이한 정면 상에 위치한다는 것을 전제로 한다. 상기 제 2 강철 기판(5)은 출구(10)를 형성하는 접속 연결부(8)를 가진 유출 채널을 포함한다.
도 3에 따른 실시예의 경우에는, 고진공 펌프(12, 터보분자 화합물 펌프, 분자 화합물 펌프와 같은, 예컨대 마찰진공 펌프(獨:Reibungsvakuumpumpe))가 양 모듈(2)에 직렬로 접속된다. 상기 고진공 펌프는 강철 기판(4)에 고정된다. 상기 고진공 펌프의 유출부는 강철 기판(4) 내에 있는 유입 채널과 결합 상태에 있다. 이 경우에 상기 유입 채널은 강철 기판(4)의 양 정면과 연결되어 있다. 상기 고진공 펌프(12)의 유입 연결부(13)는 도 3에 따른 펌프 장치의 입구(9)를 형성한다.
도 3에서는 또한, 다수의 모듈 또는 모든 펌프(2, 12)에 공통적인 전원 공급 유닛, 제어 유닛 및/또는 표시 유닛(14)이 강철 기판(4, 5)에 고정될 수 있는 것이 예시로서 도시된다. 상기 강철 기판(4, 5) 내에 위치하는 채널들에 의해 필요한 라인이 전도될 수 있다. 또한 모든 펌프에 공통적인 전술한 종류의 유닛(14)은 도 1, 도 2 또는 도 4에 따른 펌프(1)의 경우에는 단지 하나의 강철 기판(3)에만 존재할 수 있으며, 상기 강철 기판(3)에 고정될 수 있다. 상기 모듈(2)에 공통적인 제어 유닛(14)은 특히 짝수의 모듈(2)이 구비된 펌프(1)가 떨림없이(獨:vibrationsfrei) 구동될 수 있도록 한다. 그러므로, 본 발명에 따라서 상기 모듈(2)의 피스톤이 한 쌍으로 동일한 주파수로 그리고 서로 반대 방향인이동 방향에 의해 구동될 수 있다.
도 4에서는 마찬가지로 2개의 진동 피스톤 펌프-모듈(2)과 하나의 고진공 펌프(12)를 가진 실시예가 도시된다. 도 3과 상이한 점은, 단지 하나의 강철 기판(3)만이 제공되고, 상기 강철 기판 내에 공통의 유입 채널 및 공통의 유출 채널이 위치한다는 점이다. 상기 유입 채널의 양 면은 폐쇄되어 있다. 상기 고진공 펌프(12)의 유입 연결부는 펌프(1)의 입구(9)를 형성한다. 상기 유출 채널은 상기 펌프(1)의 출구(10)를 형성하고 있는 정면의 유출 연결부(8)로 개방되어 있다. 그 밖에도 도 3과 상이한 점은, 상기 강철 기판(3)이 손잡이(16)를 구비한 이동가능한 하부(15) - 여기서는 일종의 손수레 - 에 의해 지지된다는 점이다. 끝으로 도 4에서는 유닛(14)이 도시되어 있지 않다.
도 5, 도 6 및 도 7에서는 진동 피스톤 펌프-모듈(2)에 대한 실시예의 구조가 개략적으로 도시된다. 도 5와 도 6은 모듈(2)의 서로 수직인 단면도로서, 도 5 는 상기 강철 기판(3)을 측면에서 도시하고(도 5), 도 6은 다른 한 편으로는 종단면으로 도시한다(도 6). 도 7은 도 5 및 도 6의 라인 Ⅶ - Ⅶ의 높이에 따른 모듈(2)의 단면도이다.
도 5 내지 도 7에서는 중앙에 배치된 피스톤이 도면부호 21로서 표시된다. 상기 피스톤(21)은, 중심에서 서로 이격되어 있는 원통 단부(22, 23) 내로 유도된다. 상기 피스톤(21)은 중심에서 영구 자석 링(24)을 지지한다. 상기 링(24)은 고정자(27)의 구성부품인 영구 자석 링(25, 26) 사이에 위치한다. 상기 링(24)과 상기 링(25, 26) 사이의 간격의 합은 피스톤 이동의 크기와 동일하다. 그 밖의 고정자(27)의 구성부품으로는 코일(29)을 포함하고 상기 영구 자석 링(24, 25, 26)에 할당되어 있는 계철부분(28)이 있다.
상기 모듈(2)은 상기 고정자(27)를 둘러싸고 있는 제 1 하우징(31)과 함께 회전 대칭적으로 구성된다. 상기 피스톤(21)의 정면 영역에서 상기 하우징(31)은 압축실(32 및 33)을 형성한다. 상기 압축실(32, 33) 옆으로 각각 가스 유입실(34 내지 35)이 위치한다. 상기 가스 유입실은 원통 단부(22, 33) 내에 있는 유입 홈(36 내지 37)을 통하여 각각의 압축실(32 내지 33)과 연결된다. 피스톤 이동은 상기 유입 홈(36, 37)의 개방 및 폐쇄에 작용한다.
상기 압축실(32, 33)에는, 마찬가지로 피스톤(21)으로 조작되는 각각의 유출 밸브(41 내지 42)가 그 정면에 할당된다. 상기 유출 밸브는 상기 제 1 하우징(31)을 수용하는, 외부 제 2의 하우징(45) 내에 형성된 유출실(43, 44) 내에 위치한다. 상기 종류의 유출 밸브는 단지 DE 196 34 517 A1에만 공지되어 있다. 유연한 또는 유연하게 여닫히는 밸브 판(46)은 피스톤(21)에 의해 조작된다. 도시된 실시예에서, 피스톤(21)의 정면에는, 유연하게 형성되고 유출실(43, 44) 내 중앙에 고정되어 있는 밸브 판(46)의 외부 가장자리를 들어올리는 혹(47)이 구비된다.
특히 도 7에서는 상기 외부 하우징(45)이 그 횡단면에서 약간 타원형으로 형성되어 있다는 것을 알 수 있다. 상기 외부 하우징(45)은 하우징(31) 내에 회전 대칭적으로 구성된 선형 드라이브를 포함한다. 보다 두터운 하우징 벽을 가진 서로 마주 위치하는 영역에서 그 한 면에는 유입 홀(51)이 위치하고, 다른 한 면에는 유출 홀(52)이 위치한다. 상기 유입 홀(51) 및 유출 홀(52)은 피스톤(21)과 평행하게 연장된다. 상기 유입 홀(51)은 측면 홀(53)을 통하여 가스 유입실(34, 35)과 결합 상태에 있다. 상기 유출실(43, 44)은 측면 홀(54)를 통하여 상기 유출 홀(52)과 결합 상태에 있다.
도시된 실시예에서는 상기 양 홀(51, 52)이 상기 모듈(2)의 양 정면 중 한 정면으로 개방되어 있으며(특히 도 6 참조), 상기 모듈(2)의 유입부(55) 내지 유출부(56)를 형성한다. 상기 정면에는 강철 기판(3)이 할당된다. 상기 강철 기판(3)에는 모듈(2)의 유입부(55)와 밀봉 결합 상태에 있는 유입 채널(57)이 위치한다. 상기 모듈(2)의 유출부(56)의 높이에 강철 기판(3)의 유출 채널(58)이 위치하는데, 상기 유출부는 - 상세하게 도시되지 않은 수단, 예컨대 기계적인 수단 또는 접착제에 의해 - 밀봉되어 서로 결합되어 있다. 도 7에서 유입 채널(57) 및 유출 채널(58)은 점선으로 표시되어 있다.
강철 기판(3)에 있는 그 밖의 채널들(59)이 도 6에 도시되어 있다. 상기 채널들은 전기 라인의 수용부로 이용되는데, 예컨대 선형 드라이브의 전원 공급에 이용된다. 또한 상기 모듈(2)과 - 존재하는 경우에 - 고진공 펌프(12)와 공통의 전원 공급 유닛, 표시 유닛 및 제어 유닛(도 3)과의 결합이 상기 그 밖의 채널들에 의해 수행될 수 있다.
도 8 내지 도 10은 상기 모듈(2)의 회로와 관련하여 가능한 변형예들을 도시한다.
도 8a, 도 8b에 따른 해결책의 경우에는 모든 모듈(2)이 병렬 접속되어 있다. 이것은, 2단으로 형성되어 있는 경우라면(도 5, 도6), 합당하게도 하나의 모듈(2)에 존재하는 다수의 단에도 해당된다. 상기 모듈(2)의 유입부(55)는 그 정면에서 상기 강철 기판(3)에 있는 공통의 유입 채널(57)로 개방된다(도 8b). 상기 유출부(56)는 공통의 유출 채널(58)로 개방된다.
도 9a, 9b에 따른 실시예에서는 모든 모듈(2)이 차례로(직렬로) 접속되어 있는데, DE 199 17 560.8 에 기술되어 있는 바와 같이, 예컨대 모듈(2) 내에 존재하는 다수의 단이 직렬 접속되어 있다. 상기 강철 기판(3)에 있는 유입 채널(57)은(도 9b) 단지 제 1 모듈(2)의 유입부(55)까지만 도달된다. 중간 채널(61)은 모듈(2)의 유출부(56)와 다음 모듈(2)의 유입부(55)를 각각 결합시킨다. 마지막 모듈(2)의 유출부(56)는, 예컨대 강철 기판(3)에 별도로(또한 도 5 참조, 점선으로 보충) 제공되어 있는 유출 채널(58')과 결합 상태에 있다
도 10a, 10b에 따른 해결책의 경우에는, 첫번째 2개의 모듈(2)이 병렬 접속되어 있고, 그 밖의 2개의 모듈(2)은 직렬 접속되어 있다(도 10a). 강철 기판(3)에 있는, 상기 부속하는 채널들(57, 58, 58', 61)은 도 10b에 도시된다.
이제까지 설명된 본 발명에 따른 펌프(1)의 모듈(2)은 피스톤(21)의 양 정면에 압축실(32, 33)을 구비한다. 본 발명의 테두리 내에서는 단지 하나의 압축실 내지는 2개 이상의 압축실을 가진 모듈도 사용될 수 있다. 상기 2개 이상의 압축실을 가진 모듈은 EP 607 687 A2에 공지되어 있다. 물론, 상기 문서에 기술되어 있는 피스톤 펌프에는 크랭크축 드라이브가 구비되어 있다.

Claims (18)

  1. 진동 피스톤 펌프(1), 특히 진동 피스톤 진공 펌프에 있어서,
    상기 펌프가 고객의 요구에 따라서 병렬 접속 및/또는 직렬 접속되어 있고 각각 진동 피스톤 드라이브가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 진동 피스톤 펌프.
  2. 제 1 항에 있어서,
    진동 피스톤 펌프-모듈(2)이 공통으로 하나의 강철 기판(3)에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 진동 피스톤 펌프.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 진동 피스톤 펌프-모듈(2)의 유입부 및 유출부(55, 56)가 그 양 정면 중 한 정면의 영역에 위치하고, 상기 모듈(2)은 상기 정면에 의해 상기 강철 기판(3)에 고정되고, 병렬 접속된 모듈(2)의 경우에는 상기 강철 기판 내에 공통의 유입 채널(57) 및 공통의 유출 채널(58)이 각각 위치하고, 상기 유입 채널의 구멍이 상기 펌프(1)의 입구(9)를 형성하고 상기 유출 채널의 구멍이 상기 펌프(1)의 출구(10)를 형성하는 것을 특징으로 하는 진동 피스톤 펌프.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 강철 기판(3)에는 직렬 접속된 모듈(2)의 경우에 모듈(2)의 유출부(56)를 다음 모듈(2)의 유입부(55)와 연결시키는 중간 채널(61)이 존재하는 것을 특징으로 하는 진동 피스톤 펌프.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 진동 피스톤 펌프-모듈(2)의 정면 중 한 정면에 유입부(55)가 각각 구비되고 다른 정면에는 유출부(56)가 구비되며, 그리고 2개의 강철 기판(4, 5)이 존재하고, 상기 2개의 강철 기판 중 한 강철 기판에 공통의 유입 채널(57)이 구비되고 다른 한 강철 기판에는 공통의 유출 채널(58)이 구비되는 것을 특징으로 하는 진동 피스톤 펌프.
  6. 제 2 항, 제 3 항, 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,
    상기 강철 기판(들)(3, 4, 5)이 지지 기능을 갖는 것을 특징으로 하는 진동 피스톤 펌프.
  7. 제 2 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 강철 기판(들)(3, 4, 5)이 프레임, 차량의 구성 요소(15, 16) 또는 그와 같은 것들인 것을 특징으로 하는 진동 피스톤 펌프.
  8. 제 2 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 강철 기판(들)(3, 4, 5)에는 전기 라인의 수용부로 이용되는 그 밖의 채널들(59)이 구비되는 것을 특징으로 하는 진동 피스톤 펌프.
  9. 제 2 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 강철 기판(들)(3, 4, 5)이 압출성형물로부터 형성되는 것을 특징으로 하는 진동 피스톤 펌프.
  10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 모듈(2) 내에 2개 또는 그 이상의 펌프 단(獨:Pumpstufen)이 있으며, 상기 펌프 단은 고객의 요구에 따라서 병렬 접속 또는 직렬 접속되는 것을 특징으로 하는 진동 피스톤 펌프.
  11. 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 진동 피스톤 펌프(1)에는 고진공 펌프(12)가 직렬 접속되어 있고, 상기 고진공 펌프(12)의 유입부가 펌프 장치의 유입부(9)를 형성하는 것을 특징으로 하는 진동 피스톤 펌프.
  12. 제 10 항 및 제 2 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 고진공 펌프(12)가 마찬가지로 상기 강철 기판(3) 내지는 상기 강철 기판(4, 5) 중 어느 하나의 강철 기판에 고정되는 것을 특징으로 하는 진동 피스톤펌프.
  13. 제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 진동 피스톤 펌프(1) 및 경우에 따라서 존재하는 고진공 펌프(12)의 모든 모듈(2)에는 공통의 전원 공급 유닛, 표시 유닛 및/또는 제어 유닛(14)이 구비되는 것을 특징으로 하는 진동 피스톤 펌프.
  14. 제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 모듈(2)에는 외부 하우징(45)이 구비되고, 상기 외부 하우징 내에 상기 피스톤(21)과 평행하게 연장되는 홀(51, 52)이 위치하며, 상기 홀 중 하나의 홀이 유입 홀을 형성하고 다른 한 홀은 유출 홀을 형성하는 것을 특징으로 하는 진동 피스톤 펌프.
  15. 제 12 항에 있어서,
    상기 외부 하우징(45)은 타원형으로 형성되며, 상기 홀(51, 52)이 보다 두터운 벽두께를 가진 영역에 각각 위치하는 것을 특징으로 하는 진동 피스톤 펌프.
  16. 제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 따른 펌프(1)의 구동 방법으로서,
    상기 개별 모듈(2)의 선형 드라이브는, 상기 펌프 모듈(2)의 진동 피스톤(21)이 한 쌍으로 서로 반대 방향으로 이동가능하도록, 제어되는 것을 특징으로 하는 구동 방법.
  17. 다양한 진공 능력을 가진 진동 피스톤 펌프, 특히 진동 피스톤 진공 펌프의 제조 방법으로서, 다수의 동일하게 구성된 진동 피스톤 펌프-모듈(2)이 병렬 접속 및/또는 직렬 접속되고, 상기 병렬 접속 및/또는 직렬 접속된 모듈의 수량은, 상기 모듈들의 진공 능력의 합이 그 의도하는 진공 능력에 상응하도록 내지는 상기 최종 압력이 그 의도하는 최종 압력에 상응하도록, 선택되는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 모듈들은 서로 나란하게 또는 상하로 공통의 강철 기판(3) 또는 2개의 강철 기판(4, 5)에 조립되며, 상기 모듈(2)의 유입 개구(55)는 공통의 유입 채널(57)과 밀봉 결합되고 상기 모듈(2)의 유출 개구(56)는 공통의 유출 채널(58)과 밀봉 결합되는 것을 특징으로 하는 방법.
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