KR20020090431A - a device for conveying a substrate for a liquid crystal display - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 액정 표시 장치용 기판 반송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer device for a liquid crystal display device.
액정 표시 장치는 현재 가장 널리 사용되고 있는 평판 표시 장치 중 하나로서, 전극이 형성되어 있는 두 장의 기판과 그 사이에 삽입되어 있는 액정층으로 이루어져, 전극에 전압을 인가하여 액정층의 액정 분자들을 재배열시킴으로써 투과되는 빛의 양을 조절하는 표시 장치이다.The liquid crystal display is one of the most widely used flat panel display devices. The liquid crystal display includes two substrates on which electrodes are formed and a liquid crystal layer interposed therebetween, and rearranges the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer by applying a voltage to the electrode. By controlling the amount of light transmitted.
이러한 액정 표시 장치 중에서도 현재 주로 사용되는 것은 두 기판에 전극이 각각 형성되어 있고 전극에 인가되는 전압을 스위칭하는 박막 트랜지스터를 가지고 있는 액정 표시 장치이며, 박막 트랜지스터는 두 기판 중 하나에 형성되어 있는 것이 일반적이다.Among the liquid crystal display devices, a liquid crystal display device having a thin film transistor for forming an electrode on each of two substrates and switching a voltage applied to the electrode is generally used. The thin film transistor is generally formed on one of two substrates. to be.
이러한 액정 표시 장치의 제조 공정에서 두 기판은 박막 공정, 사진 공정, 식각 공정 등을 경험하면서 기판의 상부에는 박막 패턴이 형성되며, 각각의 기판은 반송 장치의 지지를 받아 이동하면서 두 기판은 서로 결합되어 액정 패널이 완성된다.In the manufacturing process of the liquid crystal display, the two substrates experience a thin film process, a photo process, an etching process, and the like, and a thin film pattern is formed on the upper part of the substrate. The liquid crystal panel is completed.
여기서, 반송 장치는 기판의 중앙부를 지지하는 센터 롤(center roll), 기판의 가장자리 부분을 지지하는 가이드 롤(guide roll) 및 각각의 롤 중심에 삽입되어 롤을 지지하는 샤프트(shaft)를 포함한다. 이때, 기판을 반송하는 동안에 기판이 비틀어지는 것을 방지하기 위해 기판의 가장자리 부분을 지지하는 가이드 롤을 경사면을 가지도록 형성하였다. 또한, 기판의 하부만 롤과 접하도록 하여 기판을 반송할 수 있지만, 기판을 반송하는 동시에 세정 공정을 진행하거나 고압의 샤워(shower) 공정을 진행하는 경우에는 기판 반송에 장애가 발생하게 되는데, 이를 방지하기 가이드 롤을 기판의 상부에 배치하여 기판을 서로 마주하는 가이드 롤에 맞물리도록 하여 기판을 반송하였다.Here, the conveying apparatus includes a center roll supporting a center portion of the substrate, a guide roll supporting an edge portion of the substrate, and a shaft inserted in each roll center to support the roll. . At this time, in order to prevent a board | substrate from twisting during conveyance of a board | substrate, the guide roll which supports the edge part of a board | substrate was formed so that it may have an inclined surface. In addition, although the substrate can be transported by bringing only the lower portion of the substrate into contact with the rolls, when the substrate is transported and the cleaning process or the high pressure shower process is performed, the substrate transfer may be interrupted. The board | substrate was conveyed by arrange | positioning the following guide roll on the upper part of a board | substrate, and engaging a board | substrate with the guide roll facing each other.
그러나, 이러한 반송 장치를 이용하여 기판을 반송할 때, 기판이 비틀어지는 경우에 가이드 롤에 경사면을 이용하여 기판을 정렬하더라도 기판은 기판의 상부 및 하부에 위치하는 가이드 롤에 맞물려 있어 기판의 정렬이 정밀하게 이루어지지 않게 되며, 이로 인하여 가이드 롤 사이에서 맞물려 있는 기판이 가이드 롤의 경사면에 의해 깨지는 문제점이 발생한다.However, when conveying a substrate using such a conveying apparatus, even when the substrate is twisted, even if the substrate is aligned using the inclined surface on the guide roll, the substrate is engaged with the guide rolls positioned at the upper and lower portions of the substrate, so that the alignment of the substrate It is not made precisely, which causes a problem that the substrate engaged between the guide rolls are broken by the inclined surface of the guide roll.
본 발명의 과제는 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판을 반송할 때 기판을 정렬할 수 있는 동시에 기판이 깨지는 것을 방지할 수 있는 기판 반송 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve such a problem, and to provide a substrate transfer apparatus capable of aligning the substrates while carrying the substrates and preventing the substrates from breaking.
도 1a 및 1b는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 기판 반송 장치의 구조를 개략적으로 도시한 구성도이고,1A and 1B are diagrams schematically showing the structure of a substrate transport apparatus for a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention;
도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치용 기판 반송 장치의 구조를 개략적으로 도시한 구성이다.2 is a configuration schematically showing the structure of a substrate transfer device for a liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention.
이러한 과제를 이루기 위하여 본 발명에 따른 반송 장치에는 기판의 측면부를 지지하는 측면 가이드 롤이 추가로 형성되어 있다.In order to achieve such a subject, the conveying apparatus which concerns on this invention is further provided with the side guide roll which supports the side part of a board | substrate.
그러면, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명에 따른 액정 표시 장치용 기판 반송 장치의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE EMBODIMENTS Hereinafter, exemplary embodiments of a substrate transport apparatus for a liquid crystal display device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention.
도 1a 및 도 1b는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 기판 반송 장치의 구성을 도시한 구성도이다. 여기서, 도 1b는 도 1a에서 B부분을 확대하여 도시한 도면이다.1A and 1B are diagrams showing the configuration of a substrate transfer apparatus for a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention. 1B is an enlarged view of a portion B in FIG. 1A.
도 1a 및 도 1b에서 보는 바와 같이 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 기판 반송 장치는 액정 표시 장치용 기판(10)을 반송하기 위해 기판(10) 하부면의 중앙부를 지지하는 중앙 롤(21), 중앙 롤(21)의 양쪽에 위치하며 기판(10) 하부면의 양쪽을 지지하는 하부 가이드 롤(22) 및 중앙 롤(21)과 하부 가이드 롤(22)을 지지하는 하부 반송 샤프트(30)를 포함한다. 또한, 기판(10)의 양측에서 위치하며, 기판(10)이 비틀어지는 것을 방지하여 반송시 기판(10)을 정렬하는 정렬용 롤(41) 및 각각의 정렬용 롤(41)을 지지하는 정렬용 샤프트(42)를 포함한다. 이때, 도 1b에서 보는 바와 같이, 정렬용 롤(41)은 기판(10)이 원활하게 정렬될 수있도록 홈(411)을 가질 수 있다.As shown in FIG. 1A and FIG. 1B, the substrate conveyance apparatus for a liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention has a center for supporting a central portion of the lower surface of the substrate 10 to convey the substrate 10 for liquid crystal display devices. Lower guide rolls 22 which are located on both sides of the roll 21, the center roll 21, and support both sides of the lower surface of the substrate 10, and the lower conveyance which supports the center roll 21 and the lower guide roll 22. And a shaft 30. In addition, located on both sides of the substrate 10, the alignment roll 41 for aligning the substrate 10 during conveyance by preventing the substrate 10 from twisting, and the alignment for supporting each alignment roll 41 For the shaft 42. At this time, as shown in Figure 1b, the alignment roll 41 may have a groove 411 so that the substrate 10 can be smoothly aligned.
또한, 기판(10)을 반송할 때, 세정 공정을 진행하거나 고압의 샤워 공정을 진행하는 경우에는 기판(10) 반송에 장애가 발생하게 되는데, 이를 방지하기 위해 도 가이드 롤 및 이를 지지하는 반송 샤프트를 기판(10)의 상부면에 설치할 수 있다. 도 2를 참조하여 구체적으로 설명하기로 한다.In addition, when the substrate 10 is transported, when the cleaning process or the high-pressure shower process is performed, an obstacle occurs in conveying the substrate 10. In order to prevent this, the guide roll and the conveying shaft supporting the substrate 10 are prevented. The upper surface of the substrate 10 can be installed. This will be described in detail with reference to FIG. 2.
대부분의 구조는 도 1a 및 도 1b와 동일하다.Most of the structure is the same as in FIGS. 1A and 1B.
하지만, 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치용 기판 반송 장치는 기판(10)의 하부면과 마주하는 상부면을 양쪽을 지지하는 상부 가이드 롤(25)과 상부 가이드 롤(25)을 지지하며 하부 반송 샤프트(30)와 평행하게 배치되어 있는 상부 반송 샤프트(50)를 포함한다. 이러한 구조에서는 기판(10)이 서로 마주하는 상부 및 하부 가이드 롤(25, 22)에 맞물려 있어 강제적으로 반송이 이루어진다.However, the substrate transport apparatus for the liquid crystal display according to the second exemplary embodiment of the present invention uses the upper guide roll 25 and the upper guide roll 25 to support both of the upper surfaces facing the lower surface of the substrate 10. And an upper conveying shaft 50 which is supported and arranged in parallel with the lower conveying shaft 30. In such a structure, the board | substrate 10 engages with the upper and lower guide rolls 25 and 22 which face each other, and is forcibly conveyed.
이러한 구조의 반송 장치를 이용하는 기판을 반송할 때 기판(10)과 접하는 상부 및 하부 가이드 롤(22, 25)은 경사면을 가지고 있지 않아 오정렬이 발생하더라도 기판(10)은 깨지지 않게 되며, 오정렬이 발생하는 경우에는 정렬용 롤(41)에 의해 정렬된다.The upper and lower guide rolls 22 and 25 in contact with the substrate 10 do not have an inclined surface when conveying the substrate using the conveying apparatus having such a structure, so that the substrate 10 is not broken even when misalignment occurs, and misalignment occurs. In this case, alignment is performed by the alignment roll 41.
도면에서는 하부 반송 샤프트(30) 또는 이와 마주하는 상부 반송 샤프트(50)만을 도시하였지만, 실제로는 다수의 샤프트가 평행하게 배치되어 기판을 지지하면서 기판을 반송시킨다.Although only the lower conveyance shaft 30 or the upper conveyance shaft 50 which faced this was shown in figure, in fact, many shafts are arrange | positioned in parallel and convey a board | substrate, supporting a board | substrate.
따라서, 앞에서 언급한 바와 같이, 본 발명에 따른 반송 장치에는 기판의 측면을 지지하는 정렬용 롤이 있어 기판 반송시 기판이 비틀어지는 것을 방지하는 동시에 기판이 깨지는 것을 방지할 수 있다.Therefore, as mentioned above, the conveying apparatus according to the present invention has an alignment roll for supporting the side surface of the substrate to prevent the substrate from being twisted at the time of conveying the substrate and at the same time prevent the substrate from being broken.
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