KR20020088713A - Wafer cassette - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 웨이퍼 카세트(Wafer Cassette)에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 다수매의 웨이퍼를 적재하여 이송하기 위한 카세트에 관한 것이다.The present invention relates to a wafer cassette. More specifically, the present invention relates to a cassette for loading and transporting a plurality of wafers.
근래에 정보 통신 분야의 급속한 발달과 컴퓨터와 같은 정보 매체가 널리 보급에 따라 반도체 장치도 비약적으로 발전하고 있다. 그 기능면에 있어서, 상기 반도체 장치는 고속으로 동작하는 동시에 대용량의 저장 능력을 가질 것이 요구된다. 이에 따라, 상기 반도체 장치는 집적도, 신뢰도 및 응답 속도 등을 향상시키는 방향으로 제조 기술이 발전되고 있다.In recent years, with the rapid development of the information communication field and the widespread use of information media such as computers, semiconductor devices are also rapidly developing. In terms of its function, the semiconductor device is required to operate at a high speed and to have a large storage capacity. Accordingly, the manufacturing technology of the semiconductor device has been developed to improve the degree of integration, reliability, and response speed.
상기 반도체 장치는 일반적으로 웨이퍼 표면상에 막 형성, 패턴 형성, 금속 배선 형성 등을 위한 일련의 단위 공정들을 순차적으로 수행함으로서 제조된다. 상기 웨이퍼는 각각의 단위 공정을 위한 장비들 사이에서 이송을 반복하게 된다. 이때, 통상적으로 상기 웨이퍼는 개별 단위로 가공되지 않고, 25개 정도의 로트 단위로 가공된다.The semiconductor device is generally manufactured by sequentially performing a series of unit processes for film formation, pattern formation, metal wiring formation, and the like on a wafer surface. The wafer repeats the transfer between the equipment for each unit process. In this case, typically, the wafer is not processed in individual units, but in about 25 lot units.
상기 웨이퍼들은 운송 효율의 측면을 고려하고, 상기 웨이퍼의 오염을 방지하기 위해 각각의 단위 공정을 위한 장비들 사이에서 다수매의 웨이퍼들을 웨이퍼 카세트에 적재하여 이송된다. 또한 각각의 단위 공정들 사이에서 상기 웨이퍼의 검사를 위해 소정의 계측 장비로 이송되는 경우에도 상기 웨이퍼들은 웨이퍼 카세트에 적재된 상태에서 이송된다. 이때, 한 장의 웨이퍼를 이송하는 경우에도 작업자와의 신체적 접촉에 의한 오염을 방지하기 위해 웨이퍼 카세트에 적재하여 이송한다.The wafers are transported by loading a plurality of wafers into a wafer cassette between the equipment for each unit process in consideration of transportation efficiency and preventing contamination of the wafers. In addition, the wafers are transferred in a wafer cassette even when the wafers are transferred to predetermined measurement equipment for inspection of the wafers between respective unit processes. At this time, even in the case of transferring a single wafer, in order to prevent contamination due to physical contact with an operator, the wafer is loaded in a wafer cassette.
일반적으로 상기 웨이퍼 카세트는 다수매의 웨이퍼를 각각 분리하여 적재하기 위한 슬롯(Slot)들을 내부에 구비한다. 상기 슬롯들에 각각 적재되는 상기 다수매의 웨이퍼들은 상기 공정 장비 또는 계측 장비로 이송되고, 상기 웨이퍼들은 순차적으로 혹은 선택적으로 작업이 진행된다.In general, the wafer cassette has slots therein for separating and stacking a plurality of wafers, respectively. The plurality of wafers, each loaded in the slots, are transferred to the process equipment or metrology equipment, and the wafers are processed sequentially or selectively.
다수매의 웨이퍼들을 적재한 웨이퍼 카세트가 해당 공정 장비 또는 계측 장비로 이송되면, 작업자는 상기 웨이퍼 카세트를 상기 공정 장비 또는 계측 장비에 구비되는 카세트 스테이션으로 안착시키고, 공정을 수행하거나 계측 작업을 수행한다.When a wafer cassette carrying a plurality of wafers is transferred to a corresponding process equipment or measuring equipment, an operator seats the wafer cassette at a cassette station provided in the processing equipment or measuring equipment, and performs a process or performs a measuring operation. .
상기 공정이 수행되면 상기 공정 장비의 내부에 구비되는 이송 로봇에 의해 낱장의 웨이퍼가 장비 내부로 이송되고, 작업이 종료된 후 반대로 상기 이송 로봇에 의해 상기 웨이퍼가 웨이퍼 카세트의 내부로 이송된다.When the process is performed, a single wafer is transferred into the equipment by a transfer robot provided in the process equipment. On the contrary, after the work is completed, the wafer is transferred into the wafer cassette by the transfer robot.
이때, 상기 웨이퍼의 표면을 가공하기 위한 단위 공정을 수행하는 경우에는 상기 웨이퍼 카세트의 각 슬롯들에 모두 상기 웨이퍼가 적재되지만, 일반적으로 계측을 위한 장비로 이송되는 경우에는 일부 슬롯들에만 상기 웨이퍼가 적재된다. 이러한 경우 상기 웨이퍼들이 적재되어 있는 슬롯들을 작업자가 직접 확인하고, 작업을 수행해야 한다. 그러나 작업자가 현장에서 작업을 하는 경우 상기 웨이퍼가 삽입되어 있는 슬롯 번호를 여러 번 반복해서 확인하는 경우가 발생하고, 이에 따른 작업의 효율이 저하되는 문제점이 있다.In this case, when the unit process for processing the surface of the wafer is performed, the wafer is loaded in each slot of the wafer cassette, but in general, when the wafer is transferred to the measuring equipment, the wafer is only in some slots. Is loaded. In this case, the operator must directly check the slots in which the wafers are loaded and perform a work. However, when a worker works in the field, a case of repeatedly checking the slot number into which the wafer is inserted may occur several times, resulting in a decrease in efficiency of the work.
또한, 상기 카세트에 표기되어 있는 슬롯 번호는 그 크기가 매우 작아 육안으로 식별하기가 용이하지 않다. 또한 상기 슬롯 번호는 5단위 또는 10단위로 표기되어 작업자가 슬롯 번호를 인식하기가 매우 힘들기 때문에 작업의 효율이 저하된다.In addition, the slot number marked on the cassette is so small that it is not easy to visually identify. In addition, the slot number is represented by 5 units or 10 units, so that it is very difficult for an operator to recognize the slot number, thereby reducing work efficiency.
상기 웨이퍼가 적재되어 있는 상기 카세트의 슬롯 번호를 잘못 인식하는 경우에는 작업자의 작업 오류로 인해 상기 웨이퍼의 로딩과 언로딩 작업 도중 상기 웨이퍼가 파손되는 현상이 발생하게 되고, 상기 웨이퍼의 파손으로 인한 파티클의 발생은 다른 웨이퍼들에도 영향을 준다.When the slot number of the cassette on which the wafer is loaded is incorrectly recognized, a phenomenon in which the wafer is broken during loading and unloading of the wafer may occur due to an operator's work error, and particles due to breakage of the wafer may occur. The occurrence of also affects other wafers.
상기 웨이퍼들을 적재하여 이송하는 웨이퍼 카세트에 대한 일 예가 미합중국 특허 제5,472,099호(Terashima et al.)와 미합중국 특허 제5,782,362호(Ohori et al.)에 개시되어 있다.An example of a wafer cassette for loading and transporting the wafers is disclosed in Terashima et al. And US Patent No. 5,782,362 (Ohori et al.).
도 1은 종래의 웨이퍼 카세트를 설명하기 위한 개략 사시도이다.1 is a schematic perspective view for explaining a conventional wafer cassette.
도 1를 참조하면, 상기 웨이퍼 카세트(10)는 일측면이 개방되어 있는 박스 형태를 가진다. 또한 상기 웨이퍼 카세트(10)의 내부에는 다수매의 웨이퍼들을 분리하여 각각 적재하기 위한 슬롯(20)들이 구비되고, 상기 슬롯(20)들에 웨이퍼들이 적재된다. 상기 개방되어 있는 일측면의 양측단부에는 상기 웨이퍼(도시되지 않음)들의 번호를 인식할 수 있도록 상기 슬롯(20)에 대응되는 슬롯 번호(30)가 표기되어 있다. 상기 슬롯 번호는 5단위로 표기되어 있다.Referring to FIG. 1, the wafer cassette 10 has a box shape in which one side is open. In addition, slots 20 are provided in the wafer cassette 10 to separate and load a plurality of wafers, respectively, and wafers are loaded in the slots 20. Slot numbers 30 corresponding to the slots 20 are marked at both ends of the open one side so as to recognize the numbers of the wafers (not shown). The slot number is indicated by 5 units.
상기 웨이퍼 카세트(10)의 개방되어 있는 일측면과 대향하는 타측면에는 바 형태의 돌출부(40)가 평행하게 구비되고, 상기 개방되어 있는 일측면과 상기 슬롯(20)들이 구비되는 측면의 수직 방향을 구비되는 상기 웨이퍼 카세트(10)의 외측면에는 상기 웨이퍼 카세트(10)를 파지하기 위한 손잡이(50)가 구비된다.On the other side of the wafer cassette 10 opposite to the open side, a bar-shaped protrusion 40 is provided in parallel, and a vertical direction of the open side and the side in which the slots 20 are provided. The outer surface of the wafer cassette 10 is provided with a handle 50 for holding the wafer cassette 10 is provided.
상기 웨이퍼 카세트(10)가 각각의 장비에 로딩되는 경우 상기 웨이퍼 카세트(10)의 손잡이(50)에 의해 파지되어 상기 개방된 일측면이 계측 장비의 입구와 대면하도록 로딩되고, 상기 장비의 내부에 구비되는 이송 로봇에 의해 상기 웨이퍼가 장비 내부로 로딩된다. 따라서 작업을 개시하기 전에 로딩되어 있는 상기 웨이퍼 카세트(10)에 적재된 웨이퍼의 슬롯 번호(30)를 재확인하려면 로딩되어 있는 웨이퍼 카세트(10)의 슬롯 번호(30)가 표기된 면을 작업자가 볼 수 있도록 상기 웨이퍼 카세트를 회전시키거나 상기 로딩 상태에서 이탈시켜야 한다.When the wafer cassette 10 is loaded into each piece of equipment, the wafer cassette 10 is gripped by the handle 50 of the wafer cassette 10 so that the open one side is loaded to face the inlet of the measuring equipment. The wafer is loaded into the equipment by a transfer robot provided. Therefore, in order to reconfirm the slot number 30 of the wafer loaded in the wafer cassette 10 loaded before starting work, the operator can see the surface on which the slot number 30 of the loaded wafer cassette 10 is indicated. The wafer cassette must be rotated or released from the loading state so that it can be rotated.
따라서, 상기 웨이퍼 카세트에 적재된 웨이퍼를 검사하거나 가공하는 경우, 작업자의 작업 부담의 증가와 작업 효율의 감소를 초래한다. 또한 작업자의 오류에 의해 상기 슬롯 번호를 잘못 인식하는 경우 상기 웨이퍼의 파손과 그에 따른 파티클의 발생으로 인한 다른 웨이퍼들의 오염에 대한 문제점이 발생한다.Therefore, when inspecting or processing the wafers loaded on the wafer cassettes, an increase in the work load of the operator and a decrease in the work efficiency are caused. In addition, when the slot number is incorrectly recognized by an error of an operator, a problem arises regarding contamination of other wafers due to breakage of the wafer and consequent generation of particles.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 웨이퍼 카세트에 적재된 웨이퍼들을 식별하기 위한 식별부를 구비하는 웨이퍼 카세트를 제공하는데 있다.An object of the present invention for solving the above problems is to provide a wafer cassette having an identification unit for identifying the wafers loaded on the wafer cassette.
도 1은 종래의 웨이퍼 카세트를 설명하기 위한 개략 사시도이다.1 is a schematic perspective view for explaining a conventional wafer cassette.
도 2a는 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트를 설명하기 위한 개략 사시도이다.2A is a schematic perspective view for explaining a wafer cassette according to the present invention.
도 2b는 도 2a에서 도시한 A부분을 확대한 도면이다.FIG. 2B is an enlarged view of a portion A shown in FIG. 2A.
도 2c는 도 2a에서 도시한 B부분을 확대한 도면이다.FIG. 2C is an enlarged view of a portion B shown in FIG. 2A.
도 3은 도 2a에 도시한 웨이퍼 카세트가 공정 장비에 로딩된 상태를 설명하기 위한 개략 사시도이다.FIG. 3 is a schematic perspective view for explaining a state in which the wafer cassette shown in FIG. 2A is loaded in the process equipment.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
10, 100 : 웨이퍼 카세트 20, 130 : 슬롯10, 100: wafer cassette 20, 130: slot
30, 150, 160 : 슬롯 번호 50, 140 : 손잡이30, 150, 160: slot number 50, 140: handle
110 : 본체 170 : 라인110: body 170: line
200 : 계측 장비200: measuring equipment
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 적재된 웨이퍼들을 용이하게 식별할 수 있는 식별부를 구비하는 웨이퍼 카세트를 제공한다.The present invention for achieving the above object provides a wafer cassette having an identification unit that can easily identify the loaded wafers.
상기 웨이퍼 카세트는 일측면이 개방되고, 다수개의 웨이퍼를 수용하는 본체와 상기 본체의 양쪽 내측면에 상기 개방되어 있는 일측면에서 타측면으로 향하는 방향으로 평행하게 설치되고, 상기 웨이퍼들을 각각 분리하여 적재하기 위한 슬롯들을 구비한다.The wafer cassette has one side open, a main body accommodating a plurality of wafers, and are installed on both inner sides of the main body in parallel in a direction from the open side to the other side, and the wafers are separated and stacked. Slots for the purpose of
또한, 상기 웨이퍼 카세트는 상기 개방되어 있는 일측면과 상기 슬롯들이 구비되는 측면과 수직하는 외측면에 설치되어 상기 본체를 파지하기 위한 손잡이부를 구비한다.In addition, the wafer cassette is provided on one side of the open side and the outer side of the vertical perpendicular to the side provided with the slot is provided with a handle for holding the main body.
상기 웨이퍼 카세트는 상기 개방되어 있는 일측면의 양측단부에 표기되고, 상기 슬롯들에 적재되는 상기 웨이퍼들의 번호를 식별하기 위해 상기 각각의 슬롯들에 대응되는 슬롯 번호가 모두 표기되는 제1 식별부와 상기 슬롯들이 구비되는 양쪽 내측면에 대향하는 양쪽 측면에 모두 표기되고, 상기 슬롯들에 적재되는 상기 웨이퍼들의 번호를 식별하기 위해 상기 각각의 슬롯들에 대응되는 슬롯 번호가 모두 표기되는 제2 식별부를 구비한다. 또한, 상기 웨이퍼 카세트는 상기 각각의 슬롯들을 구분하고, 상기 제1 식별부로부터 제2 식별부로 연장되는 라인들을 구비한다. 상기 제2 식별부가 구비되는 양쪽 측면은 내부를 확인할 수 있는 투명한 재질로 구성된다.The wafer cassette may be marked at both ends of the open side, and may include a first identification part in which slot numbers corresponding to the respective slots are all marked to identify the numbers of the wafers loaded in the slots. A second identification part which is marked on both sides opposite to both inner surfaces of the slots, and in which slot numbers corresponding to the respective slots are marked to identify the numbers of the wafers loaded in the slots. Equipped. The wafer cassette also distinguishes the respective slots and has lines extending from the first identification portion to the second identification portion. Both sides of the second identification unit is provided with a transparent material that can be confirmed inside.
상기 웨이퍼의 검사를 위한 계측 공정을 수행하는 경우 상기 웨이퍼는 상기 웨이퍼 카세트에 일부 슬롯에만 적재되어 상기 계측 공정을 수행하기 위한 계측 장비로 이송된다. 작업자는 상기 웨이퍼가 적재되는 웨이퍼 카세트의 슬롯 번호를 식별한 후 상기 계측 장비에 구비되는 카세트 스테이션에 상기 웨이퍼 카세트를 로딩하게 된다.In the case of performing the measurement process for inspecting the wafer, the wafer is loaded only in some slots in the wafer cassette and transferred to the measurement equipment for performing the measurement process. After identifying the slot number of the wafer cassette on which the wafer is loaded, the operator loads the wafer cassette into the cassette station provided in the measurement equipment.
이때, 작업자는 상기 개방되어 있는 웨이퍼 카세트의 일측면의 양측단부에 구비되는 제1 식별부와 상기 슬롯들을 구분하는 라인에 의해 용이하게 슬롯 번호를 식별할 수 있다. 또한 상기 카세트 스테이션에 로딩된 후, 상기 웨이퍼의 슬롯 번호를 재확인할 경우, 상기 투명한 양쪽 측면 부위를 통해 본체 내부를 육안으로 확인하고, 상기 제2 식별부와 상기 슬롯들을 구분하는 라인에 의해 용이하게 상기 웨이퍼의 슬롯 번호를 식별할 수 있다.At this time, the operator can easily identify the slot number by a line separating the slots and the first identification portion provided on both sides of one side of the open wafer cassette. In addition, when the slot number of the wafer is reconfirmed after being loaded into the cassette station, the inside of the main body is visually confirmed through both sides of the transparent side, and the line is easily separated by a line separating the second identification unit and the slots. The slot number of the wafer can be identified.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2a는 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트를 설명하기 위한 개략 사시도이다.2A is a schematic perspective view for explaining a wafer cassette according to the present invention.
도 2b는 도 2a에서 도시한 A부분을 확대한 도면이다.FIG. 2B is an enlarged view of a portion A shown in FIG. 2A.
도 2c는 도 2a에서 도시한 B부분을 확대한 도면이다.FIG. 2C is an enlarged view of a portion B shown in FIG. 2A.
도 2a, 도 2b 및 도 2c를 참조하면, 상기 웨이퍼 카세트(100)는 일측면이 개방되어 내부를 육안으로 확인할 수 있는 본체(110)를 구비한다. 상기 개방되어 있는 일측면에 대향하는 타측면에는 바 형태의 돌출부(120)가 평행하게 구비된다. 또한, 상기 본체(100)의 내부에서 서로 마주보는 양쪽 측면에는 다수개의 웨이퍼를 각각 분리하여 적재하기 위한 다수개의 슬롯(130)들이 각각 평행하게 구비된다. 상기 개방되어 있는 일측면과 상기 슬롯(130)들이 구비되는 측면에 수직하는 외측면에는 상기 본체를 파지하기 위한 손잡이(140)가 구비된다.2A, 2B, and 2C, the wafer cassette 100 includes a main body 110 having one side open to the naked eye. On the other side facing the open one side is provided with a bar-shaped protrusion 120 in parallel. In addition, a plurality of slots 130 for separating and loading a plurality of wafers, respectively, are provided on both sides of the main body 100 facing each other in parallel. A handle 140 for gripping the main body is provided on an outer side surface perpendicular to the open side surface and the side surface on which the slots 130 are provided.
상기 개방되어 있는 일측면의 양측단부에는 상기 각각의 슬롯(130)들과 대응하는 슬롯 번호(150)가 표기된다. 상기 슬롯 번호(150)는 1번에서 25번까지 각각의 슬롯들 모두와 대응하도록 표기된다. 또한, 상기 슬롯(130)들이 구비되는 양쪽 내측면에 대향하는 양쪽 외측면에도 상기 슬롯(130)들과 대응하는 슬롯 번호(160)가 1번에서 25번까지 모두 표기되고, 상기 슬롯(130)들을 더욱 용이하게 식별할 수 있도록 상기 슬롯(130)들을 구분하는 라인(170)이 상기 개방되어 있는 일측면의 양측단부에서 상기 양쪽 외측면으로 연장되어 표시된다. 또한 상기 양쪽 측면은 내부를 육안으로 확인할 수 있도록 투명한 재질로 구성된다.Slot numbers 150 corresponding to the respective slots 130 are marked at both ends of the open one side surface. The slot number 150 is marked to correspond to all of slots 1 to 25, respectively. In addition, the slot numbers 160 corresponding to the slots 130 are all marked on both outer surfaces of the slots 130 that are opposite to the inner surfaces on which the slots 130 are provided. Line 170 separating the slots 130 extends from both side ends of the open one side to both outer sides so that the slots 130 can be easily identified. In addition, both sides are made of a transparent material to visually check the inside.
따라서, 상기 슬롯(130)들에 적재되는 다수매의 웨이퍼들은 상기 개방되어 있는 일측면과 상기 양쪽 외측면에서 모두 식별될 수 있다.Thus, a plurality of wafers loaded in the slots 130 may be identified on both the open side and both outer sides.
도 3은 도 2a에 도시한 웨이퍼 카세트가 공정 장비에 로딩된 상태를 보여주는 개략 사시도이다.FIG. 3 is a schematic perspective view showing a state in which the wafer cassette shown in FIG. 2A is loaded in the process equipment.
도 3을 참조하면, 다수매의 웨이퍼가 적재되어 있는 웨이퍼 카세트(100)가 이송되어 오면, 작업자는 먼저 웨이퍼의 적재 위치를 파악한다. 이때 상기 개방되어 있는 일측면에 구비되는 슬롯 번호를 이용한다. 웨이퍼의 위치가 파악되면 작업자는 손잡이를 파지하여 계측 장비(200)의 입구와 상기 개방되어 있는 일측면이 대면하도록 카세트 스테이션에 로딩한다. 이때, 작업자는 각각의 슬롯들을 구분하는 라인과 슬롯 번호를 통해 용이하게 웨이퍼의 위치를 식별할 수 있다.Referring to FIG. 3, when a wafer cassette 100 in which a plurality of wafers are loaded is transferred, an operator first determines a loading position of a wafer. At this time, the slot number provided on the open one side is used. Once the position of the wafer is determined, the operator grasps the handle and loads it into the cassette station so that the inlet of the measurement equipment 200 and the open side face each other. At this time, the operator can easily identify the position of the wafer through the line and slot number separating the respective slots.
상기와 같이 웨이퍼 카세트가 계측 장비에 구비되는 카세트 스테이션에 로딩된 상태에서, 작업자가 적재된 웨이퍼의 슬롯 번호를 재확인할 경우, 상기 웨이퍼 카세트를 상기 카세트 스테이션으로부터 이탈시키지 않고, 상기 투명한 재질의 양쪽 측면을 통해 본체 내부를 육안으로 확인하고, 상기 슬롯들이 구비되는 내측면에 대향하는 외측면에 구비되는 상기 슬롯 번호와 각각의 슬롯을 구분하는 상기 라인을 통해 상기 웨이퍼의 슬롯 번호를 용이하게 확인할 수 있다.In the state where the wafer cassette is loaded in the cassette station provided in the measurement equipment as described above, when the operator reconfirms the slot number of the loaded wafer, both sides of the transparent material are not removed from the cassette station. The inside of the main body can be visually checked, and the slot number of the wafer can be easily identified through the line separating the respective slot numbers and the slot numbers provided on the outer surface facing the inner surfaces provided with the slots. .
상기한 바와 같이 본 발명에 따르면, 개방되어 있는 웨이퍼 카세트의 일측면과 슬롯들이 구비되는 내측면에 대향하는 외측면에 각각의 슬롯들에 대응되는 슬롯 번호를 모두 기재하고, 상기 각각의 슬롯들을 구분하는 라인을 구비함으로서 상기 웨이퍼 카세트 내부에 적재되는 웨이퍼들의 위치를 정확하고 용이하게 식별할 수 있다. 또한 장비에 로딩되어 있는 상태에서도 용이하게 상기 웨이퍼의 위치를 식별할 수 있음으로서 작업자의 작업 부담을 경감시키고, 작업 효율을 증가시킬 수 있다.As described above, according to the present invention, the slot numbers corresponding to the respective slots are written on one side of the wafer cassette which is open and on the outer side facing the inner side where the slots are provided, and the respective slots are distinguished. By providing a line, it is possible to accurately and easily identify the positions of the wafers loaded in the wafer cassette. In addition, since the position of the wafer can be easily identified even when loaded in the equipment, it is possible to reduce the work load of the operator and increase the work efficiency.
또한, 상기 웨이퍼의 위치를 잘못 식별하는 경우에 발생되는 웨이퍼의 파손을 방지하고, 상기 웨이퍼의 파손에 따른 파티클의 발생을 방지할 수 있다. 그리고 장비에 로딩되어 있는 웨이퍼 카세트에 적재된 웨이퍼의 슬롯 번호를 확인하기 위해 상기 웨이퍼 카세트를 상기 카세트 스테이션으로부터 이탈시키는 불편함을 해소하고, 상기 웨이퍼 카세트를 이탈시키는 도중 웨이퍼 카세트의 기울어짐으로 인해 발생할 수 있는 웨이퍼의 스크레치를 방지할 수 있다.In addition, it is possible to prevent breakage of the wafer generated when the position of the wafer is incorrectly identified, and to prevent generation of particles due to breakage of the wafer. And the inconvenience of detaching the wafer cassette from the cassette station to confirm the slot number of the wafer loaded on the wafer cassette loaded on the equipment, and caused by the tilting of the wafer cassette during detachment of the wafer cassette. It is possible to prevent scratches of the wafer.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although described above with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art will be variously modified and changed within the scope of the invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims below I can understand that you can.
Claims (4)
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| KR1020010027572A KR20020088713A (en) | 2001-05-21 | 2001-05-21 | Wafer cassette |
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2001
- 2001-05-21 KR KR1020010027572A patent/KR20020088713A/en not_active Application Discontinuation
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| WITN | Withdrawal due to no request for examination |