KR20020081055A - 유기 전계 발광 표시 소자의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (16)
- 대형 기판상에 제 1 전극층을 형성하는 단계;상기 대형 기판을 분할하여 복수의 소형 기판을 마련하는 단계;상기 소형 기판의 상기 제 1 전극층상에 유기 전계 발광층을 형성하는 단계;상기 유기 전계 발광층상에 제 2 전극층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 소자의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 대형 기판을 분할하기 전에,상기 대형 기판상에 제 1 전극층으로 ITO층을 형성하는 단계;상기 ITO층을 노출시키는 복수의 개구를 가지는 절연막을 형성하는 단계;상기 ITO층과 직교하는 상기 절연막상에 복수의 격벽을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 소자의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 대형 기판의 크기는 740mm X 940mm이고, 상기 대형 기판을 절단한 소형 기판의 크기는 370mm X 470mm인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 소자의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 대형 기판은 레이져(laser), 초음파, 그리고 다이아몬드 중 하나를 선택하여 절단하는 것을 특징으로 하는 것을 유기 전계 발광 표시소자의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 대형 기판을 절단한 후 세정 공정을 실시하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 소자의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 전극층은 양극층으로 사용하고, 상기 제 2 전극층은 음극층으로 사용하거나, 또는 상기 제 1 전극층을 음극층으로 사용하고, 상기 제 2 전극층은 양극층으로 사용하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 소자의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 전극층 위에 또는 상기 제 1 전극층 아래에 보조 전극층을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 소자의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 유기 전계 발광층은 정공 주입층, 정공 수송층, 전계 발광층, 전자 수송층, 그리고 전자 주입층을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 소자의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 전극층 위에 인켑슐레이션이나 보호층을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 소자의 제조 방법.
- 대형 기판상에 복수의 트랜지스터와 한 개 이상의 캐패시터로 구성되고 제 1 전극층을 가지는 구동부를 형성하는 단계;상기 대형 기판을 분할하여 복수의 소형 기판을 마련하는 단계;상기 소형 기판의 상기 구동부의 상기 제 1 전극층상에 유기 전계 발광층을 형성하는 단계;상기 유기 전계 발광층상에 제 2 전극층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 소자의 제조 방법.
- 제 10 항에 있어서, 상기 대형 기판을 절단하기 위한 절단 영역을 확보하며, 상기 절단 영역은 50 μm ∼ 1 mm 폭을 가지는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 소자의 제조 방법.
- 제 10 항에 있어서, 상기 대형 기판상에 형성되는 상기 구동부는 드라이빙 트랜지스터, 스위칭 트랜지스터, 그리고 캐패시터로 구성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 소자의 제조 방법.
- 제 8 항에 있어서, 상기 구동부를 형성하는 단계는상기 대형 기판상에 절연막과 상기 절연막상에 활성층을 형성하는 단계;상기 절연막 및 상기 활성층상에 게이트 절연막을 형성하는 단계;상기 활성층과 대응되는 상기 게이트 절연막상에 게이트 전극을 형성하는 단계;상기 활성층에 소오스 및 드레인을 형성하는 단계;상기 게이트 절연막 및 상기 게이트 전극을 포함하는 상기 대형 기판상에 제 2 절연막을 형성하는 단계;상기 소오스 및 상기 드레인에 대응하는 상기 제 2 절연막과 상기 게이트 절연막을 선택적으로 식각하여 콘택 홀(Contact Hole)을 형성하는 단계;상기 드라이빙 트랜지스터의 소오스에 대응하는 콘택 홀에 버스전극과 드레인에 대응하는 콘택 홀에 제 1 전극층을 형성하는 단계;상기 스위칭 트랜지스터 소오스의 버스 전극상에 시그널 라인과 상기 드라이빙 트랜지스터의 상기 게이트 전극 및 상기 스위칭 트랜지스터의 상기 드레인에 상기 캐패시터와 연결되는 저장 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 소자의 제조 방법.
- 제 10 항에 있어서, 상기 제 1 전극층은 양극층으로 사용하고, 상기 제 2 전극층은 음극층으로 사용하거나, 또는 상기 제 1 전극층을 음극층으로 사용하고, 상기 제 2 전극층은 양극층으로 사용하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 소자의 제조 방법.
- 제 10 항에 있어서, 상기 유기 전계 발광층은 정공 주입층, 정공 수송층, 전계 발광층, 전자 수송층, 그리고 전자 주입층을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광 표시 소자의 제조 방법.
- 제 10 항에 있어서, 상기 제 2 전극층 위에 인켑슐레이션이나 보호층을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 소자의 제조 방법.
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