KR20020077598A - Method for auto socket off of Test handler - Google Patents

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KR20020077598A KR1020010017363A KR20010017363A KR20020077598A KR 20020077598 A KR20020077598 A KR 20020077598A KR 1020010017363 A KR1020010017363 A KR 1020010017363A KR 20010017363 A KR20010017363 A KR 20010017363A KR 20020077598 A KR20020077598 A KR 20020077598A
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Abstract

PURPOSE: An automatic socket off method of a test handler is provided to improve a work efficiency by determining and switching off through the determination process of a failure in a socket such as an absolute, a relative, a continuous and a combined modes without an additional management of an operator. CONSTITUTION: An automatic socket off method of a test handler includes the steps of: initializing(S31) various sets; setting(S32) test modes and reference values for each of the test modes; deciding(S33) a manual/automatic mode of the socket off; switching(S34) off the socket assigned by an operator if the manual mode is set; switching off(S35-S38) a socket occurring a failure with determining an automatic mode, i.e., an absolute, a relative, a continuous and a combined modes, and proceeding a test for each socket every corresponding mode if the result of a process of(S33) represents an automatic mode; determining(S39) whether or not the number of socket offs is larger than a predetermined number by the test results; and generating(S40) an alarm to the operator as a normal test work does not further proceed if the number of socket offs is larger than the predetermined number.

Description

테스트 핸들러의 자동 소켓 오프 방법{Method for auto socket off of Test handler}Method for auto socket off of test handler}

본 발명은 테스트 핸들러에 관한 것으로서, 특히 테스트 핸들러의 자동 소켓 오프 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a test handler, and more particularly, to a method of automatic socket off of a test handler.

일반적으로, 메모리 혹은 비메모리 반도체 소자 등의 디바이스(Device) 및 이들을 적절히 하나의 기판상에 회로적으로 구성한 모듈(Module)들은 생산 후 여러 가지 테스트과정을 거친 후 출하되는데, 핸들러라 함은 상기와 같은 디바이스 및 모듈램 등을 자동으로 테스트하는데 사용되고 있는 장치를 일컫는다.In general, devices such as a memory or non-memory semiconductor device, and modules that are appropriately configured on a single substrate, are shipped after undergoing various test procedures after production. Refers to the device being used to automatically test the same device and module.

통상, 이러한 핸들러 중 많은 것들이 상온 상태에서의 일반적인 성능 테스트 뿐만 아니라, 밀폐된 챔버 내에서 전열히터 및 액화질소 분사시스템을 통해 고온 및 저온의 극한 상태의 환경을 조성하여 상기 디바이스 및 모듈램 등이 이러한 극한 온도 조건에서도 정상적인 기능을 수행할 수 있는가를 테스트하는 고온테스트 및 저온 테스트도 수행할 수 있도록 되어 있다.In general, many of these handlers not only perform general performance tests at room temperature, but also create extreme conditions of high and low temperatures through electrothermal heaters and liquefied nitrogen injection systems in closed chambers such that the device and the module can be It is also capable of performing high and low temperature tests, which test whether they can function under extreme temperature conditions.

도 1은 상기와 같이 디바이스의 고온 및 저온 테스트를 수행할 수 있는 일반적인 핸들러의 일례를 나타낸 것으로, 로딩부(10)의 사용자 트레이에 수납된 테스트할 디바이스들은 X-Y축으로 선형운동하는 제1피커로봇(31)에 의해 파지되어 버퍼부(40)에 일시적으로 장착된 다음, 다시 제 2피커로봇(32)에 의해 교환부(50)로 이송되어 테스트용 트레이(T)에 재장착된다.1 illustrates an example of a general handler capable of performing a high temperature and a low temperature test of a device as described above, wherein the devices to be tested contained in the user tray of the loading unit 10 have a first picker robot that linearly moves on an XY axis. It is gripped by (31) and temporarily mounted in the buffer part 40, and then transferred to the exchange part 50 by the 2nd picker robot 32 again, and is mounted in the test tray T again.

이렇게 테스트할 디바이스들이 재장착된 테스트용 트레이(T)는 별도의 이송수단(도시 않음)에 의해 핸들러 후방에 위치된 챔버부(70)로 이송된 후, 이 챔버부(70)에서 고온 또는 저온 테스트를 수행받게 된다.The test tray T in which the devices to be tested are remounted is transferred to a chamber portion 70 located behind the handler by a separate transfer means (not shown), and then the high temperature or low temperature in the chamber portion 70. You will be tested.

여기서, 상기 챔버부(70)는 그 내부에 고온 또는 저온의 환경을 조성하여 테스트용 트레이(T)들을 순차적으로 이송시키면서 디바이스들을 소정의 온도상태 하에서 테스트하도록 된 3개의 밀폐된 챔버들이 상하로 연접하게 배치되어 있는바, 이들 챔버들은 상측에서부터, 디바이스들을 고온 또는 저온으로 예열하는 예열챔버(도시 않음)와, 상기 예열챔버를 통과한 디바이스들을 별도의 테스트장비와 결합된 소켓(socket)에 장착하여 고온 또는 저온 상태에서 테스트를 수행하는 테스트챔버(도시 않음)와, 상기 테스트챔버를 통해 테스트 완료된 디바이스들을 냉각시키거나 혹은 가열에 의해 성에를 제거하여 원래의 상온 상태로 복귀시키는 디프로스팅챔버(도시 않음)로 구성된다.Here, the chamber part 70 creates a high-temperature or low-temperature environment therein, and sequentially connects three closed chambers configured to test the devices under a predetermined temperature while transferring the test trays T sequentially. These chambers are provided with a preheating chamber (not shown) for preheating the devices to a high or low temperature from the upper side, and the devices passing through the preheating chamber are mounted in a socket coupled with a separate test equipment. A test chamber (not shown) for performing a test at a high temperature or a low temperature state, and a defrosting chamber (not shown) for cooling the devices tested through the test chamber or removing frost by heating and returning to an original room temperature state. It is composed of

이때 소켓은 각각 해당 디바이스를 테스트할 수 있도록 다수개가 행렬형태로 구성되어 있으며, 소켓 자체의 이상에 의해 디바이스가 불량 판정될 수 있다.At this time, a plurality of sockets are configured in a matrix form so that the respective devices can be tested, and a device may be determined to be defective due to an abnormality of the socket itself.

한편, 상기 챔버부(70)의 디프로스팅챔버를 거친 테스트 트레이(T)는 다시 교환부(50)로 이송되고, 이어서 테스트 완료된 디바이스들은 제 2피커로봇(32)에 의해 버퍼부(40)에 일시 장착된 후, 다시 제 1피커로봇(31)에 의해 테스트결과에 따라 언로딩부(20)의 소정의 트레이에 등급별로 분류되어 장착된다.Meanwhile, the test tray T passing through the defrosting chamber of the chamber part 70 is transferred to the exchange part 50 again, and the tested devices are then transferred to the buffer part 40 by the second picker robot 32. After temporarily mounting, the first picker robot 31 is classified and mounted on a predetermined tray of the unloading unit 20 according to the test result.

상술한 종래의 기술에 따른 테스트 핸들러는 디바이스를 실장하여 검사를 수행하기 위한 소켓(Socket)의 이상을 작업자가 직접 파악하고 즉, 작업자가 판단하기에 불량판정 빈도가 높으면 이상으로 판단하여 이상이 발생한 것으로 판단되는 소켓을 직접 '오프'시켜야 하므로 작업능률이 저하됨과 동시에 소켓 이상판단 정확도의 신뢰성이 저하되어 결국, 전체 수율을 저하시키는 문제점이 있다.The test handler according to the above-described conventional technology directly detects an abnormality of a socket for mounting a device and performs an inspection, that is, if an abnormality is determined by the operator, the abnormality is determined as abnormal. Since it is necessary to directly 'off' the socket, which is judged to be inferior in work efficiency, the reliability of the socket abnormality determination accuracy is lowered, resulting in a problem of lowering the overall yield.

따라서 본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 소켓의 이상여부를 정확하게 검사하고 이상으로 판단될 경우 자동으로 '오프'시킬 수 있도록 한 테스트 핸들러의 자동 소켓 오프 방법을 제공함에 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and provides an automatic socket-off method of the test handler which can accurately check whether the socket is abnormal and automatically turn it off when it is determined to be abnormal. There is a purpose.

도 1은 일반적인 테스트 핸들러의 구성을 나타낸 평면도1 is a plan view showing the configuration of a typical test handler

도 2는 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 자동 소켓 오프 방법을 나타낸 플로우챠트2 is a flowchart illustrating an automatic socket off method of a test handler according to the present invention.

도 3은 도 2의 절대 모드를 설명하기 위한 플로우챠트3 is a flowchart for explaining the absolute mode of FIG.

도 4는 도 2의 상대 모드를 설명하기 위한 플로우챠트4 is a flowchart for explaining the relative mode of FIG.

도 5는 도 2의 연속 모드를 설명하기 위한 플로우챠트5 is a flowchart for explaining the continuous mode of FIG.

도 6은 도 2의 혼합 모드를 설명하기 위한 플로우챠트6 is a flowchart for explaining the mixing mode of FIG.

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for main parts of the drawings

10: 로딩부 20: 언로딩부10: loading unit 20: unloading unit

31: 제1 피커로봇 32: 제2 피커로봇31: first picker robot 32: second picker robot

40: 버퍼부 50: 교환부40: buffer part 50: exchange part

70: 챔버부70: chamber portion

본 발명은 다수개의 소켓(Socket)을 구비하고 각각의 소켓에 테스트 대상물을 장착하여 테스트를 수행하는 테스트 핸들러에 있어서, 자동/수동 소켓 오프 모드 및 각 모드별 기준값을 설정하는 단계와, 자동 소켓 오프 모드일 경우 절대/상대/연속/혼합 모드중 설정된 모드를 파악하는 단계와, 테스트를 시작하고 불량 판정율, 수율, 불량 판정 등급 또는 불량 판정 횟수중 적어도 하나 이상과 해당 모드의 기준값을 비교하는 단계와, 그 비교결과에 따라 각 소켓의 이상을 판단하고 이상이 발생한 소켓을 오프시키는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.The present invention is a test handler having a plurality of sockets (Socket) and mounting a test object in each socket to perform a test, the step of setting the automatic / manual socket off mode and the reference value for each mode, automatic socket off In the case of mode, identifying the mode set among the absolute / relative / continuous / mixed modes; starting the test and comparing the reference value of the mode with at least one of a bad judgment rate, a yield, a bad judgment grade or a bad judgment count. And determining an abnormality of each socket according to the comparison result and turning off the socket in which the abnormality occurred.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 자동 소켓 오프방법의 바람직한 일실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a preferred embodiment of the automatic socket off method of the test handler according to the present invention with reference to the accompanying drawings in detail as follows.

도 2는 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 자동 소켓 오프 방법을 나타낸 플로우챠트, 도 3은 도 2의 절대 모드를 설명하기 위한 플로우챠트, 도 4는 도 2의 상대 모드를 설명하기 위한 플로우챠트, 도 5는 도 2의 연속 모드를 설명하기 위한 플로우챠트이고, 도 6은 도 2의 혼합 모드를 설명하기 위한 플로우챠트이다.2 is a flowchart illustrating an automatic socket-off method of a test handler according to the present invention, FIG. 3 is a flowchart illustrating the absolute mode of FIG. 2, FIG. 4 is a flowchart illustrating the relative mode of FIG. 2, and FIG. 5 is a flowchart for explaining the continuous mode of FIG. 2, and FIG. 6 is a flowchart for explaining the mixing mode of FIG. 2.

본 발명에 따른 테스트 핸들러의 자동 소켓 오프 방법은 도 2에 도시된 바와 같이, 테스트 핸들러의 테스트 시작에 앞서, 각종 설정을 초기화하고(S31), 테스트모드 및 각 테스트 모드별 기준값을 설정한다(S32).In the automatic socket-off method of the test handler according to the present invention, as shown in FIG. 2, prior to starting the test of the test handler, various settings are initialized (S31), and a test mode and reference values for each test mode are set (S32). ).

이때 테스트 모드는 수동/자동(절대모드/상대모드/연속모드/혼합모드) 모드로 구분된다. 그리고 자동모드별 기준값으로서, 절대모드는 설정 카운트값과 설정 수율이 있고, 상대모드는 설정 카운트값과 설정 수율이 있으며, 연속모드는 불량 판정등급과 등급 카운트값이 있다.The test mode is divided into manual / automatic (absolute mode / relative mode / continuous mode / mixed mode) mode. As the reference value for each automatic mode, the absolute mode has a set count value and a set yield, the relative mode has a set count value and a set yield, and the continuous mode has a bad judgment grade and a grade count value.

이어서 소켓 오프 수동/자동 모드 설정을 판단하여(S33), 수동으로 설정되어 있으면 이후 작업자가 지정하는 소켓을 오프시킨다(S34).Subsequently, the socket-off manual / automatic mode setting is determined (S33), and if it is set manually, the socket designated by the operator is subsequently turned off (S34).

한편, 상기 판단결과(S33), 소켓 오프가 자동으로 설정되어 있으면, 자동 모드 즉, 절대/상대/연속/혼합 모드를 판단하고 해당 모드별로 각 소켓에 대한 테스트를 진행하고 이상이 발생한 소켓을 '오프'시킨다(S35 - S38).On the other hand, if the determination result (S33), the socket off is set automatically, the automatic mode, that is, absolute / relative / continuous / mixed mode is determined and the test for each socket for each corresponding mode and the socket is' Off '(S35-S38).

그리고 모드별 테스트 결과 소켓 오프 개수가 설정 개수 이상인지 판단하고(S39), 소켓 오프 개수가 설정 개수 이상이면 더 이상 정상적인 테스팅 작업을 수행할 수 없는 것으로 판단하고 작업자에게 알람을 발생시킨다(S40).In addition, the test result for each mode determines whether the socket off number is greater than or equal to the set number (S39). If the socket off number is greater than or equal to the set number, it is determined that the normal testing operation cannot be performed any more and an alarm is generated to the operator (S40).

따라서 작업자는 해당 소켓들이 포함된 헤드(Head)의 사용을 중지하고 교환하는 등의 작업을 수행한다.Therefore, the worker stops the use of the head including the sockets and exchanges them.

이때 각 자동모드별 자동 소켓 오프 세부동작을 상세히 설명하면 다음과 같다.In this case, the detailed operation of the automatic socket-off for each automatic mode will be described in detail as follows.

먼저, 도 3을 참조하여 절대모드를 설명하면 다음과 같다.First, the absolute mode will be described with reference to FIG. 3.

절대모드는 테스트가 시작되고 해당 소켓별로 불량(F) 판정이 발생하면(S41), 불량 카운트값 즉, F count를 '1'증가시킨다(S42).In the absolute mode, when a test is started and a bad (F) determination is generated for each socket (S41), the bad count value, that is, the F count is increased to '1' (S42).

이어서 F count가 기설정된 count값 이상인지 즉, 해당 소켓에서 설정수 이상의 불량판정이 발생하였는지 판단한다(S43).Subsequently, it is determined whether the F count is equal to or greater than the preset count value, that is, whether or not a bad determination of the predetermined number or more occurs in the socket (S43).

그리고 상기 판단결과(S43), F count값이 기설정된 count값 이상이면 해당 소켓의 수율(Y1)을 계산한다(S44). 이때 수율(Y1)은 테스트된 총 수량에 대한 양품 판정된 수량의 백분율이다.In operation S43, when the F count value is equal to or greater than a predetermined count value, the yield Y 1 of the socket is calculated (S44). Yield Y 1 is then a percentage of the good quantity determined over the total quantity tested.

이어서 상기 계산된 수율(Y1)이 기설정된 수율(Y0) 미만인지 판단하고(S45), 계산된 수율(Y1)이 기설정된 수율(Y0) 미만이면 해당 소켓의 이상으로 판단하여 '오프'시킨다(S46). 결국, 해당 소켓의 불량률이 소정 기준치 이상일 경우 무조건 소켓을 오프시키는 것이다.Subsequently, it is determined whether the calculated yield (Y 1 ) is less than the predetermined yield (Y 0 ) (S45), and if the calculated yield (Y 1 ) is less than the predetermined yield (Y 0 ), it is determined that the socket is abnormal. Off '(S46). As a result, when the defective rate of the socket is more than a predetermined reference value, the socket is unconditionally turned off.

다음, 도 4를 참조하여 상대모드를 설명하면 다음과 같다.Next, the relative mode will be described with reference to FIG. 4.

상대모드는 테스트가 시작되고 해당 소켓별로 불량(F) 판정이 발생하면(S51), F count를 '1'증가시킨다(S52).In the relative mode, when the test is started and a bad (F) determination for each socket occurs (S51), the F count is increased to '1' (S52).

이어서 F count값이 기설정된 count값 이상인지 즉, 해당 소켓에서 설정수 이상의 불량판정이 발생하였는지 판단한다(S53).Subsequently, it is determined whether the F count value is equal to or greater than the preset count value, that is, whether or not a bad determination more than the set number is generated in the socket (S53).

그리고 상기 판단결과(S53), F count값이 기설정된 count값 이상이면 해당 소켓의 수율(Y1)을 계산한다(S54). 이때 수율(Y1)은 테스트된 총 수량에 대한 양품 판정된 수량의 백분율이다.In operation S53, when the F count value is equal to or greater than a predetermined count value, the yield Y 1 of the corresponding socket is calculated (S54). Yield Y 1 is then a percentage of the good quantity determined over the total quantity tested.

이어서 상기 계산된 수율(Y1)이 전체소켓 평균 수율(YT)에서 기설정된수율(Y0)을 뺀값에 비해 작은지 판단하고(S45), 계산된 수율(Y1)이 기설정된 수율(Y0) 미만이면 해당 소켓의 이상으로 판단하여 '오프'시킨다(S46). 결국, 해당 소켓의 불량 발생률이 전체 소켓의 평균에 비해 상대적으로 낮을 경우 소켓을 오프시키는 것이다.Then the calculated yield yield (Y 1) is set, the entire socket average yield (Y T) a predetermined yield (Y 0) the group is small if determination than ppaengap and (S45), the calculated yield (Y 1) from ( Y 0 ) is less than the corresponding socket is determined to 'off' (S46). After all, when the failure rate of the socket is relatively low compared to the average of the entire socket is to turn off the socket.

다음, 도 5를 참조하여 연속모드를 설명하면 다음과 같다.Next, the continuous mode will be described with reference to FIG. 5.

연속모드는 테스트결과 량품(G)과 불량품(F)을 구분하고(S61), 불량품(F)이면 해당 판정등급이 설정된 등급과 동일한지 판단하고(S63), 동일하면 등급 카운트 값(i)를 증가시킨다(S64).The continuous mode distinguishes the test result quantity (G) and the defective article (F) (S61), and if the defective article (F) determines whether the corresponding judgment grade is the same as the set grade (S63), and if it is the same, the grade count value (i) is determined. Increase (S64).

이어서 등급 카운트값(i)이 설정횟수 이상인지 판단하고(S65), 설정횟수 이상이면 해당 소켓을 오프시킨다(S66).Subsequently, it is determined whether the grade count value i is greater than or equal to the set number of times (S65). If the grade count is greater than or equal to the set number of times, the socket is turned off (S66).

한편, 테스트결과 량품(G)으로 판정되면 이전까지의 등급 카운트값(i)을 '0'으로 초기화한다(S62). 예를 들어, 불량 판정등급이 1 내지 8등급이 있는데, 그중 3등급에서 8등급까지가 설정되고 설정횟수가 8이라면, 각 소켓별로 불량이 발생하더라도 해당 불량등급이 3 내지 8등급에 해당되고 연속으로 8회 이상발생할 경우에만 해당 소켓을 오프시키는 것이다. 만일 1등급 또는 2등급 불량이 발생할 경우이거나, 3등급 내지 8등급중 어느 하나가 발생하여도 7회 연속으로 발생하고 8번째는 정상 또는 다른 등급의 불량일 경우 소켓을 오프시키지 않는 것이다.On the other hand, when it is determined that the test result is the good quality G, the previous grade count value i is initialized to '0' (S62). For example, if there are bad grades of 1 to 8 grades, and 3 to 8 grades are set and the number of set times is 8, even if a defect occurs in each socket, the corresponding bad grades are grades 3 to 8 and are continuous. The socket is to be turned off only when it occurs more than 8 times. If 1st or 2nd grade failure occurs, or if any of 3rd to 8th grade occurs, it occurs 7 times consecutively, and 8th is normal or other grade of defectiveness, and the socket is not turned off.

결국, 설정된 등급의 불량이 연속으로 설정횟수 이상일 경우에만 소켓을 오프시키는 것이다.As a result, the socket is turned off only when the set grade is more than the set number of consecutive times.

다음, 도 6을 참조하여 혼합모드를 설명하면 다음과 같다.Next, the mixing mode will be described with reference to FIG. 6.

먼저, 혼합모드는 도 4의 상대모드와 도 5의 연속모드를 동시에 적용한 모드로서, 연속모드가 상대모드에 우선한다.First, the mixed mode is a mode in which the relative mode of FIG. 4 and the continuous mode of FIG. 5 are simultaneously applied, and the continuous mode takes precedence over the relative mode.

혼합모드는 테스트결과 량품(G)과 불량품(F)을 구분하고(S71), 불량품(F)이면 해당 판정등급이 설정된 등급과 동일한지 판단하고(S73), 동일하면 등급 카운트 값(i)를 증가시킨다(S74).The blending mode distinguishes the test result quantity (G) and the defective article (F) (S71), and if the defective article (F) determines whether the corresponding judgment grade is the same as the set grade (S73), and if it is the same, the grade count value (i) is determined. Increase (S74).

이어서 등급 카운트값(i)이 설정횟수 이상인지 판단하고(S75), 설정횟수 이상이면 해당 소켓을 오프시킨다(S76).Subsequently, it is determined whether the grade count value i is greater than or equal to the set number of times (S75). If the grade count is greater than or equal to the set number of times, the socket is turned off (S76).

한편, 테스트결과 량품(G)으로 판정되면 이전까지의 등급 카운트값(i)을 '0'으로 초기화한다(S72).On the other hand, if it is determined that the test result is the good quality G, the previous grade count value i is initialized to '0' (S72).

그리고 상기 판정단계(S71)에서 불량(F)으로 판정되면 등급비교 단계(S73)를 수행함과 동시에 F count를 '1'증가시킨다(S77).If it is determined that the defect (F) in the determination step (S71), and performs the grade comparison step (S73) and increases the F count '1' (S77).

이어서 F count값이 기설정된 count값 이상인지 즉, 해당 소켓에서 설정수 이상의 불량판정이 발생하였는지 판단한다(S78).Subsequently, it is determined whether the F count value is equal to or greater than the preset count value, that is, whether or not a bad determination more than the set number is generated in the socket (S78).

그리고 상기 판단결과(S78), F count값이 기설정된 count값 이상이면 해당 소켓의 수율(Y1)을 계산한다(S79). 이때 수율(Y1)은 테스트된 총 수량에 대한 양품 판정된 수량의 백분율이다.In operation S78, when the F count value is equal to or greater than a preset count value, the yield Y 1 of the socket is calculated (S79). Yield Y 1 is then a percentage of the good quantity determined over the total quantity tested.

이어서 상기 계산된 수율(Y1)이 전체소켓 평균 수율(YT)에서 기설정된 수율(Y0)을 뺀값에 비해 작은지 판단하고(S80), 계산된 수율(Y1)이 기설정된수율(Y0) 미만이면 해당 소켓의 이상으로 판단하여 '오프'시킨다(S76). 결국, 해당 소켓의 불량 발생률이 전체 소켓의 평균에 비해 상대적으로 낮을 경우, 그리고 설정된 등급의 불량이 연속으로 설정횟수 이상일 경우에 소켓을 오프시키는 것이다.Then the calculated yield yield (Y 1) is set, the entire socket average yield (Y T) a predetermined yield (Y 0) the group is small if determination than ppaengap and (S80), the calculated yield (Y 1) from ( Y 0 ) is determined to be more than the corresponding socket 'off' (S76). As a result, the socket is turned off when the failure rate of the socket is relatively low compared to the average of all the sockets, and when the failure of the set grade is more than a predetermined number of consecutive times.

본 발명에 따른 테스트 핸들러의 자동 소켓 오프방법은 작업자의 별도 관리없이 절대/상대/연속/혼합 모드 등의 효율적인 소켓 이상 판단과정을 통해 자동으로 소켓 이상을 판단하고 오프시키므로 작업능률 향상 및 그에 따른 수율향상의 효과가 있다.The automatic socket-off method of the test handler according to the present invention automatically determines the socket abnormality through an efficient socket abnormality determination process such as absolute / relative / continuous / mixed mode without operator's separate management, thereby improving work efficiency and yield accordingly. There is an effect of improvement.

Claims (8)

다수개의 소켓(Socket)을 구비하고 각각의 소켓에 테스트 대상물을 장착하여 테스트를 수행하는 테스트 핸들러에 있어서,In a test handler having a plurality of sockets (Socket) and mounting a test object in each socket to perform a test, 자동/수동 소켓 오프 모드 및 각 모드별 기준값을 설정하는 단계,Setting automatic / manual socket off modes and reference values for each mode, 자동 소켓 오프 모드일 경우 절대/상대/연속/혼합 모드중 설정된 모드를 파악하는 단계,In case of automatic socket off mode, determining the mode set among absolute / relative / continuous / mixed modes, 테스트를 시작하고 불량 판정율, 수율, 불량 판정 등급 또는 불량 판정 횟수중 적어도 하나 이상과 해당 모드의 기준값을 비교하는 단계,Starting a test and comparing the reference value of the mode with at least one of a bad judgment rate, a yield, a bad judgment grade, or a bad judgment count, 상기 비교결과에 따라 각 소켓의 이상을 판단하고 이상이 발생한 소켓을 오프시키는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 자동 소켓 오프방법.Determining an abnormality of each socket according to the comparison result and turning off the socket in which the abnormality occurred. 제1 항에 있어서,According to claim 1, 상기 오프된 소켓의 수가 설정수 이상이면 알람을 발생시키는 단계를 더 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 자동 소켓 오프방법.And generating an alarm if the number of off sockets is greater than or equal to a set number. 제1 항에 있어서,According to claim 1, 상기 자동 소켓 오프 모드중 설정된 모드가 절대모드이면 테스트를 시작하고 테스트 대상물중 불량 판정된 대상물이 설정수 이상인지 판단하는 단계와,Starting a test when the set mode of the automatic socket-off mode is an absolute mode, and determining whether or not a defective object among the test objects is a predetermined number; 불량 판정된 대상물이 설정수 이상이면 해당 소켓의 수율을 계산하는 단계와,Calculating the yield of the socket if the object determined to be defective is equal to or greater than the set number; 상기 계산된 수율이 설정 수율 미만이면 해당 소켓을 오프시키는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 자동 소켓 오프방법.And turning off the socket if the calculated yield is less than the set yield. 제1 항에 있어서,According to claim 1, 상기 자동 소켓 오프 모드중 설정된 모드가 상대모드이면 테스트를 시작하고 테스트 대상물중 불량 판정된 대상물이 설정수 이상인지 판단하는 단계와,Starting a test when the set mode of the automatic socket-off mode is a relative mode, and determining whether or not a defective object among the test objects is a predetermined number; 불량 판정된 대상물이 설정수 이상이면 해당 소켓의 수율을 계산하는 단계와,Calculating the yield of the socket if the object determined to be defective is equal to or greater than the set number; 상기 계산된 수율이 전체 소켓의 평균수율에서 설정 수율을 뺀값 미만이면 해당 소켓을 오프시키는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 자동 소켓 오프방법.And turning off the socket if the calculated yield is less than the average yield of all sockets minus the set yield. 제1 항에 있어서,According to claim 1, 상기 자동 소켓 오프 모드중 설정된 모드가 연속모드일 경우 테스트결과 불량 판정되면 그 불량 판정등급과 기설정된 등급이 일치하는지 판단하는 단계와,Determining whether a failure level is identical to a predetermined level when the test result is determined to be defective when the set mode among the automatic socket off modes is a continuous mode; 상기 등급이 일치하면 등급 카운트값을 증가시키는 단계와,Increasing the rating count value if the ratings match; 상기 등급 카운트값이 설정횟수 이상이면 해당 소켓을 오프시키는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 자동 소켓 오프방법.And turning off the socket if the rating count is greater than or equal to a set number of times. 제5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 테스트결과 량품 판정되면 상기 등급 카운트값을 '0'으로 초기화하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 자동 소켓 오프방법.And when the test result is determined to be good quality, initializing the rating count to '0'. 제1 항에 있어서,According to claim 1, 상기 자동 소켓 모드중 설정된 모드가 혼합모드일 경우 상기 상대모드와 연속모드를 동시에 적용함을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 자동 소켓 오프방법.The automatic socket-off method of the test handler, wherein the relative mode and the continuous mode are applied simultaneously when the set mode of the automatic socket mode is a mixed mode. 제7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 상대모드와 연속모드중 연속모드가 상대모드에 비해 우선적용됨을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 자동 소켓 오프방법.The automatic socket-off method of the test handler, characterized in that the continuous mode among the relative mode and the continuous mode has priority over the relative mode.
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