KR20020060698A - Ｎｍｒ 분광계용 통과-흐름 프로브 - Google Patents

Ｎｍｒ 분광계용 통과-흐름 프로브 Download PDF

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KR20020060698A
KR20020060698A KR1020027003330A KR20027003330A KR20020060698A KR 20020060698 A KR20020060698 A KR 20020060698A KR 1020027003330 A KR1020027003330 A KR 1020027003330A KR 20027003330 A KR20027003330 A KR 20027003330A KR 20020060698 A KR20020060698 A KR 20020060698A
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나임 레비
야이르 슈르
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폭스보로 엔엠알 리미티드
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Abstract

본 발명은 NMR 프로브에 관한 것으로, 이러한 NMR 프로브는 내부 챔버를 한정하는 바디를 포함한다. 챔버는 진공을 유지하도록 구성되며 바디는 비자성 물질로 구성된다. 도관이 바디내 챔버를 통해 연장한다. 도관은 제 2 부분과 연통하는 제 1 부분을 가지며, 제 1 부분은 제 2 부분 사이에 위치하고, 비자성 물질로 구성된 제 1 및 제 2 부분은 실질적으로 동일한 열팽창 계수를 가진다. RF 코일이 제 1 도관부의 적어도 일부를 따라 위치한다. 이러한 장치는 챔버내 필드 또는 주파수 로크 유닛 빔 게터를 포함하여, 소정의 고압 진공을 유지하도록 챔버 내부를 배기하도록 한다. 이러한 NMR 분석용 NMR 프로브를 사용하는 방법 또한 개시되어 있다.

Description

ＮＭＲ 분광계용 통과-흐름 프로브{FLOW-THROUGH PROBE FOR NMR SPECTROMETERS}
물질 내의 성분을 파악하기 위해 물질을 검사하는 핵 자기 공명(NMR)은 본 발명의 기술분야에서 널리 알려져 있다. 공지의 장치에서, 샘플이 자석의 두 개 극들 사이에 배치되고 소정의 주파수의 RF 전자기 펄스가 샘플에 통과되도록 와이어 코일(wire coil)로 둘러싸여 진다. 검사중인 샘플의 핵에 의해 발생된 NMR 펄스가 감지되고 주지의 방법에 의해 NMR 장치에 의해 처리되어 샘플 성분이 식별된다.
NMR 분석은 널리 알려진 분광계와 같은 장치에 의해 수행된다. 이들 분광계는 프로브(probe)를 구비하도록 설계되며, 이 프로브는 자석의 극들 사이에서 샘플이 분석되도록 한다. 프로브와 결합된 RF 코일과 동조 회로가 필드(B)를 형성하며, 이는 핵의 순 자화(net magnetization)를 회전시킨다. 이들 RF 코일은 또한 X,Y 평면에서 처리될 때 횡방향(transverse) 자화를 감지한다. RF 코일은 샘플 식별을 위한 판독 가능 신호를 발생시키도록 라모(Lamor) 주파수에서 샘플 핵에 펄스를 가한다.
위에서 설명한 내용을 수행하는 예시적인 프로브가 본 발명의 출원인에 의한 미국 특허 제 5,371,464호(라포포트(Rapoport))에 개시되어 있으며, 참고자료로서 결합된다. 이 프로브와 이와 유사한 다른 프로브에는 개선점도 물론 갖고 있으나 여전히 몇 가지 단점이 존재한다.
단점들 중에 가장 심각한 것은 온도 변화, 특히 샘플 스트림(stream)과 자석 자체 사이의 강한 열 전도도의 결과로서 자석의 가열과 관련하여 온도가 증가한다는 점이다. 이것은 샘플이 고온에서 스트림을 통과하여야 하고, 분석을 위해 액상으로 유지되고 냉각시에 교질화(gelling), 고화(solidifying) 등이 되지 않아야 한다는 점에 주로 기인한다. 이들 샘플들은 통상적으로 프로브 내로부터 열 발산되어, 주변 분위기 내의 공기를 통해 전달되며, 궁극적으로 자석에 도달하여 자석의 온도를 상승시키게 된다. 샘플로부터의 열은 주변 분위기를 통과하여 방사되어 전달되고 프로브 자체 물질을 통해 전도될 수 있다.
자석 온도가 자속(magnetic flux)에 비례하기 때문에, 가열시 자석은 자속 변화를 겪게된다. 이들 자속 변화는 자석의 균일성(homogeneity)을 변화시키고, 이에 따른 결과값은 부정확하고 일부 경우에는 가치가 없는 것이 된다.
샘플 스트림 온도에서의 아주 작은 변화라도 주요한 자속 변화를 야기하기에 충분하다. 미국 특허 제5,166,620호(Panosh)에 개시된 것과 같은 주파수 로크(lock)가 RF 코일의 주파수를 제어함에 의해 자속 변화에 대응하기 위해 도입되었다. 자속 균일성의 변화에 대해, 자석을 고정(shimming)시킴에 의해 균일성이가능할 뿐이다.
오늘날, 이들 시스템에 자석 제어가 요구되는 경우에, 복잡하고 고도로 정밀한, 열 교환기(exchanger)가 이들 프로브에 구비된다. 이들 열 교환기는 프로브에 삽입되기 전에 샘플 스트림 경로에 배치된다. 이러한 해결방법이 극도로 고가이고, 따라서 인라인(in-line) 프로세스 환경에서 구현되기가 곤란하다는 점이 알려져 왔다.
또한, 자석과 샘플 스트림 사이의 열 전도도가 샘플 자체에 영향을 준다. 목적하는 검사 시간(주기) 동안 샘플이 프로브 내에 유지되어야 하는 상태에서, 검사 시간 중에 샘플 흐름이 일시적으로 중단되기 때문에 샘플 자체에 변화가 발생한다. 이 온도 변화가 NMR 검사 결과를 변경시킬 수 있다.
본 발명은 핵 자기 공명(nuclear magnetic resonance; NMR) 검사 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 NMR 분광계(spectrometer)용 프로브에 관한 것이다.
도1은 본 발명의 장치의 정면도이다.
도2는 본 발명의 장치의 단면도이다.
도3은 구성요소가 제거된 상태의 본 발명의 저면도이다.
도4는 도1의 4-4에 따라 취해진 본 발명의 단면도이다.
도5는 도1의 5-5에 따라 취해진 본 발명의 단면도이다.
도6은 본 발명의 구성요소의 개략도이다.
본 발명은 자석으로부터의 샘플 스트림을 열 차단(shielding)할 수 있는 듀어(dewer) 타입 프로브 장치를 제공함으로써 현재의 기술에 개선점을 제공한다. 이것은 프로브 내의 열전도를 제거함에 의해 달성된다. 본 발명의 장치는 인라인 프로세스 환경에서 사용되기에 특히 적합하다.
본 발명의 장치는 내부 챔버를 형성하는 바디(body)를 포함한다. 이 챔버는 진공을 유지하기에 적합한 것이며 바디는 비자성 물질이다. 도관(conduit)이 바디 내에서 챔버를 관통한다. 도관은 제2 부분들과 연통하는(in communication) 제1 부분을 가지며, 제1 부분은 제2 부분들 사이에 위치하고, 비자성물질의 제1 및 제2 부분은 실질적으로 동일한 열 팽창 계수를 갖는다. RF 코일이 제1 도관 부분의 적어도 일부를 따라 배치된다. 이 장치는, 챔버 내에서 바람직한 높은 진공 압력을 유지시키도록 가스를 배출시키기 위해 챔버 내에 필드 또는 주파수 로크 유닛(unit)과 게터(getter)를 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명은 이하의 도면을 첨부된 도면을 참조로 설명될 것이고, 이러한 도면에서 대응 또는 유사 컴포넌트에 대해 유사 참조부호가 부여된다.
이하에서 도면을 참조한 본 발명의 실시예에 의해 본 발명에 대해 상세히 설명하고자 한다. 동일 내지 유사한 구성요소에 대하여는 동일한 참조부호가 제공된다.
도1은 자장(벡터 Bo로 표시됨)을 발생시키는 자석(M)(통상 북극 "N"과 남극 "S"를 가짐)과 같이 사용되는 본 발명의 장치(20)를 일반적으로 나타낸다. 자석(M)은 본 발명의 장치(20)와 같이 튜브형 또는 다른 유사한 형태의 프로브를 수용하도록 설계된, 참고자료로서 결합된 미국 특허 제5,371,464호에 설명된 것과같은 장치의 일부분이다.
장치(20)는 실린더(26)를 둘러싸는 베이스(22)와 캡(24)을 포함한다. 바람직하게는, 베이스(22)는 바람직하게는 히트 싱크(heat sink)로서 작용하는 분리된 피스(piece)인 기둥 부재(collar member)(27)를 포함한다. 분석된 유체가 관통하는 도관(28)이 실린더(26)를 통과하여 연장된다. 도관(28)과 실린더 내벽(26a) 사이에 공간(30)이 존재한다. RF 코일(40)은 바람직하게는 도관(28)의 비자성, 바람직하게는 비금속 부분을 따라 도관(28)에 감긴다(journal). 베이스(22)와 캡(24)과 결합된 실린더(26)가 기밀(air tight)되도록 밀봉되어 동작시에 그 내부의 공간(30)이 완전히 진공화되고, 이에 따라 초고진공(약 10-6내지 10-8torr 단위)이 야기된다. 장치(20)는 이에 부착된 제어 전자장치를 포함하며, 이에 대하여는 아래에서 상술한다.
도2 및 도3을 참조하면, 장치(20)가 보다 상세히 도시되어 있다. 필드 또는 주파수 로크 유닛 또는 메커니즘(43)은 RF 코일(46)에 의해 휘감겨진 밀봉된 샘플(44)을 포함하며, 관련 전자장치는 바람직하게는 장치(20)의 일부분이나 반드시 요구되는 것은 아니다. 이 주파수 로크 유닛(43)은 예를 들어 참고자료로서 결합되고 출원인이 본 발명의 출원인과 동일인인 미국 특허 제5,166,620호(Panosh)에 상세히 설명되어 있다.
RF 코일(40, 46)은 공급공(feedthroughs; 50a,5b 및 52a,52b)에서 제어 전자장치(이하에서 상술)에 접속되는 와이어(40a,40b,46a,46b)에서 종단된다.공급공(50a,5b 및 52a,52b)은 베이스(22)의 구멍(54a,54b,56a,56b)에 부착시킴에 의해 배치되어, 각 구멍(54a,54b,56a,56b)에 기밀 밀봉을 형성한다. 와이어(40a,40b,46a,46b)는 바람직하게는 은 도금된 구리 와이어이며, 바람직하게는 가이드(58,59)의 비자성 물질인 비례적인 크기의 개구들에 용접됨에 의해 관통되어 탑재된다. 이들 가이드(58,59)는 바람직하게는 세라믹 또는 비자성인 비전도성 물질이며, 도관(28)을 형성하는 부분이 부착되고, 와이어(40a,40b,46a,46b)가 서로 접촉하지 않게 적절히 정렬되도록 돕는 위치에서 도관(28)을 따라 부착된다.
타입 St172 스탠다드 게터와 같고, 바람직하게는 이탈리아 밀란 20151 바이어 갈라타데 215 Saes Getters의 타입 ST172/HI/7-6/150C, 제조 코드 5K0350인 게터(60)가 장치(20)의 공간(30) 내에서 진공, 특히 고진공으로 유지되도록 배치된다. 상기 게터 및 이용된 다른 게터는 바람직하게는 실린더 형태 또는 다른 형태(다른 형태, 예를 들어 정방형, 직방형, 다각형, 삼각형, 타원형도 또한 허용될 수 있음)이다. 게터(60)는, 와이어(62a,62b)에 의해 위에서 설명한 공급공(50a,5b 및 52a,52b)에 유사한, 보어(66a,66b)에 기밀된 상태로 탑재된 공급공(64a,64b)에 접속된다. 게터(60)는, (위의 와이어(40a,40b,46a,46b)에 따른) 와이어(62a,62b)를 통해 통상적으로 약 5 볼트인 전압을 수신하고, 구성성분이 시간에 따라 "가스배출됨에 따라 장치 내에 형성되는 분자(통상적으로는 가스)를 흡수하여, 바람직한 레벨의(이하에서 상술) 진공을 유지하도록 구성된다. 단일 게터(60)가 도시되어 있으나, 다중 게터가 또한 허용될 수 있다.
공급공(50a,5b,52a,52b,64a,64b)은 와이어를 둘러싸는 실린더 또는 다른 형태의 바람직하게는 KOVAR 브랜드 합금(CRS Holdings, Inc. 델라웨어 윌밍톤)과 같은 물질로 만들어진다. KOVAR는 열팽창 계수가 베이스(22)의 열팽창 계수와 유사하고, 베이스(22)의 구멍(54a,54b,56a,56b,66a,66b)에 기밀 형태로 탑재될 수 있기 때문에 바람직하다. 다른 물질도 베이스 물질의 열팽창 계수와 비교하여 적절한 열팽창 계수를 갖는다면 충분히 제공될 수 있다. 베이스(22)의 구멍(54a,54b,56a,56b,66a,66b)에 대응하는 형태를 갖는 다면, 다른 공급공 형태, 예를 들어, 정방형, 직방형, 다각형, 삼각형, 타원형 등이 또한 허용될 수 있다.
와이어(40a,40b,46a,46b,62a,62b)는 부분적으로 랜드(land; 76,68) 상에 위치하는 제어 전자장치에 접속된 와이어(40a,40b,46a,46b)와 함께 각 공급공(50a,50b,52a,52b,64a,64b)을 통해 연장된다. 각 랜드(67,68)는 통상 RF 코일(40), 로크 코일(46)에 대한 제어 전자장치에 대응된다. 와이어(62a,62b)는 동작시에 게터(60)에 전압을 공급하도록 외부 소스로부터 전압에 접속되어 이를 수신하도록 조정된다.
파이프(70)는 위의 공급공(50a,50b,52a,52b,64a,64b)과 유사하게 기밀 방식으로 베이스(22)의 개구(72)에 탑재된다. 파이프(70)는 진공 배출을 제공하기 위해 흡입(suction) 소스에 접속되도록 조정되며, 통상 납땜(braze)(이하에서 상술)과 같은 것에 의해 집혀서(pinched)(예를 들면, 주름잡힘(crimped)) 밀봉되어, 진공이 유지된다. 파이프(70)는 바람직하게는 구리로 구성되지만, 알루미늄과 같은 다른 물질 혹은 바람직하게는 연성인 금속으로 구성되어 원하는 고레벨로 진공을 유지할 수 있도록 하기 위해 기밀 방식으로 (이하에서 설명될 바와 같은 납땜 동작에 의해) 주름잡히고 납땜 마감처리된다.
베이스(22)는 또한 제어 전자장치, 특히 케이블, 와이어 등에 의해 랜드(67, 68)상에 위치하는 전자장치로의 접속을 허용하기 위해 매사츄세트의 MA COM으로부터 입수가능한 부품 번호 2006-5010-33과 같은 SMA인 (점선으로 표시된) 결합부(76a, 76B)를 포함한다. 전형적으로 적어도 두 개의 결합부(76a, 76b), 각각의 주 RF 코일(40)중 하나 및 필드 또는 주파수 로크 RF 코일(46)이 있다. 캡(24)은 베이스(22)와 유사하지만, 전형적으로 상술된 바와 같이 공급공 및 파이프용 구멍을 포함하지 않는다. 하지만, 원한다면 이러한 구조들이 캡(24)내에 제공될 수도 있다.
베이스(22)와 캡(24)은 비자성 물질 바람직하게는 스테인레스 스틸과 같은 비자성 금속으로 구성된다. 몰리브덴, 티타늄 등과 같은 다른 금속도 적절하다. 베이스(2)와 캡(24)은 동일한 또는 다른 금속으로 구성될 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 실린더(26)는 바람직하게는 스테인레스 스틸에 납땜된 몰리부덴과 같은 물질이고, 내벽(26a)은 높은 반사력을 위해 광택이 나는 것이 바람직하다. 이러한 내벽을 전기-연마 이후 초음파 세정과 같은 기술에 의해 광택내지는 것이 바람직하다.
베이스(22), 캡(24) 및 실린더(26)가 각각 원형 및 실린더형인 것으로 도시되었지만, 이들은 정방형(직방형), 삼각형 등과 같은 다른 형태일 수 있다. 베이스(22), 캡(24) 및 실린더(26)는 바람직하게는 납땜 또는 용접과 같은 기술에 의해 결합되어, 기밀 방식으로 밀봉되고, 공간(3)내 원하는 초고진공을 유지할 수 있도록 한다.
납땜 동작은 바람직하게는 진공 조건하에서 수행되는 납땜으로 납땜 물질로서 Palciul 10 또는 Gapasil 9를 사용한다. 예시적인 납땜 동작으로, 대략 700℃에서 대략 10분 동안 펌핑 다운(pumping down)하고 다음으로 이후 10분 동안 930℃로 온도를 상승시키는 것이 있다. 바람직한 용접 동작은 TIG 용접이고 예를 들면 35-40세팅상의 0.020 전극을 가진 TIG 용접기로 수행된다.
도관(28)이 도 5에 상세히 도시되어 있고, 이하에서 도 1 내지 도 3과 관련하여 설명된다. 도관(28)은 양 단부에 부착된 어댑터(82)를 가진 분석부 또는 튜브(80)를 포함한다. 이들 어댑터(82)는 튜브부(84)에 부착되어 도관(28)의 나머지부분을 형성한다. 이들 도관부(80, 82, 84)는 (축(85)을 따라) 동축으로 정렬하는 것이 바람직하다. 부착은 바람직하게는 암-수형 조립이고 (상술된) 납땜과 같은 기술에 의해 결합된다. 결합을 위한 다른 조립도 가능하다. 원형 또는 실린더형 도관이 도시되었지만, 정방형(직방형), 삼각형, 다각형 등의 다른 형상도 가능하다.
분석부 또는 튜브(80)는 바람직하게는 알루미나, 예를 들면 알루미나 96% 또는 독일 만하임 데-68222 포스타페 71 02 61 프리아리트-데구시트로부터 입수할 수 있는 AL 23과 같은 세라믹 물질로 구성된 세라믹이다. 고압에서 유체를 유지하도록 처리된다면 유리 또는 사파이어와 같은 다른 비자성인 비금속 물질도 가능하다. 튜브(80)는 RF 코일(40)이 접촉, 비접촉 또는 이들이 조합된(접촉부와 비접촉부 포함) 방식으로 자신의 주위에 감기도록 한다. 튜브(80)는 암-수 조립의 "수" 부분을 형성하고, 개별 어댑터(82)를 가진다. 튜브(80)는 바람직하게는 상술된 바와 같이 납땜과 같은 기술에 의해 개별 어댑터(82)에 결합된다.
어댑터(82)는 바람직하게는 티타늄과 같은 금속 물질로 구성된 튜브형 피스이다. 티타늄이 바람직한 이유는 티타늄은 세라믹, 특히 알루미나와 유사한 열팽창 계수를 가지기 때문이다. 튜브(80)의 물질과 관련하여 유사한 열팽창 계수를 가진다면 다른 물질 또는 이러한 어댑터(82)를 형성할 수 있다. 어댑터(82)는 암-수 조립의 "수" 부분을 형성하고, 개별 튜브부(84)를 가진다.
튜브부(84)는 바람직하게는 스테인레스 스틸 또는 다른 유사 비자성 물질이고, 바람직하게는 (상술된 바와 같이) 납땜 또는 용접과 같은 기술에 의해 개별 어댑터(82)에 결합된다. 튜브부(84)는 각각 베이스(22)와 캡(24)내 구멍(86, 87)을 통해 연장하고 (상술된 바와 같이) 기밀 방식으로 밀봉되어, 장치(20)내 진공을 유지하도록 한다. 튜브부(84)의 물질은 튜브(80)와 어댑터(82)의 열팽창 계수와 유사한 열팽창 계수를 가는 것이 바람직하다.
장치(20)의 언급된 부품을 구성하는 모든 물질과 관련하여, 이러한 모든 물질은 만일 존재한다면 가스를 최소한으로 제거하도록 선택되고, 이에 따라 장시간 주기, 전형적으로 수 년동안 수동(passive) 진공를 유지할 수 있게 된다.
도 6은 제어 전자장치 특히, 해당 RF 코일(40)과 로크 코일(46)을 위한 제어 전자장치 랜드(67, 68)를 도시한다. 이들 제어 전자장치 랜드(67, 68)는 동조 및 정합 회로를 포함하며, 개별 코일(40, 46)과 SMA 커넥터(76a, 76b) 사이에 위치하고, 이러한 SMA 커넥터는 바람직하게는 하드웨어, 소프트웨어 또는 이들의 조합을사용한 소정 방식으로 RF 코일(40)과 필드 또는 주파수 로크 유닛(46)을 제어하기 위한 마이크로프로세서, CPU, 개인용 컴퓨터 또는 다른 컴퓨터나 유사 장치인 제어 유닛(90)에 연결된다. 이러한 동조 및 정합 회로는 RF 코일(40)을 고주파수 안테나로 동조시키는 기능을 하고, 대략 50옴의 임피던스로 정합시킨다.
랜드(67)상의 동조 및 정합 회로는 직렬 연결된 커패시터 네트워크(C7-C11)를 포함한다. 커패시터(C7, C8 및 C11)는 높은 Q 칩 커패시터이고, 여기서는 예를 들면 4.7피코패럿(PF), 33PF 및 3.3PF의 커패시턴스를 가진다. 커패시터(C9, C10)는 각각 가변 0.8-10PF 및 3-10PF 높은 Q 커패시터이다.
랜드(68)상의 동조 및 정합 회로는 직렬 연결된 커패시터 네트워크(C2-C6)를 포함한다. 커패시터(C3, C4 및 C6)는 높은 Q 칩 커패시터이고, 여기서는 예를 들면 180PF, 27PF 및 5.3PF의 커패시턴스를 가진다. 커패시터(C2, C5)는 각각 가변 1-30PF 및 5-25PF 높은 Q 커패시터이다.
동작시, 장치(20)는 미국특허번호 제 5,371,464호에 개시된 바와 같이 자석 내부에 위치한다. 다음으로 케이블이 SMA 커넥터(76a, 76b)에 연결되고, 장치(20)는 대략 10-6내지 10-8torr의 진공도로 배기되며, 파이프(70)는 (상술된 바와 같은) 납땜과 같은 기술에 의해 주름잡히고 밀봉된다. 다음으로, 샘플이 장치(20)내에 유입되고, 분석부 또는 튜브(80)를 통해 흐르거나 분석부 또는 튜브(80)내에 흐르지 않고 남아있게 된다. 펄스 시퀀스 프로토콜을 포함하는 RF 코일(40)과 로크 코일(46)의 동작을 구비한 NMR 분석은 통상적인 NMR 분석에 따라 수행된다.
본 발명에 대한 당업자의 실행을 용이하게 하기 위해 본 발명의 바람직한 실시예가 설명되었지만, 상술된 설명은 이해를 돕기 위한 것일 뿐이다. 본 발명의 범위를 한정하는 것은 이하에 개시된 청구항이다.

Claims (15)

  1. 진공을 유지하기 위한 챔버를 한정하며 비자성 물질로 구성된 바디;
    제 2 부분들과 연통하며 상기 제 2 부분들 사이에 위치하는 제 1 부분을 구비하며 상기 바디를 통해 연장하는 도관을 포함하는데, 비자성 물질로 구성된 상기 제 1 부분 및 상기 제 2 부분들은 동일한 열팽창 계수를 가지며; 및
    상기 제 1 부분의 적어도 일부를 따라 위치하는 RF 코일을 포함하는 NMR 프로브.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 NMR 프로브는 상기 RF 코일과 연통하는 주파수 로크 코일 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 NMR 프로브.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 NMR 프로브는 적어도 하나의 게터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 NMR 프로브.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 제 1 도관부는 세라믹 튜브를 구비하는 것을 특징으로 하는 NMR 프로브.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 RF 코일은 상기 세라믹 튜브에 감기는 것을 특징으로 하는 NMR 프로브.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 도관은 상기 제 1 및 제 2 부분들 사이에 위치하며 비자성 물질로 구성되고, 상기 제 1 도관부와 동일한 열팽창 계수를 가지는 제 3 부분을 구비하는 것을 특징으로 하는 NMR 프로브.
  7. 제 6항에 있어서, 상기 세라믹은 알루미나인 것을 특징으로 하는 NMR 프로브.
  8. 제 1항에 있어서, 상기 제 1 도관부는 알루미나, 유리 및 사파이어로 구성된 그룹으로부터 선택된 물질로 구성된 튜브를 구비하는 것을 특징으로 하는 NMR 프로브.
  9. 제 7항에 있어서, 상기 제 2 부분은 스테인레스 스틸을 포함하는 것을 특징으로 하는 NMR 프로브.
  10. 제 7항에 있어서, 상기 제 3 부분은 티타늄을 포함하는 것을 특징으로 하는 NMR 프로브.
  11. 제 1항에 있어서, 상기 바디는 실린더형인 것을 특징으로 하는 NMR 프로브.
  12. 제 1항에 있어서, 상기 도관은 실린더형인 것을 특징으로 하는 NMR 프로브.
  13. 제 3항에 있어서, 상기 RF 코일은 상기 적어도 하나의 게터와 동작적으로 연통하는 것을 특징으로 하는 NMR 프로브.
  14. 제 11항에 있어서, 상기 바디는 스테인레스 스틸, 몰리부덴, 티타늄 또는 이들의 조합물로 구성된 그룹으로부터 선택된 물질로 구성되는 것을 특징으로 하는 NMR 프로브.
  15. 제 14항에 있어서, 상기 실린더형 바디의 내벽은 반사적인 것을 특징으로 하는 NMR 프로브.
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