KR20020047868A

KR20020047868A - Method of certificating substrate

Info

Publication number: KR20020047868A
Application number: KR1020000076497A
Authority: KR
Inventors: 라관출
Original assignee: 윤종용; 삼성전자 주식회사
Priority date: 2000-12-14
Filing date: 2000-12-14
Publication date: 2002-06-22

Abstract

PURPOSE: A method of confirming substrates is provided to prevent a wrong recognition by displaying an indication whether a substrate is recognized or not. CONSTITUTION: A vacuum port(102) connected with a vacuum line(106) is fixedly adhered to a substrate. At this time, the number of divergent vacuum lines(107) divided at the end of the vacuum line(106) has to be small, thereby intensifying the sticking state between the vacuum port(102) and the substrate. A pressure transferred to the vacuum port(102) is read using a vacuum sensor(108). A monitor(114) displays whether the substrate exists on a specific position or not according to the read pressure value from the vacuum sensor(108). At this time, an indication is displayed by the monitor(114) in spite of recognizing no substrate.

Description

Method of certificating substrate

본 발명의 반도체소자의 제조방법에 관한 것으로, 특히 기판의 확인방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a semiconductor device of the present invention, and more particularly, to a method for identifying a substrate.

반도체 기판은 반도체 소자의 제조공정에 있어서 카세트(Cassette)라는 캐리어(Carrier)에 적재되어 단위공정으로 이동한다. 각 단위공정으로 기판이 이동하면, 각 단위공정을 위한 챔버로 기판을 로딩(loading)하는 로딩부로 카세트가 옮겨진다. 로딩부로 카세트가 들어오면, 기판을 확인하는 장치가 먼저 카세트에 있는 기판의 적절한 탑재여부와 매수를 확인한다.In the semiconductor device manufacturing process, the semiconductor substrate is loaded in a carrier called a cassette and moved to a unit process. When the substrate is moved in each unit process, the cassette is transferred to a loading unit for loading the substrate into the chamber for each unit process. When the cassette enters the loading section, the apparatus for checking the substrate first checks whether the substrate in the cassette is properly loaded and the number of sheets.

통상적으로, 카세트에 기판가 있는 지의 여부는 로봇암(Robot arm)에 장착되어 있는 진공센서(Vacuum sensor)로 확인한다. 구체적으로 살펴보면, 진공센서가 장착된 포트(port)를 로봇암에 설치하고, 이 포트를 카세트에 적재되어있는 기판에 밀착시킨다. 만일, 기판이 있으면 일정한 압력의 변화가 발생하게 되는 데, 이값을 읽어들임으로써 기판의 존재를 인식한다. 또한, 기판의 인식여부를 모니터(Monitor)에 표시하여 작업자가 기판의 존재여부를 쉽게 확인할 수 있도록 한다. 예컨대, 증착공정전에 기판이 있다고 인식되면 모니터상에 흰색이 띠모양으로 나타나고, 증착공정후에는 초록색 그리고 증착중에는 하늘색으로 표시된다. 또한, 증착중 에러가 발생하면 빨간색으로 표시되어 작업자가 적절한 조치를 취할 수 있도록 하는 것이다.Typically, whether or not the cassette has a substrate is checked by a vacuum sensor mounted on a robot arm. Specifically, a port equipped with a vacuum sensor is installed on the robot arm, and the port is brought into close contact with the substrate loaded on the cassette. If there is a substrate, a constant pressure change occurs. By reading this value, the presence of the substrate is recognized. In addition, the recognition of the substrate is displayed on the monitor (Monitor) so that the operator can easily check the presence of the substrate. For example, if it is recognized that a substrate is present before the deposition process, white color appears on the monitor as a band, green after the deposition process, and light blue during deposition. In addition, if an error occurs during deposition, it is displayed in red so that the operator can take appropriate measures.

그런데, 카세트에 기판이 적재되어 있는 데에도 불구하고 진공센서가 잘못 인식하면, 그 기판이 없는 것으로 인식되어 그 기판는 해당 단위공정을 수행받지 못하게 된다. 그러나, 기판의 존재여부가 잘못 인식된 경우를 표시하는 방법이 없는 실정이다.However, if a vacuum sensor incorrectly recognizes a substrate loaded in a cassette, it is recognized that the substrate does not exist and the substrate does not receive the unit process. However, there is no way to indicate when the presence of the substrate is incorrectly recognized.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 기판이 실제는 존재함에도 불구하고 존재하지 않는다고 인식하는 것을 방지하는 기판의 확인방법을 제공하는 것이다.Accordingly, the technical problem to be achieved by the present invention is to provide a method for identifying a substrate that prevents the board from recognizing that the substrate does not exist even though it actually exists.

도1은 본 발명에 의한 기판의 확인방법을 설명하기 위한 개략도이다.1 is a schematic view for explaining a method of identifying a substrate according to the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

102 ; 진공포트 104 ; 지지대102; Vacuum port 104; support fixture

106 ; 진공라인 107 ; 분기진공라인106; Vacuum line 107; Branch vacuum line

108 ; 진공센서 110 ; 진공펌프108; Vacuum sensor 110; Vacuum pump

112 ; 제어기 114 ; 모니터112; Controller 114; monitor

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 의한 기판의 확인방법은, 기판에 진공라인으로 연결된 진공포트를 밀착시키는 단계와, 진공센서를 이용하여 진공포트에서 전달된 압력을 읽어들이는 단계 및 상기 진공센서에서 읽어들인 압력값에 따라 특정위치에 기판이 존재하는 지 여부를 모니터에 표시하되, 상기 기판이 존재하지 않는다고 인식된 경우에도 육안으로 식별할 수 있는 표시를 하는 단계를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of identifying a substrate, comprising: closely contacting a vacuum port connected to a substrate by a vacuum line, reading a pressure transferred from the vacuum port using a vacuum sensor, and the vacuum. And displaying on the monitor whether or not the substrate exists at a specific position according to the pressure value read from the sensor, and performing a display that can be visually identified even when it is recognized that the substrate does not exist.

또한, 상기 육안으로 식별할 수 있는 표시가 특정한 색을 띤 막대모양인 것이 바람직하며, 상기 모니터에 표시하는 단계는, 상기 기판의 존부와 함께 상기 기판이 공정수행전인지, 수행중인지 및 수행후인지를 표시하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the visually identifiable display is a rod having a specific color, and the displaying on the monitor includes, with the presence of the substrate, whether the substrate is before, during, and after the process. It is preferable to display.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 더욱 상세히 설명하기로 한다. 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정하는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. The present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but can be implemented in various different forms, only this embodiment to make the disclosure of the present invention complete, and complete the scope of the invention to those skilled in the art It is provided to inform you.

도1을 참조하면, 지지대(104)와 진공센서(108)를 거쳐 진공펌프(110)까지 연결된 진공라인(106)을 형성한다. 진공라인(106)은 지지대(104) 부분의 단부에서 진공포트(102)와 연결되어 있다. 지지대(104)는 로봇암(Robot arm)일 수도 있으나, 반드시 이에 한정되지 않는다. 진공센서(108)는 압력센서의 일종으로 진공라인 (106)에서 확인된 압력을 측정하여 그 결과를 제어기(112)에 전달하는 역할을 한다. 압력을 측정하는 방법은 임의로 정할 수 있다. 예컨대, 다이아프램 (Diaphragm)을 이용할 수도 있고 반도체 압력센서를 이용할 수도 있다. 진공펌프(110)는 특정한 것으로 한정하지 아니한다. 진공포트(102)는 기판에 직접 밀착되어 기판의 존재여부를 확인하는 부분이므로 기판의 형상처럼 평평한 것이 바람직하다. 여기서, 진공포트(102)는 기판에 강하게 밀착되어야 하므로 진공포트(102)에 형성된 분기진공라인(107)의 숫자는 가능한한 적어야 한다. 왜냐하면, 분기진공라인 (107)의 갯수가 많아지면, 강하게 밀착되기도 어려울 뿐만 아니라 각 분기진공라인 (107)에 압력이 균일하게 전달되지 않을 수 있으나, 필요에 따라 복수개의 분기진공라인(107)을 형성할 수 있다. 만일, 분기진공라인(107)의 갯수가 2이상이면 각 분기진공라인(107)에 전달되는 압력이 균일해야 하므로 진공포트(102)에 형성된 분기진공라인(107)의 직경도 균일한 것이 바람직하나, 서로 직경이 다른 분기진공라인(107)을 형성할 수도 있다. 더불어, 진공포트(102)의 형상은 기판에 강하게 밀착되는 조건을 갖추면, 특별하게 한정되지는 않는다.Referring to FIG. 1, a vacuum line 106 connected to the vacuum pump 110 through the support 104 and the vacuum sensor 108 is formed. The vacuum line 106 is connected to the vacuum port 102 at the end of the portion of the support 104. The support 104 may be a robot arm, but is not limited thereto. The vacuum sensor 108 is a kind of pressure sensor that serves to measure the pressure identified in the vacuum line 106 and transmit the result to the controller 112. The method of measuring pressure can be arbitrarily determined. For example, a diaphragm may be used or a semiconductor pressure sensor may be used. The vacuum pump 110 is not limited to a specific one. Since the vacuum port 102 is in close contact with the substrate to check the existence of the substrate, the vacuum port 102 is preferably flat as the shape of the substrate. Here, the vacuum port 102 should be tightly adhered to the substrate, so the number of branch vacuum lines 107 formed in the vacuum port 102 should be as small as possible. Because, if the number of branch vacuum line 107 is large, it is difficult to be in close contact with each other, and pressure may not be uniformly transmitted to each branch vacuum line 107, but a plurality of branch vacuum lines 107 may be provided as necessary. Can be formed. If the number of branch vacuum lines 107 is 2 or more, the pressure transmitted to each branch vacuum line 107 should be uniform, so that the diameter of the branch vacuum line 107 formed in the vacuum port 102 is also uniform. It is also possible to form branch vacuum lines 107 having different diameters from each other. In addition, the shape of the vacuum port 102 is not particularly limited as long as it has a condition of being in close contact with the substrate.

한편, 기판을 적재하는 카세트는 복수개의 슬롯(slot)이 있어 복수개의 기판을 채울 수 있다. 카세트 내에 기판이 존재하는 지의 여부는 진공포트(102)를 각각의 기판에 밀착시켜 확인한다. 구체적으로 살펴보면, 진공포트(102)가 확인하려고 하는 위치에 기판이 있으면, 기판이 진공포트(102)에 강하게 밀착된다. 이처럼, 기판이 있으면 진공센서에서 진공라인(106)가 발생된 압력을 읽어서 기판이 존재한다고 인식한다. 여기서, 장비에 따라 다르겠지만 기판이 존재한다고 인식되는 압력의 변화는 약 50 ㎜Hg이다. 따라서, 압력의 변화가 약 50 ㎜Hg이라고 인식되면, 제어기(112)를 통하여 모니터(114)에 특정한 색으로 기판이 존재함을 표시한다. 모니터(114)에 특정한 색으로 표시되는 과정은 제어기(112)에서 진행할 수 있고,모니터(114)에 별도로 부착된 장비를 이용하여 수행할 수 있다. 예컨대, 증착공정전에 기판가 있다고 인식되면 모니터상에 흰색이 띠모양으로 나타나고, 증착공정전에는 초록색 그리고 증착중에는 하늘색으로 표시된다. 또한, 증착중 에러가 발생하면 빨간색으로 표시되어 작업자가 적절한 조치를 취할 수 있도록 하는 것이다.On the other hand, the cassette for loading the substrate has a plurality of slots (slot) can fill the plurality of substrates. Whether or not a substrate exists in the cassette is checked by bringing the vacuum port 102 into close contact with each substrate. Specifically, if the substrate is in a position to be checked by the vacuum port 102, the substrate is strongly adhered to the vacuum port 102. As such, if there is a substrate, the vacuum line 106 reads the pressure generated by the vacuum sensor to recognize that the substrate exists. Here, depending on the equipment, the change in the pressure at which it is recognized that the substrate is present is about 50 mmHg. Thus, if it is recognized that the change in pressure is about 50 mmHg, it indicates via the controller 112 that the substrate is present in a particular color on the monitor 114. The process of displaying a specific color on the monitor 114 may be performed by the controller 112 and may be performed by using a device separately attached to the monitor 114. For example, if it is recognized that a substrate is present before the deposition process, white color appears on the monitor as a band, green before the deposition process, and light blue during deposition. In addition, if an error occurs during deposition, it is displayed in red so that the operator can take appropriate measures.

만약 기판이 없다면, 진공센서 (108)에서 읽어들이는 진공라인(106)의 압력의 변화는 없다. 그런데, 기판이 실제로 카세트 등의 캐리어에 있음에도 불구하고 진공센서(108)가 이를 인식하지 못하는 경우도 있다. 예컨대, 진공포트(102)의 결함이 있거나, 진공포트(102)가 기판에 정확하게 밀착되지 않는 등의 이유로 실제로 존재하는 기판을 인식하지 못하는 경우이다. 그렇게 되면, 그 기판은 해당 단위공정을 수행받을 수 없게 된다. 따라서, 진공센서(108)에서 인식된 압력의 변화가 없더라도, 이 값를 제어기(112)에 보내 모니터(114)에 기판이 존재하지 않음을 알리는 표시를 한다. 모니터(114)상에 특정한 색으로 기판이 인식되지 않음이 표시되면, 작업자는 실제로 기판이 존재하지 않는 지를 재확인한다. 만일, 기판이 존재함에도 기판이 없다고 인식되었더라도, 작업자는 그 기판을 해당 단위공정을 거치도록 조치를 취할 수 있다. 여기서, 특정한 색은 임의로 선택할 수 있으나, 기판이 존재할 때 표시되는 색과는 구별되는 색이 바람직하다.If there is no substrate, there is no change in the pressure of the vacuum line 106 reading from the vacuum sensor 108. However, even though the substrate is actually in a carrier such as a cassette, the vacuum sensor 108 may not recognize this. For example, there is a defect in the vacuum port 102, or the case where the vacuum port 102 does not recognize the substrate that actually exists, for example, does not adhere closely to the substrate. If so, the substrate cannot be subjected to the unit process. Therefore, even if there is no change in the pressure recognized by the vacuum sensor 108, this value is sent to the controller 112 to indicate that the substrate is not present in the monitor 114. If the monitor 114 indicates that the substrate is not recognized in a particular color, the operator reconfirms that the substrate does not actually exist. If it is recognized that there is no substrate even though the substrate exists, the operator may take steps to pass the substrate through the unit process. Here, a specific color may be arbitrarily selected, but a color distinct from the color displayed when the substrate is present is preferable.

이상 본 발명을 상세히 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한하지 않고 당업자에 의해 많은 변형 및 개량이 가능하다.Although the present invention has been described in detail above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and many modifications and improvements can be made by those skilled in the art.

상술한 본 발명에 의한 기판의 확인장치에 따르면, 기판이 인식되지 않는다는 것을 모니터에 식별할 수 있는 표시를 함으로써 기판이 실제는 존재함에도 불구하고 없다고 인식하는 것을 방지할 수 있다.According to the apparatus for confirming a substrate according to the present invention described above, by displaying a display capable of identifying to the monitor that the substrate is not recognized, it can be prevented from recognizing that the substrate does not actually exist.

Claims

Adhering a vacuum port connected to the substrate by a vacuum line;

Reading the pressure transferred from the vacuum port using a vacuum sensor; And

Displaying on the monitor whether a substrate exists at a specific position according to the pressure value read from the vacuum sensor, and performing a display that can be visually identified even when it is recognized that the substrate does not exist;

Confirmation method of the substrate comprising a.

The method of claim 1, wherein the visually identifiable mark is a rod having a specific color.

The method of claim 1, wherein the displaying on the monitor indicates whether the substrate is before, during, and after the process, together with the presence of the substrate.