KR20020038768A - 기판의 적재 및 하적용 장치 - Google Patents

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KR20020038768A
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클라우스 베버
마르틴 제만
위르겐 칼리스
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라스프
스티그 하마테크 악티엔게젤샤프트
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Abstract

본 발명은 이송 장치(83; 3a; 3b)를 이용한 기판의 적재와 하적을 위한 장치(1; 1a; 1b)에 관한 것으로, 회전가능한 하나 이상의 핸들링 기구(4, 5; 4a)를 포함하며 선형 방식으로 기판을 전달하는데 사용되고, 이송 장치(3; 3a; 3b)와 하나 이상의 프로세스 스테이션(6A~6D, 7A~7D; 80A~80H) 사이에서 기판을 이동시키기 위한 장치로서, 적은 부품수가 사용되며 이송 장치(3; 3a; 3b)가 두개 이상의 프로세스 스테이션(6A~6D, 7A~7D; 80A~80H) 및 이송 장치(3; 3a; 3b)위에서 하나 이상의 핸들링 기구(4, 5; 4a) 사이에 정렬되는 경우에 작은 공간을 차지하게 된다.

Description

기판의 적재 및 하적용 장치{DEVICE FOR LOADING AND UNLOADING SUBSTRATES}
기판의 적재와 하적을 위한 전술한 유형의 장치가 공지되었는데, 예를 들어, 기판의 처리를 위한 정렬장치, 특히 기판의 랙커링(lacquering) 또는 코팅을 위한 정렬장치에서 공지되어 있다. 예를 들어 CD/CD-R/DVD 및 기타 데이터 저장 수단 또는 데이터 캐리어에서, 랙커링 또는 코팅을 위하여, 이러한 정렬장치 기판이 공급 장치로부터 제 1 핸들링 장치에 의해 회수되며 랙커링 스테이션과 같은 프로세싱 스테이션에 놓여진다. 처리된 이후에, 기판은 다시 제 2 핸들링 장치에 의하여 취합되며 전달을 위하여 장치에 놓여지거나 다른 프로세스로 공급된다.
미국 공보 4,824,309A호는 진공 전(pre)-챔버와, 버퍼 챔버와, 그리고 프로세싱 챔버를 갖는 진공 프로세싱 유니트를 개시한다. 유니트는 버퍼 챔버내의 제 1 웨이퍼 캐리어뿐만 아니라 제 2 웨이퍼 캐리어를 가져, 진공 전-챔버로부터 제 1 웨이퍼 캐리어까지 버퍼 챔버내의 웨이퍼를 전달하도록 한다. 또한. 제 3 웨이퍼캐리어가 구비되어 제 1 웨이퍼로부터 프로세싱 챔버까지 웨이퍼를 전달하는데, 여기에서 제 2 웨이퍼 캐리어와 제 3 웨이퍼 캐리어에 의하여 이송 벨트에 제공된다.
레이볼드 시스템즈 컴파니(Leybold Systems Company)의 스피드라인 안내서(Speedline prospectus; 97년 2월, 6~9쪽)에서 통합형 CD-제조 장치가 개시되었는데, 여기에서 CD의 제조를 위하여 상이한 프로세스 유니트가 정렬장치로 일체화된다. CD를 형성하는 요소를 전달하기 위하여, 기구적인 그립퍼(gripper)뿐만 아니라 이송 벨트가 이용된다.
DE-C-197 22 408호에는 두개의 공급 스테이션과, 두개 이상의 프로세싱 스테이션과, 그리고 두개의 배분 스테이션을 가진 두개의 분리된 전달 스트렛치로 기판의 분리된 전달을 위한 장치와 방법을 보여준다. 기판의 전달을 위한 전달 장치는 회전축 주위에서 제 1각도로 회전가능하며, 규정 각도 간격으로 회전축 주위의 원호를 따라 놓여지는 두개 이상의 그립퍼를 갖는다. 두개의 공급 스테이션 사이의 각도 간격과, 두개의 처리 스테이션 사이의 각도 간격과, 그리고 배분 스테이션 사이의 각도 간격은 각각 규정 각도 간격과 동일하며, 제 1각도는 규정 각도보다 크다.
작업물로부터 상이한 처리를 수행하기 위한 다른 장치가 DE-C-41 27 341호로부터 공지되었다. 작업물은 캐리지의 양쪽에 정렬된 3개의 전달 아암을 각각 갖는 선형 가동 전달 캐리지를 경유하여 회전 스위칭 테이블로 전달되거나 테이블로부터 전달된다. 회전 스위칭 테이블은 작업물을 프로세싱 스테이션으로 유도한다.
다른 참증으로는 미국 특허 5,700,127A에서 다양한 프로세싱 유니트를 갖는기판 처리 장치를 보여주고 있다. 기판은 핸들링 장치를 경유하여 다양한 프로세싱 유니트로 공급되거나 회수된다. 핸들링 장치는 x, y, z방향으로 선형 이동이 가능하며 z축 주위에서 회전가능한 기판 그립퍼를 갖는다.
이러한 장치와 함께, 프로세싱 스테이션의 적재 및 하적을 위하여 공급이 분리될뿐만 아니라 핸들링 장치가 분리되며 배출 장치가 제공된다. 이는 장치의 부품에 대한 큰 공간을 요구하게 되며, 특히 클린 룸 환경에 대하여는 가격이 고가이다.
본 발명은 기판의 적재 및 하적용 장치에 관한 것으로, 기판을 선형 전달하기 위한 이송 장치와, 하나 이상의 프로세싱 스테이션과 이송 장치 사이에서 기판을 전달하기 위한 하나 이상의 회전가능한 핸들링 장치를 포함하는 장치에 관한 것이다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판의 적재와 하적을 위한 장치를 갖는 정렬장치의 평면도,
도 2는 제 2 실시예에 따른 기판의 적재와 하적을 위한 장치를 갖는 정렬장치의 평면도,
도 3은 제 3 실시예에 따른 기판의 적재와 하적을 위한 장치를 갖는 정렬장치의 평면도.
전술된 방식은 본 발명의 장치를 형성하는데, 본 발명의 목적은 적은 갯수의 부품과 요구되는 공간이 적은 경제적인 장치를 제공하기 위한 것이다.
이러한 목적은 두개의 프로세싱 스테이션 사이에 놓여지는 이송 장치와 하나 이상의 핸들링 장치가 이송 장치에 놓여지는 장치로서 독창적으로 달성된다. 두개 이상의 프로세싱 스테이션 사이의 이송 장치의 정렬장치는 이송 장치 위에 놓여지는 회전가능한 핸들링 장치에 의한 장점을 가지며, 다수의 프로세싱 스테이션은 요구도는 공간을 작게 설비할 수 있다.
바람직한 실시예에 따라서, 핸들링 장치의 회전점은 이송 장치의 중심축상에 놓여진다. 핸들링 장치는 바람직하게는 기판에 대한 원주 원에 놓여지는, 바람직하게는 원주 원에서 일정하게 간격지게 놓여지는 수용 장치를 갖는다. 이는 핸들링 장치의 회전 운동에 의하여 원형 대칭이 되어 다수의 프로세싱 스테이션이간단하게 적재와 하적이 될 수 있게 한다.
그러므로, 프로세싱 스테이션은 기판을 처리하는 동안 덮여지지 않으며, 이탈로부터 매개체를 방지하기 위하여 수용기가 바람직하게는 핸들링 장치의 방사상 아암에 놓여져 그 사이에서 빈 공간을 제공하도록 한다.
선형 이송 장치는 특징적으로 이송 벨트이며, 바람직하게는 적재 스테이션과 하적 스테이션 사이에 연장된다. 이는 기판의 이송과 배출을 위하여 특징적으로 단지 이송 벨트만이 요구되므로 필요한 부품의 갯수를 감소할 수 있다.
특별히 바람직한 실시예에 따라, 이송 벨트는 기판을 확실하게 유지하며 위치를 한정하기 위한 캐리어가 구비된다. 이는, 이송 벨트의 간단한 제어를 위항 특정 방향으로 이송 벨트 위에서 캐리어가 일정하게 간격지게 되는 특징이 있으므로, 일정 이동 간격이 제공된다. 핸들링 장치에 대하여 대칭으로 형성되기 위하여, 캐리어는 이송 벨트의 중심축에 놓여지거나 또는 두개 이상의 캐리어가 이송 벨트의 중심축에 대항 대칭으로 놓여지므로, 핸들링 장치의 제어를 간단하게 한다.
또한, 기판의 적재와 하중을 위하여 다수의 기판을 수용하며 보관할 수 있게 하도록 두개 이상의 캐리어가 원주 원에 놓여지는 경우에 장점이 있다.
바람직한 일실시예에 따라, 프로세싱 스테이션의 중심 수용점은 원주 원에 놓여지며, 바람직하게는 원주 원에서 상호 쌍으로 반대로 교차되게 놓여진다.
이는, 프로세싱 스테이션이 바람직하게 동일한 유형의 쌍으로 이루어진다. 또한, 이는 장치의 대칭성을 증가시키므로 핸들링 장치의 제어를 단순화시킨다.
프로세싱 스테이션이 원주원에서 상호 주위에 놓여지는 경우에는 동일한 구동 수단이 제공되는 특징이 있으며, 이는 필요한 구동 수단의 갯수를 감소하며 관련 비용을 저감시킨다.
핸들링 장치의 수용 장치의 갯수는 원주 원에 놓여지는 캐리어와 프로세싱 스테이션의 갯수에 상응하는 특징이 있다. 이는 모든 프로세싱 스테이션과 캐리어의 적재와 하적이 단일 동작으로 원주 원에서 효과적으로 이루어질 수 있게 한다. 이는, 적재와 하적시에, 바람직하게는 모든 수용기가 이송 장치의 캐리어 위에서 놓여지거나 또는 프로세싱 스테이션의 수용점 위에 놓여진다.
바람직한 일실시예에 따라, 제어 장치가 핸들링 장치의 수용 장치의 개폐를 동시에 하기 위해 제공되어 캐리어와 프로세싱 스테이션으로부터 기판을 동시에 수용하도록 하거나 또는 그 위에 보관할 수 있게 한다.
본 발명은 도면을 참조로 하는 바람직한 실시예를 보조로하여 상세하게 설명될 것이다.
도 1은 CD의 프로세싱을 위한 정렬장치(1)를 도시한다. 정렬장치(1)는 본발명에 따른 기판의 적재와 하적을 위한 제 1 실시예의 장치(2)를 포함하고, 선형 이송 장치(3)와 두개의 핸들링 장치(4, 5)가 구비된다. 또한, 정렬장치(1)에는 CD가 처리되는 8개의 프로세싱 스테이션(6A~6D, 7A~7D)이 제공된다. 정렬장치(1)는 기초 부재 또는 지지 수단(8)에 놓여지는데, 이는 예를 들어 미네랄 잉곳(mineral ingot)이다.
핸들링 장치(4), 프로세싱 스테이션(6A~7D) 및 그리고 선형 이송 장치(3)는 함께 정렬장치(1)의 제 1 그룹을 형성한다. 또한, 핸들링 장치(5), 프로세싱 스테이션(7A~7D)과 함께 선형 이송 장치(3)는 제 1 그룹에 상응하는 정렬장치(1)의 제 2 그룹을 형성한다. 정렬장치의 제 1 그룹과 제 2 그룹은 동시에 단일 선형 이송 장치(3)를 이용한다.
제 1 실시예의 장치(2)의 선형 이송 장치(3)는 트랙 또는 라인(14)을 따라 놓이는 이송 벨트(13)를 갖는다. 이송 장치(3)의 역전 단부(15, 16)에서, 이송 벨트(13)는 아이들러 롤러(17)와 구동 롤러(18)에 각각 설치된다. 선형 이송 장치(3)의 단부(16)에는 구동 수단(19)이 제공된다. 구동 수단(19)은 적절한, 도시되지 않은 제어 장치를 갖는 서보 모터이며, 이송 벨트(13)의 전달을 위하여 구동 롤러(18)를 구동시킨다.
선형 이송 장치(3)는 중심축(20)을 가지는데, 이는 동시에 이송 벨트(13)의 중심축이다.
도시되지 않은 CD를 위한 캐리어는 이송 벨트(13)에 놓여진다. 도 1에서, CD는 도시되지 않은 적절한 핸들링 장치에 의하여 역전 단부(15)에서 이송벨트(13)에 놓여지며, 가공 이후에, 도시되지 않은 다른 적절한 핸들링 장치에 의하여 역전 단부(16)에서 CD는 다시 회수된다.
핸들링 장치(4, 5)는 이송 벨트(13) 위에서 유지되므로 적절한 구동 수단을 통해 회전가능하면서 높이가 조절된다. 핸들링 장치(4, 5)는 본질적으로 동일하므로, 이후에는 단지 핸들링 장치를 도면부호 4로 설명할 것이다.
핸들링 장치(4)의 회전축은 원주 원(41)의 중심점(40)을 통해 연장된다. 핸들링 장치(4)의 회전축은 선형 이송 장치(3)의 중심축(20)에 수직으로 놓여진다. 핸들링 장치(4)에는 6개의 각각의 수용 장치 또는 수용기(42~47)가 구비되며, 이는 6개의 방사상으로 연장된 아암(48~53)에 놓여진다. 수용기(42~47)는 적절한, 예를 들어 개폐에 의하여 CD를 수용하며 다시 CD를 보관하며 이러한 목적을 위하여 도시되지 않은 제어 장치에 의하여 적절하게 제어된다.
도 1에서 도시된 바와 같이, 핸들링 장치(4)의 수용기(42~47)는 원주 원(41)에 놓여지며 원주 원(41) 위에서 일정하게 간격진다. 6개의 수용기(42~47)는 원주 원(41) 위에서 각각 α=60°로 제공된다.
프로세싱 스테이션(6A~6D, 7A~7D)은 두개의 핸들링 장치(4, 5)에 연결되는데, 이는 이미 도시되었다. 이로써, 이후에는 프로세싱 스테이션(6A~D)만이 설명되며, 프로세싱 스테이션(7A~D)에 대해 적용되는 설명은 핸들링 장치(5)와 함께 한다.
프로세싱 스테이션(6A, 6C)은 랙커링 또는 코팅 스테이션으로 회전 플레이트와 피봇가능한 코팅 노즐을 갖는다. 또한, 프로세싱 스테이션에는 처리되어질 CD를 위한 중심 수용점(60A, 60C)이 제공된다. 프로세싱 스테이션(6B, 6D)은 회전 플레이트와 코팅 처리 이후에 CD의 엣지를 세척하기 위한 엣지 스크래퍼를 갖는 엣지 클리너이다. 프로세싱 스테이션(6B, 6D)은 유사하게 프로세싱 스테이션에서 CD를 수용하기 위한 중심 수용점(60B, 60D)을 갖는 수용기가 제공된다.
중심 수용점(60A~60D)은 원주 원(41)에 놓여지며 상호 반대인 원주 원(41) 위에서 쌍으로 놓여진다. 그리하여, 중심 수용점(60A, 60C)과, 중심 수용점(60B, 60D)은 각각 쌍으로 형성된다.
원주 원(41)상에서 상호 반대로 놓여지는 프로세싱 스테이션은 동일한 유형이다. 프로세싱 스테이션(6A, 6C)은 각각 코팅 스테이션이고, 프로세싱 스테이션(6B, 6D)은 각각 엣지 세척 스테이션이다.
중심 수용점(60A~60D)은 원주 원상에서 상호 직접 인접한 프로세싱 스테이션의 중심 수용점이 α=60°만큼 이격되는 방식으로 정렬되고, 중심 수용점은 원주 원(41)과 이송 장치의 중심축(20)의 교차점에 대하여 각각 α=60°만큼 동일하게 이격된다.
정렬장치(1)의 제 1 및 제 2 그룹의 원주 원(41, 66)의 중심점(40, 65)은 선형 이송 장치(3)에서 주변 캐리어 사이의 간격(d)의 3배에 해당되는 거리만큼 간격진다. 두개의 원주 원(41, 66)의 직경은 동일하고, 이송 벨트(3)에서 주변 캐리어 사이의 간격(d)의 2배에 해당된다.
정렬장치(1)는 특정 갯수의 프로세싱 스테이션이 도시되었지만, 이 갯수는 단지 예시적인 것이며 변경될 수 있다. 또한, 프로세싱 스테이션은 코팅 스테이션과 엣지 세척 스테이션이 별도로 되어질 필요가 없으며, 이는 다른 처리시 수행되는 것이다. 또한, 상이한 처리가 제공되는 것은 필요치 않다. 또한, CD 대신에 다른 기판이 처리될 수 있다.
도 2는 정렬장치(1b)의 제 2 실시예를 도시한 것으로, 도 1의 제 1 실시예에서의 핸들링 장치(4, 5)와 같은 다른 제 3 핸들링 장치를 갖는다. 제 3 핸들링 장치는 제 1 실시예의 선형 이송 장치(3)보다 긴 이송 장치(3b)에 유사하게 놓여진다. 제 3 핸들링 장치의 회전축은 이송 장치(3b)의 중심축(20b)에 수직으로 놓여진다. 제 3 핸들링 장치와 함께 다른 제 4 프로세싱 스테이션이 정렬장치(1b)의 제 3그룹을 형성하는데,여기에서 제 4 프로세싱 스테이션은 또한 두개의 코팅 스테이션과 두개의 엣지 세정 스테이션이다.
각 그룹의 핸들링 장치의 수용기뿐만 아니라 프로세싱 스테이션의 CD 수용기의 중심 수용점은 각각의 원주 원에 놓여지고, 원주 원의 중심점은 이송 장치(3b)의 중심축(20b)에 놓여지며, 도 2에 도시된 바와 같이 핸들링 장치의 회전축과 일치한다.
각각의 원주 원의 직경은 동일하다. 도 2의 실시예에서, 원주 원의 직경은 이송 장치(3b)의 주변 캐리어(21b, 36b) 사이의 간격(d)의 3배에 해당된다. 주변 원주 원의 중심점은 이송 장치(3b)의 두개의 주변 캐리어 사이의 간격(d)의 4배에 해당하는 간격으로 이송 장치(3b)의 중심축(20b)에 놓여진다.
이후에 상세히 설명되어지는 정렬장치(1, 1b)의 바람직한 방식의 동작에서와 같이, 제 1 실시예와 제 2 실시예는 이송 장치(3 또는 3b)의 캐리어가 CD를 적재하는 것에 관하여는 다른 점이 있다.
도 3은 본 발명에 따른 장치(2a)의 제 3 실시예의 정렬장치(1a)를 도시한다. 장치(2a)는 선형 이송 장치(3a)와 회전가능한 핸들링 장치(4a)를 갖는다. 또한, 정렬장치(1a)는 프로세싱 스테이션(80A~H)을 갖는다.
선형 이송 장치(4a)는 이송 벨트(13a)에 놓여지는 트랙 또는 라인(14a)을 갖는다. 전술한 제 1 실시예의 이송 벨트(13)과 같이, 이송 벨트(13a)도 선형 이송 장치(3a)의 두개의 역전 단부(15a, 16a) 사이에서 연장되고, 제어 서보모터와 같은 적절한 구동 수단(19a)에 의하여 역전 단부(16a)에서 구동 롤러 수단(18a)에 의해 구동된다.
이송 장치(3a)는 이송 벨트(13a)의 중심축이기도한 중심축(20a)을 갖는다. CD의 캐리어가 이송 벨트(13a)에 놓여진다. 도 3에서, 캐리어(21a~28a)가 식별가능하게 도시되었다. 캐리어는 중심축에 대하여 대칭되는 쌍으로 놓여진다. 예를 들어, 캐리어(21a, 28a), 또는 캐리어(22a, 27a)는 중심축(20a)에 대하여 대칭되는 쌍으로 형성된다.
핸들링 장치(4a)는 이송 벨트(13a)의 상부에서 위쪽으로 유지되며 적절한 구동수단을 경유하는 방식으로 놓여지며, 이는 회전가능하면서 높이가 조절가능하다. 핸들링 장치(4a)의 회전축은 선형 이송 장치(3a)의 중심축(20a)에 수직으로 놓여진다. 핸들링 장치(4a)는 해당되는 방사상으로 연장된 아암(420a~431a)에 20개의 수용기(400a~411a)를 갖는다. 수용기(400a~411a)는 CD를 수용하며 보관하기 위한 것이고, 이러한 목적은 도시되지 않은 제어 장치에 의해 적절하게 조절된다.
도 3에 도시된 바와 같이, 수용기(400a~411a)는 원주 원(41a)에 놓여지며, 이로써 회전가능한 핸들링 장치(4a)의 회전축은 원주 원(41a)의 중심점(40a)을 통해 연장된다. 수용기(400a~411a)는 원주 원상에서 α=30°의 각도로 균일하게 상호 간격진다.
원주 원(41a)의 직경은 도 3에 도시된 장치(2a)의 위치와 같이, 전체에서 두쌍의 캐리어가 중심축(20a)에 대하여 대칭이며 원주 원(41a)에서 이송 벨트(13a)에 놓여진다. 명백한 의미로는, 도 3에서, 이는 한쌍의 캐리어(23a, 26a 및 22a, 27a)이다. 따라서, 원주 원(41a)의 직경은 캐리어(22a, 26a) 사이의 또는 캐리어(23a, 27a) 사이의 간격에 해당한다.
도 3에 도시된 프로세싱 스테이션(80A~80H)은 CD를 코팅하기 위한 코팅 스테이션(80A~80D) 또는 엣지 세척 스테이션(80E~80H)중 하나이다. 코팅 스테이션(80A~80D)에는 회전 플레이트와, 피봇가능한 코팅 노즐과, 그리고 처리되어지는 CD를 위한 각각의 중심 수용점(81A~81H)을 갖는 수용기가 구비된다. 엣지 스테이션(80E~80H)에는 회전 플레이트와, 엣지 스크래퍼(edge scraper)와, 그리고 중심 수용점(81A~81H)을 갖는 수용기가 구비된다.
프로세싱 스테이션(80A~80H)의 각각의 중심 수용점(81A~81H)은 원주 원(41a)에 놓여지고, 원주 원(41a)에서 상호 쌍을 이루어 반대쪽으로 교차되어 놓여진다. 여기에서, 이러한 쌍을 이룬 프로세싱 스테이션은 동일한 유형이다.
또한, 각각의 두개의 동일한 유형인 프로세싱 스테이션은 원주 원(41a)에서 상호 주변에 놓여지며 일반적인 구동 수단에 의해 구동되며, 구동 수단은 분리되어제공될 수도 있다.
제 1 실시예에 따른 장치(2)의 작동 방법은 이후에 간략하게 설명된다.
프로세싱 스테이션에 놓여져 CD는 코팅 스테이션(6A, 6C)에서 코팅되며 엣지는 엣지 스테이션에서 세척되어 처리된다.
CD의 처리 또는 처치동안에, 핸들링 장치(4)의 방사상 아암의 수용기(42~47)는 중간 위치 즉, 프로세싱 스테이션 주위 사이에서 놓여진다. 그리하여, 핸들링 장치(4, 5)는 프로세싱 스테이션 위에 놓여지는 수용기(42~47)가 없는 방식으로 위치된다. 도 1을 참조로 하여, 이러한 방법은 핸들링 장치(4, 5)가 α/2=30°만큼 도시된 위치로 회전된다.
역전 단부(15)에서, 이송 벨트의 캐리어에는 적재 스테이션에 의하여 처리되어질 CD가 제공된다. 적재 또는 설치 과정 이후에, 이송 벨트(13)의 캐리어만이 원주 원(41, 66)의 위치로 적재되어진다. 도 1의 정렬장치(1)에서, 우선 역전 단부(15)에서 캐리어가 적재 스테이션의 수단에 의해 공급되며, 다음으로는 캐리어가 공급되지 않고, 이후에 두개의 캐리어가 다시 공급된 후에 캐리어가 다시 공급되지 않고, 마지막으로 하나 이상의 캐리어가 처리되어질 CD에 공급되어지 방식이 효과적이다. 이러한 목적을 위하여, 이송 벨트는 최종적으로 CD가 공급되는 모든 캐리어가 원주 원(41, 66)중 하나에 놓여질 때까지 다른 거리(d)만큼 언제나 사이클을 이룬다. 도 1에서, 이것들은 캐리어(22, 24, 25, 27)이다.
캐리어가 적재되는 동안에, 이미 처리된 CD는 하적 스테이션에 의하여 역전 단부(16)에서의 이전의 작동 주기에서 이송 벨트로부터 회수된다.
적재된 캐리어(22, 24, 25, 27)가 원주 원(41, 46)에 놓여진 직후에, 핸들링 장치(4, 5)는 도 1에 도시된 위치로 회전되며, 여기에서 수용기(42, 47)는 중심 수용점(60A~60C) 위에서 또는 캐리어(22, 24) 위에서중 하나에 놓여진다. 핸들링 장치(5), 4개의 프로세싱 스테이션(7A~7C), 그리고 이송 벨트(13)를 포함하는 정렬장치(1)의 제 2 그룹에도 동일하게 적용된다.
이러한 위치에서, 수용기(42~47)는 CD에 맞물리기 위하여 낮아지며 동시에 다시 상승된다. 여기에서, 처리되지 않은 CD는 동시에 들어올려져 캐리어로부터 각각의 프로세싱 스테이션의 수용기에서 같이 상승한다.
CD가 들어올려짐에 따라, 핸들링 장치(4)는 α=60°의 각도로 시계방향으로 회전된다. 여기에서, 예를 들어, 캐리어(22)에 의해 들어올려지는 처리되지 않은 CD는 프로세싱 스테이션(6A)의 중심 수용점(60A)으로 전달되고, 코팅 스테이션(6A)에 의해 들어올려지는 CD는 엣지 세척 스테이션(6B) 등으로 전달된다.
이러한 새로운 위치에서, 수용기는 낮아지며 CD가 프로세싱 스테이션의 중심 수용점에 놓여지거나 또는 이송 벨트(13)의 캐리어에 놓여진다.
CD가 캐리어와 프로세싱 스테이션에 보관된 후에, 핸들링 장치(4)는 다시 아암(48~53)의 중간 위치 또는 대기 위치로 회전되므로 핸들링 장치의 수용기는 프로세싱 스테이션 주변 사이에 놓여진다. 제 2 핸들링 장치(5)와 그의 수용기에도 동일하게 적용된다.
코팅 및 엣지 세척 스테이션에서의 CD의 처리동안에, 이송 벨트(13)는 하적되고, 전술한 바와 같이 처리되어질 CD가 다시 공급되거나 또는 적재된다.
도 2의 정렬장치(1b)는 제 3 핸들링 장치와 4개의 해당 프로세싱 스테이션을 포함하는 제 3그룹이 이송 장치(3b)의 길이를 따라 놓여지는 면에서 본질적으로 도 1의 정렬장치(1)와 상이하다.
이로부터, 도 1과 상대적인 도 2의 적재 및 하적 장치의 작동중에는 상이한 결과를 초래한다. 이송 벨트의 캐리어는 두개의 캐리어 사이에서 CD가 공급되며 각각의 그룹의 공통 원주 원에 놓여지는 방식으로 역전 단부(15b)에서 적재 스테이션에 의하여 CD가 적재되고, 두개의 캐리어에는 적재가 없는 상태이며, 이송 벨트의 공급이후에 핸들링 장치 아래에 놓여진다. 그리하여, 제 1 캐리어에 CD가 공급된 이후에, 두개의 캐리어에는 적재가 없는 상태이고, 두개의 캐리어에는 다시 적재되며 두개의 캐리어는 다시 적재가 없는 상태가 되는 등과 같이 반복된다. 핸들링 장치의 수용기에 의한 CD의 수용과 보관에 대하여, 이송 벨트(13b)가 도 2에 도시된 위치로 변위되는데, 이는 적재된 캐리어가 핸들링 장치의 각각의 원주 원에 놓여지게 되므로써 변위된다.
3개의 핸들링 장치는, 도 1의 정렬장치의 작동의 방식에 설명된 것과 같이, CD를 프로세싱 스테이션과 캐리어로 전달하기 위하여 제어된다.
도 3의 정렬장치(1a)에서, 본 발명의 개념은 하나의 핸들링 장치(4a)에 대하여 전체가 12개인 수용기(400a~411a)가 제공되도록 확장된다. 도 3에 도시된 위치에서, 4개의 처리되지 않은 CD는 수용기에 의하여 캐리어(22a, 27a, 23a, 26a)와 프로세싱 스테이션(80A~80H)의 중심 수용점(81A~81A)으로부터 동시에 수용된다. CD가 상승된 이후에, 핸들링 장치(4a)는 2α=60°의 각도만큼 회전되는데, 이는 원주 원(41a)의 수용기 주변의 2배의 각도 간격인 것이다. 그러므로, 전체중 4개의 CD가 동시에 코팅 스테이션(80A~80D)에 공급되고, 4개의 CD는 엣지 세척 스테이션(80E~80H)에 공급되며, 4개의 처리된 CD는 캐리어(22a, 27a, 23a, 26a)에 공급된다. CD가 보관된 이후에, 핸들링 장치(4a)는 전술한 실시예와 같이 중간 위치로 회전되고, 여기에서 수용기는 프로세싱 스테이션 또는 캐리어 사이, 또는 프로세싱 스테이션과 캐리어 사이에 놓여진다. 처리된 CD는 하적 스테이션으로 전달되어질 수 있으며, 캐리어는 적재 스테이션을 경유하여 처리되어질 새로운 CD를 공급할 수 있고, CD는 프로세싱 스테이션에서 처리될 수 있다.
본 발명은 특정한 실시예에 제한되지 않는 본 발명의 바람직한 실시예로 설명되었다.
예를 들어, 도 1 및 도 2의 정렬장치는 적절한 갯수의 프로세싱 스테이션을 갖는 핸들링 장치(4, 5)와 유사한 핸들링 장치를 포함하는 다른 그룹으로 확장될 수 있으며 특히, 선형 이송 장치(3)의 적당한 연장에 의하여 달성된다. 여기에서, 각각의 원주 원의 직경이 이송 벨트(13, 13a 또는 13b)에서의 캐리어 주변의 간격(d)의 적절한 비율을 가지게 되는 것과 CD가 적재된 캐리어만이 해당 원주 원에 놓여진다는 것을 주목하여야 한다. 또한, CD 대신에 다른 기타 기판이 처리될 수 있으며, 또는 선형 이송 장치는 이송 벨트(13, 13a 또는 13b)보다 상이한 방식으로 실현될 수도 있다.

Claims (19)

  1. 기판의 적재 및 하적을 위한 장치(1; 1a; 1b)로서, 상기 기판을 선형 전달하기 위한 이송 장치(3; 3a; 3b)와, 상기 이송 장치(3; 3a; 3b)와 하나 이상의 프로세싱 스테이션(6A~6D, 7A~7D; 80A~80H) 사이에서 상기 기판을 전달하기 위한 하나 이상의 회전가능한 핸들링 장치(4, 5; 4a)를 포함하는 장치에 있어서,
    상기 이송 장치(3; 3a; 3b)는 두개 이상의 상기 프로세싱 스테이션(6A~6D, 7A~7D; 80A~80H) 사이에 놓여지고, 상기 하나 이상의 핸들링 장치(4, 5; 4a)는 이송 장치(3; 3a; 3b) 위에 놓여지는 것을 특징으로 하는 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 핸들링 장치(4, 5; 4a)의 회전점(40, 65; 40a)은 상기 이송 장치(3; 3a; 3b)의 중심축(20; 20b; 20a)에 놓여지는 것을 특징으로 하는 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 핸들링 장치(4, 5; 4a)는 원주 원(41, 66; 41a) 상에 놓여지는 상기 기판용 수용기(42~47; 400a~411a)가 구비되는 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 수용기(42~47; 400a~411a)는 상기 원주 원(41, 66; 41a)을 따라 일정하게 간격진 것을 특징으로 하는 장치.
  5. 제 3 항 또는 4 항에 있어서, 상기 수용기(42~47; 400a~411a)는 상기 핸들링 장치(4, 5; 4a)의 방사상 아암(48~53; 420~431)에 놓여지는 것을 특징으로 하는 장치.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 이송 장치(3; 3a; 3b)는 이송 벨트(13; 13a; 13b)가 구비되는 것을 특징으로 하는 장치.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 이송 벨트(13; 13a; 13b)는 적재 스테이션과 하적 스테이션 사이에 연장되는 것을 특징으로 하는 장치.
  8. 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서, 상기 이송 벨트(13; 13a; 13b)는 상기 기판을 위한 캐리어(21~28; 21a~28a)가 구비되는 것을 특징으로 하는 장치.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 캐리어(21~28; 21a~28a)는 상기 이송 벨트(13; 13a; 13b)의 이동 방향으로 일정하게 이격되는 것을 특징으로 하는 장치.
  10. 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서, 상기 캐리어(21~28)는 상기 이송 벨트(13; 13b)의 중심축(20; 20a; 20b)에 놓여지는 것을 특징으로 하는 장치.
  11. 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서, 상기 이송 벨트(13a)의 중심축(20a)에 대하여 두개 이상의 상기 캐리어(21a~28b)가 각각 대칭으로 놓여지는 것을 특징으로 하는 장치.
  12. 제 1 항 내지 제 11 항중 어느 한 항에 있어서, 두개 이상의 상기 캐리어(21~28; 21a~28a)는 상기 기판의 적재와 하적을 위하여 상기 원주 원(41, 66; 41a)에 놓여지는 것을 특징으로 하는 장치.
  13. 제 3 항에 있어서, 상기 프로세싱 스테이션(6A~6D; 80A~80H)의 중심 수용점(60A~60D; 81A~81H)은 상기 원주 원(41; 41a) 상에 놓여지는 것을 특징으로 하는 장치.
  14. 제 12 항 또는 제 13 항에 있어서, 상기 프로세싱 스테이션(6A~6D, 7A~7D; 80A~80H)은 상기 원주 원(41, 66; 41a)에서 상호 반대쪽에서 쌍을 이루도록 놓여지는 것을 특징으로 하는 장치.
  15. 제 14 항에 있어서, 상기 프로세싱 스테이션(6A~6D, 7A~7D; 80A~80H)은 같은 쌍내에서 상호 동일한 유형인 것을 특징으로 하는 장치.
  16. 제 1 항 내지 제 15 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 원주 원(41a)상에서 상호 인접하여 놓여지는 프로세싱 스테이션(80A~80H)은 동일한 구동 수단으로 구동되는 것을 특징으로 하는 장치.
  17. 제 3 항 내지 제 16 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 핸들링 장치(4; 4a)의 수용기(42~47; 400a~411a)의 갯수는 상기 원주 원(41; 41a)에 놓여진 캐리어(22, 24; 22a, 23a, 26a, 27a)와 적재 및 하적을 위한 상기 프로세싱 스테이션(6A~6D; 80A~80H)의 갯수에 상응하는 것을 특징으로 하는 장치.
  18. 제 17 항에 있어서, 적재와 하적을 하는 동안에 상기 수용기(42~47; 400a~411a) 모두가 상기 이송 장치(3; 3a; 3b)의 상기 캐리어(22, 24, 25, 27; 22a, 23a, 26a, 27a) 위에 놓여지거나 또는 상기 프로세싱 스테이션(6A~6D, 7A~7D; 80A~80H)의 상기 중심 수용점 위에 놓여지는 것을 특징으로 하는 장치.
  19. 제 1 항 내지 제 18 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 수용기(42~47; 400a~411a)는 제어 장치에 의해 동시에 개폐되는 것을 특징으로 하는 장치.
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