KR20020038488A - 디스플레이의 제조작업시 평면유리를 위한 검사시스템 - Google Patents

Abstract

적어도 한 개의 카메라 및 적어도 한 개의 조명유니트를 가진 적어도 한 개의 무접촉식 특히 광학식 검사장치로 구성되고, 적어도 한 개의 운반장치로 구성되며, 상기 운반장치에 의해 대상물이 상기 검사장치에 대해 이동되는 디스플레이의 제조작업시 평평하고 얇은 대상물 특히 평면유리를 위한 검사시스템에 대하여 상기 검사장치에 대해 정확한 거리를 두고 정해진 두께를 가진 적어도 한 개의 에어쿠션들위에서 상기 대상물이 적어도 상기 검사장치의 구성영역내에 고정되는 것을 특징으로 하는 디스플레이의 제조작업시 평면유리를 위한 검사시스템에 관련된다. 상기 검사시스템에 의한 검사작업동안, 보통 상당히 파손되기 쉬운 디스플레이용 평면유리가 세심하게 운반된다.

Description

디스플레이의 제조작업시 평면유리를 위한 검사시스템{Inspection system for flat glasses in the display manufacturing}

본 발명은 적어도 한 개의 카메라 및 적어도 한 개의 조명유니트를 가진 적어도 한 개의 무접촉식 특히 광학식 검사장치로 구성되고, 적어도 한 개의 운반장치로 구성되며, 상기 운반장치에 의해 대상물이 상기 검사장치에 대해 이동되는 디스플레이의 제조작업시 평평하고 얇은 대상물 특히 평면유리를 위한 검사시스템에 관련된다. 특히 본 발명은 하기 설명에서 주로 평면유리에 관해 설명되며 상기 설명에 한정되지 않도록 디스플레이를 제고할 때 평면유리의 검사장치에 관련된다.

디스플레이 예를 들어, 평면스크린 및 유사장치를 위한 평면유리를 제조할 때, 센서 상부근처에서 상기 평면유리를 검사하는 것은 필수적이다. 상기 장치는 투명한 운반재료뿐만 아니라 파손된 층들에 대하여 유용하다. 명령에 따라 광학적 검사장치에 의해 검사가 이루어지며, 상기 검사에 의하면, 음영영역, 밝은 영역 도는 광선통과방식으로 적어도 한 개의 카메라가 적어도 한 개의 조명장치에 의해 조명된다. 따라서 상기 평면유리를 틈새를 통해 검사하기 위하여, 상기 평면유리가 상기 카메라위에서 선형으로 통과하고, 상기 카메라는 흔히 주사선카메라로서 구성된다. 감지된 제조데이타가 데이터처리장치로 전달되고, 상기 장치내에서 데이터평가 및 센서인식이 이루어진다.

카메라 및 평면유리사이의 상대운동에 의해 다수의 문제들이 고려되어야 한다. 상기 평면유리는 약 300x 400mm 내지 800x 1,000mm의 평평한 대형크기에도 불구하고 상대적으로 얇아서 , 상기 평면유리를 평평하고 또한 완전한 굽힘과 휨작용으로 부터 자유롭게 고정하기 위하여, 대형평판상태로 지지하는 것이 필수적이다. 또한 광학적 검사시스템이 용이하게 구성될 수 없다. 굽힘현상을 방지하기 위해 보통 제공되는 주변부위에만 지지하는 것은 불충분하다. 따라서 전체 폭에 대해 연장구성된 롤러 또는 벨트위로 상기 평면유리를 안내하는 것이 공지되어 있다.

그러나 평면유리의 상부면 및 특히 구성층들은 외부의 기계적 유입체들에 대해 매우 민감하다. 따라서 예를 들어, 상기 롤러 또는 벨트 또는 상부면위에 놓여지는 입자 또는 등가물에 기인하여 상기 롤러 또는 벨트를 통해 상기 상부면들이상부면들이 파손되거나 오염되는 것이 회피될 수 있다.

또한 센서인식을 위해 상기 상부면이 정확히 촬영되어야 하므로 , 검사되어야 하는 상부면은 카메라에 대하여 정해진 거리에 놓여지는 것이 보장되어야 한다. 그 결과 대상물에 대한 상부면의 주어진 거리에 관하여 필요한 상기 국소해결방법에 의해 감소된 허용치를 제공한다.

본 발명의 과제에 의하면, 카메라에 대한 상부면의 거리가 더욱 정확하여 양호한 전달작용이 이루어지도록 도입부에 설명된 기술의 검사시스템을 기초로 한다.

상기 과제가 상기 검사장치에 대해 정확한 거리를 두고 정해진 두께를 가진 적어도 한 개의 에어쿠션들위에서 상기 대상물이 적어도 상기 검사장치의 구성영역내에 고정되는 것을 특징으로 하는 디스플레이의 제조작업시 평면유리를 위한 검사시스템에 의해 해결된다. 상기 에어쿠션에 의해 평면유리들이 무접촉상태로 지지되고, 따라서 에어쿠션에 대해 평면유리들중 한 개가 평면위치내에 고정된다. 다음에 민감한 상부면들이 손상되는 것이 신뢰성있게 회피된다. 평면유리하부에서 동시에 형성되는 에어쿠션에 의해 상기 평면유리가 수평방향으로 나란해 정해진 간격내에 고정될 수 있다. 따라서 광학적 검사장치에 대하여 감소된 소요공차의 정밀한 간격이 유지된다. 전달장치가 평면유리의 주변부를 고정하고 전달운동을 수행할 수 있다.

일반적으로 검사장치는 대상물을 구성열을 따라 고정한다. 적어도 상기 구성열의 전후에서 상기 에어쿠션이 필수적으로 상기 구성열의 전체 길이에 대해 연장구성될 때, 상기 구성을 충분하다. 따라서 우선 광학적 검사장치없이 이루어진영역에서 상기 평면유리는 수평방향에 대한 최적의 지지작용을 가진다. 평면유리가 기계적으로 접촉하는 것이 방지되는 한, 상기 검사장치의 전후에서 추가 과정에서 점형상 또는 줄무늬형상의 에어쿠션이 전달장치의 횡방향 또는 종방향으로 연장구성된다.

충분한 신뢰성을 가진 에어쿠션은 0.5내지 2mm 또는 1mm가 선호되는 두께를 가질 수 있다. 또한 상대적으로 크기가 큰 평면유리를 더욱 확실하게 전달하는 것을 보장하기 위해 상기 두께는 충분하다.

구체적으로 상기 에어쿠션이 발생되는 방법은 기본적으로 임의적이다. 그러나 일정한 소요두께를 유지하기 위하여, 상기 에어쿠션은 충분히 안정되고 동시에 형성되는 것이 필수적이다. 또한 상기 평면유리가 불필요하거나 제어할 수 없게 운동하는 것을 방지하기 위하여, 에어쿠션을 발생시키는 유동은 너무 강하지 않아야 한다.

본 발명의 제 실시예에 따르면, 가스형태의 매체, 특히 압축공기에 의해 천공구조의 평판을 가압충돌하여 상기 에어쿠션이 형성되고, 상기 대상물을 마주보는 측면위에서 상기 평판이 적어도 한 개의 필터수단을 가지며, 상기 필터수단이 상기 천공구조를 덮는다. 상기 구성의 장점에 의하면, 상기 평판이 수평의 구멍판을 통해 간단히 제조될 수 있다. 상기 필터수단은 한편으로 에어쿠션을 위한 가스형탱의 매체를 정화한다. 다른 한편으로 상기 천공구조를 통해 유동하는 공기가 동시에 형성된다. 따라서 균일하게 형성되는 두께에 의해 에어쿠션의 소요 안정성이 달성될 수 있다.

상기 필터수단은 플리스(fleece), 합성수지혼합직물, 폼(foam)재료 등으로 구성된다. 유리하게 너무 강한 오염물질에 기인하여 교체될 수 있도록 , 상기 재료들을 선택할 수 있다.

본 발명의 제 2 실시예에 따르면, 가스형태의 매체 특히 공기에 의해 미세 구멍의 천공구조를 가진 평판을 가압충돌하여 에어쿠션이 형성된다. 이를 위해 상기 평판은 소결가공된 공작물 특히 금속제 공작물로부터 제조될 수 있다. 상기 구멍들은 8.0내지 20㎛ 또는 10.0내지 15㎛가 선호되는 내경을 가진다. 놀랍게도 상기 천공구조의 재료가 마주보는 측면위에서 가스형태의 매체와 충돌하면 안전한 에어쿠션을 위한 일정한 유동이 형성될 수 있다. 따라서 상기 미세구멍의 재료가 동시에 상기 가스를 여과하며, 검사되는 상부면의 오염이 방지된다. 또 다른 장점에 의하면, 미세구멍의 재료의 상부면들이 절삭가공될 수 있다. 따라서 상기 상부면에 필수적인 정밀도가 구해질 수 있다.

본 발명의 유리한 실시예에 따르면, 정화된 공기에 의해 상기 에어쿠션이 형성된다. 상기 구성의 장점에 의하면, 공기에 의해 유입되거나 발생되는 입자를 통한 평면유리의 오염이 방지된다. 또한 상기 미세구멍들, 필터수단 또는 구멍들의 막힘현상이 짧은 시간에 야기되지 못한다.

프레임이 제공되어 에어쿠션을 발생시키기 위한 가스유동 단면 및 가스차단단면을 가진 평판 및/또는 다수의 평판들 또는 상기 평판이 상기 프레임내에 배열되고, 대상물과 마주보는 상부면이 수평으로 상기 프레임에 연장구성되며, 상부면들은 수평에 대해 0°도내지 거의 90°또는 80°가 선호되는 각도로 경사를 형성한다. 상기 전달장치를 거의 수직으로 구동하고 함께 작동시키는 롤러들이 구성되고, 상기 전달장치위에서 상기 평면유리가 전방변부에 배열된다. 그러나 구동되는 클램프들이 제공되어 , 상기 클램프들은 평면유리를 주변부에 고정한다. 구동하고 함께 작동하는 휠들이 제공되어, 상기 휠들위에서 상기 주변부가 상기 평면유리에 배열될 수 있다.

평판들 또는 몇 개의 에어쿠션들이 단독으로 가스형태의 매체에 의해 충돌 또는 발생될 수 있을 때 유용하다. 따라서 안정한 에어쿠션을 위해 가능한 일정한 공기유동을 발생시키도록, 특히 검사작업영역내에서 상기 에어쿠션을 위해 압력제어기능이 제공될 수 있다.

상기 에어쿠션과 떨어진 평면유리의 측면위에 카메라가 배열될 수 있다. 그러나 적어도 검사장치의 카메라가 에어쿠션의 상기 측면위에 배열되는 것이 유용할 수 있다. 본 발명을 따르는 유리한 실시예에 의하면, 적어도 두 개가 평판들이 서로에 대해 거리를 두고 배열되며 한 개가 틈새를 한정하고, 상기 틈새내부 또는 후방에서 상기 카메라 및 /또는 조명유니트가 상기 평판들사이에 배열된다. 상기 평판들사이의 틈새 및 에어쿠션을 통해 정해진 공기유동관계가 형성되며, 추가로 에어쿠션의 안정성이 증가될 수 있다.

적어도 한 개의 조명장치가 상기 카메라를 조명하고, 대상물이 마주보는 측면위에 배열된다. 또한 음영영역 및 /또는 밝은 영역내에서 적어도 한 개의 조명유니트에 의해 카메라가 조명되고, 상기 조명유니트는 카메라와 동일한 측면위에배열될 수 있다. 여기서 상기 음영영역 및 /또는 밝은 영역에 대한 조명작용이 상기 틈새를 통해 이루어지고 상기 틈새내부 또는 후방에 카메라가 배열되는 것이 유용하다. 또한 프레임의 벽들 및 /또는 평판들 및 /또는 틈새의 경계벽들이 적어도 검사장치의 구성영역에서 적어도 부분적으로 광선흡수작용의 색상 또는 층 예를 들어, 흐릿한 검정색을 가지는 것이 유리하다. 그 결과 불필요한 반사작용이 회피된다.

또한 당연히 전달방향으로 다수의 검사장치들을 제공할 수 있고, 각각의 상기 검사장치들은 또한 연속적인 조명작용과 함께 평면유리의 특성 또는 연속적인 영역들을 가진다. 검사시스템이 제공되어, 검사장치위에서 무접촉상태로 검사하기 위한 평면유리가 전달된다. 따라서 기계적 손상의 위험없이, 검사장치 및 반응층이 에어쿠션의 측부위에 배열될 수 있다.

본 발명이 하기에서 개략도들에 의해 더욱 상세히 설명된다.

도 1은 본 발명을 따르는 검사시스템의 측면도.

도 2는 검사시스템의 정면도.

도 3은 검사시스템의 평면도.

* 부호설명

11 ... 평판12 ... 에어쿠션

13 ... 평면유리16 ... 카메라

17 ... 틈새19 ... 조명유니트

도면에 도시된 검사시스템은 복수개의 평판(11)들로 구성되고, 상기 평판(11)들은 배면으로부터 압축공기에 의해 충돌될 수 있다. 상기 평판(11)들의 후방에 압축공기를 배분하고 상기 압축공기를 안내하기 위한 소요 송풍장치 및 케이스는 용이한 이해를 위해 도시되지 않는다. 상기 평판(11)들은 미세구멍을 가지고 소결된 금속재료로 제조된다. 평판들에 의해, 대상물들을 지지하기 위한 에어쿠션(12)이 상부면위에 또는 바로 위에 형성되도록 상기 미세구멍을 통해 공기가 유동할 수 있다.

평면유리(13)들이 도면에 도시되지 않은 전달수단을 통해 검사장치위에 끌어당겨지는 동안, 형성된 상기 에어쿠션(12)은 평면유리(13)를 지지한다. 상기 전달운동은 하살표(14)방향을 따라 선형으로 이루어진다. 여기서 상기 평판 및 에어쿠션은 0°도의 각도로 배열되거나 완전히 수직을 이루는 방향까지 경사를 이루며 배열될 수 있다. 상기 전달수단은 평면유리의 주변부를 고정한다.

에어쿠션(12)을 형성하기 위한 평판(11)들은 미도시된 장치프레임내에 완전평면으로 배열되지 않아야 한다. 어떤 점에서 단지 전달장치에 대해 종방향 또는 횡방향의 구성열을 형성하며, 상기 형태의 평판(11) 및 에어쿠션(12)들을 제공하는 것으로 충분하다. 그 결과 정해진 유동관계가 형성된다. 프레임내에 위치한 다수의 변형예를 설명하기 위해 도 3을 참고한다. 기본적으로 대칭을 형성하거나 유사한 구성이 유용하다. 또한 전용의 평판(11)이 구성되지만 강제적인 것은 아니다. 또한 통기성 및 공기불투과성의 단면을 가지고 크기가 큰 한 개 또는 다수의 평판들을 제공하는 것이 상당히 목적에 부합할 수 있다. 다음에 중심의 압축공기안내작용이 제공될 수 있다. 상기 몇 개의 평판들을 제공하면, 상기 평판들의 대부분을 간단히 처리 및 작업하는 잇점을 가진다.

상기 도면에 도시된 실시예에 의하면, 상기 검사장치는 구성열을 이루는 다수의 카메라(16)들을 가지고, 상기 카메라(16)들은 상기 평면유리(13)를 틈새를 형성하며 둘러싼다. 상기 구성을 위하여, 근접한 두 개의 평판(11)들이 거리를 형성하고, 전달방향(14)에 대해 횡방향으로 틈새(17)를 한정한다. 상기 틈새(17)를 통해 카메라(16)가 계속적으로 감시하도록 상기 배열이 제공된다. 상기 검사장치가통과하여 상기 평면유리(13)를 정확하고 양호하게 지지할 수 있도록, 상기 평판 및 에어쿠션(12)이 평면유리(13)의 전체 폭에 대해 연장구성되는 것이 유리하다.

제 1조명유니트(18)가 제공되고, 상기 조명유니트(18)는 상기 틈새(17)와 마주보게 배열되는 측면위에서 카메라(16)를 광선투시방식으로 조명한다. 또한 제 2 조명유니트(19)가 제공되고, 상기 틈새(17)를 통해 상기 조명유니트(19)는 카메라(16)의 음영영역을 조명한다. 그 결과 더욱 작은 조립체가 제공되고, 직접 도는 산란광으로 상기 카메라를 조명하는 것이 가능하다. 따라서 평면유리(13)의 특성이 연속적으로 검사될 수 있다.

Claims (17)

1. 적어도 한 개의 카메라(16) 및 적어도 한 개의 조명유니트(18,19)를 가진 적어도 한 개의 무접촉식 특히 광학식 검사장치로 구성되고, 적어도 한 개의 운반장치로 구성되며, 상기 운반장치에 의해 대상물이 상기 검사장치에 대해 이동되는 디스플레이의 제조작업시 평평하고 얇은 대상물 특히 평면유리(13)를 위한 검사시스템에 있어서,

   상기 검사장치에 대해 정확한 거리를 두고 정해진 두께를 가진 적어도 한 개의 에어쿠션(12)들위에서 상기 대상물이 적어도 상기 검사장치의 구성영역내에 고정되는 것을 특징으로 하는 디스플레이의 제조작업시 평면유리를 위한 검사시스템.
2. 제 1항에 있어서, 가스매체에 의해 적어도 한 개의 평판을 가압충돌시켜 상기 에어쿠션이 형성되고, 상기 대상물을 마주보는 측면위에서 상기 평판이 적어도 한 개의 필터수단을 가지고, 상기 필터수단이 천공구멍을 덮는 것을 특징으로 하는 디스플레이의 제조작업시 평면유리를 위한 검사시스템.
3. 제 1항에 있어서, 가스매체 특히 공기에 의해 적어도 미세한 작은 구멍을 가진 평판(11)들을 가압충돌시켜 상기 에어쿠션(12)이 형성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이의 제조작업시 평면유리를 위한 검사시스템.
4. 제 3항에 있어서, 미세한 작은 구멍을 가진 상기 평판(11)이 소결재료로 제조되는 것을 특징으로 하는 디스플레이의 제조작업시 평면유리를 위한 검사시스템.
5. 제 3항 또는 제 4항에 있어서, 상기 구멍은 8.0내지 20.0㎛ 또는 10.0내지 15㎛의 내경으로 구성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이의 제조작업시 평면유리를 위한 검사시스템.
6. 제 1항 내지 제 5항 중 한 항에 있어서, 정화되고 특히 이물질이 없는 공기에 의해 상기 에어쿠션(12)이 형성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이의 제조작업시 평면유리를 위한 검사시스템.
7. 제 1항 내지 제 6항 중 한 항에 있어서, 상기 에어쿠션(12)이 0.5내지 2mm 또는 1mm가 선호되는 두께로 구성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이의 제조작업시 평면유리를 위한 검사시스템.
8. 제 1항 내지 제 7항 중 한 항에 있어서, 검사장치가 주사선을 따라 상기 대상물(13)을 검사하고, 적어도 상기 주사선의 전방 및 후방에서 상기 주사선의 전체 길이에 대해 상기 에어쿠션(12)을 따라 연장구성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이의 제조작업시 평면유리를 위한 검사시스템.
9. 제 1항 내지 제 8항 중 한 항에 있어서, 에어쿠션(12)을 형성하기 위해 가스투과성 및 가스불투과성을 가진 상기 평판 또는 다수의 평판(11) 및 /또는 한 개 또는 다수의 평판들이 배열된 프레임이 제공되며, 상기 대상물을 향하는 평면의 평판이 수평으로 연장구성되고, 수평에 대해 0°도내지 90°도 또는 80°도 까지의 각도로 기울어지는 것을 특징으로 하는 디스플레이의 제조작업시 평면유리를 위한 검사시스템.
10. 제 8항 또는 제 9항에 있어서, 상기 가스매체에 의해 평판(11) 또는 평판의 공기투과영역이 충돌될 수 있는 것을 특징으로 하는 디스플레이의 제조작업시 평면유리를 위한 검사시스템.
11. 제 1항 내지 제 8항 중 한 항에 있어서, 적어도 두 개의 평판(11)들이 구성되고, 틈새(17)를 한정하는 것을 특징으로 하는 디스플레이의 제조작업시 평면유리를 위한 검사시스템.
12. 제 1항 내지 제 11항 중 한 항에 있어서, 적어도 검사장치의 카메라(16)가 에어쿠션의 측면위에 배열되는 것을 특징으로 하는 디스플레이의 제조작업시 평면유리를 위한 검사시스템.
13. 제 1항 내지 제 12항 중 한 항에 있어서, 카메라(16) 및 /또는조명유니트(19)가 평판들사이에 틈새(17)의 내부 또는 후방에 배열되는 것을 특징으로 하는 디스플레이의 제조작업시 평면유리를 위한 검사시스템.
14. 제 1항 내지 제 13항 중 한 항에 있어서, 상기 카메라(16)가 적어도 한 개의 조명유니트(18)에 의해 노출되고, 대상물(13)과 마주보게 위치한 측면위에서 조명유니트가 배열되는 것을 특징으로 하는 디스플레이의 제조작업시 평면유리를 위한 검사시스템.
15. 제 1항 내지 제 14항 중 한 항에 있어서, 적어도 한 개의 조명유니트(19)의 카메라(16)가 밝은 영역 및 /또는 음영영역내에서 노출되고, 카메라의 동일측면위에 배열되는 것을 특징으로 하는 디스플레이의 제조작업시 평면유리를 위한 검사시스템.
16. 제 12항 내지 제 15항 중 한 항에 있어서, 상기 밝은 영역 및/ 또는 음영영역에 대한 조명유니트가 틈새(17)를 통해 작용하고, 상기 틈새의 후방 또는 내부에 카메라(16)가 배열되는 것을 특징으로 하는 디스플레이의 제조작업시 평면유리를 위한 검사시스템.
17. 제 1항 내지 제 17항 중 한 항에 있어서, 광선흡수작용의 색상 또는 구성층에 의해 적어도 부분적으로 적어도 검사장치의 구성영역내에서 프레임의 벽/또는평판(11) 및 /또는 틈새(17)의 경계벽이 제공되는 것을 특징으로 하는 디스플레이의 제조작업시 평면유리를 위한 검사시스템.