KR20020036118A - Apparatus for exhausting fume in Chamber - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 챔버내의 오염가스를 배출하는 시스템에 관한 것으로, 특히 웨이퍼 제조공정 중에 요구되는 가스를 챔버내에서 이용하여 웨이퍼를 처리한 후 챔버내에 잔류하게 되는 오염가스를 후드를 이용하여 외부 정화장치로 배출하는 챔버내의 오염가스 배출장치에 관한 것이다.The present invention relates to a system for discharging contaminant gas in a chamber. In particular, after the wafer is processed using a gas required during a wafer manufacturing process in the chamber, the contaminant gas remaining in the chamber is transferred to an external purifier using a hood. The present invention relates to a contaminant gas discharge device in a discharge chamber.
일반적으로 반도체 웨이퍼는 사진, 확산, 식각, 화학기상증착 및 금속증착 등의 공정을 반복 수행함으로써 반도체 칩으로 제작되고, 이들 반도체 칩 제조 공정 중 확산, 식각, 화학기상증착 등의 공정은 밀폐된 챔버 내부에서 필요한 공정가스를 공급하여 이들 공정가스로 하여금 웨이퍼 상에서 반응토록 하여 회로를 형성하는 것이다.In general, semiconductor wafers are fabricated as semiconductor chips by repeatedly performing processes such as photolithography, diffusion, etching, chemical vapor deposition, and metal deposition, and processes such as diffusion, etching, and chemical vapor deposition in these semiconductor chip manufacturing processes are closed chambers. By supplying the necessary process gases inside, these process gases are allowed to react on the wafer to form a circuit.
이와 같이 사용되는 공정가스는 대부분이 독성이 강하고, 챔버를 부식시키는 부식성이 강한 가스로 챔버내에 방치할 경우 챔버를 부식시켜 사용 사이클을 단축시키고, 또한 별도의 정화 과정없이 외부로 유출될 경우 심각한 환경오염과 안전사고를 초래하게 된다.Most of the process gases used in this way are highly toxic and corrosive gases that corrode the chamber. If it is left in the chamber, the process gas is corroded to shorten the cycle of use. It will cause pollution and safety accidents.
이와 같은 이유로 별도의 장비를 이용하여 챔버내의 가스를 외부 정화장치로 배출시키는 데, 그 장치를 도 1에 도시하였다.For this reason, using a separate equipment to discharge the gas in the chamber to the external purifier, the apparatus is shown in FIG.
도 1에 도시한 바와 같이 챔버(Camber)내의 오염 가스는 후드(hood)와 덕트(duct)와 같은 장비를 이용하여 챔버(10)내의 가스를 흡입한 후 덕트를 통해 외부 정화장치로 배출하는 바, 챔버(10)내의 가스를 흡입하는 후드부(20)와, 상기 후드부(20)를 소정의 와이어를 이용하여 일정 높낮이로 조절하는 구동수단(40)과,상기 구동수단(40)의 모터(41)를 조정하는 업/다운스위치(51, 55) 및 컨트롤러(50)와, 상기 후드부(20)와 메인덕트(70) 사이에 설치되어 후드부(20)의 흡입구로부터 배출되는 가스의 유량을 조절하는 수동 배출량조절기(60)와, 복수의 후드와 각각 연결되어 각 후드에서 배출된 오염가스를 후단의 정화장치(미 도시)로 배출하는 메인덕트(70)로 이루어져 있다.As shown in FIG. 1, the pollutant gas in the chamber is sucked into the chamber 10 using equipment such as a hood and a duct and then discharged to the external purifier through the duct. , A hood unit 20 for sucking gas in the chamber 10, a driving unit 40 for adjusting the hood unit 20 to a predetermined height using a predetermined wire, and a motor of the driving unit 40. Up / down switches 51 and 55 and controller 50 for adjusting 41 and gas discharged from the inlet of the hood portion 20 are installed between the hood portion 20 and the main duct 70. Manual discharge controller 60 for adjusting the flow rate, and the main duct 70 is connected to a plurality of hoods, respectively, and discharges the polluted gas discharged from each hood to a rear purification device (not shown).
상기와 같은 구조로 이루어진 배출 장치는 단지 후드의 높낮이만 조절하도록 이루어져 있어 배출장치를 사용하지 않을 경우 정리, 정돈에 있어 불편하고, 후드의 가스배출량을 조절하기 위해서는 수동으로 배출량조절기(60)를 일일이 조절해야 하므로 불편하고, 메인덕트(70)에 복수의 후드가 각기 연결되어 있어 모든 후드를 작동시킬 경우에는 메인덕트 측의 압력이 급격히 높아져 후드 개개의 흡인력이 저하되어 챔버내의 가스를 원활하게 흡입할 수 없어 챔버내부 또는 생산라인에 가스가 잔류하게 되는 현상이 발생한다.Discharge device made of the above structure is made to adjust only the height of the hood only when not using the discharging device is inconvenient to clean up, tidying up, in order to control the gas discharge amount of the hood manually by the exhaust regulator 60 It is inconvenient because it must be adjusted, and a plurality of hoods are connected to the main duct 70, so that when all the hoods are operated, the pressure on the main duct side is rapidly increased so that the suction force of the hood is lowered to smoothly inhale the gas in the chamber. It is not possible to cause gas to remain in the chamber or on the production line.
이와 같이, 잔류가스로 인해 챔버와 생산라인이 오염되어 설비의 클리닝을 정기 또는 비정기적으로 수행하는 데, 설비의 잦은 클리닝으로 생산성 및 시간적인 손실이 발생할 뿐만 아니라 챔버내의 노화발생으로 설비의 교체 사이클이 대폭적으로 단축되어 경제적인 손실이 발생되며, 라인 작업자가 잔류가스를 흡입하여 안전사고가 발생할 수 있는 등의 여러 가지 문제점이 있었다.As such, the residual gas is contaminated with the chamber and the production line, and the cleaning of the equipment is carried out regularly or irregularly.The frequent cleaning of the equipment not only causes productivity and time loss, but also the aging cycle of the equipment, and the replacement cycle of the equipment. This drastic shortening caused economic losses, and there were various problems such as safety accidents caused by line workers inhaling residual gas.
따라서, 본 발명의 목적은 챔버내의 오염가스를 보다 원활하고 효율적으로 배출하여 장비의 부식을 방지함과 아울러 교체 사이클을 연장시켜 생산성을 향상시킬 수 있는 챔버내의 오염가스 배출장치를 제공하는 데 있다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a pollutant gas discharge device in a chamber that can smoothly and efficiently discharge the pollutant gas in the chamber to prevent corrosion of the equipment and also increase the productivity by extending the replacement cycle.
또한, 본 발명의 다른 목적은 후드의 미 사용시 정리, 정돈으로 보다 용이하게 할 수 있는 챔버내의 오염가스 배출장치를 제공하는 데 있다.In addition, another object of the present invention is to provide a pollutant gas discharge device in the chamber that can be more easily organized and arranged when the hood is not in use.
도 1은 종래기술에 의한 오염가스 배출 장치를 나타낸 개략적인 도면이고,1 is a schematic view showing a polluting gas discharge device according to the prior art,
도 2는 본 발명의 일실시예에 의한 챔버내 오염가스 배출 장치를 도시한 도면이고,2 is a view showing a pollutant gas discharge device in a chamber according to an embodiment of the present invention,
도 3은 도 2의 내부 구조를 도시한 단면도이고,3 is a cross-sectional view showing the internal structure of FIG.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 의한 오염가스 배출 장치를 나타낸 도면이다.4 is a view showing a pollutant gas discharge device according to another embodiment of the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings
10: 챔버 110: 후드부10: chamber 110: hood part
111: 후드 113: 팬111: hood 113: fan
120: 주름관 130: 구동수단120: corrugated pipe 130: drive means
133: 회전축 135: 와이어133: axis of rotation 135: wire
140: 배출량조절기 143: 개폐밸브140: discharge regulator 143: on-off valve
150, 190: 시스템 컨트롤러 160: 메인덕트150, 190: system controller 160: main duct
180: 다관절 암180: articulated cancer
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기술적 수단은, 반도체 제조 중 챔버내에서 발생하는 가스를 배출하기 위한 후드 시스템에 있어서, 상기 챔버와 이격된 상부에 설치되어 팬 작동에 따라 챔버내의 가스를 흡입하는 후드부와, 상기 후드부의 흡입구와 연통되어 후드부를 통해 흡입된 가스를 배출하며 후드부의 높낮이를 조절하는 높이조절수단과, 상기 높이조절수단의 배출구와 연통되고 외부 제어신호에 따라 작동되어 가스 배출구를 개폐하는 배출량조절수단과, 상기 배출량조절수단의 배출구를 통해 흡입 가스를 제공받아 외부로 배출하는 메인덕트, 및 상기 높이조절수단 또는 배출량조절수단의 업/다운 및 개폐여부 스위치 명령에 따라 높이조절수단과 배출량조절수단으로 제어신호를 각각 발생하는 시스템 컨트롤러를 구비한 것을 특징으로 한다.Technical means of the present invention for achieving the above object, in the hood system for discharging the gas generated in the chamber during semiconductor manufacturing, is installed on the upper spaced apart from the chamber to suck the gas in the chamber in accordance with the operation of the fan A height adjusting means which communicates with a hood part, a suction part of the hood part and discharges the gas sucked through the hood part, and adjusts the height of the hood part, and communicates with an outlet of the height adjusting means and is operated according to an external control signal to provide a gas outlet. A discharge control means for opening and closing, a main duct supplied with suction gas through the discharge port of the discharge control means, and discharged to the outside, and a height adjusting means according to the command of up / down and opening / closing of the height adjusting means or the discharge adjusting means; And a system controller for generating a control signal, respectively, as an emission control means. do.
아울러, 상기 높이조절수단은 후드부의 흡입구와 연통되어 후드부를 통해 흡입된 가스를 배출하며 신축 길이가 조절되는 주름관, 및 상기 후드부의 일측과 모터 회전축을 와이어로 연결한 후 회전축의 회전에 따라 후드의 높낮이를 조절하는 구동수단으로 구성하거나 또는 상기 높이조절수단은 상기 후드부의 흡입구와 연통되어 후드부를 통해 흡입된 가스를 배출하며 사용자 임의로 후드부의 높낮이를 조절하는 다관절 암으로 구성하는 것이 바람직하다.In addition, the height adjusting means is in communication with the inlet of the hood portion and discharges the gas sucked through the hood portion and the expansion and contraction length of the corrugated tube, and one side of the hood portion and the motor rotation shaft after connecting the wire of the hood in accordance with the rotation of the rotation shaft It is preferable that the height adjusting means is configured as a driving means for adjusting the height or the height adjusting means communicates with the suction port of the hood part and discharges the gas sucked through the hood part, and is configured by the articulated arm arbitrarily adjusting the height of the hood part.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 살펴보고자 한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명의 일실시예에 의한 오염가스 배출장치를 나타낸 개략도로, 후드부(110), 주름관(120), 구동수단(130), 배출량조절기(140), 시스템 컨트롤러(150) 및 메인덕트(160)를 구비한다.Figure 2 is a schematic diagram showing a pollutant gas discharge device according to an embodiment of the present invention, the hood unit 110, corrugated pipe 120, drive means 130, discharge controller 140, system controller 150 and the main The duct 160 is provided.
상기 후드부(110; Hood Part)는 챔버(10)와 이격된 상부에 설치되어 팬의 작동여부에 따라 챔버(10)내의 가스를 흡입하여 외부로 배출함과 아울러 사용여부에 따라 후드(111)를 접거나 펼칠 수 있는 접이식으로 이루어져 있고, 주름관(120)은 후드부(110)의 흡입구와 연통되어 후드부(110)를 통해 흡입된 가스를 배출하는 통로로 신축 길이가 조절되는 신축성 있는 소재의 호스(Placable Hose)로 이루어져 있다.The hood part 110 is installed on the upper part spaced apart from the chamber 10 to inhale and discharge the gas in the chamber 10 to the outside depending on whether the fan is operated, and the hood 111 according to whether it is used. It is made of a foldable that can be folded or unfolded, the corrugated pipe 120 is in communication with the suction port of the hood portion 110 of the stretchable material is adjusted to the length of the stretch passage to discharge the gas sucked through the hood portion 110 It consists of a hose (Placable Hose).
또한, 구동수단(130)은 후드부(110)의 높낮이를 조절하기 위해 후드부(110) 상단의 내부 일측과 모터(131) 회전축을 와이어(wire)로 연결하고 와이어를 모터(141)의 회전축에 감거나 풀어 후드부(110)의 높이를 조절하는 모터로 이루어져 있고, 배출량조절기(140)는 주름관(120) 및 구동수단(130)의 내부배출구와 연통되고 외부 제어신호에 따라 작동되어 배출구를 개폐하여 배출가스량을 임의 조절하는 밸브(143)와 같은 수단으로 이루어져 있고, 메인덕트(160)는 다수의 후드배출구와 각각 연결되어 있고 각 배출량조절기(140)의 배출구를 통해 흡입 가스를 제공받아 외부 정화장치(미 도시)로 배출하도록 이루어져 있다.In addition, the driving means 130 is connected to the inner side of the top of the hood portion 110 and the motor 131 rotation shaft with a wire (wire) in order to adjust the height of the hood 110, the wire shaft of the motor 141 Consists of a motor for adjusting the height of the hood 110 to unwind or loosen, the discharge controller 140 is in communication with the inner discharge port of the corrugated pipe 120 and the drive means 130 and operated in accordance with an external control signal to discharge the outlet The main duct 160 is connected to a plurality of hood outlets, and the inlet gas is provided through the outlet of each discharge controller 140 to open and close the outlet duct. To a purge (not shown).
아울러, 시스템 컨트롤러(150)는 구동수단(130)의 업/다운을 조절하기 위한 업/다운스위치(151, 153)와 배출량조절기(140)의 개폐를 결정하기 위한 밸브개폐스위치(155, 157)의 입력 명령에 따라 구동수단(130)과 배출량조절기(140)의 모터(131, 141)로 각각 그에 상응하는 제어신호를 발생하도록 이루어져 있다.In addition, the system controller 150 is a valve opening and closing switch (155, 157) for determining the opening and closing of the up / down switches (151, 153) and the discharge controller 140 for adjusting the up / down of the drive means (130). In accordance with the input command of the drive means 130 and the discharge controller 140 of the motors (131, 141) is made to generate a control signal corresponding to each.
즉, 웨이퍼 처리 후 챔버(10)내의 오염가스를 배출하고자 할 경우 시스템 컨트롤러(150)의 후드 다운스위치(153)를 눌러 후드부(110)를 하강시킨 후 사용자는 접이식 후드(111)를 우산과 같이 아랫 방향으로 펼친다.That is, when the pollutant gas in the chamber 10 is to be discharged after the wafer processing, the user presses the hood down switch 153 of the system controller 150 to lower the hood 110, and then the user folds the folding hood 111 with an umbrella. Spread downwards together.
이어, 사용자는 밸브개폐스위치(155)를 눌러 배출량조절기(140)의 밸브를 소정량만큼 개방시키고, 후드부(110)의 팬 작동에 따라 챔버(10)내의 오염가스를 흡입하여 구동수단(130)과 배출량조절기(140)의 내부배출구를 통해 메인덕트(160)로 배출시킨다.Subsequently, the user opens the valve of the discharge regulator 140 by a predetermined amount by pressing the valve opening / closing switch 155 and inhales the pollutant gas in the chamber 10 according to the fan operation of the hood unit 110 to drive the drive unit 130. And through the internal discharge port of the discharge controller 140 to the main duct 160.
도 3은 도 2의 내부 구조를 도시하기 위한 단면도로서, 주름관(120), 구동수단(130) 및 배출량조절기(140)의 내부 구조를 개략적으로 도시하였다.3 is a cross-sectional view illustrating the internal structure of FIG. 2, and schematically illustrates the internal structure of the corrugated pipe 120, the driving unit 130, and the discharge regulator 140.
동도면에서와 같이 가스 흡입 및 배출 통로는 후드부(110)의 흡입구부터 주름관(120)과 구동수단(130) 및 배출량조절기(140)의 내부 통로를 통해 연통되어 있어 후드부(110)의 흡입구를 통해 흡입된 가스는 이 통로를 통하여 메인덕트(160)로 배출된다.As shown in the figure, the gas inlet and outlet passages are communicated through the inner passages of the corrugated pipe 120 and the driving means 130 and the discharge regulator 140 from the inlet of the hood unit 110, so that the inlet of the hood unit 110 is Gas sucked through is discharged to the main duct 160 through this passage.
도시된 바와 같이 구동수단(130)의 모터 회전축(133)은 이 배출구를 가로질러 상대측 고정부재에 삽입되어 회전 지지하며, 이 회전축(133)에 고정된 와이어(135)는 주름관(120) 내부를 통해 후드부(110)의 상단에 위치한 후드부재에 고정되어 있어 회전축(133)의 회전으로 와이어(135)가 회전축(133)에 감기거나 풀리도록 구성되어 있으며, 와이어(135)가 회전축(133)에 감길 때는 후드부(110)의상승에 따라 주름관(120)이 접히게 되며, 회전축(133)에서 풀릴 경우에는 하강하는 후드부(110)의 자중에 의해 주름관(120)은 펴지게 된다.As shown, the motor rotation shaft 133 of the driving means 130 is inserted into the mating fixing member across the outlet for rotational support, and the wire 135 fixed to the rotation shaft 133 is formed inside the corrugated pipe 120. It is fixed to the hood member located at the top of the hood portion 110 through the rotation of the rotating shaft 133 is configured to the wire 135 is wound or unwinded on the rotating shaft 133, the wire 135 is the rotating shaft 133 When wound on the corrugated pipe 120 is folded in accordance with the rise of the hood portion 110, when released from the rotating shaft 133, the corrugated pipe 120 is unfolded by the weight of the descending hood portion 110.
그리고, 배출량조절기(140)는 배출구에 개폐밸브(143)가 있는 데, 이 밸브(143)는 모터(141)의 회전축에 연결되어 모터(141)의 회전에 따라 0°부터 90°까지 임의 회전되어 배출구를 폐쇄시키거나 개방시켜 가스배출량을 적절하게 조절할 수 있다.In addition, the discharge controller 140 has an opening and closing valve 143 at the discharge port, the valve 143 is connected to the rotating shaft of the motor 141, the arbitrary rotation from 0 ° to 90 ° according to the rotation of the motor 141 By closing or opening the outlet, the amount of gas discharged can be properly adjusted.
이와 같이 구성된 오염가스 배출장치의 동작을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the operation of the polluting gas discharge device configured as described above are as follows.
먼저, 시스템 컨트롤러(150)와 연결된 후드 다운스위치(153)를 선택하면 시스템 컨트롤러(150)는 그에 해당하는 신호를 모터(131)로 출력하고 모터(131)는 정회전을 하여 회전축(133)에 감긴 와이어(135)를 풀기 시작한다.First, when the hood down switch 153 connected to the system controller 150 is selected, the system controller 150 outputs a corresponding signal to the motor 131, and the motor 131 rotates forward to the rotating shaft 133. Start to unwind the wound wire (135).
상기 와이어(135)가 풀어짐에 따라 후드부(110)는 챔버(10) 상단으로 하강되고, 하강되는 후드부(110)의 자중에 의해 주름관(120)은 펴짐과 아울러, 후드부(110)가 원하는 위치까지 하강하면 후드 다운스위치(153)를 놓아 후드부(110)를 정지시킨 후, 시스템 컨트롤러(150)와 연결된 밸브개폐스위치(155)를 선택하여 밸브(143)를 원하는 각도로 회전시켜 배출구를 개방시킨다.As the wire 135 is released, the hood part 110 is lowered to the upper end of the chamber 10, and the corrugated pipe 120 is unfolded by the weight of the hood part 110 being lowered, and the hood part 110 is formed. When the vehicle is lowered to the desired position, the hood down switch 153 is released to stop the hood unit 110, and then the valve open / close switch 155 connected to the system controller 150 is selected to rotate the valve 143 at a desired angle to discharge the outlet. To open.
이어, 사용자는 접혔던 후드(111)는 유니버설 조인트(Universal Joint)와 같은 자재이음수단으로 인해 아랫 방향으로 우산과 같이 펼쳐 챔버내의 오염가스를 모아서 다량으로 배출할 수 있도록 한다.Subsequently, the user's hood 111 is folded to spread out like an umbrella in a downward direction and collect a large amount of pollutant gas in the chamber due to a material joint means such as a universal joint.
그리고, 후드부(110)의 팬 모터(미 도시)로 전원을 공급하여 팬(113)을 회전시켜 챔버(10)내의 오염가스를 후드부(110)로 흡입하고, 흡입한 가스는주름관(120)과 구동수단(130)과 배출량조절기(140)의 내부배출구를 통해 메인덕트(160)로 배출한다.Then, power is supplied to a fan motor (not shown) of the hood part 110 to rotate the fan 113 to suck the contaminated gas in the chamber 10 into the hood part 110, and the sucked gas is a wrinkle pipe 120. ) And discharged to the main duct 160 through the internal discharge port of the drive means 130 and the discharge controller 140.
일정시간동안 구동하여 챔버내의 오염가스를 모두 배출하였으면, 사용자는 펼쳐진 후드(111)를 유니버설 조인트(Universal Joint)와 같은 자재이음수단으로 인해 윗 방향으로 접고 난 후, 시스템 컨트롤러(150)와 연결된 후드 업스위치(151)를 선택하여 모터(131)를 역회전시키고, 모터(131)의 역회전에 따라 회전축(133)에 와이어(135)는 다시 감기기 시작하며, 와이어(135)가 회전축(133)에 감김에 따라 후드부(110)는 상승하고 주름관(120)은 그에 따라 접힌다.After driving for a certain period of time to discharge all the contaminated gas in the chamber, the user folds the unfolded hood 111 upward by a material joint means such as a universal joint, and then the hood connected to the system controller 150. The up switch 151 is selected to rotate the motor 131 in reverse, and the wire 135 begins to be wound on the rotating shaft 133 again according to the reverse rotation of the motor 131, and the wire 135 is rotated by the rotating shaft 133. As it winds up, the hood 110 rises and the corrugated pipe 120 folds accordingly.
이어, 후드부(110)가 일정위치까지 상승하면 업스위치(151)를 놓아서 후드부(110)를 정지시킨 후 밸브개폐스위치(157)를 선택하여 밸브를 닫는다.Subsequently, when the hood 110 rises to a predetermined position, the up switch 151 is released to stop the hood 110, and then the valve open / close switch 157 is selected to close the valve.
이와 같이 배출량조절기(140)를 배출통로에 설치함으로써, 각 후드의 가동 수에 따라 사용자 임의로 오염가스 배출량을 조절하여 메인덕트(160)의 과부하를 방지할 수 있음에 따라 오염가스를 보다 확실하고 효율적으로 배출할 수 있고, 후드(111)를 접이식으로 구성하여 배출장치를 사용하지 않을 경우 후드를 보다 정밀하게 정돈할 수 있다.In this way, by installing the discharge controller 140 in the discharge passage, it is possible to control the pollutant gas emissions by the user arbitrarily according to the number of the operation of each hood to prevent the overload of the main duct 160, more reliable and efficient It can be discharged to, and when the hood 111 is configured to be foldable when the discharge device is not used, the hood can be more precisely trimmed.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 의한 오염가스 배출장치를 나타낸 것으로, 후드부(110), 다관절 암(180), 배출량조절기(140), 시스템 컨트롤러(190) 및 메인덕트(160)로 이루어져 있고, 도 2와 동일한 부분은 동일한 번호를 부여하였다.Figure 4 shows a pollutant gas discharge device according to another embodiment of the present invention, the hood unit 110, the articulated arm 180, the discharge controller 140, the system controller 190 and the main duct 160 The same parts as in FIG. 2 are given the same numbers.
상기 후드부(110)는 챔버(10)와 이격된 상부에 설치되어 팬(113)의 작동여부에 따라 챔버(10)내의 가스를 흡입하여 외부로 배출함과 아울러 사용여부에 따라후드를 접거나 펼칠 수 있는 접이식으로 이루어져 있고, 다관절 암(180)은 후드부(110)의 흡입구와 연통되어 후드부(110)를 통해 흡입된 가스를 배출하는 통로로 후드부(110)의 높낮이를 사용자 임의로 조절할 수 있는 견고한 재질의 3관절 암으로 이루어져 있다.The hood unit 110 is installed on the upper spaced from the chamber 10 to inhale and discharge the gas in the chamber 10 to the outside depending on the operation of the fan 113 and to fold the hood depending on the use or It is made of a foldable foldable, the articulated arm 180 is in communication with the suction port of the hood 110, the passage for discharging the gas sucked through the hood 110, the height of the hood 110, the user arbitrarily It consists of a three-joint arm of solid material that can be adjusted.
또한, 배출량조절기(140)는 다관절 암(180)의 배출구와 연통되고 외부 제어신호에 따라 작동되어 배출구를 개폐하여 배출가스량을 임의 조절하는 밸브(143)와 같은 수단으로 이루어져 있고, 메인덕트(160)는 다수의 후드배출구와 각각 연결되어 있고 각 배출량조절기(140)의 배출구를 통해 흡입 가스를 제공받아 외부 정화장치로 배출하도록 이루어져 있다.In addition, the discharge controller 140 is in communication with the outlet of the articulated arm 180 and is operated in accordance with an external control signal is made of a means such as a valve 143 for arbitrarily adjusting the amount of exhaust gas by opening and closing the outlet, main duct ( 160 is connected to a plurality of hood outlets, respectively, and is provided to receive the intake gas through the outlet of each discharge controller 140 to be discharged to the external purification device.
아울러, 시스템 컨트롤러(190)는 배출량조절기(140)의 개폐를 결정하기 위한 스위치(191, 193)의 입력 명령에 따라 배출량조절기(140)의 밸브개폐모터(141)로 그에 상응하는 제어신호를 발생하도록 이루어져 있다.In addition, the system controller 190 generates a control signal corresponding to the valve opening / closing motor 141 of the discharge controller 140 according to an input command of the switches 191 and 193 for determining the opening and closing of the discharge controller 140. It is made to
이와 같이 구성된 오염가스 배출장치의 동작을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the operation of the polluting gas discharge device configured as described above are as follows.
먼저, 챔버(10)내의 오염가스를 배출하고자 할 경우 사용자는 다관절 암(180)을 움직여 후드부(110)를 챔버 상단의 적절한 위치로 이동시켜 후드부(110)를 원하는 위치에 세팅시킨 후, 사용자는 접혔던 후드(111)를 유니버설 조인트와 같은 자재이음수단으로 인해 아랫 방향으로 우산과 같이 펼친다.First, in order to discharge the polluted gas in the chamber 10, the user moves the hood joint 180 to move the hood unit 110 to an appropriate position at the upper end of the chamber to set the hood unit 110 in a desired position. , The user unfolds the folded hood 111 like an umbrella in the downward direction due to the material joint means such as the universal joint.
이어, 사용자는 시스템 컨트롤러(190)와 연결된 밸브개폐스위치(191)를 선택하여 밸브를 원하는 각도로 회전시켜 배출구를 개방시키고, 후드부(110)의 팬모터로 전원을 공급하여 팬(113)을 회전시켜 챔버(10)내의 오염가스를 후드부(110)로흡입하고, 흡입한 가스는 다관절 암(180)과 배출량조절기(140)의 내부 배출구를 통해 메인덕트(160)로 배출한다.Subsequently, the user selects the valve opening / closing switch 191 connected to the system controller 190 to rotate the valve at a desired angle to open the outlet, and supplies power to the fan motor of the hood unit 110 to supply the fan 113. The contaminated gas in the chamber 10 is rotated to suck the hood 110, and the sucked gas is discharged to the main duct 160 through an internal outlet of the articulated arm 180 and the discharge controller 140.
일정시간동안 구동하여 오염가스를 모두 배출하였으면, 사용자는 펼쳐진 후드(111)를 유니버설 조인트와 같은 자재이음수단으로 인해 윗 방향으로 접고 난 후, 시스템 컨트롤러(190)와 연결된 밸브개폐스위치(193)를 선택하여 밸브를 소정 각도로 회전시켜 배출구를 폐쇄시킨 후, 사용자는 다관절 암(180)을 조정하여 후드부(110)를 일정 위치까지 올려 세팅시킨다.After driving for a certain period of time to discharge all the contaminated gas, the user folds the unfolded hood 111 upward by the material joint means such as the universal joint, and then opens the valve open / close switch 193 connected to the system controller 190. After selecting and rotating the valve at a predetermined angle to close the outlet, the user adjusts the articulated arm 180 to raise and set the hood 110 to a predetermined position.
이와 같이 다관절 암을 채용함으로써, 배출장치를 사용하지 않을 경우 후드를 원하는 위치로 적절하게 세팅할 수 있으며, 배출량조절기를 배출통로에 설치하여 각 후드의 가동 수에 따라 사용자 임의로 오염가스 배출량을 조절하여 메인덕트의 과부하를 방지할 수 있음에 따라 오염가스를 보다 확실하고 효율적으로 배출할 수 있고, 후드를 접이식으로 구성하여 배출장치를 사용하지 않을 경우 후드를 보다 정밀하게 정돈할 수 있다.By adopting the articulated arm as described above, the hood can be properly set to the desired position when the discharge device is not used, and the discharge controller is installed in the discharge passage so that the user can arbitrarily control the amount of polluted gas according to the number of operation of each hood. Therefore, the overload of the main duct can be prevented, so that the pollutant gas can be discharged more reliably and efficiently, and the hood can be configured to be foldable so that the hood can be more precisely arranged when the discharge device is not used.
상기에서 본 발명의 특정한 실시예가 설명 및 도시되었지만, 접이식 후드를 수동으로 펼치거나 접지 않고 모터를 이용하여 자동으로 작동시키거나 하는 등의 본 발명이 당업자에 의해 다양하게 변형되어 실시될 가능성이 있는 것은 자명한 일이다. 이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며, 이와 같은 변형된 실시예들은 첨부된 특허청구범위 안에 속한다 해야 할 것이다.Although specific embodiments of the present invention have been described and illustrated above, it is possible that the present invention may be variously modified and implemented by those skilled in the art, such as automatically operating by using a motor without manually expanding or folding the folding hood. It is obvious. Such modified embodiments should not be individually understood from the technical spirit or the prospect of the present invention, and such modified embodiments should fall within the scope of the appended claims.
따라서, 본 발명에서는 챔버내의 오염가스를 보다 확실하게 배출함과 아울러 미 사용시 후드의 정리, 정돈으로 보다 용이하게 하기 위하여 접이식 후드와 다관절 암 및 배출량조절밸브를 채용함으로써, 배출장치를 사용하지 않을 경우 접이식 후드와 다관절 암으로 인해 후드를 원하는 위치로 적절하게 세팅할 수 있으며, 배출량조절기를 배출통로에 설치하여 각 후드의 가동 수에 따라 사용자 임의로 오염가스 배출량을 조절하여 메인덕트에 발생되는 과부하를 방지할 수 있으므로 오염가스를 보다 확실하고 효율적으로 배출하여 장비의 조기 부식을 방지할 수 있음과 아울러 교체 사이클을 연장시켜 생산성을 보다 향상시킬 수 있는 이점이 있다.Therefore, in the present invention, the foldable hood, the articulated arm and the discharge control valve are not used to discharge the pollutant gas in the chamber more reliably and to facilitate the rearranging and trimming of the hood when not in use. In this case, due to the foldable hood and the articulated arm, the hood can be appropriately set to the desired position. The overload generated in the main duct can be controlled by installing the discharge controller in the discharge passage and controlling the emission of polluted gas by the user according to the number of operation of each hood. This prevents premature corrosion of equipment by releasing polluted gases more reliably and efficiently, as well as increasing productivity by extending replacement cycles.
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