KR20020013568A - 표면음향파 필터 - Google Patents

Abstract

발명은 배치 확대없이 낮은 삽입 손실과 작은 형태 인자로 광대역 필터를 생성할 수 있도록 SPUD-형 표면음향파 필터를 수정하는 것을 목적으로 한다. 발명에 따라, 이 목적은 다음의 특성을 조합함으로서 달성된다. a) 각 트랜스듀서(2; 3)의 핑거(231-233; 331-333)는 전체적으로 점차 가늘어지는 구조를 형성하고, b) 핑거(231-233; 331-333)에서 반사된 파동이 상응하는 소스 및 부하 저항(8; 9)에 의해 재생성되는 파동과 함께 필터의 임펄스 응답을 길어지게 하고, 그래서 형태 인자나 대역폭을 감소시키는 결과를 가져오도록, 핑거의 폭과 위치가 선택된다. 발명은 광대역 대역통과 필터와 지연 라인과 같은 표면음향파 바탕의 부품에 사용될 수 있다.

Description

표면음향파 필터{SURFACE ACOUSTIC WAVE FILTER}

분할된 음향 반사를 가지는 두 인터디지털 트랜스듀서가 압전기판 위에 배열되는 관점에서 표면 음향파용 트랜스듀서가 공지되어 있다. 두 트랜스듀서는 핑거(finger) 그룹으로 구성된다.

특정 실시예(WO 97/10646)[1]에서, 점차 가늘어지는 구조를 가지는 인터디지털 트랜스듀서는 두 개나 세 개의 핑거를 포함하는 핑거그룹들로 구성된다. 핑거그룹당 세 개의 핑거가 제공되는 경우에, 상기 세 핑거 중 두 개는 반사가 없는 한쌍의 핑거를 형성하고, 그룹 내 세 번째 핑거는 반사기 핑거이다. 반사기 핑거와 상기 반사기 핑거에 인접하게 위치하는 핑거 쌍의 핑거의 중심선간 간격은 일반적으로 3λ/8이다. 이때 λ는 평균 주파수와 관련된 직선을 따르는 파장으로서, 이러한 직선은 컬렉터 전극과 평행하게 뻗어가고 상기 컬렉터 전극 중 하나로부터의 간격이 설정되어 있다. 각각의 핑거그룹은 발생된 파동 진폭에 대해 선호되는 방향을 가진다. 이 종류의 트랜스듀서는 그러한 이유로 해서 단상 단방향 트랜스듀서, 또는 SPUDT-형 트랜스듀서라고 한다. 반사기 핑거의 폭이 λ/4나 3λ/8에 이를 경우, 핑거그룹은 EWC-셀이나 DART-셀로 불린다. 앞서 해법에 따라, 소스나 부하 임피던스의 함수로 핑거의 폭이 선택되어, 핑거에서 반사되어 소스/부하 임피던스 상에서 재생성된 파동이 서로를 보상하여, 궁극적으로는 이러한 트랜스듀서가 반사에 영향받지 않게 한다. 결과적으로, 어댑테이션 과정 중에 어떤 간섭 에코도 발생하지 않는다.

특정 실시예(P. Ventura와 M.Solal, P.Dufilie, J.M.Hode, 그리고 F.Roux의 1994년 IEEE Ultrasonics Symposium Proceedings, 1-6쪽 [2])에서, 트랜스듀서 상의 반사로 인한 에코가 억제가 안될 뿐 아니라 펄스 응답을 늘이는 데 사용된다. 이로 인해, 형태 인자가 낮아지고 대역폭이 더 커진다(플랭크의 가파름이 커지는 것에 대응함). 상기 성질없이 동일한 매개변수를 가지는 표면음향파 필터의 배치는 더 길어져야 한다. 필요한 필터 매개변수를 얻기 위해 트랜스듀서 상에 음향 반사를 분포시키는 방법에 관한 결정을 위해 최적화 방법이 흔히 이용된다. 에코가 필터 설계 구상에 유용하게 포함되기 때문에 하나에서 다른 하나로 삽입되는 여기 및 반사 중심들을 포함하는 공진자를 참고문헌 [2]에 따른 해법이 실제 나타내기 때문에, 상기 종류의 구조 부품을 공명 SPUDT 필터(RSPUDT)라고 부른다.

참고문헌 [2]를 따르는 실시예는 이러한 종류의 필터에서의 대역폭이 기껏해야 1% 근처라는 결점과 맞부닥친다. 결과적으로, 낮은 삽입 댐핑을 가진 광대역 필터를 실현하는 것이 불가능하다.

본 발명은 전기공학 및 전자공학 분야에 유용하게 사용될 수 있는 대상에 관한 것이다. 특히, 광대역 대역통과 필터와 지연 라인과 같이 음향표면파를 바탕으로 한 구조적 부품에 유용하게 사용될 수 있는 대상에 관한 것이다.

도 1은 압전 기판에 배열된 두 개의 인터디지털 트랜스듀서로 구성된 표면음향파 필터의 도면.

발명은 SPUDT-형 표면음향파 필터의 변경 문제를 바탕으로 한다. 즉, 낮은 삽입 댐핑과 낮은 형태 인자를 가지는 광대역 필터가 그 배치를 확대하지 않으면서 생성될 수 있다는 데 주안을 둔다.

이러한 문제점은 청구범위에서 구체화되는 표면음향파 필터로 발명에 따라 해결된다.

상기 문제점을 풀기 위해, 발명에 따라 다음의 특징을 가지는 조합이 제공된다.

a) 각 트랜스듀서의 핑거들은 전체적으로 볼 때 핑거 방향으로 점차 가늘어지는 구조를 형성한다.

b) 핑거의 폭과 위치는 다음과 같이 선택된다. 즉, 핑거에서 반사되는 저항과, 소스 및 부하 저항에 의해 각각 재생성되는 파동은 필터의 펄스 응답을 연장시키고, 이는 형태 인자나 대역폭을 감소시키도록, 핑거 폭과 위치가 선택된다.

가늘어지는 구조는 매우 큰 수의 좁은 필터 채널과 평행한 연결로 비추어질 수 있으며, 그 트랜스듀서들은 주기 길이에 의해서만, 그래서 평균 주파수에 의해 서로와 구별된다. 따라서, 구조의 가늘어지는 형태로 인해, 평균 주파수의 범위는 대역폭을 이와 동시에 결정하도록 고정된다. 이러한 가늘어지는 정도가 클수록, 대역폭이 커진다. 형태 인자(form factor)를 결정하는 플랭크 가파름(flank steepness)은 가늘어짐 정도에 거의 영향을 받지 않으나, 필터 채널의 구축에 주로 영향을 받는다. 발명에 의해 규정되는 특징들의 조합은, 모든 필터 채널, 결과적으로는 전체 필터가 엄청나게 많은 파동소스를 마치 가진 것처럼, 다시말해서, 모든필터가 기존 배치보다 마치 긴것처럼, 가늘어지는 구조를 가지는 필터를 가진 경우에도 펄스 응답을 길게하기 위해 에코가 사용될 수 있다는 장점을 제공한다. 이 장점은 참고문헌 [1]에 의해 제공되지 않는다. 왜냐하면, 각각의 트랜스듀서 채널에 반사가 없고 결과적으로 각각의 트랜스듀서에 전체적으로 반사와 재생성의 상호 보상으로 인한 반사가 없다는 사실로 인해, 각 필터 채널에 에코가 억제되기 때문이다.

발명은 다음에 기술되는 바와 같이 유용한 방식으로 실현될 수 있다.

핑거그룹별로 여기 강도 및 반사 인자의 결정을 위한 모든 필터 채널에 대해 표시되는 오직 한 개의 단일 필터 채널만이 포함되어야 하는 것이 가능하기 때문에, 다음과 같은 방식으로 가늘어지는 형태를 고안하는 것이 계획 단계에서 얻어지는 상당한 시간 절약으로 인해 대단히 유용하다. 즉, 동등한 핑거 폭뿐 아니라 갭 폭까지가 두 평행한 직선을 따라 서로 다르며, 하지만, 두 트랜스듀서간 중간 공간은 똑같은 인자만큼 서로 다르며, 이에 의해, 모든 핑거의 상기 라인은 서로 교차하여 상기 라인을 따르는 각각의 트랜스듀서에서, 동등한 핑거의 중심선간 간격은 모든 핑거그룹에서 동일하다.

가늘어짐은 핑거의 폭과, 이러한 핑거간 갭의 폭이 단계적으로 감소되는 방식으로 가늘어짐이 구현될 수 있다. 이러한 관점에서, 똑같은 핑거 변부의 모든 등가 코너 지점이 한 곡선상에 배치된다면 유용하다. 이에 의해, 두 트랜스듀서 각각의 상기 모든 곡선의 직선 확장부가 똑같은 지점에서 각각의 핑거 영역 너머로 서로 교차한다.

각각의 핑거 단계가 확산 방향과 관련한 두 개의 수직 또는 평행 제한사항을 포함하는 장방형 핑거 단면을 포함할 경우 특히 유용하다. 이에 의해, 확산 방향과 평행하게 뻗어가는 동일한 단계의 모든 핑거 단면의 제한사항이 직선의 제한사항을 형성하여, 각 경우에 상기 두 직선 제한사항 사이에 위치하는 핑거 영역이 중간 영역에 의해 서로 구별되는 필터 채널을 나타낸다.

추가적인 컬렉터 전극은 중간 영역에 다음과 같은 방식으로 배열될 수 있다. 즉, 이러한 중간 영역이 다른 트랜스듀서에 속할 경우, 상기 두 트랜스듀서간에 어떤 전기적 연결도 존재하지 않으며, 이에 의해, 각각의 추가적인 컬렉터 전극이 컬렉터 전극에 전기적으로 연결되고 핑거는 추가적인 컬렉터 전극에 다음과 같이 연결된다. 즉, 마치 추가적 컬렉터 전극이 존재하지 않는 것처럼 동일한 전기적 전위를 가진다. 그러나 중간 영역에서, 인접 필터 채널의 등가 핑거 단면 사이에 전기적 연결이 존재할 수 있다.

똑같은 핑거 변부의 모든 등가 코너 지점이 배치되는 모든 곡선들은 직선일 수 있고, 두 트랜스듀서의 각 핑거 영역을 넘은 확장부는 상기 직선의 명백한 연속일 수 있다. 각 핑거 영역을 넘은 곡선의 직선 확장부는 각 핑거 영역의 경계선 상에서 각 곡선의 접선 방향을 가질 수 있다.

핑거그룹은 두 개나 세 개의 핑거를 포함할 수 있다. 세 핑거의 경우에, 각 핑거그룹의 두 개의 핑거는 한쌍의 핑거를 형성하고, 핑거쌍의 핑거들은 동일한 폭을 가지고 서로 다른 컬렉터 전극에 연결되며, 핑거쌍에 전체적으로 반사가 없도록 서로에 대해 배열되고, 세 번째 핑거는 각 경우에 반사기 핑거이다. 이 실시예들은각 핑거그룹이 DART-셀이나 EWC-셀일 경우에 특히 유용하다.

진폭 여기의 소스 강도와 반사 인자는 각각 소스 강도 함수와 반사 함수의 형태로 각 핑거그룹과 연관될 수 있다. 이에 의해, 소스 강도 함수와 반사 함수는 최적화 방법의 도움으로 결정될 수 있다.

반사 함수는 다음과 같은 방식으로 설계된다. 즉, 한 개 이상의 핑거그룹의 반사 인자가 타핑거그룹에 대해 반대 부호를 가지는 방식으로 설계된다. 상기 부호 변화가 실현된다면, 즉, 상기 한 핑거그룹의 반사기 핑거에 대한 나머지 핑거의 간격이 nλ/2 + λ/4일 경우는 유용하다. 이에 의해 λ는 평균 주파수와 연계된 직선을 따르는 파장이고, 이러한 라인은 각 트랜스듀서에서 상기 라인을 따르는 모든 핑거그룹이 동등한 폭을 가지도록 모든 핑거와 교차하며, "n"은 정수이다.

지정 소스 강도 함수를 조절할 목적으로, 핑거그룹 구조로 지정된 일부 핑거그룹이 직렬로 연결된 다수의 서브-트랜스듀서로 컬렉터 전극과 평행하게 한 개 이상의 트랜스듀서에서 나누어진다면 유용하다. 똑같은 핑거그룹 구조의 모든 서브-트랜스듀서가 동일한 애퍼쳐를 가질 경우 특히 유용하다.

한 개 이상의 핑거그룹 구조에서 서브-트랜스듀서의 수는 타 핑거그룹 구조의 수와 다를 수 있다.

지정된 핑거그룹에서 지정된 소스 강도나 지정된 반사 인자를 조절하는 목적으로, 한 개 이상의 트랜스듀서 내 한 개 이상의 핑거그룹에서 핑거 쌍에 속하는 핑거의 폭이나, 반사기 핑거의 폭이 나머지 핑거그룹의 폭과 다를 경우 유용하다.

도면에 도시되는 표면음향파 필터와 연계하여, 압전 기판(1)에 두 개의 인터디지털 트랜스듀서(2, 3)가 배열된다. 트랜스듀서(2, 3) 사이에 중간 공간(4)이 존재한다. 트랜스듀서(2)는 컬렉터 전극(21, 22)과 핑거그룹(23, 24, 25)으로 이루어진다. 상기 핑거그룹은 트랜스듀서를 실제 구성하는 더 많은 양의 핑거그룹에 대한 한 예로 도시된다. 컬렉터 전극(22)의 방향으로 트랜스듀서(2)의 핑거는 점점 가늘어지는 구조를 취하며, 핑거의 폭과, 상기 핑거들간 갭의 폭이 단계적으로 감소된다. 핑거그룹(23, 24, 25)는 EWC-셀이다. 모든 핑거그룹(23, 24, 25)은 핑거들의 기울어짐 변화를 무시하면서 동일한 구조를 가진다. 이러한 이유로, 핑거그룹(23)만이 자세하게 기술된다. 상기 핑거그룹은 반사기 핑거(231)와 핑거(232, 233)로 구성되며, 두 핑거(232, 233)는 함께 한쌍의 핑거를 형성한다.

트랜스듀서(3)는 컬렉터 전극(31, 32)과 핑거그룹(33, 34, 35)으로 이루어진다. 상기 핑거그룹들은 실제 트랜스듀서(3)를 구성하는 수많은 핑거그룹을 나타내는 한 예이다. 트랜스듀서(3)의 핑거는 컬렉터 전극(32)의 방향으로 점점 가늘어지는 구조를 취하고 있다. 핑거들의 폭과, 상기 핑거들간 갭의 폭이 단계적으로 감소한다. 핑거그룹(33, 34, 35)은 EWC-셀이다. 모든 핑거그룹(33, 34, 35)은 그 핑거들의 평균 기울어짐 변화를 무시하면서 동일한 구조를 가진다. 이러한 이유로, 핑거그룹(33)만이 상세하게 설명된다. 상기 핑거그룹은 반사기 핑거(331)와핑거(332, 333)로 이루어지며, 상기 핑거(332, 333)는 핑거쌍을 형성한다.

필터는 필터 채널(201, 203, 205, 207)로 구성된다. 중간 영역(202, 204, 206)이 인접 필터 채널(201, 203; 203, 205; 205, 207) 사이에 위치한다. 똑같은 핑거에 속하는 인접 필터 채널의 핑거 단면은 상기 중간 영역에서 서로 연결된다. 트랜스듀서(2, 3) 사이에 위치하는 중간 공간(4)은 중간 공간(41, 42, 43, 44)에 의해 상기 필터 채널에 나타난다. 모든 핑거 변부는 서로 평행하게 뻗어간다. 그러나, 서로 다른 필터 채널에서의 동등한 핑거 변부는 동일한 핑거의 동등한 단면의 좌측 변부 교차점(208)이 동일한 직선에서 필터 채널의 제한사항 의 낮은 선과 함께 배열되는 방식으로 서로에 대해 이격된다. 이는 우측 핑거 변부에도 마찬가지로 적용되며, 이때 점(209)은 점(208)과 동일한 의미를 가진다. 이러한 직선의 예들은 트랜스듀서(2, 3)의 대역에 각각 (210, 310)으로 표시된다. 핑거 변부의 평균 기울어짐은 각 직선의 기울어짐으로 이해하면 될 것이다.

직선(210, 310)은 그 직선 확장부(26, 36)가 핑거 대역 너머 동일 지점(5)에서 서로 교차하는 방식으로 기울어진다. 각 트랜스듀서의 모든 핑거그룹들이 직선(6, 7)을 따라 동일한 폭을 가지도록 트랜스듀서(2, 3)의 모든 핑거와 교차하는 두 평행한 직선(6, 7)을 따라, 핑거 및 갭의 동등한 폭뿐 아니라, 두 트랜스듀서간 중간 공간(46, 47)까지도 똑같은 인자만큼 차이를 가진다. 임의적으로 선택된 필터 채널에서, 핑거와 갭들의 동등한 폭들이 동일한 인자만큼 차이를 보이며, 하지만, 선택된 필터 채널에 속하는 두 트랜스듀서간 중간 공간(41, 42, 43, 44)은 똑같은 인자만큼만 변한다. 이 성질은 모든 필터 채널의 전송 성질이 단일 필터 채널의 전송 성질에 원인이 있을 수 있다는 사실을 납득시킨다. 이는 예시된 실시예에 따라 필터 분석에 필요한 계산 시간을 크게 단축시킨다. 필터 분석의 최적화 처리가 여러번 실행되어야 한다는 사실 때문에, 소스 강도와 반사의 계수 결정이 RSPUDT 필터와 연계하여 실행되는 비교 과정에 비해 이러한 방법으로 더 적은 시간을 요구한다.

핑거쌍을 형성하는 모든 핑거(232, 233; 332, 333)뿐 아니라 도시되지 않는 핑거까지 한 필터 채널 내에서 동일한 폭을 가진다. 핑거 쌍을 형성하는 모든 핑거는 λ/4의 간격을 가지며 따라서 반사가 없다. 여기서, λ는 필터 채널 내 핑거그룹의 폭이다. 그러나, 반사기 핑거(231, 331)와, 상기 반사기 핑거와 동등한 핑거들(도시되지 않음)은 지정 반사 기능을 구현하기 위해 변화하는 폭을 가진다. 반사기 핑거 상에서 반사되는 파동이 상응하는 소스 저항(8)과 부하 저항(9)에 의해 재생성되는 파동과 함께, 형태 인자나 대역폭을 감소시키는 필터의 펄스 응답을 길게하는 효과를 보이는 방식으로 이러한 반사 기능이 선택된다. 도시되지 않는 일부 핑거그룹의 반사 인자는 나머지 핑거그룹에 비해 반대 부호를 가진다. 이는 다른 반사기 핑거의 영향받는 핑거그룹 내 한 반사기 그룹의 간격이 nλ/2 + λ/4이도록 실현되며, 이때 "n"은 정수이다. 도시되는 핑거그룹(23, 24, 25; 33, 34, 35)의 반사기 핑거는 서로에 대해 nλ와 같은 간격을 가진다. 그러나, 상기 핑거그룹 중 하나의 반사 인자가 음일 경우, 이러한 핑거그룹의 반사기 핑거는 도면의 위치에 대해 3/4λ, 5/4λ, 7/4λ만큼 이동될 것이다.

Claims (23)

1. 인터디지털 단상 단방향 트랜스듀서(SPUDT-형)에 바탕한 표면음향파 필터로서, 두 개의 상기 트랜스듀서(2; 3)가 압전 기판 위에 음향 반사를 분포시키며 배열되고, 이러한 트랜스듀서는 핑거그룹(23, 24, 25; 33, 34, 35)과 컬렉터 전극을 포함하며,

   a) 각 트랜스듀서(2; 3)의 핑거(231, 232, 233; 331, 332, 333)는 전체적으로 핑거 방향으로 가늘어지는 구조를 형성하고,

   b) 핑거(231, 232, 233; 331, 332, 333)에서 반사된 파동이 상응하는 소스 및 부하 저항(8; 9)에 의해 재생성되는 파동과 함께, 그 형태 인자나 대역폭을 감소시키는 필터의 펄스응답을 연장시키는 결과를 가져오도록 핑거의 폭과 위치가 선택되는 것을 특징으로 하는 표면음향파 필터.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 구조는 핑거 방향으로 가늘어져서, 동등한 핑거(231, 232, 233; 331, 332, 333)의 폭과 갭의 폭뿐 아니라, 두 트랜스듀서(2; 3)간 중간 공간(46; 47)까지도 두 평행한 직선(6; 7)을 따르는 똑같은 인자에 의해서만 변화하며, 두 트랜스듀서의 모든 핑거의 상기 라인들은 서로 교차하여 각각의 트랜스듀서에서, 동등한 핑거의 중심선 간격이 모든 핑거그룹에서 동일한 것을 특징으로 하는 표면음향파 필터.
3. 제 2 항에 있어서, 필터 방향으로 가늘어지는 구조에서, 핑거(231, 232, 233; 331, 332, 333)의 폭과 상기 핑거들 사이에 위치하는 갭의 폭이 단계적으로 감소하는 것을 특징으로 하는 표면음향파 필터.
4. 제 3 항에 있어서, 똑같은 핑거 변부의 모든 동등한 코너 지점(208; 209)이 한 곡선 상에 배치되고, 직선 확장부(26; 36)는 두 트랜스듀서(2; 3)의 상기 모든 곡선과 교차하며, 상응하는 핑거 영역 너머 한 점에서 서로 교차하는 것을 특징으로 하는 표면음향파 필터.
5. 제 4 항에 있어서, 각각의 핑거 단계가 확산 방향에 관하여 수직이나 평행한 제한사항을 가지는 장방형 핑거 단면을 포함하고, 각 경우에 동일 단계의 모든 핑거 단면의 확산 방향과 평행하게 뻗어가는 두 제한사항은 직선의 제한사항을 형성하며, 그래서, 상기 두 직선 제한사항 사이에 각 경우에 배치되는 핑거 영역은 중간 영역(202; 204; 206)에 의해 서로로부터 구분되는 필터 채널(201; 203; 205; 207)을 나타내는 것을 특징으로 하는 표면음향파 필터.
6. 제 5 항에 있어서, 추가 컬렉터 전극이 중간 영역(202; 204; 206)에 배열되어, 각각의 경우에 이러한 추가 컬렉터 전극이 서로 다른 트랜스듀서(2; 3)에 속하고, 상기 두 개의 추가 컬렉터 전극 각각 사이에는 어떤 전기적 연결도 존재하지 않으며, 각각의 추가 컬렉터 전극은 컬렉터 전극(21; 22; 31; 32)에 전기적으로 연결되고, 핑거는 추가 커렉터 전극에 연결되어 마치 추가 컬렉터 전극이 존재하지 않는 것처럼 동일한 전위를 가지는 것을 특징으로 하는 표면음향파 필터.
7. 제 5 항에 있어서, 중간 영역(202; 204; 206)에서, 인접 필터 채널(201; 203; 205; 207)의 동등한 핑거 단면 사이에 전기적 연결이 이루어지는 것을 특징으로 하는 표면음향파 필터.
8. 제 4 항에 있어서, 모든 곡선이 직선(210; 310)이며, 두 트랜스듀서의 상응하는 핑거 영역을 지난 확장부(26; 36)는 상기 직선들의 명백한 연속인 것을 특징으로 하는 표면음향파 필터.
9. 제 4 항에 있어서, 상응하는 핑거 영역을 지난 곡선의 직선 확장부(26; 36)가 상응하는 핑거 영역의 경계선에서 상응하는 곡선의 접선방향을 가지는 것을 특징으로 하는 표면음향파 필터.
10. 제 1 항에 있어서, 두 트랜스듀서(2; 3)의 각 핑거그룹(23, 24, 25; 33, 34, 35)이 두 개의 핑거를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면음향파 필터.
11. 제 1 항에 있어서, 두 트랜스듀서(2; 3)의 각 핑거그룹(23, 24, 25; 33, 34, 35)가 세 개의 핑거를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면음향파 필터.
12. 제 11 항에 있어서, 각 핑거그룹(23, 24, 25; 33, 34, 35)의 세 개의 핑거가 한 쌍의 핑거(232; 233; 그리고 332; 333)를 형성하고, 상기 핑거쌍의 핑거들은 동일한 폭을 가지고 서로 다른 컬렉터 전극(21; 22 그리고 31; 32)에 연결되며, 핑거 쌍에 전체적으로 반사가 없도록 상기 핑거 쌍이 서로 연계되어 배열되고, 세 번째 핑거(231, 331)는 각각의 경우에 반사기 핑거인 것을 특징으로 하는 표면음향파 필터.
13. 제 12 항에 있어서, 각 핑거그룹(23, 24, 25; 33, 34, 35)이 DART-셀인 것을 특징으로 하는 표면음향파 필터.
14. 제 12 항에 있어서, 각 핑거그룹(23, 24, 25; 33, 34, 35)이 EWC-셀인 것을 특징으로 하는 표면음향파 필터.
15. 제 12 항에 있어서, 진폭 여기의 소스 강도가 소스 강도 함수를 이용하여 각 핑거그룹(23, 24, 25; 33, 34, 35)과 연계되는 것을 특징으로 하는 표면음향파 필터.
16. 제 12 항에 있어서, 반사 인자는 반사 함수를 이용하여 각 핑거그룹(23, 24, 25; 33, 34, 35)과 연계되는 것을 특징으로 하는 표면음향파 필터.
17. 제 16 항에 있어서, 한 개 이상의 핑거그룹(23, 24, 25; 33, 34, 35)의 반사 인자가 타 핑거그룹의 경우와 반대 부호를 가지며, 이러한 반대 부호는 타 핑거그룹으로부터 상기 핑거그룹의 반사기 핑거(231; 331) 간격이 nλ/2 + λ/4에 달하고, 이때 λ는 모든 핑거와 교차하는 직선을 따르는 평균 주파수와 연계된 파장이며, 각각의 트랜스듀서(2; 3)에서, 상기 직선을 따르는 모든 핑거그룹(23, 24, 25; 33, 34, 35)은 동일한 폭을 가지고, 이때 "n"은 정수인 것을 특징으로 하는 표면음향파 필터.
18. 제 15 항 또는 16 항에 있어서, 소스 강도 함수와 반사 함수가 최적화 방법을 이용하여 결정되는 것을 특징으로 하는 표면음향파 필터.
19. 제 15 항에 있어서, 일부 핑거그룹(23, 24, 25; 33, 34, 35)은 구조 핑거그룹으로 지정되면서, 직렬로 연결되는 다수의 서브트랜스듀서로 컬렉터 전극과 평행하게 한 개 이상의 트랜스듀서에서 나누어지는 것을 특징으로 하는 표면음향파 필터.
20. 제 19 항에 있어서, 동일한 핑거그룹 구조의 모든 서브-트랜스듀서는 동일한 애퍼쳐를 가지는 것을 특징으로 하는 표면음향파 필터.
21. 제 19 항에 있어서, 한 개 이상의 핑거그룹 구조에서 서브-트랜스듀서의 수는 타 핑거그룹 구조에서 서브-트랜스듀서의 수와 다른 것을 특징으로 하는 표면음향파 필터.
22. 제 12 항에 있어서, 한 개 이상의 핑거그룹(23, 24, 25; 33, 34, 35)에서 한쌍의 핑거에 속하는 핑거(232; 233)의 폭이 한 개 이상의 트랜스듀서(2; 3)에서 타그룹의 핑거의 폭과 다른 것을 특징으로 하는 표면음향파 필터.
23. 제 12 항에 있어서, 한 개 이상의 트랜스듀서(2; 3)에서 한 개 이상 핑거그룹(23, 24, 25; 33, 34, 35)의 반사기 핑거(231; 331)가 타 핑거그룹의 반사기 핑거와 다른 것을 특징으로 하는 표면음향파 필터.