KR20020006600A - 가공기계 및 이것에 사용되는 보호부재 - Google Patents

가공기계 및 이것에 사용되는 보호부재 Download PDF

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Abstract

가공기계는 제1 위치와 제2 위치의 사이를 왕복 이동 자유롭게 장착된 가동 지지수단과, 이 가동 지지수단을 왕복 이동시키기 위한 왕복 이동수단을 구비하고, 가동 지지수단에는 가공수단과 피가공물의 어느 한쪽이 장착된다. 가동 지지수단이 제1 위치에서 제2 위치로 전진 이동하는 방향으로 보아, 가동 지지수단의 상류측 및/또는 하류측에는 보호수단이 설치되어 있다. 보호수단은 인장력이 작용하지 않는 자유상태에서는 롤러에 감겨진 상태로 유지되고, 인장력을 가하는 것에 의해 풀려질 수 있는 합성수지 시트 또는 필름으로 형성된 적어도 1개의 보호부재를 포함한다. 보호부재는 가동 지지수단의 상류측에서 가동 지지부재의 전진 이동에 따라 풀려지고 후진 이동에 따라 감겨지는, 및 /또는 가동 지지수단의 하류측에서 가동 지지부재의 전진 이동에 따라 감겨지고 후진 이동에 따라 풀려진다.

Description

가공기계 및 이것에 사용되는 보호부재{Processing machine and protective member used therein}
본 발명은 반도체 웨이퍼의 이면을 연삭(grid)하는 연삭기 및 반도체 웨이퍼를 절삭(cut)하는 절삭기와 같은 가공기계 및 이러한 가공기계에서 필요한 구성요소를 보호하기 위해 사용되는 보호부재에 관한 것이다.
상기 연삭기 및 절삭기와 같은 가공기계는, 제1 위치와 제2 위치의 사이를 왕복이동 자유롭게 장착된 가동 지지수단과, 이 가동 지지수단을 왕복 이동시키는왕복 이동수단을 구비하고 있다. 통상, 가동 지지수단의 왕복이동방향으로 연재(延在)하는 안내수단이 설치되어 있고, 가동 지지수단은 그것에 설치된 피안내수단을 안내수단에 슬라이드(slide) 자유롭게 맞물리게 함으로써 왕복이동 자유롭게 장착되어 있다. 가동 지지수단에는 연삭 휠(wheel) 및 절삭 블레이드와 같은 가공 툴(processing tool)과 반도체 웨이퍼와 같은 피가공물(workpiece)의 어느 한쪽이 장착된다. 가동 지지수단을 전진 이동 및/또는 후진 이동시킬 때, 가동 지지수단에 장착되어 있는 가동 툴이 피가공물에 작용하게 되며, 혹은 가동 지지수단에 장착되어 있는 피가공물에 가공 툴이 작용하게 되고, 이것에 의해 가공 툴로 피가공물에 필요한 가공이 행해진다. 가동 지지수단을 왕복 이동시키기 위한 왕복 이동수단의 전형적인 예는, 가동 지지수단의 왕복 이동방향으로 연재하는 수나사 부재, 가동 지지수단에 장착되고 또 수나사 부재에 나사 결합된 암나사 부재 및 수나사 부재를 회전시키기 위한 모터로 구성되어 있다. 수나사 부재의 수나사와 암나사 부재의 암나사의 사이에는 통상, 순환하게 되는 볼(ball)이 설치되어 있다. 순환하게 되는 볼이 설치된 왕복 이동수단은 볼 나사(ball thread)기구라 불리고 있다.
가공 툴에 의해 피가공물에 연삭 혹은 절삭과 같은 가공을 가하면 가공 부스러기(swarf)가 생성된다. 이러한 가공 부스러기가 수나사 부재 혹은 안내수단에 부착하면, 가동 지지수단의 원활한 왕복이동이 저해된다. 그래서, 가동 지지수단의 전진 이동방향에서 보아 상류측 및/또는 하류측에는 수나사 부재 및 안내수단을 덮는 벨로우즈 부재(bellows member)를 배치하고 있다. 이러한 벨로우즈 부재는 캔버스(canvas) 직물과 같은 직물 혹은 직물과 금속판과의 조합으로 형성할 수 있다.
그리고, 상기 벨로우즈 부재는 비교적 고가이고, 그리고 또 그 교환조작이 반드시 용이한 것은 아니다.
본 발명의 주된 목적은, 벨로우즈 부재 대신에 혹은 이것에 부가해서, 상당히 저렴하고 또 충분히 용이하게 교환할 수 있는 보호수단에 의해, 수나사 부재 및 안내수단과 같은 보호해야 할 구성요소에 가공 부스러기가 부착하는 것이 방지되는, 신규하고 또 개량된 가공기계를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은, 가공기계에서의 필요한 구성요소를 보호하기 위해, 벨로우즈 부재 대신에 혹은 이것에 부가해서 사용할 수 있는, 벨로우즈 부재에 비해 상당히 저렴하고 또 충분히 용이하게 교환할 수 있는 보호부재를 제공하는 것이다.
도 1은 본 발명에 따라 구성된 가공기계의 바람직한 실시형태인 연삭기의 전체를 나타내는 사시도,
도 2는 도 1의 연삭기의 일부를 나타내는 부분 사시도,
도 3a 내지 도 3d는 도 1의 연삭기에 사용되고 있는 감겨진 시트 또는 필름의 제조양식을 나타내는 간략도,
도 4a 내지 도 4d는 감겨진 시트 또는 필름의 변형예의 제조양식을 나타내는 간략도이다.
본 발명자는 인장력이 작용하지 않는 자유상태에서는 롤러에 감겨진 상태로 유지되고, 인장력을 가함으로써 풀려질 수 있는 합성수지 시트 또는 필름으로 형성된 적어도 1개의 보호부재로 보호수단을 구성함으로써, 상기 주된 목적을 달성할 수 있는 것을 발견하였다. 상기 다른 목적을 달성하는 보호부재 자체는, 합성수지 시트 또는 필름을 롤러에 감고, 감겨진 상태에서 소정 시간 가열함으로써 형성할 수 있다. 본 명세서에서는, 편의상 인장력이 작용하지 않는 자유상태에서는 롤러에 감겨진 상태로 유지되고, 인장력을 가함으로써 풀려질 수 있는 합성수지 또는 필름을「감겨진 시트 또는 필름」이라 한다.
즉, 본 발명에 의하면, 제1 위치와 제2 위치의 사이를 왕복이동 자유롭게 장착된 가동 지지수단과, 그 가동 지지수단을 왕복 이동시키기 위한 왕복 이동수단을 구비하고, 그 가동 지지수단에는 가공 툴과 피가공물의 어느 한쪽이 장착되는 가공기계로서,
그 가공 지지수단이 제1 위치에서 제2 위치로 전진 이동하는 방향으로 보아, 그 가동 지지수단의 상류측 및/또는 하류측에는, 인장력이 작용하지 않는 자유상태에서는 롤러에 감겨진 상태로 유지되고, 인장력을 가함으로써 풀려질 수 있는 합성수지 시트 또는 필름으로 형성된 적어도 1개의 보호부재를 포함하는 보호수단이 설치되어 있고, 그 보호부재는 그 가동 지지수단의 상류측에서 그 가동 지지부재의 전진 이동에 따라 풀려지고 후진 이동에 따라 감겨지는, 및/또는 그 가동 지지수단의 하류측에서 그 가동 지지부재의 전진 이동에 따라 감겨지고 후진 이동에 따라 풀려지는 것을 특징으로 하는 가공기계가 제공된다.
그 보호수단은 그 가동 지지수단의 상류측과 하류측의 쌍방에 설치되어 있는 것이 바람직하다. 바람직한 실시예에서는, 그 가동 지지수단의 왕복이동방향으로 연재하는 안내수단이 설치되어 있고, 그 가동 지지수단에는 그 안내수단에 슬라이드 자유롭게 맞물리게(engage) 되는 피안내수단이 설치되어 있으며, 그 왕복 이동수단은 그 가동 지지수단의 왕복이동방향으로 연재하는 수나사 부재, 그 가동 지지수단에 장착되고 또 그 수나사 부재에 나사 결합되는 암나사 부재 및 그 수나사 부재를 회전시키기 위한 모터로 구성되고, 그 보호수단은 수나사 부재 및 그 안내수단에 대향하여 위치하는 주보호부재와 그 수나사 부재 및 그 안내수단의 양측에 위치하는 2개의 부보호부재를 포함하며, 그 수나사 부재 및 그 안내수단은 그 주보호부재 및 그 부보호부재에 의해 3방향이 덮여져 있다.
또, 본 발명에 의하면, 상기 다른 목적을 달성하는 보호부재로서, 인장력이 작용하지 않는 자유상태에서는 롤러에 감겨진 상태로 유지되고, 인장력을 가함으로써 풀려질 수 있는 합성수지 시트 또는 필름으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 보호부재가 제공된다.
바람직하게는, 그 보호부재는 합성수지 시트 또는 필름을 길이방향으로 접어서 이중으로 한 후에 접은 부위에서 롤러에 감고, 감겨진 상태에서 소정 시간 가열함으로써 형성된다. 이와 같은 보호부재를 가공기계에 적용할 때에는, 한쪽 단부를 그 가동 지지수단에 고정하고 다른쪽 단부를 정지부재에 고정할 수 있다. 합성수지 시트 또는 필름의 일단을 지지축에 고정하며, 그 지지축에 그 합성수지 시트 또는 필름을 감고, 감겨진 상태에서 소정 시간 가열함으로써, 보호부재를 형성하는 것도 가능하다. 이와 같은 보호부재를 가공기계에 적용할 때에는, 그 지지축을 정지부재 또는 그 가동 지지수단에 회전 자유롭게 장착하고, 자유 단부를 그 가동 지지수단 또는 그 정지부재에 고정할 수 있다.
이하, 본 발명에 따라 구성된 가공기계의 바람직한 실시형태를 도시하고 있는 첨부 도면을 참조하여 더 상세히 설명한다.
도 1에는, 본 발명에 따라 구성된 가공기계의 바람직한 실시형태로서, 피가공물인 반도체 웨이퍼의 이면을 연삭하기 위한 연삭기가 도시되어 있다. 도시의 연삭기는 전체를 번호 2로 나타내는 하우징을 구비하고 있다. 이 하우징(2)은 가늘고길게 연재하는 직사각 평행육면체 형상의 주부(4)를 가진다. 주부(4)의 후단부에는 실제 연직 상방으로 연장되는 직립 벽(壁)(6)이 설치되어 있다. 그리고, 이 직립 벽(6)에 2개의 연삭수단, 즉 거친 연삭수단(8a) 및 정밀 연삭수단(8b)이 설치되어 있다. 거친 연삭수단(8a) 및 정밀 연삭수단(8b)의 구성 및 이들의 장착 양식에 대해서는 후에 더 상술한다.
도 1을 참조하여 설명을 계속하면, 하우징(2)의 주부(4)에서의 후반부 상면에는 턴 테이블(10)이 설치되어 있다. 이 턴 테이블(10)은 실제 연직으로 연장되는 중심축선을 중심으로 하여 회전 자유롭게 장착되어 있다. 턴 테이블(10)에는 적절한 전동모터(도시하지 않음)가 구동 연결되어 있고, 후에 더 언급하는 것과 같이, 턴 테이블(10)은 120도마다 간헐적으로 회전하게 된다. 턴 테이블(10)에는 주위 방향으로 등각도 간격을 두고 3개의 척 수단(12)이 설치되어 있다. 도시의 척 수단(12)은 실제 연직으로 연장되는 중심축선을 중심으로 하여 회전 자유롭게 장착된 다공성 원판으로 구성되어 있다. 척 수단(12)에는 적절한 전동모터(도시하지 않음)가 구동 연결되어 있고, 척 수단(12)은 5 내지 100rpm으로 충분한 회전속도로 회전하게 된다. 척 수단(12)에는 진공원(도시하지 않음)이 선택적으로 연통하게 되고, 후에 더 언급하는 바와 같이, 척 수단(12)상에 얹혀진 반도체 웨이퍼가 척 수단(12)에 진공 흡착된다. 턴 테이블(10)이 120도마다 간헐적으로 회전하는 것에 의해 척 수단(12)의 각각은 반입 및 반출영역(14), 거친 연삭영역(16) 및 정밀 연삭영역(18)에 순차로 위치하게 된다.
하우징(2)의 주부(4)에서의 전반부 상면에는 카셋트 반입영역(20), 카셋트반출영역(22), 반송기구(24), 반도체 웨이퍼 수납수단(26) 및 세정수단(28)이 설치되어 있다. 하우징(2)의 주부(4)에서의 중간부 상면에는 반송기구(30, 32)가 설치되어 있다. 카셋트 반입영역(20)상에는 이면을 연삭해야 할 복수개의 반도체 웨이퍼(W)를 수용한 카셋트(C)가 얹혀진다. 카셋트 반출영역(22)에는 이면이 연삭된 반도체 웨이퍼(W)를 수용하기 위한 카셋트(C)가 얹혀진다. 반송기구(24)는 카셋트 반입영역(20)상에 얹혀져 있는 카셋트(C)에서 반도체 웨이퍼(W)를 1매씩 반출하고, 이면을 반전시켜 반도체 웨이퍼 수납수단(26)상에 얹어 놓는다. 반송기구(30)는 이면을 상방으로 향해서 반도체 웨이퍼 수납수단(26)상에 얹혀져 있는 반도체 웨이퍼(W)를 반입ㆍ반출영역(14)에 위치시키고 있는 척 수단(12)상에 반입한다.
이면을 상방으로 향해서 드러낸 상태로 척 수단(12)상에 반입된 반도체 웨이퍼(W)는, 턴 테이블(10)의 간헐적 회전에 의해 척 수단(12)과 함께 거친 연삭영역(16)에 위치하게 된다. 거친 연삭영역(16)에서는, 반도체 웨이퍼(W)를 유지한 척 수단(12)이 회전하게 됨과 동시에 거친 연삭수단(8a)이 반도체 웨이퍼(W)의 이면에 작용하게 되고, 반도체 웨이퍼(W)의 이면이 거칠게 연삭된다. 거친 연삭영역(16)에서 거칠게 연삭된 반도체 웨이퍼(W)는, 턴 테이블(10)의 간헐적 회전에 의해 척 수단(12)과 함께 정밀 연삭영역(18)에 위치하게 된다. 그리고, 정밀 연삭영역(18)에서는 반도체 웨이퍼(W)를 유지한 척 수단(12)이 회전하게 됨과 동시에 정밀 연삭수단(8b)이 반도체 웨이퍼(W)의 이면에 작용하게 되어, 반도체 웨이퍼(W)의 이면이 정밀하게 연삭된다. 거친 연삭수단(8a)에 의한 거친 연삭 및 정밀 연삭수단(8b)에 의한 정밀 연삭에 대해서는 후에 더 언급한다. 이어서, 턴 테이블(10)의 간헐적 회전에 의해, 이면이 정밀 연삭된 반도체 웨이퍼(W)는 척 수단(12)과 함께 반입ㆍ반출영역(14)에 위치하게 된다.
반송기구(32)는 반입ㆍ반출영역(14)에 위치하게 되어 있는 척 수단(12)상의 반도체 웨이퍼(W)를 세정수단(28)으로 반송한다. 세정수단(28)은 반도체 웨이퍼(W)를 고속 회전시키면서 순수로 충분한 세정액을 분사하고, 반도체 웨이퍼(W)를 세정하여 건조한다. 반송기구(24)는 세정하여, 건조된 반도체 웨이퍼(W)를 다시 반전시켜 표면이 상방으로 향한 상태로 하여 카셋트 반출영역(22)상에 얹혀져 있는 카셋트(C)내에 반입한다. 카셋트 반입영역(20)에 얹혀져 있는 카셋트(C)내의 반도체 웨이퍼(W)가 모두 반출되면, 이러한 카셋트(C)가 이면을 연삭해야 할 반도체 웨이퍼(W)를 수용한 다음 카셋트(C)와 교환된다. 또한, 카셋트 반출영역(22)에 얹혀져 있는 카셋트(C)에 소정 매수의 반도체 웨이퍼(W)가 수납되면 이러한 카셋트(C)가 반출되어 빈 카셋트(C)가 얹혀진다.
도 1과 함께 도 2를 참조하여 설명을 계속하면, 하우징(2)의 후단부에 설치되어 있는 상기 직립 벽(6)의 전면에는 안내수단(34a, 34b)이 설치되어 있다. 안내수단(34a, 34b)은 각각 한쌍의 안내레일(36a, 36b)로 구성되어 있다. 한쌍의 안내레일(36a)은 직립 벽(6)의 전면에 폭 방향으로 간격을 두고 고정되며, 실제 연직으로 연장되어 있다. 마찬가지로, 한쌍의 안내레일(36b)도 직립 벽(6)의 전면에 폭 방향으로 간격을 두고 고정되며, 실제 연직으로 연장되어 있다. 한쌍의 안내레일(36a)에는 가동 지지수단을 구성하는 슬라이딩(sliding) 블록(38a)이 연직 방향으로 슬라이드 자유롭게 장착되고, 한쌍의 안내레일(36b)에는 가동 지지수단을구성하는 슬라이딩 블록(38b)이 슬라이드 자유롭게 장착되어 있다. 슬라이딩 블록(38a, 38b)의 각각의 후면의 폭 방향 양측에는 연직 방향으로 연장되는 각부(40a, 40b)가 형성되어 있고, 이러한 푸트(foot)부(40a, 40b)에는 연직 방향으로 연장되는 홈이 형성되어 있다. 슬라이딩 블록(38a, 38b)의 각각은 각부(40a, 40b)에 형성되어 있는 홈을 안내레일(36a, 36b)에 슬라이드 자유롭게 맞물리게 하는 것에 의해, 안내레일(36a, 36b)을 따라 슬라이드 자유롭게 장착되어 있다. 따라서, 각부(40a, 40b)에 형성되어 있는 홈은 안내수단을 구성하는 안내레일(36a, 36b)과 협동하는 피안내수단을 구성한다.
상기 직립 벽(6)과 슬라이딩 블록(38a, 38b)의 사이에는, 슬라이딩 블록(38a, 38b)을 승강이동, 즉 연직 방향으로 왕복 이동시키기 위한 왕복 이동수단(42a, 42b)이 설치되어 있다. 후술하면, 직립 벽(6)의 전면에는 장착편(44a, 44b) 및 장착편(46a, 46b)에 의해 실제 연직 방향으로 연장되는 수나사 부재(48a, 48b)가 회전 자유롭게 장착되어 있다. 수나사 부재(48a, 48b)의 주위 표면에는 수나사가 각설(刻設)되어 있다. 장착편(44a, 44b)에는 펄스 모터로 충분한 전동모터(50a, 50b)도 장착되어 있고, 이러한 전동모터(50a, 50b)의 출력축은 수나사 부재(48a, 48b)에 연결되어 있다. 슬라이딩 블록(38a, 38b)의 후면 중앙부에는 연직 방향으로 연장되는 관통나사 구멍을 가지는 암나사 부재(도시하지 않음)가 고정되어 있고, 이러한 암나사 부재가 수나사 부재(48a, 48b)와 나사 결합하게 되어 있다. 따라서, 전동모터(50a, 50b)가 정회전 하게 되면, 슬라이딩 블록(38a, 38b)이 전진 이동 즉 하강하게 되고, 전동모터(50a, 50b)가 역회전 하게 되면, 슬라이딩 블록(38a, 38b)이 후진 이동 즉 상승하게 된다.
도 1 및 도 2를 참조하여 설명을 계속하면, 상기 거친 연삭수단(8a)은 슬라이딩 블록(38a)에 장착되고, 상기 정밀 연삭수단(8b)은 슬라이딩 블록(38b)에 장착되어 있다. 슬라이딩 블록(38a, 38b)의 각각에는 전방으로 돌출한 지지부(54a, 54b)가 형성되어 있고, 이러한 지지부(54a, 54b)의 각각에는 케이싱(56a, 56b)이 고정되어 있다. 케이싱(56a, 56b)에는 실제 연직으로 연장되는 회전축(58a, 58b)이 회전 자유롭게 장착되어 있다. 케이싱(56a, 56b)내에는 전동모터(도시하지 않음)가 설치되어 있고, 이러한 전동모터의 출력축은 회전축(58a, 58b)에 연결되어 있다. 회전축(58a, 58b)의 하단에는 원판 형상의 장착부재(60a, 60b)가 고정되어 있고, 장착부재(60a, 60b)의 하면에는 연삭 툴(62a, 62b)이 고정되어 있다. 연삭 툴(62a, 62b)의 각각의 하면에는 원호 형상인 복수개의 연삭부재가 설치되어 있다. 연삭부재는, 다이아몬드 지립(砥粒)을 수지 본드와 같은 적절한 결합제에 의해 결합함으로써 형성된 것이 바람직하다. 케이싱(56a, 56b)내에 설치되어 있는 상기 전동모터가 힘을 받으면 연삭 툴(62a, 62b)이 고속으로 회전하게 된다.
거친 연삭영역(16)에서 척 수단(12)상에 유지되어 있는 반도체 웨이퍼(W)의 이면을 거칠게 연삭할 때에는 척 수단(12)이 회전하게 됨과 동시에 연삭 툴(62a)이 고속으로 회전하게 된다. 그리고, 슬라이딩 블록(38a)을 강하시키는 것에 의해 연삭 툴(62a)이 반도체 웨이퍼(W)의 이면에 눌려지며, 그리고 또 점차 강하하게 되고, 이렇게 하여 반도체 웨이퍼(W)의 이면이 비교적 두껍고 거칠게 연삭된다. 마찬가지로, 정밀 연삭영역(18)에서 척 수단(12)상에 유지되어 있는 반도체 웨이퍼(W)를 정밀 연삭할 때에는 척 수단(12)이 회전하게 됨과 동시에 연삭 툴(62b)이 고속으로 회전하게 된다. 그리고, 슬라이딩 블록(38b)을 강하시키는 것에 의해 연삭 툴(62b)이 반도체 웨이퍼(W)의 이면에 눌려지며, 그리고 또 점차 강하하게 되고, 이렇게 하여 반도체 웨이퍼(W)의 이면이 비교적 얇고 정밀하게 연삭된다.
그리고, 도시의 연삭기에서 상술한 바와 같은 구성 및 작용은, 예컨대 주식회사 디스코(Disco)에서 상품명「DFG841」로서 판매되고 있는 연삭기에서의 구성 및 작용과 실제 동일하고, 이미 당업자에게는 주지의 것이다. 그러므로, 이들 구성 및 작용의 상세한 설명은 본 명세서에서는 생략한다.
도 1 및 도 2를 참조하여 설명을 계속하면, 가동 지지수단을 구성하는 슬라이딩 블록(38a, 38b)의 각각의 전진 이동방향으로 보아 상류측 및/또는 하류측, 즉 슬라이딩 블록(38a, 38b)의 각각의 상측 및/또는 하측에는, 수나사 부재(48a, 48b) 및 안내레일(36a, 36b)에 연삭 부스러기가 부착하는 것을 방지하기 위한 보호수단이 설치되어 있는 것이 중요하다. 도시의 연삭기에서는 슬라이딩 블록(38a)의 상측 및 하측에 각각 보호수단(64a, 66ab)이 설치되어 있고, 그리고 또 슬라이딩 블록(38b)의 상측 및 하측에 각각 보호수단(64b, 66b)이 설치되어 있다. 더 상술하면, 상기 직립 벽(6)의 전면에는 안내레일(36a, 36b)의 상단을 덮는 정지부재(67a, 67b) 및 안내레일(36a, 36b)의 하단을 덮는 정지부재(68a, 68b)가 고정되어 있다. 정지부재(67a, 67b)의 각각은, 상기 장착편(44a, 44b)에 대응해서 노치(cut-away)가 형성되어 있는 사각형의 판(plate) 형상이고, 그 앞 테두리 및 양측 테두리는 연직 방향에서 슬라이딩 블록(38a, 38b)의 전면 및 양 측면과 거의 정합하게 되어있다. 정지부재(68a, 68b)의 각각도 상기 장착편(46a, 46b)에 대응해서 노치가 형성되어 있는 사각형의 판 형상이고, 그 앞 테두리 및 양측 테두리는 연직 방향에서 슬라이딩 블록(38a, 38b)의 전면 및 양 측면과 거의 정합하게 되어 있다. 보호수단(64a, 64b)은 정지부재(67a, 67b)의 앞 테두리와 슬라이딩 블록(38a, 38b)의 전면 상단과의 사이에 설치된 주보호부재(70a, 70b)와, 정지부재(67a, 67b)의 양측 테두리와 슬라이딩 블록(38a, 38b)의 양측면 상단과의 사이에 설치된 부보호부재(72a, 72b)로 구성되어 있다. 보호수단(66a, 66b)은, 슬라이딩 블록(38a, 38b)의 전면 하단과 정지부재(68a, 68b)의 앞 테두리의 사이에 설치된 주보호부재(74a, 74b)와, 슬라이딩 블록(38a, 38b)의 양측면 상단과 정지부재(68a, 68b)의 양측 테두리의 사이에 설치된 부보호부재(76a, 76b)로 구성되어 있다.
주보호부재(70a, 70b) 및 (74a, 74b), 부보호부재(72a, 72b) 및 (76a, 76b)는, 감겨진 시트 또는 필름, 즉 인장력이 작용하지 않는 자유상태에서는 롤러에 감겨진 상태로 유지되고, 인장력을 가함으로써 풀려질 수 있는 합성수지 시트 또는 필름으로 구성되어 있는 것이 중요하다. 주보호부재(70a, 70b)를 구성하는 감겨진 시트 또는 필름의 상단 및 하단에는 연결로드(78)가 고정되어 있고, 적절한 연결수단(도시하지 않음)에 의해 한쪽의 연결로드(78)가 정지부재(67a, 67b)의 앞 테두리에 고정되며 다른쪽의 연결로드(78)가 슬라이딩 블록(38a, 38b)의 전면 상단에 고정되고, 이렇게 하여 주보호부재(70a, 70b)를 구성하는 감겨진 시트 또는 필름은 그 일단이 정지부재(67a, 67b)의 앞 테두리에 고정되고 다른쪽이 슬라이딩 블록(38a, 38b)의 전면 상단에 고정되어 있다. 부보호부재(72a, 72b)를 구성하는감겨진 시트 또는 필름의 상단 및 하단에도 연결로드(80)가 고정되어 있고, 적절한 연결수단(도시하지 않음)에 의해 한쪽의 연결로드(80)가 정지부재(67a, 67b)의 각 옆 테두리에 고정되며 다른쪽의 연결로드(80)가 슬라이딩 블록(38a, 38b)의 각 측면 상단에 고정되고, 이렇게 하여 부보호부재(72a, 72b)를 구성하는 감겨진 시트 또는 필름은 그 일단이 정지부재(67a, 67b)의 각 측연에 고정되고 다른쪽이 슬라이딩 블록(38a, 38b)의 각 측면 상단에 고정되어 있다. 주보호부재(74a, 74b)를 구성하는 감겨진 시트 또는 필름의 상단 및 하단에는 연결로드(82)가 고정되어 있고, 적절한 연결수단(도시하지 않음)에 의해 한쪽의 연결로드(82)가 슬라이딩 블록(38a, 38b)의 전면 하단에 고정되며 다른쪽의 연결로드(82)가 정지부재(68a, 68b)의 앞 테두리에 고정되고, 이렇게 하여 주보호부재(74a, 74b)를 구성하는 감겨진 시트 또는 필름은 그 일단이 슬라이딩 블록(38a, 38b)의 전면 하단에 고정되고 다른쪽이 정지부재(68a, 68b)의 앞 테두리에 고정되어 있다. 부보호부재(76a, 76b)를 구성하는 감겨진 시트 또는 필름의 상단 및 하단에도 연결로드(84)가 고정되어 있고, 적절한 연결수단(도시하지 않음)에 의해 한쪽의 연결로드(84)가 슬라이딩 블록(38a, 38b)의 각 측면 하단에 고정되며 다른쪽의 연결로드(84)가 정지부재(68a, 68b)의 각 측연에 고정되고, 이렇게 하여 부보호부재(76a, 76b)를 구성하는 감겨진 시트 또는 필름은 그 일단이 슬라이딩 블록(38a, 38b)의 각 측면 하단에 고정되고 다른쪽이 정지부재(68a, 68b)의 각 옆 테두리에 고정되어 있다.
보호수단(64a, 66a)은 수나사 부재(48a) 및 안내레일(36a)을 3방향, 즉 앞쪽 및 양 옆에서 덮고, 이것에 의해 수나사 부재(48a) 및 안내레일(36a)에 연삭 부스러기가 부착하는 것이 충분히 확실하게 방지된다. 슬라이딩 블록(38a)이 전진 이동 즉 하강될 때에는, 주보호부재(70a) 및 부보호부재(72a)를 구성하는 감겨진 시트 또는 필름은 슬라이딩 블록(38a)의 하강에 따라 인장력이 가해지는 것에 의해 기인하여 점차 풀려지고, 주보호부재(74a) 및 부보호부재(76a)를 구성하는 감겨진 시트 또는 필름은 슬라이딩 블록(38a)의 하강에 따라 인장력이 해제되는 것에 기인하여 점차 감겨진다. 반대로, 슬라이딩 블록(38a)이 후진 이동 즉 상승될 때에는, 주보호부재(70a) 및 부보호부재(72a)를 구성하는 감겨진 시트 또는 필름은 슬라이딩 블록(38a)의 상승에 따라 인장력이 해제되는 것에 기인하여 점차 감겨지고, 주보호부재(74a) 및 부보호부재(76a)를 구성하는 감겨진 시트 또는 필름은 슬라이딩 블록(38a)의 상승에 따라 인장력이 가해지는 것에 기인하여 점차 풀려진다. 마찬가지로, 보호수단(64b, 66b)은 수나사 부재(48b) 및 안내레일(36b)을 3방향, 즉 앞쪽 및 양 옆에서 덮고, 이것에 의해 수나사 부재(48b) 및 안내레일(36b)에 연삭 부스러기가 부착하는 것이 충분히 확실하게 방지된다. 슬라이딩 블록(38b)이 전진 이동 즉 하강될 때에는, 주보호부재(70b) 및 부보호부재(72b)를 구성하는 감겨진 시트 또는 필름은 슬라이딩 블록(38b)의 하강에 따라 인장력이 가해지는 것에 의해 기인하여 점차 풀려지고, 주보호부재(74b) 및 부보호부재(76b)를 구성하는 감겨진 시트 또는 필름은 슬라이딩 블록(38b)의 하강에 따라 인장력이 해제되는 것에 기인하여 점차 감겨진다. 반대로, 슬라이딩 블록(38b)이 후진 이동 즉 상승될 때에는, 주보호부재(70b) 및 부보호부재(72b)를 구성하는 감겨진 시트 또는 필름은 슬라이딩 블록(38b)의 상승에 따라 인장력이 해제되는 것에 기인하여 점차 감겨지고, 주보호부재(74b) 및 부보호부재(76b)를 구성하는 감겨진 시트 또는 필름은 슬라이딩 블록(38b)의 상승에 따라 인장력이 가해지는 것에 기인하여 점차 풀려진다.
도 3은 주보호부재 및 부보호부재를 구성하는 감겨진 시트 또는 필름의 바람직한 실시형태의 제조양식을 도시하고 있다. 도 3(a)에 도시하는 바와 같이, 가늘고 길게 연재하는 합성수지 시트 또는 필름(86)을 준비한다. 이러한 합성수지 시트 또는 필름의 바람직한 예로서는, 두께가 0.03 내지 2.0㎜, 특히 0.04 내지 0.10㎜인 폴리에스테르 시트 또는 필름을 열거할 수 있다. 이어서, 도 3(b)에 도시하는 바와 같이, 합성수지 시트 또는 필름(86)을 길이 방향으로 접어 이중으로 한다. 다음에, 도 3(c)에 도시하는 바와 같이, 합성수지 시트 또는 필름(86)을 접은 부분에서 점차 감는다. 그리고, 양단부를 남겨서 필요한 대로 감겨진 합성수지 시트 또는 필름(86)을 감은 상태로 유지하여 필요 온도로 소정 시간 가열한다. 예컨대, 합성수지 시트 또는 필름(86)이 두께 0.05㎜인 폴리에스테르 시트 또는 필름인 경우, 약 140℃의 온도로 2시간 정도 가열한다. 이어서, 상온에서 서서히 냉각한다. 이렇게 하면, 합성수지 시트 또는 필름(86)은 감겨진 상태로 영구적으로 셋트되고, 인장력이 작용하지 않는 상태에서는 도 3(d)에 실선으로 나타내는 바와 같이 롤 형태로 감겨진 상태로 유지되고, 양단을 잡아 당기는 것에 의해 인장력을 가하면, 도 3(d)에 2점 쇄선으로 나타내는 바와 같이 풀려진다. 그리고, 인장력을 해제하면, 도 3(d)에 실선으로 나타내는 바와 같이 롤 형태로 감겨진 상태로 되돌아간다. 이와 같은 감겨진 시트 또는 필름은 저렴한 재료를 사용하여 용이하게 제조할 수 있고, 가공기계의 구성요소를 보호하기 위해 종래부터 사용되고 있는 벨로우즈 부재에 비해 상당히 저렴하며, 그리고 또 가공기계의 필요한 부위로의 장착도 상당히 용이한 것이 주목되어야 한다.
도 4는 주보호부재 및 부보호부재를 구성하는 감겨진 시트 또는 필름의 바람직한 실시형태의 제조양식을 도시하고 있다. 도 4에 도시하는 제조양식에서도 도 4(a)에 도시하는 바와 같이, 가늘고 길게 연재하는 합성수지 시트 또는 필름(88)을 준비한다. 이 합성수지 시트 또는 필름(88)도, 두께가 0.03 내지 2.0㎜, 특히 0.04 내지 0.10㎜인 폴리에스테르 시트 또는 필름인 것이 바람직하다. 이어서, 도 4(b)에 도시하는 바와 같이, 합성수지 시트 또는 필름의 일단을 지지축(90)에 고정한다. 지지축(90)은 적절한 합성수지 혹은 금속으로 형성된 로드(rod)로 충분하다. 지지축(90)의 직경은 2 내지 5㎜ 정도인 것이 바람직하다. 다음에, 도 4(c)에 도시하는 바와 같이, 합성수지 시트 또는 필름(88)을 지지축(90)에 감는다. 그리고, 자유 단부부를 남겨서 지지축(90)에 필요한 대로 감은 합성수지 시트 또는 필름(88)을 감은 상태로 유지하여 필요 온도(예컨대 약 140℃)로 소정 시간(예컨대 2시간) 가열한다. 이어서, 상온에서 서서히 냉각한다. 이렇게 하면, 합성수지 시트 또는 필름(88)은 감겨진 상태로 영구적으로 셋트되고, 인장력이 작용하지 않는 상태에서는 도 4(d)에 실선으로 나타내는 바와 같이 지지축(90)에 감겨진 상태로 유지되고, 지지축(90)을 소정 위치로 회전 자유롭게 유지하여 자유 단부를 잡아 당기는 것에 의해 인장력을 가하면, 도 4(d)에 2점 쇄선으로 나타내는 바와 같이 풀려진다. 그리고, 인장력을 해제하면, 도 4(d)에 실선으로 나타내는 바와 같이 지지축(90)에 감겨진 상태로 되돌아간다. 도 4(d)에 도시하는 형태의 감겨진 시트 내지 필름(88)을, 도 1 및 도 2에 도시하는 연삭기에 사용하는 경우에는, 지지축(90)을 정지부재(67a, 67b) 및 (68a, 68b) 혹은 슬라이딩 블록(38a, 38b)에 회전 자유롭게 장착하고, 감겨진 시트 또는 필름(88)의 자유 단부를 슬라이딩 블록(38a, 38b) 혹은 정지부재(67a, 67b) 및 (68a, 68b)에 고정하면 된다.
이상 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시형태에 대해서 상세히 설명하였지만, 본 발명은 이러한 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 범위를 이탈하지 않고 여러가지 변형 내지 수정이 가능한 것이 이해되어야 한다.
예컨대, 도 1 및 도 2에 도시하는 실시형태에서는, 가동 지지수단을 구성하는 슬라이딩 블록(38a, 38b)의 전진 이동방향으로 보아 상류측과 하류측과의 쌍방에 보호수단(64a, 64b) 및 (66a, 66b)을 설치하고 있지만, 상류측 또는 하류측에서는 연삭 부스러기가 비산할 염려가 실제 없는 경우에는 상류측 또는 하류측에서는 보호수단의 설치를 생략할 수 있다. 또한, 도 1 및 도 2에 도시하는 실시형태에서는, 가동 지지수단을 구성하는 슬라이딩 블록(38a, 38b)에 가공 툴인 연삭 툴(62a, 62b)이 장착되어 있지만, 가동 지지수단에 가공 툴은 없고 피가공물이 장착되는 형태의 가공기계에도 본 발명을 적용할 수 있다. 또한, 도 1 및 도 2에 도시하는 실시형태에서는, 종래 사용되고 있었던 벨로우즈 부재 대신에 감겨진 시트 또는 필름으로 구성된 보호부재를 사용하고 있지만, 소망이라면, 예컨대 벨로우즈 부재를 보호하는 양식으로 감겨진 시트 또는 필름을 사용하는 것도 가능하다. 이 경우, 벨로우즈 부재의 존재에 의해, 필요 구성을 한층 확실하게 보호하는 것이 가능하다. 부가해서, 감겨진 시트 또는 필름에 의해 벨로우즈 부재가 보호되고, 따라서 비교적 저렴하고 장착 조작도 용이한 감겨진 시트 또는 필름을 필요에 따라서 교환하면, 비교적 고가이고 장착의 조작도 비교적 번잡한 벨로우즈 부재를 장기간에 걸쳐 계속 사용할 수 있다.

Claims (10)

  1. 제1 위치와 제2 위치의 사이를 왕복이동 자유롭게 장착된 가동 지지수단과, 상기 가동 지지수단을 왕복 이동시키기 위한 왕복 이동수단을 구비하고, 상기 가동 지지수단에는 가공 툴과 피가공물의 어느 한쪽이 장착되는 가공기계로서,
    상기 가공 지지수단이 제1 위치에서 제2 위치로 전진 이동하는 방향으로 보아, 상기 가동 지지수단의 상류측 및/또는 하류측에는, 인장력이 작용하지 않는 자유상태에서는 롤러에 감겨진 상태로 유지되고, 인장력을 가함으로써 풀려질 수 있는 합성수지 시트 또는 필름으로 형성된 적어도 1개의 보호부재를 포함하는 보호수단이 설치되어 있고, 상기 보호부재는 상기 가동 지지수단의 상류측에서 상기 가동 지지부재의 전진 이동에 따라 풀려지고 후진 이동에 따라 감겨지는, 및/또는 상기 가동 지지수단의 하류측에서 상기 가동 지지부재의 전진 이동에 따라 감겨지고 후진 이동에 따라 풀려지는 것을 특징으로 하는 가공기계.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 보호수단은 상기 가동 지지수단의 상류측과 하류측의 쌍방에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 가공기계.
  3. 제 1항 또는 제2 항에 있어서,
    상기 가동 지지수단의 왕복이동방향으로 연재하는 안내수단이 설치되어 있고, 상기 가동 지지수단에는 상기 안내수단에 슬라이드 자유롭게 맞물리게(engage) 되는 피안내수단이 설치되어 있으며,
    상기 왕복 이동수단은 상기 가동 지지수단의 왕복이동방향으로 연재하는 수나사 부재, 상기 가동 지지수단에 장착되고 또 상기 수나사 부재에 나사 결합되는 암나사 부재 및 상기 수나사 부재를 회전시키기 위한 모터로 구성되고,
    상기 보호수단은 수나사 부재 및 상기 안내수단에 대향하여 위치하는 주보호부재와 상기 수나사 부재 및 상기 안내수단의 양측에 위치하는 2개의 부보호부재를 포함하며,
    상기 수나사 부재 및 상기 안내수단은 상기 주보호부재 및 상기 부보호부재에 의해 3방향이 덮여져 있는 것을 특징으로 하는 가공기계.
  4. 제1 항 내지 제 3 항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 보호부재는 합성수지 시트 또는 필름을 길이방향으로 접어 이중으로 한 후에 접은 부위에서 롤러에 감고, 감겨진 상태에서 소정 시간 가열함으로써 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 가공기계.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 보호부재는 한쪽 단부가 상기 가동 지지수단에 고정되고, 다른쪽 단부가 정지부재에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 가공기계.
  6. 제1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 보호부재는 합성수지 시트 또는 필름의 일단을 지지축에 고정하고, 상기 지지축에 상기 합성수지 시트 또는 필름을 감고, 감겨진 상태에서 소정 시간 가열함으로써 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 가공기계.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 보호부재는 상기 지지축이 정지부재 또는 상기 가동 지지수단에 회전 자유롭게 장착되고, 자유 단부가 상기 가동 지지수단 또는 상기 정지부재에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 가공기계.
  8. 가공기계에서의 구성요소를 보호하기 위해 사용되는 보호부재로서,
    인장력이 작용하지 않는 자유상태에서는 롤러에 감겨진 상태로 유지되고, 인장력을 가함으로써 풀려질 수 있는 합성수지 시트 또는 필름으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 보호부재.
  9. 제 8 항에 있어서,
    합성수지 시트 또는 필름을 길이방향으로 접어 이중으로 한 후에 접은 부위에서 롤러에 감고, 감겨진 상태에서 소정 시간 가열함으로써 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 보호부재.
  10. 제 8 항에 있어서,
    합성수지 시트 또는 필름의 일단을 지지축에 고정하고, 상기 지지축에 상기 합성수지 시트 또는 필름을 감고, 감겨진 상태에서 소정 시간 가열함으로써 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 보호부재.
KR1020010041525A 2000-07-13 2001-07-11 가공기계 및 이것에 사용되는 보호부재 KR100614753B1 (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180036557A (ko) * 2016-09-30 2018-04-09 가부시기가이샤 디스코 가공 장치

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004319697A (ja) * 2003-04-15 2004-11-11 Disco Abrasive Syst Ltd 板状物に形成された電極の加工装置
JP4464113B2 (ja) * 2003-11-27 2010-05-19 株式会社ディスコ ウエーハの加工装置
US7281535B2 (en) * 2004-02-23 2007-10-16 Towa Intercon Technology, Inc. Saw singulation
JP2007132093A (ja) * 2005-11-10 2007-05-31 Disco Abrasive Syst Ltd 伸縮自在カーテン
EP1878566B1 (en) * 2006-07-12 2017-02-22 The Pilot Ink Co., Ltd. Water-discoloring wall adhering material and water-discoloring wall adhering material set using the same
DE102009048757A1 (de) * 2009-10-08 2011-04-14 Satisloh Ag Vorrichtung zur Feinbearbeitung von optisch wirksamen Flächen an Werkstücken, insbesondere Brillengläsern
ITBO20130221A1 (it) * 2013-05-14 2014-11-15 Pei Protezioni Elaborazioni Dispositivo di protezione.
JP6253089B2 (ja) * 2013-12-10 2017-12-27 株式会社ディスコ 研削装置
CN105351724A (zh) * 2015-10-29 2016-02-24 桂林华森电力科技有限公司 一种防烫装置
JP2018114573A (ja) * 2017-01-17 2018-07-26 株式会社ディスコ 研削装置
JP7216613B2 (ja) * 2019-05-16 2023-02-01 株式会社ディスコ 加工装置
FR3117005B1 (fr) 2020-12-03 2024-02-09 Philippe Biesse Écran de protection individuelle pour table .
CN114932469A (zh) * 2022-05-24 2022-08-23 安徽中茂精密电路有限公司 一种应用于pcb板生产的双盘研磨机

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE940798C (de) 1953-06-20 1956-03-29 Heyligenstaedt & Comp Schutzeinrichtung fuer Werkzeugmaschinen, insbesondere zum Abdecken von Durchbruechen
US2852143A (en) 1956-09-05 1958-09-16 Russell E Taber Display device
US3209653A (en) 1963-06-07 1965-10-05 Leland H Satre Dual spindle router for stereotype plates
US3311160A (en) * 1965-12-08 1967-03-28 Barbour Edward Window shade construction
US3542445A (en) * 1969-01-23 1970-11-24 Econo Cover Co Closure member
US3824890A (en) * 1971-01-22 1974-07-23 Giddings & Lewis Chip guard for machine tools
US3687328A (en) * 1971-04-28 1972-08-29 Harry Spruyt Self-retracting cover
EP0272531B1 (en) * 1986-12-08 1991-07-31 Sumitomo Electric Industries Limited Surface grinding machine
DE3733346A1 (de) 1987-10-02 1989-04-13 Hauni Werke Koerber & Co Kg Werkzeugmaschine
JPH04105846A (ja) * 1990-08-24 1992-04-07 Shinkawa Ltd 可動域カバー機構
US5171002A (en) 1992-01-06 1992-12-15 Laser Machining, Inc. Machine tool apparatus
SG70097A1 (en) * 1997-08-15 2000-01-25 Disio Corp Apparatus and method for machining workpieces by flushing working liquid to the tool-and-workpiece interface
JP2000254857A (ja) * 1999-01-06 2000-09-19 Tokyo Seimitsu Co Ltd 平面加工装置及び平面加工方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180036557A (ko) * 2016-09-30 2018-04-09 가부시기가이샤 디스코 가공 장치

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