JPH07227759A - 高硬度材料の切断方法及び装置 - Google Patents
高硬度材料の切断方法及び装置Info
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- JPH07227759A JPH07227759A JP6046451A JP4645194A JPH07227759A JP H07227759 A JPH07227759 A JP H07227759A JP 6046451 A JP6046451 A JP 6046451A JP 4645194 A JP4645194 A JP 4645194A JP H07227759 A JPH07227759 A JP H07227759A
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- rotary
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高硬度材料であっても、回転砥石のカケや切
断面のうねりが生ずることなく、且つ回転砥石の回転駆
動装置に大きな負荷がかからないようにした、高硬度材
料の切断方法及び装置を提供すること。 【構成】 取付台１１上に固定された高硬度材料から成
る被切断物１３に対して、回転砥石１４を相対的に移動
させながらこの回転砥石を回転駆動することにより、こ
の被切断物を切断するようにした、高硬度材の切断方法
において、回転砥石を回転駆動するための駆動装置１５
の負荷電流の変化量に基づいて、回転砥石の切削抵抗が
一定になるように、切断を行なう。
断面のうねりが生ずることなく、且つ回転砥石の回転駆
動装置に大きな負荷がかからないようにした、高硬度材
料の切断方法及び装置を提供すること。 【構成】 取付台１１上に固定された高硬度材料から成
る被切断物１３に対して、回転砥石１４を相対的に移動
させながらこの回転砥石を回転駆動することにより、こ
の被切断物を切断するようにした、高硬度材の切断方法
において、回転砥石を回転駆動するための駆動装置１５
の負荷電流の変化量に基づいて、回転砥石の切削抵抗が
一定になるように、切断を行なう。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高硬度材料を切断する
ための方法及び装置に関するものである。
ための方法及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えば薄膜ヘッドを製造する場
合、ウェハを切断加工するために、スライシングマシン
として知られる切断装置が使用される。この切断装置
は、例えば図５に示すように構成されている。図５にお
いて、切断装置１は、治具２と、回転砥石５とを含んで
いる。そして、治具２上には、ドレッシングボード３が
貼着され、さらにその上に被切断物４、例えばウェハが
貼着される。
合、ウェハを切断加工するために、スライシングマシン
として知られる切断装置が使用される。この切断装置
は、例えば図５に示すように構成されている。図５にお
いて、切断装置１は、治具２と、回転砥石５とを含んで
いる。そして、治具２上には、ドレッシングボード３が
貼着され、さらにその上に被切断物４、例えばウェハが
貼着される。
【０００３】このように構成された切断装置１におい
て、被切断物４の切断を行なう場合には、上記治具２に
対して、図示しない移動装置により、相対的に回転砥石
５を移動させる。その際、回転砥石５が図示しない回転
駆動装置によって回転駆動されることにより、この回転
砥石５の周囲に備えられた砥石粒が、被切断物４を研削
する。かくして、この被切断物４が回転砥石５の通路に
沿って切断されることになる。
て、被切断物４の切断を行なう場合には、上記治具２に
対して、図示しない移動装置により、相対的に回転砥石
５を移動させる。その際、回転砥石５が図示しない回転
駆動装置によって回転駆動されることにより、この回転
砥石５の周囲に備えられた砥石粒が、被切断物４を研削
する。かくして、この被切断物４が回転砥石５の通路に
沿って切断されることになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年になっ
て、薄膜ヘッドのウェハ基盤材として、例えばアルチッ
ク材（Ａｌ2 Ｏ3 ＴｉＣ）が使用されてきている。この
アルチック材は、その硬度が約２０００Ｈｖと高硬度で
あり、切断加工しにくい。また、薄膜ヘッドに限らず、
他の場合でも、アルチック材や、ジルコニア等の高硬度
材料を切断する必要性が高まってきている。
て、薄膜ヘッドのウェハ基盤材として、例えばアルチッ
ク材（Ａｌ2 Ｏ3 ＴｉＣ）が使用されてきている。この
アルチック材は、その硬度が約２０００Ｈｖと高硬度で
あり、切断加工しにくい。また、薄膜ヘッドに限らず、
他の場合でも、アルチック材や、ジルコニア等の高硬度
材料を切断する必要性が高まってきている。
【０００５】従って、上述したような切断装置１におい
て、アルチック材等の高硬度材料から成る被切断物を切
断する場合には、被切断物であるウェハの切削加工性が
悪いことから、切断加工を行なうにつれて、回転砥石５
にカケが生ずると共に、回転砥石５が蛇行することにな
り、切断面５ａに、図６に示すようなうねりが発生する
ことになる。
て、アルチック材等の高硬度材料から成る被切断物を切
断する場合には、被切断物であるウェハの切削加工性が
悪いことから、切断加工を行なうにつれて、回転砥石５
にカケが生ずると共に、回転砥石５が蛇行することにな
り、切断面５ａに、図６に示すようなうねりが発生する
ことになる。
【０００６】また、図５において、切断加工時における
回転砥石の研削抵抗は、研削開始時には、回転砥石５が
被切断物４に対して相対的に矢印Ｘ方向に移動すること
により、この被切断物４に切り込むにつれて、徐々に大
きくなる（図７の範囲Ａ参照）。その後、回転砥石５が
完全に被切断物４に切り込んだ後は、研削抵抗は、一定
に保持され（図７の範囲Ｂ）、最後に回転砥石５が被切
断物４から離れる際には、研削抵抗は、徐々に小さくな
る（図７の範囲Ｃ）。ここで、範囲Ｂにおける研削抵抗
は、被切断物４が高硬度材料から成る場合には、比較的
大きくなる。従って、切断加工時の回転砥石の回転駆動
装置に大きな負荷がかかることになる。
回転砥石の研削抵抗は、研削開始時には、回転砥石５が
被切断物４に対して相対的に矢印Ｘ方向に移動すること
により、この被切断物４に切り込むにつれて、徐々に大
きくなる（図７の範囲Ａ参照）。その後、回転砥石５が
完全に被切断物４に切り込んだ後は、研削抵抗は、一定
に保持され（図７の範囲Ｂ）、最後に回転砥石５が被切
断物４から離れる際には、研削抵抗は、徐々に小さくな
る（図７の範囲Ｃ）。ここで、範囲Ｂにおける研削抵抗
は、被切断物４が高硬度材料から成る場合には、比較的
大きくなる。従って、切断加工時の回転砥石の回転駆動
装置に大きな負荷がかかることになる。
【０００７】このため、従来硬度の高い材料から成る被
切断物４を切断する場合には、回転砥石５の周囲に備え
られた砥石粒の材料の選定，砥石のドレッシング方法，
回転砥石５の回転速度，回転砥石５と被切断物４との相
対速度等を適宜に選定することにより、最適な加工条件
を設定し、回転砥石５の回転速度及び回転砥石５の被切
断物４に対する相対速度を一定にして、切断作業を行な
うようにしていた。
切断物４を切断する場合には、回転砥石５の周囲に備え
られた砥石粒の材料の選定，砥石のドレッシング方法，
回転砥石５の回転速度，回転砥石５と被切断物４との相
対速度等を適宜に選定することにより、最適な加工条件
を設定し、回転砥石５の回転速度及び回転砥石５の被切
断物４に対する相対速度を一定にして、切断作業を行な
うようにしていた。
【０００８】しかしながら、被切断物４として上述した
ようなアルチック材，ジルコニア等の高硬度材料が使用
されている場合には、このような加工条件の選定によっ
ても、回転砥石５の回転駆動装置に対する大きな負荷は
あまり軽減されない。また、回転砥石５の蛇行による切
断面のうねりや、回転砥石５のカケも、完全には排除す
ることができないという問題があった。
ようなアルチック材，ジルコニア等の高硬度材料が使用
されている場合には、このような加工条件の選定によっ
ても、回転砥石５の回転駆動装置に対する大きな負荷は
あまり軽減されない。また、回転砥石５の蛇行による切
断面のうねりや、回転砥石５のカケも、完全には排除す
ることができないという問題があった。
【０００９】本発明は、以上の点に鑑み、アルチック
材，ジルコニア等の高硬度材料であっても、回転砥石の
カケや切断面のうねりが生ずることなく、且つ回転砥石
の回転駆動装置に大きな負荷がかからないようにした、
高硬度材料の切断方法及び装置を提供することを目的と
している。
材，ジルコニア等の高硬度材料であっても、回転砥石の
カケや切断面のうねりが生ずることなく、且つ回転砥石
の回転駆動装置に大きな負荷がかからないようにした、
高硬度材料の切断方法及び装置を提供することを目的と
している。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明によ
れば、取付台上に固定された高硬度材料から成る被切断
物に対して、回転砥石を相対的に移動させながらこの回
転砥石を回転駆動することにより、この被切断物を切断
するようにした、高硬度材の切断方法において、回転砥
石を回転駆動するための駆動装置の負荷電流の変化量に
基づいて、回転砥石の切削抵抗が一定になるように、切
断を行なうようにした、高硬度材料の切断方法により、
達成される。
れば、取付台上に固定された高硬度材料から成る被切断
物に対して、回転砥石を相対的に移動させながらこの回
転砥石を回転駆動することにより、この被切断物を切断
するようにした、高硬度材の切断方法において、回転砥
石を回転駆動するための駆動装置の負荷電流の変化量に
基づいて、回転砥石の切削抵抗が一定になるように、切
断を行なうようにした、高硬度材料の切断方法により、
達成される。
【００１１】本発明による切断方法は、好ましくは、回
転砥石の切削抵抗を一定にするために、この回転砥石の
取付台に対する相対的な移動速度を制御するようになっ
ている。
転砥石の切削抵抗を一定にするために、この回転砥石の
取付台に対する相対的な移動速度を制御するようになっ
ている。
【００１２】また、本発明による切断方法は、好ましく
は、回転砥石の切削抵抗を一定にするために、この回転
砥石の回転速度を制御するようになっている。
は、回転砥石の切削抵抗を一定にするために、この回転
砥石の回転速度を制御するようになっている。
【００１３】さらに、上記目的は、本発明によれば、高
硬度材料から成る被切断物を固定保持する取付台と、取
付台に対して相対的に移動され且つ回転駆動される回転
砥石と、この回転砥石を取付台に対して相対的に移動す
るための第一の駆動装置と、この回転砥石を回転駆動す
る第二の駆動装置とを含んでいる、高硬度材料の切断装
置において、上記第二の駆動装置の負荷電流を検出する
検出装置と、この検出装置による負荷電流の変化に基づ
いて、この負荷電流が一定になるように、上記第一の駆
動装置を駆動制御する制御装置とを備える、高硬度材料
の切断装置によって、達成される。
硬度材料から成る被切断物を固定保持する取付台と、取
付台に対して相対的に移動され且つ回転駆動される回転
砥石と、この回転砥石を取付台に対して相対的に移動す
るための第一の駆動装置と、この回転砥石を回転駆動す
る第二の駆動装置とを含んでいる、高硬度材料の切断装
置において、上記第二の駆動装置の負荷電流を検出する
検出装置と、この検出装置による負荷電流の変化に基づ
いて、この負荷電流が一定になるように、上記第一の駆
動装置を駆動制御する制御装置とを備える、高硬度材料
の切断装置によって、達成される。
【００１４】また、上記目的は、本発明によれば、高硬
度材料から成る被切断物を固定保持する取付台と、取付
台に対して相対的に移動され且つ回転駆動される回転砥
石と、この回転砥石を取付台に対して相対的に移動する
ための第一の駆動装置と、この回転砥石を回転駆動する
第二の駆動装置とを含んでいる、高硬度材料の切断装置
において、上記第二の駆動装置の負荷電流を検出する検
出装置と、この検出装置による負荷電流の変化に基づい
て、この負荷電流が一定になるように、上記第二の駆動
装置を駆動制御する制御装置とを備える、高硬度材料の
切断装置によって、達成される。
度材料から成る被切断物を固定保持する取付台と、取付
台に対して相対的に移動され且つ回転駆動される回転砥
石と、この回転砥石を取付台に対して相対的に移動する
ための第一の駆動装置と、この回転砥石を回転駆動する
第二の駆動装置とを含んでいる、高硬度材料の切断装置
において、上記第二の駆動装置の負荷電流を検出する検
出装置と、この検出装置による負荷電流の変化に基づい
て、この負荷電流が一定になるように、上記第二の駆動
装置を駆動制御する制御装置とを備える、高硬度材料の
切断装置によって、達成される。
【００１５】
【作用】上記第一の構成によれば、高硬度材料から成る
被切断物に対して、回転砥石が切り込む際には、研削抵
抗が徐々に大きくなるので、この研削抵抗の増大に伴っ
て、研削抵抗が減少するように、制御される。また、切
断終了時に、回転砥石が被切断物から離れる場合には、
研削抵抗が徐々に小さくなるので、この研削抵抗の減少
に伴って、研削抵抗が増大するように、制御される。
被切断物に対して、回転砥石が切り込む際には、研削抵
抗が徐々に大きくなるので、この研削抵抗の増大に伴っ
て、研削抵抗が減少するように、制御される。また、切
断終了時に、回転砥石が被切断物から離れる場合には、
研削抵抗が徐々に小さくなるので、この研削抵抗の減少
に伴って、研削抵抗が増大するように、制御される。
【００１６】この制御は、回転砥石の回転数を増減調整
することにより、または被切断物に対する回転砥石の相
対移動速度を増減調整することにより、行なわれる。
することにより、または被切断物に対する回転砥石の相
対移動速度を増減調整することにより、行なわれる。
【００１７】また、上記第二及び第三の構成によれば、
回転砥石を回転駆動する第二の駆動装置の負荷電流を検
出することにより、この回転砥石の研削抵抗が検出され
ることになる。これにより、この第二の駆動装置の負荷
電流が一定になるように、第一の駆動装置または第二の
駆動装置を制御する。かくして、回転砥石の研削抵抗が
一定に保持されることになる。
回転砥石を回転駆動する第二の駆動装置の負荷電流を検
出することにより、この回転砥石の研削抵抗が検出され
ることになる。これにより、この第二の駆動装置の負荷
電流が一定になるように、第一の駆動装置または第二の
駆動装置を制御する。かくして、回転砥石の研削抵抗が
一定に保持されることになる。
【００１８】
【実施例】以下、この発明の好適な実施例を図１乃至図
４を参照しながら、詳細に説明する。尚、以下に述べる
実施例は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に
好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲
は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載
がない限り、これらの態様に限られるものではない。
４を参照しながら、詳細に説明する。尚、以下に述べる
実施例は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に
好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲
は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載
がない限り、これらの態様に限られるものではない。
【００１９】図１は、本発明を適用した切断装置の第一
の実施例を示している。図１において、切断装置１０
は、治具１１と、回転砥石１４とを含んでいる。そし
て、治具１１上には、ドレッシングボード１２が貼着さ
れ、さらにその上に被切断物１３、例えばウェハが貼着
される。
の実施例を示している。図１において、切断装置１０
は、治具１１と、回転砥石１４とを含んでいる。そし
て、治具１１上には、ドレッシングボード１２が貼着さ
れ、さらにその上に被切断物１３、例えばウェハが貼着
される。
【００２０】ここで、回転砥石１４は、回転駆動装置１
５によって駆動制御されることにより、図１にて矢印Ｐ
方向に向かって、所定回転数で回転駆動されるようにな
っている。
５によって駆動制御されることにより、図１にて矢印Ｐ
方向に向かって、所定回転数で回転駆動されるようにな
っている。
【００２１】また、この回転砥石１４は、治具１１に対
して、移動装置１６によって、図１にて矢印Ｑ方向に向
かって、相対的に水平方向に移動されるようになってい
る。図示の場合、移動装置１６は、治具１１に連結され
ていて、この治具１１を移動させるようになっている
が、これに限らず、移動装置１６は、回転砥石１４に連
結されていて、この回転砥石１４を水平方向に移動させ
るようになっていてもよい。
して、移動装置１６によって、図１にて矢印Ｑ方向に向
かって、相対的に水平方向に移動されるようになってい
る。図示の場合、移動装置１６は、治具１１に連結され
ていて、この治具１１を移動させるようになっている
が、これに限らず、移動装置１６は、回転砥石１４に連
結されていて、この回転砥石１４を水平方向に移動させ
るようになっていてもよい。
【００２２】さらに、本実施例による切断装置１０にお
いては、上述した回転駆動装置１５は、図２に示すよう
に、電源回路１５ａと、回転砥石１４を回転駆動させる
スピンドルモータ１５ｂと、このスピンドルモータ１５
ｂの負荷電流を検出する電流計１５ｃとを有している。
いては、上述した回転駆動装置１５は、図２に示すよう
に、電源回路１５ａと、回転砥石１４を回転駆動させる
スピンドルモータ１５ｂと、このスピンドルモータ１５
ｂの負荷電流を検出する電流計１５ｃとを有している。
【００２３】上記電源回路１５ａは、スピンドルモータ
１５ｂを駆動制御することにより、回転砥石１４を所定
回転数で回転駆動するように、制御回路を内蔵してい
る。そして、この電源回路１５ａは、この場合、電流計
１５ｃによって検出されたスピンドルモータ１５ｂの負
荷電流が入力されることにより、この負荷電流が一定に
なるように、スピンドルモータ１５ｂを駆動制御し得る
ように構成されている。
１５ｂを駆動制御することにより、回転砥石１４を所定
回転数で回転駆動するように、制御回路を内蔵してい
る。そして、この電源回路１５ａは、この場合、電流計
１５ｃによって検出されたスピンドルモータ１５ｂの負
荷電流が入力されることにより、この負荷電流が一定に
なるように、スピンドルモータ１５ｂを駆動制御し得る
ように構成されている。
【００２４】上記被切断物１３は、この実施例の場合、
例えば薄膜ヘッドのウェハ基盤となるべき例えばアルチ
ック材（Ａｌ2 Ｏ3 ＴｉＣ）から成るウェハであり、そ
のビッカース硬度は、約２０００Ｈｖである。
例えば薄膜ヘッドのウェハ基盤となるべき例えばアルチ
ック材（Ａｌ2 Ｏ3 ＴｉＣ）から成るウェハであり、そ
のビッカース硬度は、約２０００Ｈｖである。
【００２５】本実施例による切断装置１０は、以上のよ
うに構成されており、被切断物１３を切断する場合に
は、図３に示すように、移動装置１６によって、治具１
１を水平方向に移動させることにより、この治具１１そ
して被切断物１３に対して、相対的に回転砥石１４を矢
印Ｑ方向に移動させる。その際、回転砥石１４が上記回
転駆動装置１５によって回転駆動されることにより、こ
の回転砥石１４の周囲に備えられた砥石粒が、被切断物
１３を研削する。かくして、この被切断物１３が回転砥
石１４の通路に沿って切断されることになる。
うに構成されており、被切断物１３を切断する場合に
は、図３に示すように、移動装置１６によって、治具１
１を水平方向に移動させることにより、この治具１１そ
して被切断物１３に対して、相対的に回転砥石１４を矢
印Ｑ方向に移動させる。その際、回転砥石１４が上記回
転駆動装置１５によって回転駆動されることにより、こ
の回転砥石１４の周囲に備えられた砥石粒が、被切断物
１３を研削する。かくして、この被切断物１３が回転砥
石１４の通路に沿って切断されることになる。
【００２６】ここで、切断加工時における回転砥石１４
の研削抵抗は、研削開始時には、回転砥石１４がこの被
切断物１３に切り込むにつれて、徐々に大きくなる（図
３の範囲Ａ参照）。これにより、回転駆動装置１５は、
そのスピンドルモータ１５ｂの負荷が大きくなることか
ら、負荷電流が増大する。この負荷電流の増大は、電流
計１５ｃによって検出されて、電源回路１５ａにフィー
ドバックされることになる。従って、この電源回路１５
ａは、スピンドルモータ１５ｂの負荷電流が所定の値に
なるように、スピンドルモータ１５ｂを駆動制御する。
かくして、スピンドルモータ１５ｂの回転数は、図３の
範囲Ａに示すように、研削抵抗とは逆に、徐々に低くな
る。
の研削抵抗は、研削開始時には、回転砥石１４がこの被
切断物１３に切り込むにつれて、徐々に大きくなる（図
３の範囲Ａ参照）。これにより、回転駆動装置１５は、
そのスピンドルモータ１５ｂの負荷が大きくなることか
ら、負荷電流が増大する。この負荷電流の増大は、電流
計１５ｃによって検出されて、電源回路１５ａにフィー
ドバックされることになる。従って、この電源回路１５
ａは、スピンドルモータ１５ｂの負荷電流が所定の値に
なるように、スピンドルモータ１５ｂを駆動制御する。
かくして、スピンドルモータ１５ｂの回転数は、図３の
範囲Ａに示すように、研削抵抗とは逆に、徐々に低くな
る。
【００２７】その後、回転砥石１４が完全に被切断物１
３に切り込んだ後は、通常、研削抵抗は、一定に保持さ
れ（図３の範囲Ｂ）、スピンドルモータ１５ｂも、図３
の範囲Ｂに示すように、比較的低い一定回転数に保持さ
れることになる。
３に切り込んだ後は、通常、研削抵抗は、一定に保持さ
れ（図３の範囲Ｂ）、スピンドルモータ１５ｂも、図３
の範囲Ｂに示すように、比較的低い一定回転数に保持さ
れることになる。
【００２８】最後に回転砥石１４が被切断物１３から離
れる際には、通常、研削抵抗は、徐々に小さくなる（図
３の範囲Ｃ）。これにより、回転駆動装置１５は、その
スピンドルモータ１５ｂの負荷が小さくなることから、
負荷電流が減少する。この負荷電流の減少は、電流計１
５ｃによって検出されて、電源回路１５ａにフィードバ
ックされることになる。従って、この電源回路１５ａ
は、スピンドルモータ１５ｂの負荷電流が所定の値にな
るように、スピンドルモータ１５ｂを駆動制御する。す
なわち、回転数が高くなるようにする。このようにすれ
ば、スピンドルモータ１５ｂの回転数は、図３の範囲Ｃ
に示すように、研削抵抗とは逆に、徐々に高くなる。
れる際には、通常、研削抵抗は、徐々に小さくなる（図
３の範囲Ｃ）。これにより、回転駆動装置１５は、その
スピンドルモータ１５ｂの負荷が小さくなることから、
負荷電流が減少する。この負荷電流の減少は、電流計１
５ｃによって検出されて、電源回路１５ａにフィードバ
ックされることになる。従って、この電源回路１５ａ
は、スピンドルモータ１５ｂの負荷電流が所定の値にな
るように、スピンドルモータ１５ｂを駆動制御する。す
なわち、回転数が高くなるようにする。このようにすれ
ば、スピンドルモータ１５ｂの回転数は、図３の範囲Ｃ
に示すように、研削抵抗とは逆に、徐々に高くなる。
【００２９】このようにして、被切断物１３の切断開始
から終了までの全体に亘って、即ち図３における範囲
Ａ，Ｂ及びＣにて、スピンドルモータ１５ｂの負荷電流
が一定に保持するようにし、研削抵抗も一定に保持され
ることになる。
から終了までの全体に亘って、即ち図３における範囲
Ａ，Ｂ及びＣにて、スピンドルモータ１５ｂの負荷電流
が一定に保持するようにし、研削抵抗も一定に保持され
ることになる。
【００３０】これにより、アルチック材，ジルコニア等
の高硬度材料から成る被切断物１３の場合であっても、
切断作業中に、研削抵抗が増大して、スピンドルモータ
１５ｂに大きな負荷がかかることが排除される。かくし
て、安定した研削作業が維持されることによって、回転
砥石１４のカケが発生したり、回転砥石１４が蛇行し
て、切断面にうねりが生ずるようなことはない。
の高硬度材料から成る被切断物１３の場合であっても、
切断作業中に、研削抵抗が増大して、スピンドルモータ
１５ｂに大きな負荷がかかることが排除される。かくし
て、安定した研削作業が維持されることによって、回転
砥石１４のカケが発生したり、回転砥石１４が蛇行し
て、切断面にうねりが生ずるようなことはない。
【００３１】図４は、本発明による切断装置の第二の実
施例を示している。この実施例においては、切断装置自
体は、図１の切断装置と同じ構成の切断装置が使用され
ている。即ち、切断装置２０は、治具１１と、回転砥石
１４とを含んでいる。そして、治具１１上には、ドレッ
シングボード１２が貼着され、さらにその上に被切断物
１３、例えばウェハが貼着される。
施例を示している。この実施例においては、切断装置自
体は、図１の切断装置と同じ構成の切断装置が使用され
ている。即ち、切断装置２０は、治具１１と、回転砥石
１４とを含んでいる。そして、治具１１上には、ドレッ
シングボード１２が貼着され、さらにその上に被切断物
１３、例えばウェハが貼着される。
【００３２】ここで、回転砥石１４は、回転駆動装置１
５によって駆動制御されることにより、図１にて矢印Ｐ
方向に向かって、所定回転数で回転駆動されるようにな
っている。
５によって駆動制御されることにより、図１にて矢印Ｐ
方向に向かって、所定回転数で回転駆動されるようにな
っている。
【００３３】また、この回転砥石１４は、治具１１に対
して、移動装置１６によって、図１にて矢印Ｑ方向に向
かって、相対的に水平方向に移動されるようになってい
る。図示の場合、移動装置１６は、治具１１に連結され
ていて、この治具１１を移動させるようになっている
が、これに限らず、移動装置１６は、回転砥石１４に連
結されていて、この回転砥石１４を水平方向に移動させ
るようになっていてもよい。
して、移動装置１６によって、図１にて矢印Ｑ方向に向
かって、相対的に水平方向に移動されるようになってい
る。図示の場合、移動装置１６は、治具１１に連結され
ていて、この治具１１を移動させるようになっている
が、これに限らず、移動装置１６は、回転砥石１４に連
結されていて、この回転砥石１４を水平方向に移動させ
るようになっていてもよい。
【００３４】上記構成は、図１及び図２に示した第一の
実施例である切断装置１０と同様の構成であるが、本実
施例による切断装置２０においては、上述した移動装置
１６は、図４に示すように、電源回路１６ａと、治具１
１を水平方向に移動せしめる駆動モータ１６ｂとを有し
ている。
実施例である切断装置１０と同様の構成であるが、本実
施例による切断装置２０においては、上述した移動装置
１６は、図４に示すように、電源回路１６ａと、治具１
１を水平方向に移動せしめる駆動モータ１６ｂとを有し
ている。
【００３５】上記電源回路１６ａは、駆動モータ１６ｂ
を駆動制御することにより、治具１１を所定速度で水平
移動させるように、制御回路を内蔵している。そして、
この電源回路１６ａは、回転駆動装置１５のスピンドル
モータ１５ｂの負荷電流を検出する電流計１５ｃによっ
て検出されたスピンドルモータ１５ｂの負荷電流が入力
されることにより、この負荷電流が一定になるように、
駆動モータ１６ｂを駆動制御し得るように構成されてい
る。
を駆動制御することにより、治具１１を所定速度で水平
移動させるように、制御回路を内蔵している。そして、
この電源回路１６ａは、回転駆動装置１５のスピンドル
モータ１５ｂの負荷電流を検出する電流計１５ｃによっ
て検出されたスピンドルモータ１５ｂの負荷電流が入力
されることにより、この負荷電流が一定になるように、
駆動モータ１６ｂを駆動制御し得るように構成されてい
る。
【００３６】上記実施例による切断装置２０は、以上の
ように構成されており、被切断物１３を切断する場合に
は、図３に示すように、移動装置１６によって、治具１
１を水平方向に移動させることにより、この治具１１そ
して被切断物１３に対して、相対的に回転砥石１４を矢
印Ｑ方向に移動させる。その際、回転砥石１４が上記回
転駆動装置１５によって回転駆動されることにより、こ
の回転砥石１４の周囲に備えられた砥石粒が、被切断物
１３を研削する。かくして、この被切断物１３が回転砥
石１４の通路に沿って切断されることになる。
ように構成されており、被切断物１３を切断する場合に
は、図３に示すように、移動装置１６によって、治具１
１を水平方向に移動させることにより、この治具１１そ
して被切断物１３に対して、相対的に回転砥石１４を矢
印Ｑ方向に移動させる。その際、回転砥石１４が上記回
転駆動装置１５によって回転駆動されることにより、こ
の回転砥石１４の周囲に備えられた砥石粒が、被切断物
１３を研削する。かくして、この被切断物１３が回転砥
石１４の通路に沿って切断されることになる。
【００３７】ここで、切断加工時における回転砥石１４
の研削抵抗は、研削開始時には、回転砥石１４がこの被
切断物１３に切り込むにつれて、徐々に大きくなる（図
３の範囲Ａ参照）。これにより、回転駆動装置１５は、
そのスピンドルモータ１５ｂの負荷が大きくなることか
ら、負荷電流が増大する。この負荷電流の増大は、電流
計１５ｃによって検出されて、移動装置１６の電源回路
１６ａにフィードバックされることになる。従って、こ
の電源回路１６ａは、回転駆動装置１５のスピンドルモ
ータ１５ｂの負荷電流が所定の値になるように、駆動モ
ータ１６ｂを駆動制御する。かくして、治具１１の移動
速度は、図３の範囲Ａに示すように、研削抵抗とは逆
に、徐々に低くなる。
の研削抵抗は、研削開始時には、回転砥石１４がこの被
切断物１３に切り込むにつれて、徐々に大きくなる（図
３の範囲Ａ参照）。これにより、回転駆動装置１５は、
そのスピンドルモータ１５ｂの負荷が大きくなることか
ら、負荷電流が増大する。この負荷電流の増大は、電流
計１５ｃによって検出されて、移動装置１６の電源回路
１６ａにフィードバックされることになる。従って、こ
の電源回路１６ａは、回転駆動装置１５のスピンドルモ
ータ１５ｂの負荷電流が所定の値になるように、駆動モ
ータ１６ｂを駆動制御する。かくして、治具１１の移動
速度は、図３の範囲Ａに示すように、研削抵抗とは逆
に、徐々に低くなる。
【００３８】その後、回転砥石１４が完全に被切断物１
３に切り込んだ後は、研削抵抗は、一定に保持され（図
３の範囲Ｂ）、スピンドルモータ１５ｂも、図３の範囲
Ｂに示すように、比較的低い一定回転数に保持されるこ
とになる。
３に切り込んだ後は、研削抵抗は、一定に保持され（図
３の範囲Ｂ）、スピンドルモータ１５ｂも、図３の範囲
Ｂに示すように、比較的低い一定回転数に保持されるこ
とになる。
【００３９】最後に回転砥石１４が被切断物１３から離
れる際には、研削抵抗は、徐々に小さくなる（図３の範
囲Ｃ）。これにより、回転駆動装置１５は、そのスピン
ドルモータ１５ｂの負荷が小さくなることから、負荷電
流が減少する。この負荷電流の減少は、電流計１５ｃに
よって検出されて、移動装置１６の電源回路１６ａにフ
ィードバックされることになる。従って、この電源回路
１６ａは、スピンドルモータ１５ｂの負荷電流が所定の
値になるように、スピンドルモータ１６ｂを駆動制御す
る。かくして、治具１１の移動速度は、図３の範囲Ｃに
示すように、研削抵抗とは逆に、徐々に高くなる。
れる際には、研削抵抗は、徐々に小さくなる（図３の範
囲Ｃ）。これにより、回転駆動装置１５は、そのスピン
ドルモータ１５ｂの負荷が小さくなることから、負荷電
流が減少する。この負荷電流の減少は、電流計１５ｃに
よって検出されて、移動装置１６の電源回路１６ａにフ
ィードバックされることになる。従って、この電源回路
１６ａは、スピンドルモータ１５ｂの負荷電流が所定の
値になるように、スピンドルモータ１６ｂを駆動制御す
る。かくして、治具１１の移動速度は、図３の範囲Ｃに
示すように、研削抵抗とは逆に、徐々に高くなる。
【００４０】このよれば、被切断物１３の切断開始から
終了までの全体に亘って、即ち図３における範囲Ａ，Ｂ
及びＣにて、スピンドルモータ１５ｂの負荷電流が一定
に保持され、研削抵抗も一定に保持されることになる。
終了までの全体に亘って、即ち図３における範囲Ａ，Ｂ
及びＣにて、スピンドルモータ１５ｂの負荷電流が一定
に保持され、研削抵抗も一定に保持されることになる。
【００４１】これにより、アルチック材，ジルコニア等
の高硬度材料から成る被切断物１３の場合であっても、
切断作業中に、研削抵抗が増大して、スピンドルモータ
１５ｂに大きな負荷がかかることが排除される。かくし
て、安定した研削作業が維持されることによって、回転
砥石１４のカケが発生したり、回転砥石１４が蛇行し
て、切断面にうねりが生ずるようなことはない。
の高硬度材料から成る被切断物１３の場合であっても、
切断作業中に、研削抵抗が増大して、スピンドルモータ
１５ｂに大きな負荷がかかることが排除される。かくし
て、安定した研削作業が維持されることによって、回転
砥石１４のカケが発生したり、回転砥石１４が蛇行し
て、切断面にうねりが生ずるようなことはない。
【００４２】このように、上述の実施例では、高硬度材
料から成る被切断物に対して、研削抵抗が一定になるよ
うに、切断加工が行なわれる。これにより、回転砥石を
回転駆動する駆動装置、例えばスピンドルモータに大き
な負荷がかかるようなことはない。従って、駆動装置の
寿命が延びることになると共に、被切断物の切削性が向
上されることになる。
料から成る被切断物に対して、研削抵抗が一定になるよ
うに、切断加工が行なわれる。これにより、回転砥石を
回転駆動する駆動装置、例えばスピンドルモータに大き
な負荷がかかるようなことはない。従って、駆動装置の
寿命が延びることになると共に、被切断物の切削性が向
上されることになる。
【００４３】かくして、回転砥石が負荷によって蛇行し
たり、切断面にうねりが生ずるようなことはなく、直線
的な切断面が得られる。また、回転砥石のカケが生ずる
ようなこともない。
たり、切断面にうねりが生ずるようなことはなく、直線
的な切断面が得られる。また、回転砥石のカケが生ずる
ようなこともない。
【００４４】ここで、研削抵抗を一定にするための制御
は、回転砥石の回転数を増減調整することにより、また
は被切断物に対する回転砥石の相対移動速度を増減調整
することにより、行なわれる。その際、研削抵抗を表わ
す指標として、回転砥石の回転駆動装置の負荷電流を検
出することにより、上記制御は、簡単な構成によって、
容易に行なわれ得ることになる。特に、回転砥石の回転
数を増減調整する場合には、上記制御は、回転砥石を回
転駆動せしめる回転駆動装置のみにより、行なわれ得る
ので、より一層簡単な構成で済むことになる。
は、回転砥石の回転数を増減調整することにより、また
は被切断物に対する回転砥石の相対移動速度を増減調整
することにより、行なわれる。その際、研削抵抗を表わ
す指標として、回転砥石の回転駆動装置の負荷電流を検
出することにより、上記制御は、簡単な構成によって、
容易に行なわれ得ることになる。特に、回転砥石の回転
数を増減調整する場合には、上記制御は、回転砥石を回
転駆動せしめる回転駆動装置のみにより、行なわれ得る
ので、より一層簡単な構成で済むことになる。
【００４５】尚、上述した実施例においては、薄膜ヘッ
ドを製造するためのウェハ基盤を切断する場合について
説明したが、これに限らず、高硬度材料から成る各種部
材をスライシングマシンによって切断加工する場合に
も、本発明を適用し得ることは明らかである。
ドを製造するためのウェハ基盤を切断する場合について
説明したが、これに限らず、高硬度材料から成る各種部
材をスライシングマシンによって切断加工する場合に
も、本発明を適用し得ることは明らかである。
【００４６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、ア
ルチック材，ジルコニア等の高硬度材料であっても、回
転砥石のカケや切断面のうねりが生ずることなく、且つ
回転砥石の回転駆動装置に大きな負荷がかからないよう
にした、高硬度材料の切断方法及び装置が提供される。
ルチック材，ジルコニア等の高硬度材料であっても、回
転砥石のカケや切断面のうねりが生ずることなく、且つ
回転砥石の回転駆動装置に大きな負荷がかからないよう
にした、高硬度材料の切断方法及び装置が提供される。
【図１】本発明を適用した切断装置の第一の実施例を示
す概略斜視図である。
す概略斜視図である。
【図２】図１の回転駆動装置の構成を示すブロック図で
ある。
ある。
【図３】図１の切断装置の切断作業時の被切断物の位置
と研削抵抗、そしてスピンドルモータの回転数（移動速
度）の関係を説明する図である。
と研削抵抗、そしてスピンドルモータの回転数（移動速
度）の関係を説明する図である。
【図４】本発明を適用した切断装置の第二の実施例にお
ける移動装置の構成を示すブロック図である。
ける移動装置の構成を示すブロック図である。
【図５】従来の切断装置の一例を示す概略斜視図であ
る。
る。
【図６】図５の切断装置による切断面のうねりを示す拡
大図である。
大図である。
【図７】図５の切断装置の切断作業時の被切断物の位置
と研削抵抗の関係を示すタイムチャートである。
と研削抵抗の関係を示すタイムチャートである。
１０ 切断装置 １１ 治具 １２ ドレスボード １３ 被切断物 １４ 回転砥石 １５ 回転駆動装置 １５ａ 電源回路 １５ｂ スピンドルモータ １５ｃ 電流計 １６ 移動装置 １６ａ 電源回路 １６ｂ 駆動モータ ２０ 切断装置
Claims (5)
- 【請求項１】 取付台上に固定された高硬度材料から成
る被切断物に対して、回転砥石を相対的に移動させなが
らこの回転砥石を回転駆動することにより、 この被切断物を切断するようにした、高硬度材の切断方
法において、 回転砥石を回転駆動するための駆動装置の負荷電流の変
化量に基づいて、回転砥石の切削抵抗が一定になるよう
に、切断を行なうようにしたことを特徴とする高硬度材
料の切断方法。 - 【請求項２】 前記回転砥石の切削抵抗が一定にするた
めに、この回転砥石の取付台に対する相対的な移動速度
を制御することを特徴とする、請求項１に記載の高硬度
材料の切断方法。 - 【請求項３】 前記回転砥石の切削抵抗が一定にするた
めに、この回転砥石の回転速度を制御することを特徴と
する請求項１に記載の高硬度材料の切断方法。 - 【請求項４】 高硬度材料から成る被切断物を固定保持
する取付台と、 取付台に対して相対的に移動され且つ回転駆動される回
転砥石と、 この回転砥石を取付台に対して相対的に移動するための
第一の駆動装置と、 この回転砥石を回転駆動する第二の駆動装置とを含んで
いる、高硬度材料の切断装置において、 上記第二の駆動装置の負荷電流を検出する検出装置と、 この検出装置による負荷電流の変化に基づいて、上記負
荷電流が一定になるように、上記第一の駆動装置を駆動
制御する制御装置とを備えることを特徴とする高硬度材
料の切断装置。 - 【請求項５】 高硬度材料から成る被切断物を固定保持
する取付台と、 取付台に対して相対的に移動され且つ回転駆動される回
転砥石と、 この回転砥石を取付台に対して相対的に移動するための
第一の駆動装置と、 この回転砥石を回転駆動する第二の駆動装置とを含んで
いる、高硬度材料の切断装置において、 上記第二の駆動装置の負荷電流を検出する検出装置と、 この検出装置による負荷電流の変化に基づいて、上記負
荷電流が一定になるように、上記第二の駆動装置を駆動
制御する制御装置とを備えることを特徴とする高硬度材
料の切断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6046451A JPH07227759A (ja) | 1994-02-21 | 1994-02-21 | 高硬度材料の切断方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6046451A JPH07227759A (ja) | 1994-02-21 | 1994-02-21 | 高硬度材料の切断方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07227759A true JPH07227759A (ja) | 1995-08-29 |
Family
ID=12747532
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6046451A Pending JPH07227759A (ja) | 1994-02-21 | 1994-02-21 | 高硬度材料の切断方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07227759A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012206191A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-25 | Denso Corp | 切削装置、切削装置を用いた切削方法、および部品の製造方法 |
| WO2018047652A1 (ja) * | 2016-09-09 | 2018-03-15 | 株式会社サンキコー | 硬脆材料切断装置 |
| JP2018103200A (ja) * | 2016-12-22 | 2018-07-05 | ファナック株式会社 | 電極を研磨するチップドレッサーを備えるスポット溶接システム |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54132893A (en) * | 1978-04-04 | 1979-10-16 | Inoue Japax Res Inc | Polishing device |
| JPH0295543A (ja) * | 1988-09-30 | 1990-04-06 | Omron Tateisi Electron Co | 研削盤制御装置 |
| JPH04343663A (ja) * | 1991-01-24 | 1992-11-30 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 円筒研削装置 |
| JPH05104399A (ja) * | 1991-10-09 | 1993-04-27 | Daido Steel Co Ltd | モータ駆動型切断機の制御装置 |
-
1994
- 1994-02-21 JP JP6046451A patent/JPH07227759A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54132893A (en) * | 1978-04-04 | 1979-10-16 | Inoue Japax Res Inc | Polishing device |
| JPH0295543A (ja) * | 1988-09-30 | 1990-04-06 | Omron Tateisi Electron Co | 研削盤制御装置 |
| JPH04343663A (ja) * | 1991-01-24 | 1992-11-30 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 円筒研削装置 |
| JPH05104399A (ja) * | 1991-10-09 | 1993-04-27 | Daido Steel Co Ltd | モータ駆動型切断機の制御装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012206191A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-25 | Denso Corp | 切削装置、切削装置を用いた切削方法、および部品の製造方法 |
| WO2018047652A1 (ja) * | 2016-09-09 | 2018-03-15 | 株式会社サンキコー | 硬脆材料切断装置 |
| JP2018103200A (ja) * | 2016-12-22 | 2018-07-05 | ファナック株式会社 | 電極を研磨するチップドレッサーを備えるスポット溶接システム |
| US10946472B2 (en) | 2016-12-22 | 2021-03-16 | Fanuc Corporation | Spot welding system including tip dresser for polishing electrode |
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