KR200195514Y1 - 웨이퍼 캐리어 이송용기 - Google Patents

Abstract

본 고안은 웨이퍼 캐리어 이송용기에 관한 것으로써, 종래에는 박스와 박스 도어의 결합부위에 형성된 탄성재질의 씰링 패킹이 박스와 박스 도어의 분리과정에서 복원력에 의해 요홈에서 이탈되는 문제점이 있었던 바, 본 고안에 따른 웨이퍼 캐리어 이송용기는 박스 도어의 밀폐면 가장자리에 요홈을 연설하고, 박스의 개구된 일측과 접촉되어 박스와 박스 도어의 결합시 내부공간이 밀폐되도록 요홈에 삽입되어 밀폐면의 일부를 덮는 씰링 패킹을 포함하여 이루어진 것이 특징이다.

Description

웨이퍼 캐리어 이송용기{A container for wafer carrier}

본 고안은 웨이퍼 캐리어 이송용기에 대한 것으로써, 더욱 상세하게는 박스와 박스도어의 밀착 결합을 견고하게 하여 용기 내부 공간의 밀폐 안전성을 향상시킨 웨이퍼 캐리어 이송용기에 대한 것이다.

일반적으로 웨이퍼 캐리어는 각 공정 단위로 웨이퍼를 이송하기 적합하도록 다수개의 웨이퍼가 적재되도록 한 것으로써, 통상적으로 25 내지 50 매 정도의 웨이퍼가 적재된다.

이러한 웨이퍼 캐리어에 적재된 웨이퍼는 파티클 등의 이물질에 노출되는 경우, 미세하게 형성된 패턴의 단락 등의 문제점을 유발시키므로 각 공정 단위로 이송되는 과정에서 외기에 노출되지 않도록 통상적으로 웨이퍼 캐리어는 박스와 박스도어를 사용하여 밀폐된 구조를 갖는 웨이퍼 캐리어 이송용기에 적재시켜 이송시키고 있다.

웨이퍼 캐리어 이송용기는 각 공정 단위에서 공정장치의 공정 스테이션에 위치된 상태에서 박스와 박스 도어를 서로 분리시켜 웨이퍼 캐리어에 적재된 웨이퍼를 별도의 이송암으로 공정 스테이션에 이송시켜 공정이 진행되도록 한다

도 1 은 종래의 웨이퍼 캐리어 이송용기에 대한 단면도이다.

이를 참조하면, 웨이퍼 캐리어 이송용기는 크게 돔(dome) 형태의 박스(1)와, 박스의 개구측을 막아 내부가 외기에 노출되지 않도록 밀폐시키는 박스 도어(4)로 구성된다.

돔 형태의 박스(1)는 투명 재질로 이루어져 내부를 확인할 수 있도록 되어 있으며, 박스 도어(4)는 평판형태로 이루어져 평판 상면에 박스 내부를 밀폐시키며 다수개의 웨이퍼(9)를 적재한 웨이퍼 캐리어(8)가 위치되는 밀폐면(5)이 형성된다.

또한, 박스(1)와 박스 도어(4)의 결합은 박스의 하단에 다수개의 래치공(미도시)을 형성하고, 래치공으로 출몰되는 래치 잠금수단(미도시)을 박스 도어 내부에 형성하여 래치 잠금수단이 래치공에 출몰하면서 결합된다.

이러한 래치 잠금 방식으로 결합되는 박스(1)와 박스 도어(4)는 내부를 밀폐시키기 위해 박스의 내벽면(2) 하측으로 하향 가압돌기(3)를 가장자리에 연설하고, 박스 도어의 밀폐면(5) 가장자리에 요홈(6)을 연설한 다음 요홈(6)에 가압돌기(3)에 의해 가압되는 씰링 패킹(7)을 형성한다.

따라서, 박스(1)와 박스 도어(4)가 서로 결합되면 가압돌기(3)가 씰링 패킹(7)을 가압하면서 외기가 박스 내부에 유입되는 것을 차단한다.

그러나, 이러한 종래의 웨이퍼 캐리어 이송용기는 박스의 가압돌기가 박스 도어의 씰링 패킹을 내리 눌러 밀폐되어 외기의 유입을 차단하고 있으나, 웨이퍼 캐리어에 적재된 웨이퍼를 꺼내고자 박스와 박스 도어를 서로 분리할 때 박스도어의 씰링 패킹이 요홈에서 빠지는 문제점이 있다.

즉, 통상적으로 탄성 폴리우레탄 재질로 이루어지는 씰링 패킹은 박스와 박스 도어가 결합된 상태에서는 박스의 가압돌기에 의해 가압되지만, 박스와 박스 도어가 분리되면서 가압력이 상실되면 탄성 복원력에 의해 요홈에서 이탈하게 된다.

따라서, 이러한 문제점은 박스와 박스 도어를 재결합시키는 과정에서 밀폐 불량을 발생시키고 이는 곧 외기의 유입을 초래하여 이물질에 의한 웨이퍼의 오염을 유발시키게 된다.

이에 본 고안은 박스와 박스 도어의 개폐 과정에서 씰링 패킹이 요홈에서 이탈되지 않도록 하여 내부 밀폐의 안전성이 향상된 웨이퍼 캐리어 이송용기를 제공하는데 그 목적이 있다.

따라서, 본 고안에 따른 웨이퍼 캐리어 이송용기는 상기의 목적을 이루기 위해, 일측이 개구된 박스와, 박스의 개구된 일측이 접촉되며 웨이퍼 캐리어가 적재되는 밀폐면을 가져 박스의 내부공간을 밀폐시키는 박스도어를 구비하여 웨이퍼 캐리어를 담아 이송시키는 웨이퍼 캐리어 이송용기에 있어서, 밀폐면 가장자리에 연설된 요홈과, 박스의 개구된 일측과 접촉되어 내부공간이 밀폐되도록 요홈에 삽입되어 밀폐면의 일부를 덮는 씰링 패킹을 포함하여 이루어진 것이 특징이다.

도 1 은 종래의 웨이퍼 캐리어 이송용기에 대한 단면도.

도 2 는 본 고안에 따른 웨이퍼 캐리어 이송용기에 대한 단면도.

도 3 은 본 고안에 따른 웨이퍼 캐리어 이송용기의 요부인 도 2 의 <A> 부분에 대한 확대도.

도 4 는 본 고안에 따른 웨이퍼 캐리어 이송용기의 박스 도어에서 씰링 패킹의 분리 상태도.

도 5 는 본 고안에 따른 웨이퍼 캐리어 이송용기의 박스 도어에 대한 평면도.

※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ※

1,10 : 박스 4,13 : 박스도어

6,15,16 : 요홈 7,17 : 씰링 패킹

8,18 : 웨이퍼 캐리어 9,19 : 웨이퍼

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안에 따른 웨이퍼 캐리어 이송용기에 대한 바람직한 일실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도 2 는 본 고안에 따른 웨이퍼 캐리어 이송용기의 단면도이다.

도시된 바와 같이, 본 고안에 따른 웨이퍼 캐리어 이송용기는 돔(dome) 형태의 박스(10)와, 돔형 박스의 개구된 바닥을 밀폐시켜 박스 내부에 밀폐공간을 형성하도록 하며, 다수개의 웨이퍼(19)를 적재한 웨이퍼 캐리어(18)가 위치되어 박스(10)와 결합되면 밀폐공간에 웨이퍼 캐리어(18)가 위치되도록 하는 박스 도어(13)로 이루어지며, 돔형 박스(10)와 박스 도어(13)의 접촉부위에 형성되어 밀폐 유지하는 씰링 수단(15,16,17)이 포함되어 이루어진다.

돔형 박스(10)는 내부의 밀폐공간에 위치된 웨이퍼 캐리어(18)를 육안으로 확인할 수 있도록 투명 재질로 형성되며, 박스 도어(13)는 평판 형태로 되어 있으며 상면에 웨이퍼 캐리어(18)를 위치시킬 수 있는 밀폐면(14)을 가진다.

그리고, 씰링 수단은 도 3 을 참조하면, 돔형 박스(1)의 내벽면 하측(박스의 개구된 측)에 하향 돌출된 가압돌기(12)와 접촉되는 박스 도어의 밀폐면(14)에 형성하여 박스(10)와 박스 도어(13)의 결합부위를 통해 외기가 유입되지 않도록 씰링 처리하는 것이다.

좀더 자세히 설명하면, 씰링 수단은 박스 도어의 밀폐면(14)가장자리에 제 1 요홈(15)을 형성하고, 제 1 요홈(15)내측에 제 2 요홈(16)을 형성하여 단차진 요홈부를 형성하고, 제 1 및 제 2 요홈(15,16)에 씰링 패킹(17)을 삽입시켜 씰링 패킹이 밀폐면 가장자리 일부를 덮도록 구성된다.

제 1 및 제 2 요홈(15,16)은 박스 도어의 밀폐면(14)가장자리를 따라 연설하고, 씰링 패킹 (17)역시 제 1 및 제 2 요홈에 연설되어 삽입된다.

씰링 패킹은 제 2 요홈(16)에 억지 끼워 맞춤결합되는 탄성돌기(17-1)와, 탄성돌기에 수평방향으로 결합되어 하면은 제 1 요홈(15)에 삽입되며 상면은 박스의 가압돌기(12)에 의해 가압되는 탄성편(17-2)으로 이루어진다.

여기서, 탄성돌기(17-1)는 제 2 요홈(16)에 억지 끼워 맞춤결합되면서 요홈의 측벽면(a)에 일부면이 접촉되도록 하향 경사지게 형성하며, 도 4를 참조하면, 요홈의 측벽면(a)에 접촉되는 탄성돌기(17-1)의 최대 폭(D₂)은 요홈(16)에 억지끼움되도록 제 2 요홈(16)의 폭(D₁)보다 약간 큰 공차를 가지게 한다.

따라서, 씰링 패킹(17)은 제 1 및 제 2 요홈(15,16)을 덮어 박스(10)와 박스도어(13)의 접촉부위를 통해 외기가 유입되지 않게 되고, 제 2 요홈(16)의 측벽면(a)에 탄성돌기(17-1)가 억지 끼워져 박스(10)와 박스 도어(13)의 분리과정에서 요홈에서 이탈되지 않게 된다.

이러한 씰링 패킹(17)의 단면 형태는 'T' 자 형태를 가진다.

이와 같은 씰링 패킹의 탄성돌기(17-1)는 탄성편(17-2)에 연속적으로 연설되거나 도 5 에 도시된 바와 같이 박스도어(13)의 모서리 부분에서는 연속적으로 연설하되 모서리 이외의 부분에서는 불연속적으로 연설된 형태가 되어도 무방하다.

상기와 같은 구성으로 이루어진 본 고안에 따른 웨이퍼 캐리어 이송용기는 웨이퍼 캐리어(18)에 적재된 웨이퍼(19)를 공정 스테이션 내부에 이송시켜 공정을 진행시키고자, 박스(10)와 박스 도어(13)를 서로 분리시키는 과정에서 씰링 패킹(17)이 요홈(15,16)에서 이탈되는 것이 방지된다.

이는 씰링 패킹의 탄성돌기(17-1)가 제 2 요홈(16)에 억지 끼워 맞춤 결합되므로 씰링 패킹(17)의 복원력에 의해 씰링 패킹(17)이 요홈(15,16)에서 이탈되는 것이 방지된다.

즉, 박스(10)와 박스 도어(13)가 서로 분리되면 가압돌기(12)에 의해 가압된 상태인 씰링 패킹(17)이 복원되지만, 씰링 패킹의 복원력보다 제 2 요홈(16)과 씰링 패킹의 탄성돌기(17-1)가 맞물린 결합력이 훨씬 크므로 복원력에 의해 씰링 패킹이 요홈(15,16)에서 이탈되는 것을 방지한다.

상기에서 상술한 바와 같이, 본 고안에 따른 웨이퍼 캐리어 이송용기는 박스와 박스도어의 결합과정에서 박스 내부 공간을 밀폐하기 위한 씰링 패킹이 요홈부에서 이탈되는 것을 방지함으로써 씰링 패킹의 밀폐 불량에 의해 이물질이 포함된 외기가 용기 내부의 공간으로 유입되어 웨이퍼 캐리어에 적재된 다수개의 웨이퍼가 이물질에 오염되는 것을 방지한다.

따라서, 본 고안에 따른 웨이퍼 캐리어 이송용기는 밀폐의 안전성이 향상되는데 그 효과가 있다.

Claims (5)

1. 일측이 개구된 박스와, 상기 박스의 개구된 일측이 접촉되며 웨이퍼 캐리어가 적재되는 밀폐면을 가져 상기 박스의 내부공간을 밀폐시키는 박스도어를 구비하여 상기 웨이퍼 캐리어를 담아 이송시키는 웨이퍼 캐리어 이송용기에 있어서,

   상기 밀폐면 가장자리에 연설된 요홈과;

   상기 박스의 개구된 일측과 접촉되어 상기 내부공간이 밀폐되도록 상기 요홈에 삽입되어 상기 밀폐면의 일부를 덮는 씰링 패킹을 포함하여 이루어진 것이 특징인 웨이퍼 캐리어 이송용기.
2. 청구항 1 에 있어서,

   상기 씰링 패킹은 상기 요홈에 억지끼워 맞춤결합되는 탄성돌기와;

   상기 탄성돌기에 수평방향으로 형성되어 하면은 상기 요홈을 덮고 상면은 상기 박스의 개구된 일측에 가압되는 탄성편으로 이루어진 것이 특징인 웨이퍼 캐리어 이송용기.
3. 청구항 2 에 있어서,

   상기 씰링 패킹의 단면형태는 'T' 자 형태인 것이 특징인 웨이퍼 캐리어 이송용기.
4. 청구항 2 에 있어서,

   상기 탄성돌기는 상기 요홈의 측벽면에 일부면이 접촉되게 형성한 것이 특징인 웨이퍼 캐리어 이송용기.
5. 청구항 2 에 있어서,

   상기 씰링 패킹의 탄성돌기는 상기 탄성편에 상기 박스 도어의 모서리 부분에서는 연속적으로 연설되고, 모서리 이외의 부분에서는 불연속적으로 연설된 것이 특징인 웨이퍼 캐리어 이송용기.