KR200193829Y1 - 고주파용 프로브 카드 - Google Patents

Abstract

본 고안은 탄성표면과 필터의 특성검사 및 PCB의 임피던스의 측정으로 사용되는 고주파용 프로브카드에 관한 것으로서, 특히 사용회수를 최대한 연장함과 아울러 검사의 정확성을 도모하기 위한 것으로 고주파 특성을 가진 소자를 웨이퍼상태에서 검사하기 위한 것이다.

본 고안의 전체적인 구성은 중공 형상의 통공이 형성된 백라이트와, 상기 중공부의 저면에는 연결용 링이 고정 장착되고 연결용 링의 좌, 우측에는 SMA콘넥터가 고정되어 있는 어셈블리 마운트를 체결볼트를 이용하여 고정하고, 상기 SMA콘넥터에는 외주연에 테프론과 구리파이프로 피복되어 단부가 웨이퍼상의 패드와 접촉되도록 구성된 프로브 니들을 연결한 구성으로 이루어진 것이다.

Description

고주파용 프로브 카드{High frequency for probe card}

본 고안은 탄성표면과 필터의 특성검사 및 PCB의 임피던스의 측정으로 사용되는 고주파용 프로브카드에 관한 것으로서, 특히 사용회수를 최대한 연장함과 아울러 검사의 정확성을 도모하기 위한 것으로 고주파특성을 가진 소자를 웨이퍼상태에서 검사하기 위한 것이다.

일반적으로 널리 사용되고 있는 고주파용 프로브 카드는 웨이퍼상태의 소자에 대한 특성을 검사하기 위한 용도로 사용되는 것으로서, 이는 프로빙 패드의 위치가 일렬로 배열되고 간격이 등간격일 때에만 검사가 가능한 구조로 이루어진 것으로 필터의 특성을 최대한 보장하는 설계가 어려운 것이 문제점으로 지적되고 있는 것이다.

본 고안은 상기와 같은 문제점을 해소하기 위하여 제안된 것으로서, 본 고안이 목적으로 하는 바는 웨이퍼 상태에서의 소자에 대한 특성을 정확하게 검사함과 아울러 프로브 니들을 텅스텐으로 제작하여 제품의 수명을 최대한으로 연장할 수 있는 고주파용 프로브 카드를 제공함에 있다.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 고안의 전체적인 구성은 중공형상의 통공이 형성된 백라이트와, 상기 중공부의 저면에는 연결용 링이 고정 장착되고 연결용 링의 좌, 우측에는 SMA콘넥터가 고정되어 있는 어셈블리 마운트를 체결볼트를 이용하여 고정하고, 상기 SMA콘넥터에는 외주연에 테프론과 구리파이프로 피복되어 단부가 웨이퍼상의 패드와 접촉되도록 구성된 프로브 니들을 연결한 구성으로 이루어진 것이다.

이하 본 고안의 전체적인 구성상태 및 이로부터 얻게되는 특유의 효과 등에 대하여 첨부도면을 이용하여 상세히 설명하면 하기와 같다.

도 1은 본 고안의 평면도

도 2는 본 고안의 횡단면도

도 3은 도 1의 A에 대한 확대 단면도

도 4는 도 2의 B에 대한 확대 단면도

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

3…백라이트 5…연결용링 6…SMA콘넥터 7…프로브 니들

8…테프론 9…구리파이프 10…어셈블리 마운트 20…웨이퍼

도 1은 본 고안의 전체적인 구성상태를 예시한 평면도로서, 동 도면에 예시되어 있는 바와 같이 본 고안의 전체적인 구성은 홀더용으로 사용되고 있는 백라이트(3)와 연결용 링(5)에 의해서 어셈블리 마운트(10)가 고정되어 있다.

상기 이셈블리 마운트(10)의 상단에는 시스템과 연결되는 SAM콘넥터(6)가 직립상태로 일체로 고정 부착된 구성으로 이루어진 것이다.

상기 SAM콘넥터(6)의 하부에는 프로빙 패드에 프로브 니들(7)의 단부가 접촉할 수 있도록 테프론(8)으로 피복하여 절연이 이루어지도록 하고, 이 테프론(8)의 외표면은 주파수를 차단하기 위한 구리 파이프(9)를 일정두께로 피복한 구성으로 이루어진 것이다.

상기 프로브 니들(7)의 재질은 텅스텐으로 이루어진 것으로서, 이는 내마모성 등이 우수하여 장시간의 측정에도 변형이 거의 없어 그만큼 수명을 연장할 수 있는 것이다.

상기와 같은 구성으로 이루어진 고주파용 프로브 카드에 일체로 장착되어 있는 SMA콘넥터(6)를 통하여 전기적인 신호가 전달되어, 이 신호는 인피던스가 정합되어 있는 구리파이프(9)의 내측에 위치한 프로브 니들(7)을 통하여 프로빙 패드(20)에 가해지고 피측정소자에서 나오는 출력은 프로빙 패드(20)에서는 역의 순서로 측정용 시스템과 연결되어진다.

상기와 같은 작동으로 피측정소자가 측정되어 측정에 영향을 주어 측정이 제대로 이루어지지 못하게 하는 임피던스의 부정합의 크기가 최소화되어 고주파에서도 정확한 측정을 행할 수 있게 되는 것이다.

상기에서 설명한 바와 같이 프로브 니들의 배치를 사용자의 요구에 따라 자유로이 변경할 수 있으므로 임의의 자리에 있는 프로빙 패드의 프로빙이 가능하므로 피측정소자의 특성을 최대한 보장하는 설계에도 대응이 가능한 유용한 고안인 것이다.

Claims (1)

1. 중공형상의 통공이 형성된 백라이트와, 상기 중공부의 저면에는 연결용 링이 고정 장착되고 연결용 링의 좌, 우측에는 SMA콘넥터가 고정되어 있는 어셈블리 마운트를 체결볼트를 이용하여 고정하고, 상기 SMA콘넥터에는 외주연에 테프론과 구리파이프로 피복되어 단부가 웨이퍼상의 패드와 접촉되도록 구성된 프로브 니들을 연결한 구성으로 이루어진 것을 특징으로 하는 고주파용 프로브 카드.