KR200187491Y1 - 청정공기 및 질소가스 공급장치를 갖는 반도체웨이퍼 카셋트수납장비 - Google Patents
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Abstract
본고안은 반도체 생산장비 내측으로 웨이퍼 카셋트를 투입하거나 인출토록 하는 반도체 웨이퍼 카셋트 수납장비에 있어서 청정공기 또는 불활성 기체인 질소(N2)를 공급하는 장치를 갖도록 한 반도체 웨이퍼 카셋트 수납장비에 관한 것이다.
본고안은 외측의 고정몸체와 내측의 가동몸체로 몸체를 구성하며, 그 위에 반도체 보관용기인 포드를 삽치하는 반도체 웨이퍼 카셋트 수납장비에 있어서 가동몸체 일측벽에 다수개의 노즐을 갖는 질소가스 공급판을 가지며, 상기 질소가스공급판은 질소가스공급관으로 외부의 질소가스탱크와 연결되며, 가동몸체 일측벽에는 청정공기공급관에는 팬 및 필터가 장착되며, 상기 가동몸체 저면에는 필터가 부착되며, 가동몸체와 일체로 상,하로 작동되는 인덱스 테두리에는 다수개의 공기공급관 공기공급노즐 및 공기배출관을 갖도록 한 것이다.
이와 같은 본고안은 그 위에 얹어지는 반도체 웨이퍼를 수장한 포드를 개방할 때 이물질이 반도체 제조장비로 유입되는 것을 차단하여 반도체 생산에 따른 불량률을 줄여줄 수 있도록 한 것이다.
Description
본고안은 반도체 생산장비 내측으로 웨이퍼가 장착된 카셋트를 투입하거나, 인출토록 하는 반도체용 웨이퍼 카셋트 수납장비에 있어서, 청정공기 또는 불활성기체인 질소(N2)를 공급하는 장치를 갖도록 한 반도체 웨이퍼 카셋트 수납장비에 관한 것이다.
반도체 제조에 사용되는 웨이퍼는 카셋트에 수납되어 보관용기인 포드(Pod)에 담겨져 운반 및 보관되며, 또한, 카셋트에 수납된 반도체 웨이퍼는 포드에 의해 담겨져 반도체 제조장비와 장비 사이를 이동하게 된다. 반도체 생산장비 입구에는 반도체 생산장비 내측으로 반도체 소재가 되는 웨이퍼가 장착되는 웨이퍼 카셋트를 수납하는 반도체용 웨이퍼 카셋트 수납장비가 부착 되어지며, 상기 반도체 웨이퍼 카셋트 수납장비 위에는 웨이퍼를 삽치한 카셋트를 내장한 웨이퍼 보관상자인 포드(Pod)가 장착되어 반도체 생산장비 내측으로 포드내에 삽치된 웨이퍼 장착 카셋트를 이동하거나 반대로 반도체 생산장비 내측으로부터 포드(Pod) 내측으로 웨이퍼 장착 카셋트를 적재하게 된다.
본고안은 이와 같이 반도체 생산장비 내측으로 반도체 웨이퍼를 공급토록 하는 반도체 웨이퍼 카셋트 수납장비에 있어서, 반도체 웨이퍼 카셋트 수납장비 내측에 청정공기 및 불활성 기체인 질소(N2)를 공급하는 장치를 첨가하여 반도체 웨이퍼 카셋트 수납장비 위에 얹어진 포드가 개방될시 포드 내측으로 청정공기 또는 불활성 기체인 질소(N2)를 공급토록 하여 포드 내측의 공기가 청정상태를 유지시켜줄 수 있도록 하는 것이다.
반도체 생산장비 내측으로 반도체 웨이퍼를 공급하려면 반도체 웨이퍼가 수장된 카셋트 보관용기인 포드(Pod)를 웨이퍼 수납장비에 얹어 놓은 후, 반도체 웨이퍼 수납장비를 동작시키게 되면 반도체 웨이퍼 수납장비의 인덱스 테두리가 포드의 뚜껑을 고정하며, 중앙부위에 해당하는 인덱스 테이블은 포드의 바닥을 고정한 후, 포드뚜껑과 포드바닥의 잠금상태를 해제시킨 후, 포드의 뚜껑을 고정한 인덱스 테두리를 상승시키게 되면 포드의 뚜껑과 바닥은 분리되어 개방되게 된다. 이 때, 반도체 웨이퍼를 장착한 포드 내측으로 인덱스 테이블 내측의 공기가 청정상태를 유지하지 못할 경우 포드 내측의 공기를 오염시키는 염려가 발생하게 된다.
이와 같은 것을 감안하여 본고안은 인덱스 테이블 하방 내측에 청정공기 또는 불활성기체인 질소(N2)가스를 공급하는 수단을 장착함으로 말미암아 포드가 바닥과 뚜껑으로 분리하여 개방될 때 청정공기 또는 질소가스를 공급하여 포드 내측으로 이물질이 유입되는 것을 차단하도록 한 것이다.
또한, 반도체 제조장비로부터 작업이 완료된 반도체 웨이퍼 카셋트를 포드 내측으로 삽치토록 할 때 불황성기체인 질소(N2)를 공급하게 되면 포드 내측은 질소가스가 충진된 상태로 반도체 웨이퍼 카셋트가 삽치되어지게 된다.
이와 같이 포드 내측에 충진된 질소가스는 반도체 웨이퍼 표면을 보호하며, 웨이퍼 표면이 산화되는 것을 방지하여 반도체 웨이퍼를 장기간 변화없이 보관할 수 있게 된다.
이와 같은 것을 감안하여 본고안은 반도체 웨이퍼 카셋트 수납장치 내측에 청정공기 또는 질소가스를 공급하는 수단을 첨가하여 포드로 청정되지 못한 공기로 인한 물질이 공급되는 것을 차단하며, 포드로 불활성가스인 질소를 공급토록 하여 포드 내측에 보관되는 반도체 웨이퍼의 산화를 막아 장기간 변화없이 보관할 수 있도록 하며, 반도체 웨이퍼의 품질이 향상되도록 한 것이다.
도1 - 본고안인 반도체 웨이퍼 카셋트 수납장비의 사시도.
도2 - 본고안의 내부를 보인 개략단면도.
도3 - 본고안에 포드가 얹어진 후, 포드 뚜껑이 개방전 상태의 개략단면도.
도4 - 본고안에 포드가 얹어진 후, 포드 뚜껑이 개방된 상태의 개략단면도.
도5 - 본고안에 있어 인덱스 테두리의 단면도.
도6 - 포드의 개략단면도.
도7 - 포드가 완전히 개방 되었을 때 질소가 분산되는 것을 도시한 사용상태
단면도.
도8 - 포드의 개폐작동중 질소가 분산되는 것을 도시한 사용상태단면도.
도9 - 포드가 폐쇄시의 사용상태단면도.
외측의 고정몸체(11)와 내측의 가동몸체(12)로 몸체를 구성하며, 그 위에 반도체 보관용기인 포드(31)를 삽치하는 반도체 웨이퍼 수납장비(1)에 있어서, 가동몸체(12) 일측벽에 다수개의 노즐(13-1)을 갖는 질소(N2) 가스공급판(13)을 가지며, 상기 질소가스공급판(13)은 질소가스공급관(14)으로 외부의 질소가스탱크(도면중 도시없음)와 연결되어지며, 상기 가동몸체(12) 일측벽에는 청정공기 공급통로(15)와 청정공기 공급노즐(15-1)을 가지며, 상기 청정공기 공급통로(15)와 연결되는 청정공기공급관(19)에는 팬(16) 및 필터(17)가 장착되어지며, 상기 가동몸체(12) 저면에는 필터(20)가 부착되어지며, 가동몸체(12)와 일체로 상,하로 작동되는 인덱스 테두리(21)에는 다수개의 공기공급관(22), 공기공급노즐(22-1) 및 공기배출관(23)을 형성하되, 상기 공기공급관(22)은 상기 질소가스공급관(14) 또는 청정공기공급관(19)과 연결되어지도록 한 것이다.
이와 같이 구성된 본고안은 다음과 같이 작동하게 된다.
즉, 반도체 웨이퍼 카셋트 수납장비(1) 위에 얹어지는 포드(31)는 반도체 웨이퍼 카셋트 수납장비(1)의 인덱스테두리(21)와 포드(31)의 뚜껑(31-1)이 고정되며, 반도체 웨이퍼 카셋트 수납장비(1)의 중앙에 해당하는 인덱스테이블(25)에는 포드(31)의 바닥(31-2)이 고정되어진 후, 포드(31)의 바닥(31-2)과 뚜껑(31-1)의 잠금상태가 해제될시 반도체 웨이퍼 카셋트 수납장비(1)의 가동몸체(12)와 이에 고정된 인덱스테두리(21) 및 포드의 뚜껑(31-1)이 동시에 상승되어 포드 뚜껑(31-1)과 포드의 바닥(31-2)은 분리되어 포드(31)에 삽치된 반도체 웨이퍼가 장착된 카셋트(33)를 노출하게 된다.
이와 같이 포드 바닥과 포드 뚜껑이 분리될 때 포드 주변의 공기가 포드 내측으로 유입되어지게 되며, 포드 내측으로 유입되는 공기가 청결치 못할 경우 포드 안에 장착된 반도체 웨이퍼를 오염시키게 된다.
그러나, 본원고안에 있어서는 청정공기 공급통로(15) 및 청정공기 공급노즐(15-1)을 통해 정화된 공기를 가동몸체(12) 내측으로 유입하게 되므로 가동몸체(12) 내측의 공기는 항상 청정상태를 유지하게 된다.
포드(31)의 뚜껑(31-1)이 고정되어지는 인덱스 테두리(21)에는 청정공기 또는 질소(N2)가스를 공급하는 공기공급관(22) 공기공급노즐(22-1)을 설치하여 이는 포드 뚜껑(31-1)과 포드 바닥(31-2) 사이의 공간부의 공기를 치환하여 포드 뚜껑(31-1)과 포드 바닥(31-2)로부터 분리될 때 그 사이에 있던 청결치 못한 공기가 포드(31) 내측으로 유입되는 것을 방지하게 된다.
반도체 웨이퍼를 장착한 포드(31)는 반도체 웨이퍼 카셋트 수납장비(1)에 의해 반도체 제조장비 내측으로 반도체 웨이퍼를 공급하거나 반도체 제조장비로부터 웨이퍼를 인출하여 보관하게 된다.
이와 같이 반도체 웨이퍼를 보관하는 포드(31)는 포드뚜껑(31-1) 포드바닥(31-2)으로 구성되며, 그 내측에 다수개의 반도체 웨이퍼를 장착할 수 있는 반도체 웨이퍼가 삽치되어지게 된다.
상기 포드(31)에 있어 포드뚜껑(31-1)과 포드바닥(31-2) 사이에는 약간의 간격을 가지므로 포드가 완벽한 청정실에 보관되지 않는한 포드뚜껑(31-2)과 포드바닥(31-2) 사이의 간격에는 공기중에 포함된 미세한 먼지가 유입되어지게 된다.
따라서, 포드뚜껑(31-1)과 포드바닥(31-2)을 분리하여 개방할 때 포드뚜껑(31-1)과 포드바닥(31-2) 사이의 간격의 공기를 정화시키지 못할 경우 오염이 있을 수 있는 공기가 포드 내측으로 유입되어 포드 내측의 반도체를 오염시키게 된다.
그러나, 본고안에 있어서는 포드 뚜껑(31-1)이 고정되는 인덱스 테두리(21)에 다수개의 공기공급관(22) 공기공급노즐(22-1)과 공기배출관(23)을 구비토록 하여 포드(31)의 뚜껑(31-1)과 바닥(31-2)로 분리되기 직전 정화된 공기 또는 불활성기체인 질소(N2)를 공급하여 포드뚜껑(31-1)과 포드바닥(31-2) 사이의 공기를 치환하므로 상기에서 우려한 염려를 해결하게 된다.
즉, 포드(31)가 인덱스 테이블 및 인덱스 테두리(21) 위에 삽치되고 개방되기 직전 인덱스 테두리(21)에 마련한 다수개의 공기공급노즐(22)로부터 정화된 공기 또는 질소(N2)가스는 공기배출노즐(23)로 배출토록 할 때 포드뚜껑(31-1)과 포드바닥(31-2) 사이의 공기는 치환되게 된다.
또한, 포드뚜껑(31-1)이 개방되었을 때 상기 공기공급노즐(22-1)로부터 공급되는 질소(N2)가스는 포드(31) 내측으로 전부 유입되어 포드(31) 내측을 질소(N2) 분위기로 바꾸어주게 되며, 이에 삽치되는 반도체 웨이퍼는 불활성 기체인 질소(N2)에 휩싸이게 되어 쉽게 산화되지 않아 장기간 산화없이 보관할 수 있는 효과를 얻을 수 있게 된다.
가동몸체 내측에 마련된 질소가스공급판(13) 또는 청정공기공급노즐(15-1) 및 청정공기 공급통로(15)로 가동몸체(12) 내측으로 유입된 질소(N2)가스나 청정공기는 가동몸체(12) 저면에 형성된 필터(20)를 통해 밖으로 배출되어지며, 상기 필터(20)는 외부로부터 오염된 공기를 차단하는 역할을 하게 된다.
이와 같이 본고안은 반도체 웨이퍼 카셋트 수납장비 및 포드로부터 오염된 공기가 반도체 제조장비로 유입되지 못하도록 하여 반도체 생산에 따른 불량률을 최대한으로 낮출수 있게 된다.
본고안은 포드(31)를 삽치하여 포드 내측에 삽치된 반도체 웨이퍼를 장착한 카셋트(33)를 반도체 제조장비 내측으로 이동시켜주는 반도체 웨이퍼 카셋트 수납장비(1)에 있어서, 인덱스 테두리 및 가동몸체 내측에 청정공기 및 불활성 가스인 질소(N2)를 공급하는 장치를 장착하여 포드가 개폐되었을 때 포드 내측으로 청정공기 또는 질소가스를 공급토록 하여 반도체 웨이퍼의 불량 발생 요인을 제거토록 한 아주 유용한 고안인 것이다.
Claims (3)
- 외측의 고정몸체(11)와 내측의 가동몸체(12)로 몸체를 구성하며, 그 위에 반도체 보관용기인 포드(31)를 삽치하는 반도체 웨이퍼 수납장비(1)에 있어서, 가동몸체(11) 일측벽에 다수개의 노즐(13-1)을 갖는 질소(N2) 가스공급판(13)을 가지며, 상기 질소가스공급판(13)은 질소가스공급관(14)으로 외부의 질소가스탱크와 연결되어지며, 상기 가동몸체(12) 일측벽에는 청정공기 공급통로(15)와 청정공기 공급노즐(15-1)을 가지며, 상기 청정공기 공급통로(15)와 연결되는 청정공기공급관(19)에는 팬(16) 및 필터(17)가 장착되어지며, 상기 가동몸체(12) 저면에는 필터(20)가 부착되어지며, 상기 가동몸체(12)와 일체로 상,하로 작동되는 인덱스 테두리(21)에는 다수개의 공기공급관(22) 공기공급노즐(22-1) 및 공기배출관(23)을 형성한 것을 특징으로 하는 청정공기 및 질소(N2)가스 공급장치를 갖도록 한 반도체 웨이퍼 수납장비.
- 제1항에 있어서, 공기공급관(22)은 질소공급관(14)과 연결되어지는 것을 특징으로 하는 청정공기 및 질소(N2)가스 공급장치를 갖도록 한 반도체 웨이퍼 수납장비.
- 제1항에 있어서, 공기공급관(22)은 청정공기공급관(19)와 연결되어지는 것을 특징으로 하는 청정공기 및 질소(N2)가스 공급장치를 갖도록 한 반도체 웨이퍼 수납장비.
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|---|---|---|---|
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| KR2019970043619U KR200187491Y1 (ko) | 1997-12-30 | 1997-12-30 | 청정공기 및 질소가스 공급장치를 갖는 반도체웨이퍼 카셋트수납장비 |
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Family Applications (1)
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| KR2019970043619U KR200187491Y1 (ko) | 1997-12-30 | 1997-12-30 | 청정공기 및 질소가스 공급장치를 갖는 반도체웨이퍼 카셋트수납장비 |
Country Status (1)
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| KR (1) | KR200187491Y1 (ko) |
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- 1997-12-30 KR KR2019970043619U patent/KR200187491Y1/ko not_active IP Right Cessation
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