KR200177322Y1

KR200177322Y1 - 반도체 웨이퍼용 노광장치의 공조덕트

Info

Publication number: KR200177322Y1
Application number: KR2019970032752U
Authority: KR
Inventors: 박국진
Original assignee: 김영환; 현대반도체주식회사
Priority date: 1997-11-19
Filing date: 1997-11-19
Publication date: 2000-04-15
Also published as: KR19990019412U

Abstract

본 고안은 반도체 웨이퍼용 노광장치의 공조덕트에 관한 것으로, 종래 기술에 의한 반도체 웨이퍼용 노광장치의 공조덕트는 흡입구를 통하여 송풍기로 송풍된 공기가 주여과기를 통하여 이물질이 여과됨과 아울러 유속이 감소되므로, 그 감소된 유속에 의하여 래티클 스테이지와 래티클에 잔존하는 파티클을 제거할 수 없게 됨과 아울러 상기 파티클에 의하여 상기 반도체 웨이퍼에 패턴불량이 형성되는 문제점이 있었다. 이러한 문제점을 해결하기 위하여 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼용 노광장치의 공조덕트는 유속이 빠른 흡입구의 외부공기를 상기 래티클 스테이지와 그 래티클 스테이지에 장착된 래티클이 위치하는 부분에 직접 공급할 수 있는 바이패스덕트를 설치하므로써, 상기 래티클 스테이지와 래티클에 잔존하는 파티클을 제거할 수 있게 됨과 더불어 상기 반도체 웨이퍼에 패턴불량이 형성되는 것을 방지할 수 있는 효과를 기대할 수 있다.

Description

반도체 웨이퍼용 노광장치의 공조덕트

본 고안은 반도체 웨이퍼용 노광장치의 공조덕트에 관한 것으로, 특히 유속이 빠른 공기흡입구의 공기를 래티클(RETICLE)의 주변에 직접 공급할 수 있는 바이패스덕트를 설치하여 상기 래트클이 파티클에 오염되는 것을 방지함과 아울러 상기 반도체 웨이퍼의 패턴 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있도록 한 반도체 웨이퍼용 노광장치의 공조덕트에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 패키지를 생산하는 중간제품의 하나인 반도체 웨이퍼는 포토레지스트를 도포한 후, 노광장치를 이용하여 상기 반도체 웨이퍼에 패턴을 형성하게 된다.

상기 노광장치는 상기 도 1에 도시된 바와 같이, 소정의 용적을 갖는 내부케이스(1)가 형성 설치되어 있고, 그 내부케이스(1)의 저면에는 포토레지스트가 도포된 상기 반도체 웨이퍼가 고정되는 웨이퍼 스테이지(2)가 설치되어 있으며, 그 웨이퍼 스테이지(2)의 상부에는 투영렌즈(3)가 설치되어 있고, 그 투영렌지(3)의 상부에는 상기 반도체 웨이퍼에 형성하고자하는 패턴이 형성된 상기 래티클이 고정되는 래티클 스테이지(4)가 설치되어 있으며, 또 상기 내부케이스(1)내의 일 측에는 다수의 래티클이 보관 적재되는 래티클 라이브러리(LIBRARY)(5)가 설치되어 있고, 상기 내부케이스(1)의 상부에는 상기 래티클 스테이지(4)에 고정된 래티클과 상기 투영렌즈(3)를 거쳐 포토레지스트가 도포된 상기 반도체 웨이퍼에 투사하기 위한 광을 발산하는 광원램프(미도시)가 설치되어 있다.

그리고, 상기 내부케이스(1)의 저면부에는 그 내부케이스(1)내의 공기를 순환시키는 공조덕트의 하나인 내부순환덕트(6)가 형성 설치되어 있고, 그 내부순환덕트(6)에는 상기 파티클을 여과하는 여과기(6a)와 상기 내부케이스(1)내의 순환공기를 적절한 온도로 조절하는 온도조절기(6b)가 설치되어 있으며, 또 상기 온도조절기(6b)와 여과기(6a)의 사이에는 순환펌프(6c)가 설치되어 있다.

그리고 또, 상기 내부순환덕트(6)가 설치된 내부케이스(1)의 외주변에는 외부의 공기를 흡입하여 그 공기를 상기 내부케이스(1)내로 공급하는 또 하나의 공조덕트인 외부공기공급덕트(7)가 설치되어 있고, 그 외부공기공급덕트(7)에는 외부공기를 흡입하는 흡입구(7a)가 형성되어 있고, 그 흡입구(7a)를 통하여 흡입된 공기를 적절한 온도로 조절하는 온도조절기(7b)가 설치되어 있으며, 또 상기 온도조절기(7b)를 통과한 공기를 송풍하는 송풍기(7c)가 설치되어 있고, 그 송풍기(7c)에 의하여 송풍된 공기를 상기 내부케이스(1)내로 이물질을 여과하여 공급할 수 있도록 하는 주여과기(8)가 설치되어 있으며, 그 주여과기(8)를 통하여 공급된 공기가 상기 내부케이스(1)의 외부로 유출될 수 있도록 그 내부케이스(1)에는 배출구(1a)가 형성되어 있다.

상기와 같이 구성된 공조덕트를 갖는 반도체 웨이퍼용 노광장치는 먼저, 상기 내부케이스의 웨이퍼 스테이지(2)에 포토레지스트가 도포된 상기 반도체 웨이퍼가 장착되면 상기 광원램프에서 발산된 광이 상기 래티클 스테이지(4)에 장착된 래티클과 투영렌즈(3)를 통하여 상기 반도체 웨이퍼에 투사되어 그 래티클에 형성된 패턴이 그 반도체 웨이퍼에 형성되게 된다.

이때, 상기 공조덕트인 외부공기공급덕트의 흡입구(7a)를 통하여 외부공기가 상기 온도조절기(7b)에 의하여 적절한 온도로 조절됨과 아울러 상기 송풍기(7c)의 송풍으로 상기 주여과기(8)를 거쳐 상기 내부케이스(1)로 공급되고, 그 내부케이스(1)로 공급된 공기는 상기 배출구(1a)를 통하여 일부가 배출되며, 또 상기 내부케이스(1)로 공급된 공기는 또 하나의 공조덕트인 내부순환덕트(6)에 설치된 온도조절기(6b)에 의하여 적절한 온도로 조절되어 상기 순환펌프(6c)로 펌핑됨과 아울러 상기 여과기(6a)에 의하여 파티클이 여과되어 순환되게 되는 것이다.

이와 같이, 상기 내부케이스(1)내로 공급된 공기와 순환된 공기에 의하여 상기 투영렌즈(3)의 압력, 온도, 습도에 따른 광학적 변화를 감소시킴과 아울러 그 내부케이스(1)내에 잔존하는 파티클을 제거하게 된다.

그러나, 상기와 같이 구성된 반도체 웨이퍼용 노광장치의 공조덕트는 흡입구를 통하여 송풍기로 송풍된 공기가 상기 주여과기를 통하여 이물질이 여과됨과 아울러 유속이 감소되므로, 그 감소된 유속에 의하여 상기 래티클 스테이지와 래티클에 잔존하는 파티클을 제거할 수 없게 됨과 아울러 그 파티클에 의하여 상기 반도체 웨이퍼에 패턴불량이 형성되는 문제점이 있었다.

따라서, 본 고안의 목적은 상기의 문제점을 해결하여 래티클 스테이지와 래티클에 잔존하는 파티클을 완전하게 제거함과 더불어 반도체 웨이퍼의 패턴불량을 방지할 수 있는 반도체 웨이퍼용 노광장치의 공조덕트를 제공함에 있다.

도 1은 종래 기술에 의한 공조덕트가 설치된 반도체 웨이퍼용 노광장치의 구조를 보인 개략도.

도 2는 본 고안에 의한 공조덕트가 설치된 반도체 웨이퍼용 노광장치의 구조를 보인 개략도.

** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 간단한 설명 **

11 : 내부케이스 11a : 배출구

12 : 웨이퍼 스테이지 14 : 레티클 스테이지

15 : 레티클 라이브러리 16 : 내부순환덕트

17 : 외부공기공급덕트 17a : 흡입구

18 : 주여과기 19 : 바이패스덕트

본 고안의 목적은 반도체 웨이퍼가 장착고정되는 웨이퍼스테이지가 있고 그 웨이퍼스테이지에 장착된 반도체 웨이퍼에 패턴을 형성하기 위한 광을 발산하는 광원램프와 래티클이 장착되는 래티클 스테이지와 투영렌즈 그리고 다수의 상기 래티클을 적재하는 래티클 라이브러리가 설치되며 그리고 일 측에는 이물질을 여과하는 주여과기가 있고, 그 주여과기에 의하여 이물질이 여과된 공기가 배출되는 배출구가 형성된 내부케이스를 구비한 노광장치에 있어서; 상기 내부케이스내의 공기를 순환시킬 수 있는 내부순환덕트와, 상기 주여과기를 통하여 상기 내부케이스내로 외부의 공기를 흡입하여 공급할 수 있도록 흡입구가 형성된 외부공기공급덕트와, 그 외부공기공급덕트의 흡입구를 통하여 상기 내부케이스의 래티클 스테이지가 위치하는 부분에 유속이 빠른 외부공기를 공급할 수 있는 바이패스덕트를 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼용 노광장치의 공조덕트에 의하여 달성된다.

다음은, 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼용 노광장치의 공조덕트의 일실시예를 첨부된 도면에 의거하여 상세하게 설명한다.

도 2는 본 고안에 의한 공조덕트가 설치된 반도체 웨이퍼용 노광장치의 구조를 보인 개략도이다.

본 고안에 의한 반도체 웨이퍼용 노광장치의 공조덕트는 상기 도 2에 도시된 바와 같이, 소정의 용적을 갖는 내부케이스(11)가 형성 설치되어 있고, 그 내부케이스(11)의 저면에는 포토레지스트가 도포된 상기 반도체 웨이퍼가 고정되는 웨이퍼 스테이지(12)가 설치되어 있으며, 그 웨이퍼 스테이지(12)의 상부에는 투영렌즈(13)가 설치되어 있고, 그 투영렌지(13)의 상부에는 상기 반도체 웨이퍼에 형성하고자하는 패턴이 형성된 상기 래티클이 고정되는 래티클 스테이지(14)가 설치되어 있으며, 또 상기 내부케이스(11)내의 일 측에는 다수의 래티클이 보관 적재되는 래티클 라이브러리(15)가 설치되어 있고, 상기 내부케이스(11)의 상부에는 상기 래티클 스테이지(12)에 고정된 래티클과 상기 투영렌즈(13)를 거쳐 포토레지스트가 도포된 상기 반도체 웨이퍼에 투사하기 위한 광을 발산하는 광원램프(미도시)가 설치되어 있다.

또, 상기 내부케이스(11)의 저면부에는 그 내부케이스(11)내의 공기를 순환시키는 공조덕트의 하나인 내부순환덕트(16)가 형성 설치되어 있고, 그 내부순환덕트(16)에는 상기 파티클을 여과하는 여과기(16a)와 상기 내부케이스(11)내의 순환공기를 적절한 온도로 조절하는 온도조절기(16b)가 설치되어 있으며, 또 상기 온도조절기(16b)와 여과기(16a)의 사이에는 순환펌프(16c)가 설치되어 있다.

그리고, 상기 내부순환덕트(16)가 설치된 내부케이스(11)의 외주변에는 외부의 공기를 흡입하여 그 공기를 상기 내부케이스(11)내로 공급하는 또 하나의 공조덕트인 외부공기공급덕트(17)가 설치되어 있고, 그 외부공기공급덕트(17)에는 외부공기를 흡입하는 흡입구(17a)가 형성되어 있고, 그 흡입구(17a)를 통하여 흡입된 공기를 적절한 온도로 조절하는 온도조절기(17b)가 설치되어 있으며, 또 상기 온도조절기(17b)를 통과한 공기를 송풍하는 송풍기(17c)가 설치되어 있고, 그 송풍기(17c)에 의하여 송풍된 공기를 상기 내부케이스(11)내로 이물질을 여과하여 공급할 수 있도록 하는 주여과기(18)가 설치되어 있으며, 그 주여과기(18)를 통하여 공급된 공기가 상기 내부케이스(11)의 외부로 유출될 수 있도록 그 내부케이스(11)에는 다수의 배출구(11a)가 형성되어 있다.

그리고 또, 상기 흡입구(7a)의 외부공기를 상기 내부케이스(11)내의 상기 래티클 스테이지가 위치하는 부분에 유속이 빠른 외부공기를 직접 공급할 수 있도록 또 하나의 공조덕트인 바이패스덕트(19)가 설치되어 있고, 그 바이패스덕트(19)는 소정의 직경을 갖고 상기 흡입구(17a)와 상기 내부케이스의 배출구(11a)쪽을 관통하여 설치되어 있다.

상기와 같이 구성된 공조덕트를 갖는 반도체 웨이퍼용 노광장치는 먼저, 상기 내부케이스(11)내에 설치된 웨이퍼 스테이지(12)에 장착된 반도체 웨이퍼에 노광이 진행되면, 상기 공조덕트인 외부공기공급덕트의 흡입구(17a)를 통하여 외부공기가 상기 온도조절기(17b)에 의하여 적절한 온도로 조절됨과 아울러 상기 송풍기(17c)의 송풍으로 상기 주여과기(18)를 거쳐 상기 내부케이스(11)로 공급되고, 그 내부케이스(11)로 공급된 공기는 상기 배출구(11a)를 통하여 일부가 배출되며, 또 상기 내부케이스(11)로 공급된 공기는 또 하나의 공조덕트인 내부순환덕트(16)에 설치된 온도조절기(16a)에 의하여 적절한 온도로 조절되어 상기 순환펌프(16c)로 펌핑됨과 아울러 상기 여과기(16b)에 의하여 파티클이 여과되어 순환되게 되는 것이다.

그리고, 상기 바이패스덕트(19)에 의하여 공급된 유속이 빠른 공기는 상기 래티클 스테이지(14)와 그 래티클 스테이지에 적재된 래티클에 공급되어 그 래티클과 상기 래티클 스테이지(14)에 잔존하는 파티클을 제거하게 된다.

상기와 같이 유속이 빠른 흡입구의 외부공기를 상기 래티클 스테이지와 그 래티클 스테이지에 장착된 래티클이 위치하는 부분에 직접 공급할 수 있는 바이패스덕트를 설치하므로써, 상기 래티클 스테이지와 래티클에 잔존하는 파티클을 제거할 수 있게 됨과 더불어 상기 반도체 웨이퍼에 패턴불량이 형성되는 것을 방지할 수 있는 효과를 기대할 수 있다.

Claims

반도체 웨이퍼가 장착 고정되는 웨이퍼스테이지가 있고 그 웨이퍼스테이지에 장착된 반도체 웨이퍼에 패턴을 형성하기 위한 광을 발산하는 광원램프와 래티클이 장착되는 래티클 스테이지와 투영렌즈 그리고 다수의 상기 래티클을 적재하는 래티클 라이브러리가 설치되며 그리고 일 측에는 이물질을 여과하는 주여과기가 있고, 그 주여과기에 의하여 이물질이 여과된 공기가 배출되는 배출구가 형성된 내부케이스를 구비한 노광장치에 있어서; 상기 내부케이스내의 공기를 순환시킬 수 있는 내부순환덕트와, 상기 주여과기를 통하여 상기 내부케이스내로 외부의 공기를 흡입하여 공급할 수 있도록 흡입구가 형성된 외부공기공급덕트와, 그 외부공기공급덕트의 흡입구를 통하여 상기 내부케이스의 래티클 스테이지가 위치하는 부분에 유속이 빠른 외부공기를 공급할 수 있는 바이패스덕트를 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼용 노광장치의 공조덕트.