KR200173457Y1 - 사이클 퍼지용 실드이동장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 실드와 그의 정화를 위해 고정하는 클램프를 자동으로 이동시켜 정화된 실드에 남아있는 잔여파티클을 신뢰성있게 제거할 수 있도록 하는 사이클 퍼지용 실드이동장치에 관한 것으로, 외부로 부터 초기시작신호와 제1 및 제2 감지신호를 입력받아 다운신호 및 업신호를 출력하는 제어수단; 상기 제어수단에서 출력되는 다운신호를 인가받아 에어가 주입되도록 온 구동하여 상기 실린더를 하강시키는 제1 에어공급수단; 상기 제어수단에서 출력되는 업신호를 인가받아 에어가 주입되도록 온 구동하여 상기 실린더를 상승시키는 제2 에어공급수단; 상기 제1 및 제2 에어공급수단의 구동에 따라 상하이동하는 실린더의 상하위치를 감지하여 그 신호를 제어수단에 출력하는 상, 하감지수단을 구비한다.

Description

사이클 퍼지용 실드이동장치

제1도는 본 고안에 의한 사이클 퍼지용 실드이동장치의 일실시예 구성을 나타낸 블럭도,

제2도는 본 고안에 의한 제어부의 회로구성도

제3도는 제1도의 타이밍도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 챔버 2 : 실드

3 : 클램프 4 : 실린더

4a : 피스톤 5 : 제어부

6, 7 : 제1 및 제2 솔레노이드밸브

8 : 다운 감지센서

9 : 업 감지센서 10 : 플립플롭

11, 12 : 제1 및 제2 부정논리곱 게이트

S : 세트단자 R : 리셋단자

Q : 정출력단자: 부출력단자

본 고안은 반도체 제조 장비중 챔버 보호용으로 사용되는 실드 교체시, 잔여파티클이 남아 있는 정화된 실드를 자동으로 정화하는 사이클퍼지용 실드정화장치에 관한 것으로, 특히 실드와 그의 정화를 위해 고정하는 클램프를 자동으로 이동시켜 정화된 실드에 남아있는 잔여파티클을 신뢰성있게 제거할 수 있도록 하는 사이클 퍼지용 실드이동장치에 관한 것이다.

일반적으로, 금속중착공정을 수행하기 위한 챔버를 보호할 목적으로 실드가 사용되며, 상기 실드는 일정주기가 도래하면 정화된 실드로 교체하게 된다.

여기서, 상기 교체된 실드는 1차로 클리닝을 하게되고, 상기 클리닝후의 잔여 파티클을 제거하기 위하여 질소를 주입하여 배기 및 러핑(roughing)을 수행하는 사이클 퍼지를 실시하여 2차정화를 한다.

이때, 종래에는 상기 사이클 퍼지시 실드와 그를 고정하는 클램프의 이동을 수작업으로 수행하였다.

이에 따라 상기 실드 및 클램프의 이동시간이 불규칙해지고, 또한 상기 시이클퍼지가 끝날때까지 작업자가 반드시 옆에 있어야 하는 불편한 문제점이 있었다.

따라서, 본 고안은 상기의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 사이클 퍼지를 위한 실드 및 클램프가 일정한 주기씩 자동으로 이동될 수 있도록 제어하는 사이클 퍼지용 실드이동장치를 제공함에 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안은 챔버내의 실드 교체주기에 따라 상기 교체된 실드의 사이클퍼지를 위해 에어실린더내의 피스톤이 상하이동하면서 상기 실드 및 그를 고정하는 클램프를 자동으로 이동시키는 사이클 퍼지용 실드이동장치에 있어서, 외부로 부터 초기시작신호와 제1 및 제2 감지신호를 입력받아 다운신호 및 업신호를 출력하는 제어수단, 상기 제어수단에서 출력되는 다운신호를 인가받아 에어가 주입되도록 온 구동하여 상기 실린더를 하강시키는 제1 에어공급수단, 상기 제어수단에서 출력되는 업신호를 인가받아 에어가 주입되도록 온 구동하여 상기 실린더를 상승시키는 제2 에어공급수단, 상기 제1 및 제2 에어공급수단의 구동에 따라 상하이동하는 실린더의 상하위치를 감지하여 그 신호를 제어수단에 출력하는 상, 하 감지수단을 제공한다.

이하, 첨부된 제1도 내지 제3도의 도면을 참조하여 본 고안의 실시예를 상세히 설명한다.

제1도는 본 고안에 의한 사이클 퍼지용 실드이동장치의 일실시예 구성을 나타낸 블럭도, 제2도는 본 고안에 의한 제어부의 회로구성도, 제3도는 제1도의 타이밍온도를 나타낸다.

도면에서 1은 챔버, 2는 실드, 3은 클램프, 4는 실린더, 4a는 피스톤, 5는 제어부, 6, 7은 제1 및 제2 솔레노이드밸브, 8은 다운 감지센서, 9는 업 감지센서, 10은 플립플롭, 11, 12는 제1 및 제2 부정논리곱 게이트, 13은 스위치, S는 세트단자, R은 리셋단자, Q는 정출력,는 부출력을 각각 나타낸다.

도면에 도시한 바와 같이 본 고안에 의한 사이클 퍼지용 실드이동장치는 1차 클리닝된 실드내의 잔여 파티클을 신뢰성있게 제거할 수 있도록 실드 및 클램프가 일정한 주기로 자동이동될 수 있도록 제어하는 것으로, 외부로 부터 초기시작신호와 세트단자(S)와 리셋단자(R)로 부터 감지신호를 입력받아 다운(down)신호 및 업(up)신호를 출력하는 제어부(5)와, 상기 제어부(5)에 각각 연결되어 그로부터 출력되는 다운(down)-업(up)신호의 입력에 따라 각각 온(ON)구동을 하여 에어가 공급되도록 개폐하는 제1 및 제2 솔레노이드밸브(6, 7)와, 상기 제1 및 제2 솔레노이드밸브(6, 7)의 라인이 그 상하측에 연결되며, 그로 부터 공급되는 에어압으로 상하구동하도록 그 내측에 피스톤(4a)이 구비된 실린더(4)와, 상기 실린더(4)의 일측 하부 및 상부의 소정위치에 각각 장착되어 상기 피스톤(4a)의 다운-업위치를 감지하여 상기 제어부(5)의 리셋단자(R)와 세트단자(S)에 신호를 출력하는 다운-업감지센서(8, 9)를 구비하여 상기 챔버(1)내에 구비된 실드(2) 및 그를 고정하는 클램프(3)를 에어실린더(4)의 구동에 의해 상하 이동하면서 사이클퍼지를 수행하게 된다.

여기서, 상기 제어부(5)는 부정논리곱 게이트로 구성된 플립플롭과, 상기 플립플롭을 제어하기 위한 부정논리곱 게이트로 크게 구성되는데, 이의 구성을 제2도를 통하여 상세히 살펴보면 다음과 같다.

초기시작신호에 따라 온-오프 구동하는 스위치(15)와, 상기 다운-업감지센서(8, 9)로 부터 출력되는 감지신호를 세트단자(S)와 리셋단자(R)로 부터 입력받는 플립플롭(10)과, 상기 스위치(15)의 신호와 플립플롭(10)의 정출력(Q)신호를 입력받아 부정논리곱하는 제1 부정논리곱 게이트(11)와, 상기 스위치(15)의 신호와 플립플롭(10)의 부출력()신호를 입력받아 부정논리곱하는 제2 부정논리곱 게이트(12)와, 상기 제1 및 제2 부정논리곱 게이트(11, 12) 각각에 베이스 단자가 연결되고, 상기 제1 및 제2 솔레노이드 밸브(6, 7)에는 이미터단자가 연결되고, 컬렉터단자는 접지에 연결되도록 하는 제1 및 제2 트랜지스터(13, 14)를 구비한다.

상기한 바와 같은 제어부의 작용상태를 살펴보면, 상기 제1 및 제2 부정논리곱 게이트(11, 12)는 플립플롭(10)의 출력을 스위치(15)로 제어하기 위해 즉, 상기 스위치(15)를 오프(OFF)하면 Q,의 출력이 차단된다. 이는 상기 제1 및 제2 부정논리곱 게이트(11, 12)의 입력중 어느한쪽만 "0"(low)이면, 출력은 "1"(high)가 되기 때문이다.

상기 스위치(15)를 온(ON)하면 이때부터 플립플롭(10)의 출력이 부정논리곱 게이트를 지나 반전된 신호가 상기 제1 및 제2 솔레노이드(6, 7)를 동작시키게 된다.

예를 들면, 상기 플립플롭(10)의 입력이 모두 "1"이고, 출력 Q가 "1"이라면는 "0"이 된다. 즉, 한쪽이 "1"이면 다른 한쪽은 "0"이된다.

그러므로, 상기 Q가 "1"이라면 "1"신호가 부정논리곱 게이트를 지나면서 "0"으로 반전되고, "0"이 상기 제1 트랜지스터(Q1), (13)의 베이스에 입력되어 제1 솔레노이드밸브(6)가 동작하여 상기 실린더(4)에 에어가 주입된다.

이에따라 상기 실린더(4)내의 피스톤(4a)이 에어압에 의해 하강하고, 챔버(1)의 실드(2)도 하강한다.

상기 피스톤(4a)의 하강동작이 완료되면, 그의 하강위치를 실린더(4)에 장착되어 있던 다운감지센서(8)가 감지하고, 이 감지신호는 플립플롭(10)의 리셋단자(R)로 입력되어 Q가 "1"에서 "0"으로 되고,는 "0"에서 "1" 즉 전상태의 반전이 된다.

이때, 상기 제1 트랜지스터(Q1), (13)는 차단되어 상기 제1 솔레노이드밸브는 오프되고,의 "1"이 부정논리곱 게이트를 지나 "0"으로 반전된 신호가 제2트랜지스터(Q2)의 베이스에 입력됨에 따라 이미터에서 컬랙터로 통전하여 제2 솔레노이드 밸브(7)가 동작하여 상기 실린더(4)의 하측으로 에어가 인입되면서 피스톤(4a)이 상승한다. 이에따라 상기 챔버(1)내의 실드(2)는 상승하게 된다.

그리고, 상기 실드(2)의 상승동작이 완료되면, 업감지센서(9)가 이를 피스톤(4a)의 위치를 감지하여 신호를 플립플롭(10)의 세트단자(S)에 입력하고 상기 플립플롭(10)의 출력은 "0"에서 "1"로는 "1"에서 "0"으로 반전된다. 따라서, 상기 스위치의 온동작에 따라 계속적으로 실드(2)가 상승 및 하강이동되어 사이클퍼지를 실사하므로서 상기 실드내에 잔재하는 파티클을 제거하는 것이다.

제3도는 실드의 자동이동에 따른 타이밍도이다.

상기와 같이 구성되어 작용하는 본 고안은 상기 실드를 사이클주기에 따라 일정하게 상하이동시켜 퍼지를 수행하므로서 작업자의 인적오차 및 상기 사이클 퍼지수행시간을 감소시키며, 또한 상기 실드의 잔여 파티클을 신뢰성있게 제거할 수 있어 웨이퍼의 생산수율이 향상되는 효과가 있다.

Claims (2)

1. 챔버내의 실드 교체주기에 따라 상기 교체된 실드의 사이클퍼지를 위해 에어실린더내의 피스톤이 상하이동하면서 상기 실드 및 그를 고정하는 클램프를 자동으로 이동시키는 사이클 퍼지용 실드이동장치에 있어서, 외부로 부터 초기시작신호와 제1 및 제2 감지신호를 입력받아 다운신호 및 업신호를 출력하는 제어수단, 상기 제어수단에서 출력되는 다운신호를 인가받아 에어가 주입되도록 온 구동하여 상기 실린더를 하강시키는 제1 에어공급수단, 상기 제어수단에서 출력되는 업신호를 인가받아 에어가 주입되도록 온 구동하여 상기 실린더를 상승시키는 제2 에어공급수단, 상기 제1 및 제2 에어공급수단의 구동에 따라 상하이동하는 실린더의 상하 위치를 감지하여 그 신호를 제어수단에 출력하는 상, 하 감지수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 사이클 퍼지용 실드이동장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 제어수단은 외부로 부터 신호를 인가받아 온-오프 구동하는 스위칭수단, 상기 제1 및 제2 감지신호를 입력받는 플립플롭, 상기 스위칭수단의 신호와 플립플롭의 일출력신호를 입력받아 부정논리곱하는 제1 부정논리곱 연산수단, 상기 스위칭수단의 신호와 플립플롭의 타출력신호를 입력받아 부정논리곱하는 제2 부정논리곱 연산수단, 베이스단자는 제1 부정논리곱 연산수단이 연결되고, 이미터단자는 상기 제1 에어공급수단에 연결되고, 컬렉터단자는 접지에 연결되는 제1트랜지스터, 베이스단자는 제2 부정논리곱 연산수단이 연결되고, 이미터단자는 상기 제2에어공급수단에 연결되고, 컬렉터단자는 접지에 연결되는 제2 트랜지스터를 포함하는 것을 특징으로 하는 사이클 퍼지용 실드이동장치.