KR0172846B1 - 탈포장치 - Google Patents

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KR0172846B1
KR0172846B1 KR1019950048237A KR19950048237A KR0172846B1 KR 0172846 B1 KR0172846 B1 KR 0172846B1 KR 1019950048237 A KR1019950048237 A KR 1019950048237A KR 19950048237 A KR19950048237 A KR 19950048237A KR 0172846 B1 KR0172846 B1 KR 0172846B1
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문정환
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Abstract

본 발명은 반도체 제조공정에 사용되는 탈포장치에 관한 것으로, 특히 공정에 사용되는 액체상태의 약품에 포함되어 있는 기포들을 효율적으로 제거할 수 있도록 한 탈포장치에 관한 것이다.
상기와 같은 본 발명의 탈포장치는 액체상태의 약품이 담겨 있는 용기에 기계적 결합을 포함하여 직접 결착되어 용기내부를 외부와 차단하는 용기 결착수단과, 상기 용기 결착수단을 통하여 용기내부에 질소가스를 공급하여, 용기내부를 질소압력 공정상태로 유지시키는 벤트 라인계와, 상기 용기 결착수단을 통하여 용기내부를 진공 공정상태로 유지시키는 진공 라인계를 포함하여 이루어져 질소 라인계에 의해 1차 탈포공정을 하고, 진공 라인계에 의해 2차 탈포공정으로 이루어진다.

Description

탈포장치
제1도는 종래의 탈포장치의 계통도.
제2도는 본 발명의 탈포장치의 계통도.
제3도는 본 발명의 탈포장치의 동작회로도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
20 : 진공 라인계 21,35 : 압력 조절부
22,24,26,32,34 : 전자밸브 23 : 배출수단
25 : 니들밸브 27,33 : 역류방지용 밸브
28 : 압력계 29 : 용기 결착수단
30 : 벤트 라인계 31 : 필터
36 : 질소 라인계
본 발명은 반도체 제조공정에 사용되는 탈포장치에 관한 것으로, 특히 공정에 사용되는 액체상태의 약품에 포함되어 있는 기포들을 효율적으로 제거할 수 있도록 한 탈포장치에 관한 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참고하여 종래의 탈포장치에 대하여 설명하면 다음과 같다.
제1도는 종래의 탈포장치의 계통도이다.
먼저, 반도체 소자의 제조공정 진행중에 진공상태에서 수행하여야 하는 작업을 실시하게 되는 공정챔버(1)와, 상기 공정챔버(1)의 챔버도어(1a)를 개폐 구동시키는 챔버도어 개폐 라인계(10)와, 상기 공정챔버(1)의 내부를 진공상태로 유지시키는 진공 라인계(20)와 공정챔버 퍼지 라인계(30)로 크게 구성된다.
상기와 같은 종래의 탈포장치의 동작은 다음과 같다.
공정챔버(1) 내부에 탈포하고자 하는 액체상태의 약품이 담긴 용기를 넣고 공정챔버(1) 내부를 진공 라인계(20)로 진공상태를 형성하며 또한 공정챔버 퍼지 라인계(30)를 통하여 적당한 질소를 유입시키면서 공정챔버(1) 내부의 압력을 일정하게 유지시키면서 탈포공정을 실시하게 된다.
그러나 상기와 같은 종래의 탈포장치에 있어서는 시료가 담기 비이커를 공정챔버(1) 내부에 넣고 진공 라인계(20)의 진공펌프를 사용하여 공정챔버(1) 내부 및 비이커 등의 용기를 진공상태로 하여 탈포공정을 실시하므로, 공정챔버(1) 내부를 진공상태로 해야 하는 불필요한 공정시간이 소요되며, 시료가 공정진행시에 진공펌프에 의한 영향(진동 또는 온도변화)을 받으며, 또한 진공펌프를 사용하므로 장치가 크고, 장치의 제작비용이 비싸다는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 탈포장치의 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 시료가 담긴 용기를 이용하여 직접 탈포공정을 수행하여 탈포공정 시간의 단축이 가능하고, 외부의 온도, 파티클 등에 의한 영향을 배제하여 시료의 오염을 방지할 수 있는 탈포장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 탈포장치는 액체상태의 약품이 담겨 있는 용기에 기계적 결합을 포함하여 직접 결착되어 용기내부를 외부와 차단하는 용기 결착수단과, 상기 용기 결착수단을 통하여 용기내부에 질소가스를 공급하여, 용기내부를 일정한 질소압력이 작용하는 상태로 유지시키기 위한 질소 라인계와, 상기 용기 결착수단을 통하여 용기내부를 대기압 상태로 유지시키기 위한 벤트 라인계와, 상기 용기 결착수단을 통하여 용기내부를 일정 크기의 진공압이 작용하는 상태로 유지시키기 위한 진공 라인계를 포함하여 이루어져 질소 라인계에 의해 1차 탈포공정을 하고, 진공 라인계에 의해 2차 탈포공정을 하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 탈포장치에 대하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
제2도는 본 발명의 탈포장치의 계통도이고, 제3도는 본 발명의 탈포장치의 동작 회로도이다.
본 발명의 탈포장치는 반도체 제조공정에서 사용되는 시료의 기포 등을 복잡한 진공 장치없이 효율적으로 제거하기 위한 것으로, 먼저, 액체상태의 약품을 담은 용기(병, 이키거 등)를 직접 진공상태로 만들기 위해 용기를 각 진공 라인계에 연결시키기 위한 용기 결착수단(29)과, 용기(본 발명의 실시예에서는 화공약품병) 내부에 질소를 공급해주는 질소 라인계(36)와, 용기내부를 공정 진공상태로 유지시키는 진공 라인계(20)와, 벤트 라인계(30)로 크게 구성되어 있다.
상기 질소 라인계(36)는 압력 조절부(35)와 질소공급을 제어하는 전자밸브(34)와 역류 방지용 밸브(33)로 이루어져 상기 용기 결착수단(29)에 연결된다.
그리고 진공 라인계(20)는 공기압을 조절하는 압력 조절부(21)와, 공기공급을 제어하는 전자밸브(22)와, 유입되는 공기를 이용하여 용기내부의 공기를 배출하는 배출수단(Eject)(23))과, 상기 용기 결착수단(29)에 동시에 연결되는 주배기용 전자밸브(24), 니들밸브(25)와, 상기 주배기용 전자밸브(24), 니들밸브(25)와 용기 결착수단(29) 사이에 구성되어 배기압력을 검지하는 압력계(28)와, 상기 니들밸브(25)에 연결 구성되는 저속배기용 전자밸브(26)와, 상기 주배기용 전자밸브(24)와 저속배기용 전자밸브(26)에 공통 연결되어 상기 배출수단(23)에 접속되어 배출수단에서의 역류 현상을 방지하는 역류방지용 밸브(27)로 구성된다.
그리고 벤트 라인계(30)는 필터(31)와 공기유입용 전자밸브(32)로 이루어져 상기 질소 라인계(36)의 역류방지용 밸브(33)로 연결된다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 탈포장치의 동작은 다음과 같다.
탈포하고자 하는 용액이 들어 있는 용기(일반적으로 표준화되어 있는)를 용기 결착수단(29)으로 흡착고정(기계적 결합을 포함하는) 시킨후에 주전원 스위치(S)를 ON하게 되면, 공기유입용 전자밸브(32)가 ON된다.
이때, 상기 공기유입용 전자밸브(32)는 용기내부를 대기압 상태로 유지시키게 된다.
상기와 같은 공정대기 상태에서 푸시버튼 시작스위치(PB1)을 누르게 되면, 전압이 상기 푸시버튼 시작스위치(PB1)의 접점을 통하여 제3타이며(T3)의 접점(T3a)을 통해 릴레이(R)로 공급되고, 이 릴레이(R)가 ON됨에 따라 릴레이(R)의 접점(Rb)이 ON되어 자기보상 유지회로를 구성함에 따라 릴레이(R)에는 전압이 계속 공급되어 질소공급용 전자밸브(34) 및 질소공급용 타이머(T1)가 ON된다.
이때, 릴레이(R)의 접점(Ra)이 OFF되어 공기유입용 전자밸브(32)는 OFF된다.
그러므로 제1타이머(T1)는 카운트하게 되고, 압력 조절부(35), 질소공급용 전자밸브(34), 역류방지용 밸브(33)를 통해 화공약품병 내부에 질소압력이 가해진다.
이때, 입력 조절부(35)를 이용하여 질소압력을 조절하고, 제1타이머(T1)로 공정시간을 조절한다.
상기 동작에 의해 용기(화공약품병)내부에는 질소압력에 의한 탈포공정이 진행된다.
상기 제1타이며(T1)의 카운트가 완료되면, 그 타이머의 제1접점(T1a)이 OFF됨과 동시에 제2접점(T1a)이 ON됨에 따라, 공기공급용 전자밸브(22), 저속배기용 전자밸브(26) 및 제2타이머(T2)가 ON된다.
이에 따라 질소공급용 전자밸브(34)가 OFF되고, 용기내부로 공급되던 질소의 공급이 중단된다.
그리고 제2타이머(T2)는 카운트를 시작하고, 압력 조절부(21)와 공기공급용 전자밸브(22)를 경유한 공기가 배출수단(23)을 통해 배기되므로써 용기내부의 질소는 니들밸브(25)와 저속배기용 전자밸브(26)와, 역류방지용 밸브(27)를 경유하여 배출수단(23)을 통해 배기된다.
이때, 니들밸브(25)를 조절하여 저속배기 속도를 조절한다.
그리고 배기시간은 제2타이머(T2)에 의해 조절된다.
제2타이머(T2)의 카운트가 완료되면, 타이머의 제1접점(T2a)이 OFF됨과 동시에 제2접점(T2b)이 ON되는 것에 의해 주배기용 전자밸브(24)와 역류방지용 밸브(27)를 통해 진공상태가 되어 탈포공정이 진행된다(이때, 용기내부는 일정한 진공상태를 계속 유지하게 된다.
상기와 같은 탈포공정 진행상태에서 압력 조절부(21), 제3타이머(T3)를 이용하여 용기내부의 압력 및 탈포공정 시간을 조절하게 된다.
즉, 제3타이머(T3)의 카운트가 끝나 제1접점(T3a)이 OFF되면 릴레이(R)에 전압이 차단되어 릴레이(R)의 접점(Rb)이 OFF되고, 접점 Ra가 ON된다.
이때, 제1,2,3타이머(T1)(T2)(T3) 및 이에 의해 ON, OFF되는 주배기용 전자밸브(24), 공기공급용 전자밸브(22)가 OFF된다.
그리고, 공기 공기공급용 전자밸브(22)가 OFF된 후에는 공기유입용 전자밸브(32)가 ON된다.
상기와 같은 동작에 의해 화공약품병 내부는 공정진공 상태에서 필터(31)와 공기유입용 전자밸브(32)를 통해 유입되는 외부공기에 의해 대기압 상태가 된다.
그리고 대기압 상태에서 주전원 공급스위치(s)를 OFF하여 공기유입용 전자밸브(32)를 OFF시키고, 용기로부터 용기 결착수단(29)을 분리하여 1사이클의 탈포공정을 완료하고 시스템은 초기상태가 된다.
상기와 같은 본 발명의 탈포장치는 외부로부터의 파티클 유입을 억제하고, 클린상태에서 질소의 압력으로 1차 탈포공정을 하고, 진공상태에서 2차 탈포공정을 하여 탈포효과를 높일 수 있다.
그리고 용기내부에서 시료를 직접 탈포하여 시료의 오염을 방지하고, 공정시간 단축 및 외부온도의 영향을 차단하는 효과가 있다.
또한, 진공펌프를 사용하지 않으므로 장치의 소형화 및 제작비용의 절감등의 효과가 있다.

Claims (7)

  1. 액체상태의 약품이 담겨 있는 용기에 기계적 결합을 포함하여 직접 결착되어 용기내부를 외부와 차단하는 용기 결착수단과, 상기 용기 결착수단을 통하여 용기에 연결되어 상기 용기 내부에 질소가스를 공급하여, 용기내부를 일정한 질소압력이 작용하는 상태로 유지시키기 위한 질소 라인계와, 상기 용기 결착수단을 통하여 용기에 연결되어 상기 용기내부를 대기압 상태로 유지시키기 위한 벤트 라인계와, 상기 용기 결착수단을 통하여 용기내부에 연결되어 용기내부를 일정 크기의 진공압이 작용하는 상태로 유지시키기 위한 진공 라인계를 포함하여 이루어져 질소 라인계에 의해 1차 탈포공정을 하고, 진공 라인계에 의해 2차 탈포공정을 하므로써 액체 상태의 약품내부에 있는 기포를 제거할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 탈포장치.
  2. 제1항에 있어서, 질소 라인계는 유입되는 질소의 압력을 조절하는 압력 조절수단과, 상기 압력 조절수단을 통하여 질소를 용기 내부로 유입시키거나 차단하는 질소공급용 전자밸브와, 상기 질소공급용 전자밸브를 통하여 용기로 유입되는 질소가 역류되지 않도록 하는 역류 방지용 밸브를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 탈포장치.
  3. 제3항에 있어서, 벤트 라인계는 용기로 유입되는 공기를 필터링하는 필터링 수단부와, 상기 필터링 수단부의 공기를 차단하거나 통과시키는 공기유입용 전자밸브로 이루어져 질소 라인계의 역류방지용 밸브를 통하여 용기 결착수단에 연결되는 것을 특징으로 하는 탈포장치.
  4. 제1항에 있어서, 진공 라인계는 유입되는 공기의 압력을 조절하는 압력 조절수단과, 상기 압력 조절수단을 통과한 공기를 차단하거나 통과시키는 공기공급용 전자밸브와, 상기 공기공급용 전자밸브를 통과한 공기를 특정한 속도로 배출하는 배출수단과, 용기 결착수단에 동시에 연결되는 주배기용 전자밸브, 니들밸브와, 상기 용기 결착수단과 주배기용 전자밸브, 니들밸브 사이에 구성되어 배기압력을 검지하는 압력계와, 상기 니들밸브에 연결 구성되어 저속 배기시에 ON 동작을 하는 저속배기용 전자밸브와, 상기 주배기용 전자밸브와 저속배기용 전자밸브에 공통 연결되고 배출수단에 연결되어 배출수단에서의 역류현상을 방지하는 역류방지용 밸브를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 탈포장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 질소 라인계는 용기내부에 질소공급시 공급시간을 제어하는 제1타이머를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 탈포장치.
  6. 제1항 또는 제3항에 있어서, 벤트 라인계는 탈포공정 대기시에 또는 탈포공정 완료시에 용기내부에 공기를 유입 또는 차단시키는 릴레이를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 탈포장치.
  7. 제1항 또는 제4항에 있어서, 진공 라인계는 저속 배기시에 배기시간을 제1타이머와 함께 제어하는 제2타이머와, 탈포공정시에 용기내부가 진공상태로 유지되는 시간을 제2타이머와 함께 제어하는 제3타이머를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 탈포장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20160072500A (ko) * 2014-12-15 2016-06-23 주식회사 제타 멤브레인 코팅 장치

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