KR200167858Y1

KR200167858Y1 - 울트라소닉 혼

Info

Publication number: KR200167858Y1
Application number: KR2019950015753U
Authority: KR
Inventors: 김강산
Original assignee: 김영환; 현대전자산업주식회사
Priority date: 1995-06-30
Filing date: 1995-06-30
Publication date: 2000-02-01
Also published as: KR970003214U

Abstract

본 고안은 울트라소닉 혼의 전단부 슬릿의 형상이 전단부를 관통하지 않고 전단부의 양편이 하나가 되도록 형성함을 특징으로 하는 울트라소닉 혼에 관한 것으로, 종래의 울트라소닉 혼은 일정압력 이상으로 조였을때 울트라소닉 혼 전단의 슬릿부가 울트라소닉 혼의 중심선과 평행을 이루지 않고 일정각을 이루며 벌어지게 되며, 따라서 케필러리의 체결이 정확히 이루어지지 않아 최적의 초음파 동력이 케필러리에 전달되지 못하여 와이어 본딩의 불량을 초래하는 문제점이 있어, 본 고안은 울트라소닉 혼의 전단에 형성된 슬릿을 전단부까지 형성하지 않고 전단부가 양편이 붙어있는 형태로 하여 전단부의 벌어짐을 막도록하여 양질의 와이어 본딩 작업을 실행할 수 있도록 한 것이다.

Description

울트라소닉 혼

제1도(a)는 일반적인 울트라소닉 혼의 정면도.

(b)는 제1도(a)에서 케필러리와 볼트를 조립한 상태의 전단부의 횡단면도.

제2도는 제1도(a)에서 케필러리와 볼트를 조립하지 상태의 전단부의 횡단면도.

제3도는 본 고안에서 케필러리와 볼트를 조립하지 않은 상태의 전단부의 횡단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 울트라소닉 혼 2 : 볼트

2-1 : 너트 3 : 진동자

4 : 케필러리 5 : 케필러리 홀

6 : 슬릿홈

본 고안은 와이어 본딩시 사용되는 울트라소닉 혼에 관한 것으로, 특히 울트라소닉 혼의 슬릿홈의 형상이 전단부를 관통하지 않고 전단부의 양편이 하나가 되도록 형성함을 특징으로 하는 울트라소닉 혼에 관한 것이다.

일반적으로 울트라소닉 혼은 울트라소닉 혼 제너레이터에서 생성한 초음파를 진동자와 일체이며 울트라소닉 혼에 삽입된 케필러리에 전달하여 와이어 본딩작업이 이루어지도록 하는 장비이다.

케필러리는 초음파의 최적힘이 공급되는 위치에 고정하되 울트라소닉 혼의 내부에 형성된 슬릿홈을 통하여 볼트와 너트로 조여 고정시키고, 케필러리 내부를 통과하는 골드와이어 본딩을 실시한다.

이를 도면을 참조로 설명하면, 제1도(a,b)는 일반적인 울트라소닉 혼의 정면도 및 전단부 횡단면도로써, 울트라소닉 혼(1)의 케필러리 홀(5)에 케필러리(4)를 직각이 되게 끼우고 볼트(2)와 너트(2-1)로 조임으로써 슬릿홈(6)의 내부압착으로 케필러리 홀(5)이 내부로 수축되는 현상을 이용하여 케필러리(4)를 체결한다.

이때 울트라소닉 혼의 슬릿홈의 형상이 전단부를 관통하여 전단부가 일정한 길이(a)를 사이에 두고 중심선과 평행을 유지하면서 양편으로 나뉘어 있다.

그러나 상기와 같이 구성하는 울트라소닉 혼(1)에 있어서 볼트(2)와 너트(2-1)를 자주 조이고 푸거나, 일정압력 이상으로 조였을 때는 제2도에 도시한 바와같이 울트라소닉 혼(1)의 슬릿홈(6)이 울트라소닉 혼(1)의 중심선과 평행을 이루지 않고 θ각을 이루며 벌어지게 된다. 따라서 케필러리(4)의 체결이 정확히 이루어지지 않아 최적의 초음파 동력이 케필러리(4)에 전달되지 못하여 외이어 본딩의 불량을 초래하는 문제점이 있었다.

본 고안은 상기와 같은 문제를 해결코자 하는 것으로, 슬릿홈을 울트라소닉 혼 전단부에까지 형성하지 않고 전단부가 양편이 붙어 있는 형태로 하여 전단부의 벌어짐을 막도록함을 특징으로 한다.

이하 도면을 참조로 상세히 설명하면 다음과 같다.

제3도는 본 고안에서 케필러리와 볼트를 조립하지 않은 상태의 전단부의 횡단면도로써, 울트라소닉 혼(1)의 슬릿홈(6)의 형상이 전단부를 관통하지 않고 전단부의 양편이 하나가 되도록 형성한다.

상기와 같이 구성하는 본 고안은 울트라소닉 혼(1)의 슬릿홈(6)의 형성이 전단부를 관통하지 않으므로 케필러리(4)를 고정하는 볼트(2)와 너트(2-1)를 자주 조이고 풀어도 벌어지지 않으며, 일정압력 이상으로 조여도 벌어지지 않으므로 최적의 초음파 동력을 항상 공급할 수 있어 양질의 와이어 본딩 작업을 실행할 수 있다.

Claims

일정한 길이를 사이에 두고 케필러리 체결지점에서 케필러리 결착공을 통과하여 외부로 평행을 유지하며 관통되는 슬릿홈을 울트라소닉 혼의 전단부에 형성함에 있어서, 울트라소닉 혼의 슬릿홈의 형상이 케필러리 체결지점에서 케필러리 결착공을 통과하되 전단부를 관통하지 않도록 형성함을 특징으로 하는 울트라소닉 혼.