KR200161973Y1 - Transfer device of a handler system - Google Patents
Transfer device of a handler system Download PDFInfo
- Publication number
- KR200161973Y1 KR200161973Y1 KR2019970006913U KR19970006913U KR200161973Y1 KR 200161973 Y1 KR200161973 Y1 KR 200161973Y1 KR 2019970006913 U KR2019970006913 U KR 2019970006913U KR 19970006913 U KR19970006913 U KR 19970006913U KR 200161973 Y1 KR200161973 Y1 KR 200161973Y1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- transfer
- motor
- tray
- shaft
- handler system
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/67333—Trays for chips
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
본 고안은 핸들러 시스템에 설치된 트레이 스톡커상에 적재되는 트레이를 파지하여 수평 및 수직 방향으로 이송시키기 위한 트랜스퍼 장치의 구조를 단순화시킬수 있도록 한 핸들러 시스템의 트랜스퍼 장치에 관한 것으로, 본 고안은 트레이 매거진 후방의 캐비넷에 트랜스퍼를 수평 방향으로 이송시키기 위한 제 1 이송수단이 구비되고, 상기 트랜스퍼에는 트레이를 파지하는 트랜스퍼 헤드를 수직 방향으로 이송시키기 위한 제 2 이송수단이 일체로 구비되므로써 트랜스퍼 장치의 구조를 단순화시킬수 있어서 핸들러 시스템의 제작 비용을 절감시킬수 있으며, 설치 공간을 축소시킬수 있게 된다.The present invention relates to a transfer device of a handler system that can simplify the structure of a transfer device for holding and transporting a tray loaded on a tray stocker installed in a handler system in a horizontal and vertical direction. The cabinet is provided with a first conveying means for conveying the transfer in the horizontal direction, and the transfer is provided with a second conveying means for conveying the transfer head holding the tray in the vertical direction, thereby simplifying the structure of the transfer apparatus. This reduces the manufacturing cost of the handler system and reduces the installation space.
Description
본 고안은 핸들러 시스템의 트랜스퍼 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 핸들러 시스템에 설치된 트레이 스톡커상에 적재되는 트레이를 파지하여 수평 및 수직 방향으로 이송시키기 위한 트랜스퍼 장치의 구조를 단순화시킬수 있도록 한 것이다.The present invention relates to a transfer device of the handler system, and more particularly, to simplify the structure of the transfer device for holding the tray loaded on the tray stocker installed in the handler system and transporting it in the horizontal and vertical directions.
일반적으로, 전자 산업계에서는 집적 회로 및 반도체 칩 등의 전자 부품을 보다 저렴하고 소형화하는 것이 절대적으로 요구되며, 이러한 전자 부품의 생산성을 높이기 위하여 단위 비용을 감소시키기 위한 방법중의 하나로 이러한 전자 부품을 동시에 많은 양을 테스트하는 것에 의하여 테스트 속도를 높이게 된다.In general, in the electronic industry, it is absolutely necessary to make electronic components such as integrated circuits and semiconductor chips cheaper and smaller, and at the same time, as one of methods for reducing unit cost in order to increase productivity of such electronic components, By testing a large amount, you can speed up the test.
이와 같은 전자 부품 테스트 시스템(예를 들면 IC 테스터)은 테스트에 응하여 다양한 테스트 신호를 발생시키고, 그 결과의 출력 신호를 판정하기 위한 마스터 유니트와, 자동적으로 테스트될 부품을 테스트 헤드로 이동시켜 테스트하고 테스트된 부품을 테스트 결과에 따라서 분류하는 오토매틱 테스트 핸들러로 구성된다.Such an electronic component test system (e.g. IC tester) generates a variety of test signals in response to the test, and the master unit for determining the output signal of the result, and automatically move the component to be tested to the test head It consists of an automatic test handler that classifies the tested parts according to the test results.
도 1에는 일본의 어드반테스트 회사의 미국 특허 제 5,307,011호에 개시된 핸들러 시스템의 개략적인 구성이 도시되어 있는데, 핸들러(21)는 하부 캐비넷(22, 도 1에서 일부분만 도시됨), 중간 부분(23) 및 상부 부분(24)으로 구성되어 상기 하부 캐비넷(22)은 핸들러(20)의 중간 및 상부 부분(23)(24)에서 주로 이루어지는 테스팅 동작의 기능 및 순서를 제어하는 케이블, 동력 부품, 전기 접속부가 수용된다.FIG. 1 shows a schematic configuration of a handler system disclosed in U.S. Patent No. 5,307,011 of the Advantest Company of Japan, where the handler 21 is a lower cabinet 22 (only part of which is shown in FIG. 1), the middle part 23. And an upper portion 24 such that the lower cabinet 22 controls cables and power components, electrical connections, which control the function and sequence of testing operations mainly made in the middle and upper portions 23 and 24 of the handler 20. The part is accepted.
도 1에서 핸들러(21)의 중간 부분(23) 좌측에서 시작하는 매거진 입력 영역(25)은 핸들러(20)의 중간 부분(23)의 전방부 중앙 및 우측을 에워싸는 매거진 출력 영역(26)에 바로 인접하며, 상기 매거진 입력 및 출력 영역(25)(26)은 핸들러(21)에 의하여 테스트될 반도체 디바이스들이 배열되는 트레이(20)가 다수 적층되어 수납되는 트레이 매거진(1a)을 수용하는 다수의 스테이션(27)이 설치되고, 도 1에는 이해를 돕기 위하여 매거진 입력 영역(26)에 위치된 단지 하나의 트레이 매거진(1a) 만이 도시되어 있으나, 상기 매거진 입력 및 출력 영역(25)(26)들의 다양한 스테이션들의 각각이 유사한 트레이 매거진(1a)을 수용하는 데 적합하다는 것을 알수 있게 된다.In FIG. 1, the magazine input area 25 starting to the left of the middle part 23 of the handler 21 is directly in the magazine output area 26 which surrounds the center and the right side of the front part of the middle part 23 of the handler 20. Adjacent, the magazine input and output regions 25 and 26 contain a plurality of stations that accommodate a tray magazine 1a in which a plurality of trays 20 in which semiconductor devices to be tested are arranged by the handler 21 are stacked and housed. 1 is installed, and only one tray magazine 1a is shown in FIG. 1 positioned in the magazine input area 26 for ease of understanding, but the various of the magazine input and output areas 25, 26 are shown. It will be appreciated that each of the stations is suitable for receiving a similar tray magazine 1a.
또한, 도 1에 도시된 예에서 매거진 출력 영역(26)에는 총 10개의 스테이션(27)들이 도시되어 있으며, 이러한 스테이션들의 수는 8개의 상이한 카테고리에 따른 반도체 디바이스의 테스팅용 스테이션, 1개의 재테스트용 스테이션, 1개의 빈 커스터머 트레이용 스테이션을 제공하는데, 이러한 매거진 출력 영역의 스테이션 수는 설계자의 의도에 따라서 변경될 수 있게 된다.In addition, in the example shown in FIG. 1, a total of 10 stations 27 are shown in the magazine output area 26, and the number of such stations is one for testing a semiconductor device according to eight different categories, and one retest. Station for one empty customer tray, the number of stations in this magazine output area can be changed according to the designer's intention.
한편, 종래의 핸들러 시스템에 설치되는 트레이 매거진(1a)의 하부에는 슬라이딩 가능하게 전,후진하며 검사해야 하는 반도체 디바이스가 담겨 있는 복수개의 트레이(20)가 적층된 상태로 안착되는 트레이 스톡커(도시는 생략함)가 설치되고, 상기 각각의 트레이 매거진(1a) 상부에는 트레이 스톡커상에 적재된 트레이를 셋팅 위치로 공급함과 동시에 검사가 완료되어 등급별로 분류된 반도체 디바이스가 담겨 있는 트레이를 소정의 위치로 이송시키기 위한 복수개의 트랜스퍼 헤드(도시는 생략함) 및 트랜스퍼 헤드를 구동시키기 위한 모터등의 구동 장치가 설치된다.On the other hand, a tray stocker (not shown) seated in a stacked state of a plurality of trays 20 containing semiconductor devices to be slidably moved forward, backward and inspected in a lower portion of the tray magazine 1a installed in a conventional handler system. Is omitted, and each tray magazine 1a is provided with a tray containing semiconductor devices classified by grades at the same time as the trays loaded on the tray stockers are supplied to a setting position and the inspection is completed. A plurality of transfer heads (not shown) for transporting the molds and a driving device such as a motor for driving the transfer heads are provided.
그러나, 이와같은 종래 핸들러 시스템에 설치되는 각각의 트레이 매거진(1a) 상부에는 복수개의 트레스퍼 헤드 및 트랜스퍼 헤드를 구동시키기 위한 모터등의 구동 장치를 각각 설치해야 하므로 인해 제작 비용이 많이 소요되고, 설치하기 위한 설치 공간을 많이 차지하게 되므로 인해 핸들러 시스템의 크기가 커지게 되는 등의 많은 문제점이 있었다.However, the manufacturing costs are high due to the need to install a plurality of tresper heads and a driving device such as a motor for driving the transfer heads on each tray magazine 1a installed in the conventional handler system. Since it takes up a lot of installation space, there are many problems such as the size of the handler system increases.
본 고안은 상기한 제반 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 핸들러 시스템에 설치된 트레이 스톡커상에 적재되는 트레이를 파지하여 수평 및 수직 방향으로 이송시키기 위한 트랜스퍼 장치의 구조를 단순화시킬수 있도록 하여 핸들러 시스템의 제작 비용을 절감시킬수 있을 뿐만 아니라 설치 공간을 축소시킬수 있는 핸들러 시스템의 트랜스퍼 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is to solve the above problems, to simplify the structure of the transfer device for transporting in the horizontal and vertical direction by holding the tray loaded on the tray stocker installed in the handler system to reduce the manufacturing cost of the handler system The aim is to provide a transfer system of a handler system that not only saves, but also reduces installation space.
도 1은 종래의 반도체 디바이스 테스트용 핸들러 시스템을 나타낸 사시도.1 is a perspective view showing a conventional handler system for testing semiconductor devices.
도 2는 본 고안을 나타낸 사시도2 is a perspective view showing the present invention
도 3은 도 2의 측면도3 is a side view of FIG. 2
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
1; 트레이 매거진 2; 캐비넷One; Tray magazine 2; Cabinet
3; 트랜스퍼 4; 제 1 이송축3; Transfer 4; First feed shaft
5; 가이드 레일 6; 제 1 풀리5; Guide rail 6; First pulley
7; 지지 브라켓8; 제 1 모터7; Support bracket 8; 1st motor
9,16; 모터축 10,17; 모터 풀리9,16; Motor shaft 10,17; Motor pulley
11,18; 벨트 12; 트랜스퍼 헤드11,18; Belt 12; Transfer head
13; 제 2 이송축 14; 제 2 모터13; Second feed shaft 14; 2nd motor
15; 제 2 풀리 20; 트레이15; Second pulley 20; tray
상기한 목적을 달성하기 위해 본 고안은 핸들러 시스템에 설치된 트레이 매거진의 트레이 스톡커상에 적재되는 트레이를 파지하여 수평 및 수직 방향으로 이송시키기 위한 트랜스퍼 장치에 있어서, 상기 트레이 매거진 후방의 캐비넷에 트랜스퍼를 수평 방향으로 이송시키기 위한 제 1 이송수단이 구비되고, 상기 트랜스퍼에는 트레이를 파지하는 트랜스퍼 헤드를 수직 방향으로 이송시키기 위한 제 2 이송수단이 일체로 구비된 핸들러 시스템의 트랜스퍼 장치가 제공되므로써 달성된다.In order to achieve the above object, the present invention is a transfer apparatus for holding and transporting the tray loaded on the tray stocker of the tray magazine installed in the handler system in the horizontal and vertical direction, the horizontal transfer to the cabinet behind the tray magazine It is achieved by providing a transfer device of a handler system which is provided with a first conveying means for conveying in a direction, the transfer being integrally provided with a second conveying means for conveying the transfer head holding the tray in the vertical direction.
이하, 본 고안을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 고안을 나타낸 사시도이고, 도 3은 도 2의 측면도로서, 본 고안은 핸들러 시스템에 설치되는 트레이 매거진(1) 후방의 캐비넷(2)에 트랜스퍼(3)의 후방이 이동가능하게 설치되며 트랜스퍼(3)를 수평 방향으로 이송시키기 위해 볼 스크류로 된 제 1 이송축(4)이 설치되고, 제 1 이송축(4) 상,하부의 캐비넷(2)에는 트랜스퍼(3)의 이송을 안내하기 위한 가이드 레일(5)이 설치된다.Figure 2 is a perspective view of the present invention, Figure 3 is a side view of Figure 2, the present invention is installed so that the rear of the transfer (3) is movable in the cabinet (2) behind the tray magazine (1) installed in the handler system. And a first feed shaft 4 made of a ball screw is installed to feed the transfer 3 in the horizontal direction, and the upper and lower cabinets 2 of the first feed shaft 4 are provided to transfer the transfer 3. Guide rails 5 for guiding are installed.
또한, 제 1 이송축(4)의 일단에는 제 1 풀리(6)가 설치되고, 캐비넷(2)의 일단에 고정된 지지 브라켓(7)에는 제 1 이송축(4)을 수평 방향으로 이송시키는 동력을 발생시키기 위해 스텝핑 모터로 된 제 1 모터(8)가 설치되며, 제 1 모터(8)의 모터축(9)에는 모터 풀리(10)가 설치되어 상기 제 1 풀리(6)와 함께 벨트(11)로서 연결된다.In addition, a first pulley 6 is installed at one end of the first feed shaft 4, and a support bracket 7 fixed to one end of the cabinet 2 allows the first feed shaft 4 to be transferred in the horizontal direction. A first motor 8 made of a stepping motor is installed to generate power, and a motor pulley 10 is installed on the motor shaft 9 of the first motor 8 to belt together with the first pulley 6. (11) is connected.
또한, 트랜스퍼(3)의 상부 양측에는 각각 제 1 이송축(4)과 교차되어 트랜스퍼 헤드(12)의 후방이 이동가능하게 설치되며 트랜스퍼 헤드(12)를 수직 방향으로 이송시키기 위해 볼 스크류로 된 제 2 이송축(13)이 설치되고, 상기 트랜스퍼(3)의 하단 후방에는 트랜스퍼 헤드(12)를 수직 방향으로 이송시키는 동력을 발생시키기 위해 서보(Servo) 모터로 된 제 2 모터(14)가 설치된다.In addition, the upper both sides of the transfer (3) intersect with the first feed shaft (4), respectively, the rear of the transfer head 12 is installed so as to be movable and made of ball screw to transfer the transfer head 12 in the vertical direction A second feed shaft 13 is installed, and a second motor 14 made of a servo motor is provided at the rear of the lower end of the transfer 3 to generate power for transferring the transfer head 12 in the vertical direction. Is installed.
그리고, 각각의 제 2 이송축(13) 일단에는 제 2 풀리(15)가 설치되고, 제 2 모터(14)의 모터축(16)에는 모터 풀리(17)가 설치되어 상기 제 2 풀리(15)와 함께 벨트(18)로서 연결되도록 구성된다.In addition, a second pulley 15 is installed at one end of each of the second feed shafts 13, and a motor pulley 17 is installed at the motor shaft 16 of the second motor 14, thereby providing the second pulley 15. And as a belt 18.
이와같이 구성된 본 고안은 도 2 및 도 3에 나타낸 바와같이, 핸들러 시스템의 트레이 매거진(1) 하부에 설치된 트레이 스톡커(19)상에 적재된 트레이(20)를 셋팅 위치로 공급함과 동시에 검사가 완료되어 등급별로 분류된 반도체 디바이스가 담겨 있는 트레이(20)를 소정의 위치로 이송시키고자 할 때에는 트레이 매거진(1) 후방의 캐비넷(2)에 설치된 제 1 이송축(4)에 후방이 이동가능하게 설치된 트랜스퍼(3)의 상부 양측에 각각 제 1 이송축(4)과 교차되도록 설치되어 있는 제 2 이송축(13)에 후방이 이동가능하게 설치된 트랜스퍼 헤드(12)가 상기 트랜스퍼(3)의 하단 후방에 설치되어 서보 모터로 된 제 2 모터(14)가 구동하게 된다.2 and 3, the present invention configured as described above, the inspection is completed while supplying the tray 20 loaded on the tray stocker 19 installed in the tray magazine 1 of the handler system to the setting position. To transfer the trays 20 containing the semiconductor devices classified according to the grades to a predetermined position, the rear portions are movable to the first transfer shaft 4 provided in the cabinet 2 behind the tray magazine 1. The transfer head 12 is installed at the lower end of the transfer 3 so as to be movable rearwardly on the second transfer shaft 13 which is installed to intersect the first transfer shaft 4 on the upper both sides of the installed transfer 3. The second motor 14, which is installed at the rear and is a servo motor, is driven.
이와 동시에, 제 2 모터(14)의 모터축(16)이 정방향으로 회전함에 따라 모터 풀리(17)가 정방향으로 회전함과 동시에 그 회전력이 벨트(18)를 통해 제 2 이송축(13)의 일단에 설치된 제 2 풀리(15)가 회전하므로 상기 제 2 이송축(13)의 회전에 의해 트랜스퍼 헤드(12)가 하강하여 트레이 매거진(1) 하부에 설치된 트레이 스톡커(19)상에 적재되어 있는 트레이(20)를 파지하게 된다.At the same time, as the motor shaft 16 of the second motor 14 rotates in the forward direction, the motor pulley 17 rotates in the forward direction and the rotational force of the second feed shaft 13 is transferred through the belt 18. Since the second pulley 15 installed at one end rotates, the transfer head 12 is lowered by the rotation of the second feed shaft 13, and is loaded on the tray stocker 19 installed under the tray magazine 1. The tray 20 is held.
그 후, 트랜스퍼 헤드(12)가 트레이(20)를 파지한 상태에서 제 2 모터(14)가 구동함에 따라 모터축(16)이 역방향으로 회전하여 그 회전력이 순차적으로 모터 풀리(17)와 벨트(18) 및 제 2 풀리(15)로 전달되어 제 2 이송축(13)이 회전하므로 상기 트랜스퍼 헤드(12)가 제 2 이송축(13)의 상단으로 이송하게 된다.Thereafter, as the second motor 14 is driven while the transfer head 12 grips the tray 20, the motor shaft 16 rotates in the reverse direction, and the rotational force thereof is sequentially driven by the motor pulley 17 and the belt. The transfer head 12 moves to the upper end of the second feed shaft 13 because the second feed shaft 13 is rotated by being transferred to the 18 and the second pulley 15.
그 다음, 트레이 매거진(1) 후방의 캐비넷(2)에 설치된 제 1 이송축(4)에 후방이 이동가능하게 설치된 트랜스퍼(3)가 캐비넷(2)의 일단에 고정된 지지 브라켓(7)에 설치되어 있는 서보 모터로 된 제 1 모터(8)가 정방향 또는 역 방향으로 회전함에 따라 모터 풀리(10)가 정방향 또는 역방향으로 회전함과 동시에 그 회전력이 벨트(11)를 통해 제 1 이송축(4)의 일단에 설치된 제 1 풀리(6)가 회전하므로 상기 제 1 이송축(4)의 정방향 또는 역방향으로의 회전에 의해 트랜스퍼(3)가 제 1 이송축(4)을 따라 수평 방향으로 이동할수 있게 된다.Then, a transfer 3 installed on the first transfer shaft 4 installed in the cabinet 2 behind the tray magazine 1 so as to be movable rearward is attached to the support bracket 7 fixed to one end of the cabinet 2. As the first motor 8 of the installed servo motor rotates in the forward or reverse direction, the motor pulley 10 rotates in the forward or reverse direction and its rotational force is transmitted through the belt 11 to the first feed shaft ( Since the first pulley 6 installed at one end of 4) rotates, the transfer 3 moves horizontally along the first feed shaft 4 by the rotation of the first feed shaft 4 in the forward or reverse direction. You can do it.
따라서, 트레이 스톡커(19)상에 적재된 트레이(20)를 셋팅 위치로 공급함과 동시에 검사가 완료되어 등급별로 분류된 반도체 디바이스가 담겨 있는 트레이(20)를 소정의 위치로 용이하게 이송시킬수 있게 된다.Therefore, the tray 20 loaded on the tray stocker 19 can be supplied to the setting position, and at the same time, the inspection is completed and the tray 20 containing the semiconductor devices classified by grades can be easily transferred to a predetermined position. do.
이상에서와 같이, 본 고안은 반도체 디바이스의 최종 검사를 하는 장비인 핸들러 시스템에 설치된 트레이 스톡커상에 적재되는 트레이를 파지하여 수평 및 수직 방향으로 이송시키기 위한 트랜스퍼 장치의 구조를 단순화시킬수 있으므로써 핸들러 시스템의 제작 비용을 절감시킬수 있으며, 설치 공간을 축소시킬수 있어서 크기를 콤팩트화할수 있으므로 인해 장비의 효율성 및 신뢰성을 대폭 향상시킨 매우 유용한 고안이다.As described above, the present invention can simplify the structure of the transfer device for holding the tray loaded on the tray stocker installed in the handler system which is the equipment for the final inspection of the semiconductor device and transferring it in the horizontal and vertical directions. It is possible to reduce the manufacturing cost of the product and to reduce the installation space, thus making it compact in size.
본 고안은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구 범위에서 청구하는 본 고안의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구 범위 기재의 범위내에 있게 된다.The present invention is not limited to the above-described specific preferred embodiment, and any person having ordinary skill in the art to which the present invention pertains may make various modifications without departing from the gist of the present invention claimed in the claims. Of course, such changes will fall within the scope of the claims.
Claims (4)
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019970006913U KR200161973Y1 (en) | 1997-04-04 | 1997-04-04 | Transfer device of a handler system |
| CN98106213A CN1195602A (en) | 1997-04-04 | 1998-04-03 | Transfer device and method in handler system |
| JP10092064A JPH10339761A (en) | 1997-04-04 | 1998-04-03 | Transfer device for transferring tray put on magazine of handler system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019970006913U KR200161973Y1 (en) | 1997-04-04 | 1997-04-04 | Transfer device of a handler system |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19980062567U KR19980062567U (en) | 1998-11-16 |
| KR200161973Y1 true KR200161973Y1 (en) | 1999-12-01 |
Family
ID=19498558
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019970006913U KR200161973Y1 (en) | 1997-04-04 | 1997-04-04 | Transfer device of a handler system |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10339761A (en) |
| KR (1) | KR200161973Y1 (en) |
| CN (1) | CN1195602A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100908496B1 (en) | 2007-04-02 | 2009-08-04 | 이건소 | Vacuum adsorption picker apparatus of handler |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030090949A (en) * | 2002-05-24 | 2003-12-01 | 아이램테크(주) | Wafer cassette linear motion system used in semiconductor manufacturing processes |
| KR100467473B1 (en) * | 2002-11-19 | 2005-01-24 | 세크론 주식회사 | Apparatus by moving pitch of the tray transfer |
| KR100865795B1 (en) * | 2008-03-26 | 2008-10-29 | (주)우신시스템 | Welding apparatus provided with carrier being able moving independently |
| CN101383313B (en) * | 2008-10-24 | 2010-06-16 | 陈百捷 | Manipulator for fetching and delivering silicon chip |
| CN103132055B (en) * | 2011-12-01 | 2015-01-14 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | Substrate material loading assembly, substrate loading and unloading device and plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) device |
| FR2984790B1 (en) * | 2011-12-22 | 2014-02-21 | Areva Nc | DEVICE FOR HANDLING OBJECTS IN GLOVE BOXES |
| CN102658543A (en) * | 2012-04-27 | 2012-09-12 | 北京中拓机械有限责任公司 | Mechanical arm with detector |
| CN104554843B (en) * | 2014-12-31 | 2018-04-06 | 苏州超群智能科技有限公司 | A kind of automatic disk loading system with comprehensive transfer robot |
| CN104692138A (en) * | 2015-01-23 | 2015-06-10 | 广东恒鑫智能装备股份有限公司 | Stacking machine |
| CN107934523B (en) * | 2017-11-18 | 2020-08-11 | 太原理工大学 | Rod-shaped workpiece taking and placing device and storing and taking box |
| CN107954138B (en) * | 2017-11-18 | 2020-06-02 | 太原理工大学 | Tubular workpiece taking and placing device and storing and taking box |
| KR102236104B1 (en) * | 2019-04-15 | 2021-04-05 | 주식회사 아테코 | Test tray feeder |
| KR20200121187A (en) | 2019-04-15 | 2020-10-23 | 주식회사 아테코 | Stacker for electronic device test handler and electronic device test handler comprising that |
-
1997
- 1997-04-04 KR KR2019970006913U patent/KR200161973Y1/en not_active IP Right Cessation
-
1998
- 1998-04-03 CN CN98106213A patent/CN1195602A/en active Pending
- 1998-04-03 JP JP10092064A patent/JPH10339761A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100908496B1 (en) | 2007-04-02 | 2009-08-04 | 이건소 | Vacuum adsorption picker apparatus of handler |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10339761A (en) | 1998-12-22 |
| KR19980062567U (en) | 1998-11-16 |
| CN1195602A (en) | 1998-10-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR200161973Y1 (en) | Transfer device of a handler system | |
| EP0108790B1 (en) | Integrated circuit test apparatus | |
| US6239396B1 (en) | Semiconductor device handling and sorting apparatus for a semiconductor burn-in test process | |
| US4598459A (en) | Installation for manual assemblying of components on a printed circuit board | |
| KR20040050903A (en) | Stackable semiconductor test system and method for operating same | |
| KR20080083069A (en) | Electronic component testing apparatus | |
| US6724213B2 (en) | Test board for testing semiconductor device | |
| KR102401058B1 (en) | Sorting Apparatus for Semiconductor Device | |
| FI117809B (en) | Testing system in PCB manufacturing line for automatic testing of PCBs | |
| KR101335916B1 (en) | Apparatus for testing an object | |
| KR100401014B1 (en) | Test Handler | |
| KR100296245B1 (en) | Handler system for automated testing of semiconductor devices | |
| KR100428030B1 (en) | Handler for Testing Semiconductor Devices | |
| KR200161975Y1 (en) | Device for driving pick and place of handler system for testing semiconductor device | |
| US5406197A (en) | Apparatus for controlling test inputs of circuits on an electronic module | |
| WO2019245354A1 (en) | Device sorting apparatus | |
| KR100260121B1 (en) | Autohandler having a stocker capable of sorting again | |
| JPH0712948Y2 (en) | Parts testing equipment | |
| KR100399553B1 (en) | PC base test handler | |
| US6184697B1 (en) | Semiconductor integrated circuit testing apparatus with reduced installation area | |
| KR20060019280A (en) | Handler for testing module ic | |
| KR200161977Y1 (en) | Semiconductor transfer device of a handler system | |
| JPH07198780A (en) | Test handler | |
| Chall | 4955131 Method of building a variety of complex high performance IC devices | |
| Funakoshi | 4954772 Test method of an electrostatic breakdown of a semiconductor device and an apparatus therefor |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| REGI | Registration of establishment | ||
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |