KR200149838Y1 - 정렬마크 탐지장치 - Google Patents
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Abstract
본 고안은 노광공정중 선정렬(pre-alignment) 작업시에 노광용 광원을 사용하는 정렬마크 탐지장치에 관한 것으로, 웨이퍼 정렬마크를 탐지하는 반도체 장비의 정렬마크 탐지장치에 있어서, 노광용 광원램프로부터 방출된 광중 노광파장영역만을 제거하는 노광용파장 제거필터와, 상기 노광용파장 제거필터를 통과하여 웨이퍼상에 입사되고 반사된 광을 받아들여 상작업에 의해 웨이퍼상의 정렬마크를 탐지하는 영상장치를 구비하여 이루어지며, 탐지용 광원을 별도로 사용하지 않고 노광용 광원을 사용하기 때문에 탐지용 광원을 준비하기 위한 장비의 설치나 후추 작업이 생략된다. 따라서 간소화된 노광장치를 마련할 수 있다.
Description
제1도는 종래의 기술에 따른 정렬마크 탐지를 설명하기 위한 도면.
제2도는 본 고안에 따른 정렬마크 탐지를 설명하기 위한 도면.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 탐지용 광원램프 20 : 노광용 광원램프
12, 22 : 광섬유 13, 23 : 렌즈
14, 24 : 웨이퍼 15, 25 : 웨이퍼 스테이지
16, 26 : 씨씨디 카메라 27 : 노광파장 제거용필터
11-1, 11-2, 21-1, 21-2, 21-3 : 반사판
본 고안은 노광장치에 관한 것으로 특히, 하나의 광원으로 노광용 광과 웨이퍼 정렬 탐지용 광을 형성하여 노광작업과 탐지작업을 진행하는 노광장치에 관한 것이다.
선정렬작업은 웨이퍼와 마스크의 패턴을 맞추는 정렬작업 전에 웨이퍼를 소정의 위치로 이동시키기 위해 실시되는 작업이다. 노광장치가 웨이퍼의 위치를 조절하기 위해서는 기준위치를 웨이퍼로부터 얻고, 이 정보를 분석하여 웨이퍼를 이동시켜 위치를 정한다. 즉, 웨이퍼의 기준위치 정보를 웨이퍼의 칩분리영역에 형성된 정렬마크에 신호를 보내 반사되는 신호를 얻어낸후, 그 정보를 분석하여 웨이퍼의 위치정렬을 하는 것이다.
제1도는 종래의 기술에 따른 노광장치를 개략적으로 나타낸 것으로, 도면을 참조로 종래의 장치를 간단히 설명하면 다음과 같다.
웨이퍼상의 정렬마크에 탐지용 광원인 할로겐 광을 입사시키는 할로겐 광원램프(10)와, 웨이퍼상의 정렬마크에서 반사된 광을 받아들여 상작업을 하여 웨이퍼상의 정렬마크를 탐지하는 씨씨디 카메라(CCD camera)(16)를 구비하고 있다. 광섬유(12)와 반사판(11-1)(11-2)은 광이 소정의 경로를 가질 수 있도록 광의 방향을 조절한다.
상술한 바와 같이 구성된 종래의 정렬마크 탐지장치의 선정렬작업을 설명하면 다음과 같다.
할로겐 광원램프(10)에서 방출된 광은 소정의 위치에 설치된 반사판(11-1)과 광섬유(12)에 의해 렌즈(13)를 통과한후, 스테이지(15)상에 안착된 웨이퍼(14)상에 입사된다. 입사된 광은 정렬마크를 포함하는 웨이퍼(14)상에서 반사되어 다시 렌즈(13)를 통과한후, 반사판(11-2)에 의해 씨씨디 카메라(16)로 인입된다. 이때 씨씨디 카메라(16)에서는 웨이퍼 반사광을 이용한 상작업을 통하여 정렬마크를 탐지하고, 신호를 얻어낸다. 이후 씨씨디 카메라(16)에서 얻어낸 신호에 의해 자동정렬장치(도면에 표시되어 있지 않음)를 사용하여 스테이지(15)를 이동시켜 웨이퍼(14)를 기준위치로 위치시킨다.
이와 같이 선정렬작업에 있어서 웨이퍼와 마스크의 패턴을 맞추는 정렬작업을 진행하고, 노광용 광원램프에서 방출되는 광으로 노광공정을 진행한다.
그러나 종래의 노광장치의 정렬마크 탐지장치는 노광용 광원과는 별도로 정렬마크 탐지용 광원인 할로겐 램프를 설치하여 사용하기 때문에 노광장치의 복잡화의 거대화가 발생하였다. 또한, 할로겐 램프를 교환할 경우 많은 비용과 시간이 소모되었다. 그리고 노광용 광원도 같이 사용하기 때문에 두 광원 상호간에 광간섭을 일으켜 웨이퍼상의 정렬마크를 제대로 탐지할 수 없었다.
본 고안은 이러한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 노광용 광원을 노광용 광으로 뿐만 아니라 웨이퍼 정렬을 위하여 웨이퍼의 정렬마크를 탐지함으로써 간소화된 노광장치를 제공하려 하는 것이다.
이를 위하여 본 고안은 노광작업 전에 웨이퍼를 정렬하기 위한 선정렬 작업을 진행하는 노광장치에 있어서, 노광작업시에 노광작업에 적절한 광을 공급하고, 선정렬 작업시에도 광을 공급하는 노광용 광원램프와, 선정렬 작업시에 상기 노광용 광원램프로부터 나오는 광 중 노광파장영역만을 제거하는 노광파장영역 제거필터와, 상기 노광파장영역 제거필터를 통과하여 웨이퍼상에 입사되고 반사된 광을 받아들여 상작업에 의해 웨이퍼의 정렬상태를 알려주는 신호를 받고 노광작업을 진행할 수 있도록 상기 웨이퍼를 정렬하는 자동정렬장치와, 선정렬 작업시에는 상기 노광용 광원램프로부터 나오는 광이 상기 노광파장영역 제거필터를 통과하여 웨이퍼를 조사할 수 있도록 광로를 조절하고, 노광작업시에는 상기 노광용 광원램프로부터 나오는 광이 상기 노광파장영역 제거필터를 통과하지 않고 웨이퍼를 조사할 수 있도록 광로를 조절하는 광시스템을 구비하는 노광장치를 제공한다.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 고안을 자세히 설명하면 다음과 같다.
제2도는 본 고안의 실시예를 설명하기 위한 도면으로, 본 고안에 따른 노광장치의 정렬마크 탐지장치를 개략적으로 나타낸 것이다.
본 고안에 따른 정렬마크 탐지장치에는 노광용 광원램프(20)로부터 웨이퍼(24)상으로의 입사경로에 노광용 광원램프(20)에서 방출된 광중 노광파장영역만을 제거하는 노광용파장 제거필터(27)가 설치되어 있다. 웨이퍼(24)상으로부터의 반사경로에는 반사광을 받아들이는 영상장치인 씨씨디 카메라(26)에 인입될 수 있도록 광로를 조절하는 반사판(21-1)(21-2)(21-3)과 광섬유(22)가 소정의 위치에 설치되어 있다.
이와 같이 설명된 본 고안에 따른 정렬마크 탐지장치의 선정렬작업을 설명하면 다음과 같다.
노광용 광원램프(20)서 방출된 광은 소정의 위치에 설치된 반사판(21-1)에 의해 노광용파장 제거필터(27)를 통과한다. 노광용파장 제거필터(27)는 감광막이 형성된 웨이퍼(24)상에 감광막에 반응하는 파장을 가지는 광이 입사되는 것을 막는 기능을 한다. 노광용파장 제거필터(27)를 통과한 광은 반사판(21-2)에 의해 광섬유(22)와 렌즈(23)를 통과한후, 웨이퍼(24)상에 입사된다. 입사된 광은 웨이퍼(24)상에 반사되어 다시 렌즈(23)를 통과한후, 씨씨디 카메라(26)로 인입된다. 이때 씨씨디 카메라(26)에서는 웨이퍼 반사광을 사용한 상작업을 통하여 정렬마크를 탐지하고, 신호를 얻어낸다. 이후 씨씨디 카메라(26)에서 얻어낸 신호에 의해 자동정렬장치(도면에 표시되어 있지 않음)를 사용하여 스테이지(25)를 이동시켜 웨이퍼(24)를 기준위치로 위치시킨다.
이와 같이 선정렬작업을 실시하고, 웨이퍼와 마스크의 패턴을 맞추는 정렬작업을 진행한 후, 노광용 광원램프에서 방출되는 광을 노광작업에 사용하여 노광공정을 진행한다.
상술한 바와 같이 본 고안은 탐지용 광원을 별도로 사용하지 않고 노광용 광원을 사용하기 때문에 탐지용 광원을 준비하기 위한 장비의 설치나 추후 작업이 생략된다. 따라서 간고화된 노광장치를 마련할 수 있다.
Claims (3)
- 노광작업 전에 웨이퍼를 정렬하기 위한 선정렬 작업을 진행하는 노광장치에 있어서, 노광작업시 노광작업에 적절한 광을 공급하고, 선정렬 작업시에도 광을 공급하는 노광용 광원램프와, 선정렬 작업시에 상기 노광용 광원램프로부터 나오는 광 중 노광파장영역만을 제거하는 노광파장영역 제거필터와, 상기 노광파장영역 제거필터를 통과하여 웨이퍼상에 입사되고 반사된 광을 받아들여 상작업에 의해 웨이퍼의 정렬상태를 탐지하는 영상장치와, 상기 영상장치를 통하여 얻은 웨이퍼의 정렬상태를 알려주는 신호를 받고 노광작업을 진행할 수 있도록 상기 웨이퍼를 정렬하는 자동정렬장치와, 선정렬 작업시에는 상기 노광용 광원램프로부터 나오는 광이 상기 노광파장영역 제거필터를 통과하여 웨이퍼를 조사할 수 있도록 광로를 조절하고, 노광작업시에는 상기 노광용 광원램프로부터 나오는 광이 상기 노광파장영역 제거필터를 통과하지 않고 웨이퍼를 조사할 수 있도록 광로를 조절하는 광시스템을 구비하는 노광장치.
- 제1항에 있어서, 상기 노광용 광원램프로부터 방출된 광은 선정렬 작업시에는 상기 웨이퍼의 정렬마크를 탐지하는 노광장치.
- 제1항에 있어서, 상기 광시스템은 적정수의 반사판을 구비하는 노광장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019960008002U KR200149838Y1 (ko) | 1996-04-15 | 1996-04-15 | 정렬마크 탐지장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019960008002U KR200149838Y1 (ko) | 1996-04-15 | 1996-04-15 | 정렬마크 탐지장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970059857U KR970059857U (ko) | 1997-11-10 |
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Family
ID=19453769
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR2019960008002U KR200149838Y1 (ko) | 1996-04-15 | 1996-04-15 | 정렬마크 탐지장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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1996
- 1996-04-15 KR KR2019960008002U patent/KR200149838Y1/ko not_active IP Right Cessation
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| KR970059857U (ko) | 1997-11-10 |
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