KR200148420Y1 - 리프터 - Google Patents

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KR200148420Y1
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구자홍
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    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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Abstract

본 고안은 리프터에 일정한 충격 이상의 힘에 대해 볼 스크류가 수직 방향으로 이동할 수 있도록 하고, 그 이동 상태를 파악하는 감지 수단과, 리프터를 정지시키는 스위칭 수단을 설치하여 리프터에서 충돌이 발생되면 리프터 작동을 중지시킬 수 있도록 함으로써 원활한 작업의 진행으로 작업성이 향상되고 장비의 파손을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Description

리프터
제1도는 종래의 매거진 로딩/언로딩 장치를 도시한 정면도.
제2도는 본 고안에 따른 로딩/언로딩 장치의 리프터를 도시한 정면도.
제3도는 제2도의 감지 수단을 도시한 부분 상세도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 플로팅판 2 : 센서
3 : 압축 스프링 4 : 조정 스크류
본 고안은 리프터에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 제조 공정에 사용되는 버언인 보드(Burn in board)가 적재된 매거진을 로딩/언로딩 하는 매거진 로딩 언로딩 장치의 리프터에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조 공정 중 후공정부에서는 제조된 반도체의 기능을 검사하기 위하여 버언인 보드에 반도체를 장착하여 버언인 테스트를 하고, 상기 버언인 테스트가 끝난 후 반도체를 튜브나 트레이에 옮겨 담는 작업이 있다.
상기와 같이 버언인 보드에 반도체를 장착하거나 테스트가 끝난 버언인 보드에서 반도체를 취출해내기 위해서는 다수의 버언인 보드를 매거 진에 적재하여 운반을 하게 되며, 상기와 같은 운반 도중 매거진 로딩/ 언로딩 장치를 이용하여 매거진을 취급하게 된다.
상기 매거진 로딩/언로딩 장치는 제1도에 도시된 바와 같이 베이스(51)와, 매거진(50)을 공급 또는 배출하기 위한 컨베이어(,52)와, 매거진(50)을 적당한 높이로 이송하는 리프터(53)로 이루어져 있으며, 상기 리프터(53)는 모터(54)에 의해 타이밍 벨트(55)로 동력을 전달받는 볼 스크류(56)와, 상기 볼 스크류(56)를 타고 슬라이딩하는 슬라이더(57)로 구성되어 있다. 상기한 바와 같이 구성된 매거진 로딩/언로딩 장치는 상기 컨베이어(52)로 공급되는 매거진(50)을 상기 슬라이더(57)의 위에 안착시킨 후, 슬라이더(57)를 상승 또는 하강시켜 위치를 변경하여 다른 컨베이어(52)로 매거진(57)을 배출시키게 된다.
여기서, 상기와 같이 구성되어 동작하는 매거진 로딩/언로딩 장치는 상기 리프터(53)의 동작에 있어서, 상기 슬라이더(57)에 놓인 매거진(50)에는 많은 버언인 보드가 적재되어 있으므로 그 적재 상태가 불량한 버언인 보드가 있는 경우에는 수직 상승 및 하강하면서 주위의 구조물에 부딪히게 된다.
이때, 상기와 같이 충돌이 발생되면 즉시 리프터(53)의 동작이 정지되고 필요한 사후 조치가 요구되나 현재의 상태로는 상기와 같은 충돌이 발생해도 그 상황을 파악할 수 있는 별도의 장치가 없어 적재된 버언인 보드는 물론 리프터를 포함한 매거진 로딩/언로딩 장치의 고장을 유발하게 되는 문제점이 있다.
따라서, 본 고안은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 상기 리프터가 항상 원활한 동작을 하는지를 감지하여 충돌이 발생되면 즉시 리프터를 정지시키고 필요한 조치를 취할 수 있도록 한 리프터를 제공함에 그 목적이 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 고안은 베이스와, 상기 베이스에 연결되어 모터에 의해 회전되는 볼 스크류와, 상기 볼 스크류에 의해 수직 이동하는 슬라이더로 구성된 리프터에 있어서, 상기 볼 스크류의 수직 이동 상태를 감지하는 감지 수단과, 상기 감지 수단에 의해 감지된 신호에 따라 리프터의 작동을 중지하는 스위칭 수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 일 실시예를 설명하면 다음과 같다.
제2도는 본 고안에 따른 리프터를 도시한 것으로서, 베이스(51)와, 상기 베이스(51)에 연결되어 모터(54)에 의해 회전되는 볼 스크류(56)와, 상기 볼 스크류(56)에 의해 수직 이동하는 슬라이더(57)로 구성된 리프터 에, 상기 볼 스크류(56)의 수직 이동 상태를 감지하는 감지 수단과, 상기 감지 수단에 의해 감지된 신호에 따라 리프터의 작동을 중지하는 스위칭 수단이 포함되어 구성되어 있다.
상기 감지 수단은 제3도에 도시된 바와 같이 볼 스크류(56)에 베어링으로 결합된 플로팅 판(1)과, 상기 플로팅 판(1)과 베이스(51)를 연결하는 탄성 부재와, 상기 플로팅 판(1)의 이동 상태를 파악하기 위한 센서(2)로 구성되어 있으며, 상기 탄성 부재는 압축 스프링(3)으로 하여 플로팅 판(1)을 하축에서 지지하여 베이스(51)에 연결하며, 상기 압축 스프링(3)의 스프링력을 조절할 수 있는 조정 스크류(4)를 설치한다.
물론, 상기 플로팅 판(1)은 수직 방향의 이동이 안정적으로 이루어질 수 있도륵 LM가이드로 베이스(51)와 연결되어 있다.
또한, 상기 스위칭 수단은 상기 센서(2)의 신호를 받아 볼 스크류(56)를 구동하는 모터(54)의 전원을 차단하는 차단 스위치(5)로 구성한다.
상기한 바와 같이 구성된 본 고안의 작용 및 효과를 설명하면 다음과 같다.
상기 슬라이더(57)에 매거진(50)이 얹혀진 상태로 수직 상승하는 도중 에 매거진(50)에 적층되어 적재된 버언인 보드가 옆으로 돌출되어 임의의 고정된 구조물에 걸리게 되면, 상기 슬라이더(57)는 그 힘을 전달 받게 되고, 그 힘은 다시 볼 스크류(56)를 통해 플로팅 판(1)에 전달된다.
따라서, 플로팅 판(1)은 상기 압축 스프링(3)을 압축하면서 하강하게 되며, 이것은 상기 플로팅 판(1)과 베이스(51) 사이에 설치된 센서(2)에 의해 감지되어 즉시 스위칭 수단인 차단 스위치(5)를 동작시켜 리프터의 모터(54)에 전달되는 동력을 차단하게 된다.
이때, 상기 볼 스크류(56)에 모터(54)의 동력을 전달하는 타이밍 벨트(55)는 볼 스크류(56)의 이동량이 크지 않으므로 계속적으로 모터(54)와 볼 스크류(56)를 연결할 수 있다.
상기와 같이 리프터가 조기에 정지되면 작업자가 뒤처리를 하고 다시 리프터를 가동시킴으로써 리프터와 주변 장치들을 안전하게 유지하면서 가동하게 되는 것이다.
물론, 상기와 같이 리프터의 볼 스크류(56) 하단에 설치된 감지 수단은 플로팅 판(1)의 상승 및 하강을 동시에 검출할 수 있도록 하여 상승시에 발생하는 충돌뿐만 아니라 하강 시에 발생하는 충들도 감지할 수 있으며, 감지 수단의 위치는 볼 스크류(56)의 상측에 설치할 수도 있다.
이상과 같이 본 고안은 리프터에 일정한 충격 이상의 힘에 대해 볼 스크류가 수직 방향으로 이동할 수 있도록 하고, 그 이동 상태를 파악 하는 감지 수단과, 리프터를 정지시키는 스위칭 수단을 설치하여 리프터에서 충돌이 발생되면 리프터 작동을 중지시킬 수 있도록 함으로써 원활한 작업의 진행으로 작업성이 향상되고 장비의 파손을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (2)

  1. 베이스와, 상기 베이스에 연결되어 모터에 의해 회전되는 볼 스크류와, 상기 볼 스크류에 의해 수직 이동하는 슬라이더로 구성된 리프터에 있어서, 상기 볼 스크류의 수직 이동 상태를 감지하는 감지 수단과, 상기 감지 수단에 의해 감지된 신호에 따라 리프터의 작동을 중지하는 스위칭 수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 리프터.
  2. 제1항에 있어서, 상기 감지 수단은 볼 스크류에 베어링으로 결합된 플로팅 판과, 상기 플로팅 판과 베이스를 연결하는 탄성 부재와, 상기 플로팅 판의 이동 상태를 파악하기 위한 센서로 구성된 것을 특징으로 하는 리프터.
KR2019960009671U 1996-04-29 1996-04-29 리프터 KR200148420Y1 (ko)

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