KR20010114168A - 초순수 용제 퍼지용 다중 함유물 컨테이너 어셈블리 - Google Patents
초순수 용제 퍼지용 다중 함유물 컨테이너 어셈블리 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 선적의 용이성, 최종 사용자의 최소 상호 작용, 폐기해야 하는 잔류 용제를 사용하지 않고 용제 퍼지 조작에 충분한 용제를 허용하는 단일 "어셈블리"로서, 일체식 용제 흡수 모듈과 함께 용제 퍼지 재충전 시스템에서 공정 화학 물질 및 공정 화학 물질 모두를 세정하기 위한 용제를 이송하는 방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명은 구매자가 용제를 취급하지 않아도 되며, 잔류 용제를 동일 패키지에서 단일 부재/1 단계로 복귀시킬 수 있기 때문에 구매자가 용제 폐기 시설을 마련할 필요가 없다.
Description
본 발명은 전자 산업 및 고 순도 화학 물질 이송이 필요한 기타 산업에서의 공정 화학 물질 이송 분야에 관한 것이다. 보다 상세하게 말하면, 본 발명은 특히,공정 화학 물질 이송 라인에서 공정 화학 물질 또는 공정 화학 물질 컨테이너를 교체하는 동안에 공정 화학 물질 이송 라인, 컨테이너 및 관련 장치를 세정하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다.
공정 화학 물질의 배출 및 가스 퍼지는 이송 라인에서 잔류 화학 물질을 제거하는 데 사용되어 왔다. 진공 인발 및 불활성 가스 퍼지는 고 휘발성 화학 물질을 신속하게 제거하는 데 성공적이었지만, 저 휘발성 화학 물질에 대해서는 효과적이지 않았다. 고 독성 물질을 추출할 경우에는 안전성이 문제가 되었다.
잔류 화학 물질을 제거하는 데 용제를 사용하는 것은 새로운 기술이 아니다. 본원에서 특히 참고 인용하는 여러 특허들은 용제를 사용하는 세정 시스템을 개발하여 왔다.
미국 특허 제5,045,117호는 용제 및 진공 조작으로 프린트 배선 어셈블리를 세정하기 위한 방법 및 장치를 기술하였다.
미국 특허 제5,115,576호는 이소프로필 알코올 용제를 사용하여 반도체 웨이퍼를 세정하는 장치 및 방법을 개시하였다.
용제 세정에 관한 다른 특허는 다음과 같다: 미국 특허 제4,357,175호, 미국 특허 제4,832,753호, 미국 특허 제4,865,061호, 미국 특허 제4,871,416호, 미국 특허 제5,051,135호, 미국 특허 제5,106,404호, 미국 특허 제5,108,582호, 미국 특허 제5,240,507호, 미국 특허 제5,304,253호, 미국 특허 제5,339,844호, 미국 특허 제5,425,183호, 미국 특허 제5,469,876호, 미국 특허 제5,509,431호, 미국 특허 제5,538,025호, 미국 특허 제5,562,883호 및 일본 제8-115886호.
다른 여러 선행 기술의 미국 특허도 본 발명과 동일한 기술 분야에 포함되며, 본원에서 참고 인용한다:
미국 특허 제5,472,119호(1995년 12월 5일) - 다중 컨테이너로부터 유체를 분배하는 어셈블리;
미국 특허 제5,398,846호(1995년 3월 21일) - 다중 유체의 동시 분배용 어셈블리;
미국 특허 제5,297,767호(1994년 3월 29일) - 다중 컨테이너 홀더;
미국 특허 제4,570,799호(1986년 2월 18일) - 다중 컨테이너 패키지;
미국 특허 제3,958,720호(1976년 5월 25일) - 조절 가능한 다중 컨테이너 분배 장치;
미국 특허 제5,557,381호(1996년 9월 17일) - 다중 컨테이너를 갖춘 전개 공급 유니트;
미국 특허 제5,573,132호(1996년 11월 12일) - 분배 컨테이너;
미국 특허 제5,409,141호(1995년 4월 25일) - 2 성분 혼합 및 이송 시스템;
미국 특허 제5,565,070호(1996년 10월 15일) - 용제 증기 흡입 방법 및 용제 회수 장치;
미국 특허 제4,537,660호(1985년 8월 27일) - 증기 발생 및 회수 장치; 및
미국 특허 제5,051,135호(1991년 9월 24일) - 용제 증기의 환경 방출을 방지하면서 용제를 사용하는 세정 방법.
내부 배관 라인의 용제 퍼지를 수반하는 현 시스템은 별도의 용제 앰풀을 필요로 한다. 이것은 현재의 캐비넷 내부에서 공간을 차지하거나, 관련된 배관, 퍼지 및 제어 양태를 갖춘 별도의 캐비넷을 필요로 한다. 또한, 이들은 생산자의 위치로 반송시키기 위해 사용된 용제를 포획하기 위한 용제 포획 시스템의 사용을 필요로 하거나, 용제 폐기물로서 취급해야 한다.
본 발명은 선적의 용이성, 최종 사용자의 최소 상호 작용, 폐기해야 하는 잔류 용제를 사용하지 않는 용제 퍼지 조작에 충분한 용제를 허용하는 단일 "어셈블리"로서, 일체식 용제 포획 앰풀과 함께 용제 퍼지 재충전 시스템에서 공정 화학 물질 및 공정 화학 물질을 세정하기 위한 용제를 이송하는 방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명은 구매자가 용제를 취급하지 않아도 되며, 잔류 용제를 동일 패키지에서 단일 부재/1 단계로 복귀시킬 수 있기 때문에 구매자가 용제 폐기 시설을 마련할 필요가 없다.
도 1은 본 발명의 제1 구체예의 개략 단면도이고,
도 2는 본 발명의 구체예의 개략 단면도이며,
도 3은 본 발명의 구체예의 개략 부분 단면도이고,
도 4는 본 발명의 구체예의 개략 단면도이며,
도 5는 원료 화학 물질 컨테이너 상의 용제 앰풀을 파지하기 위한 두 개의 거울상 교합 브라켓 섹션의 투시도이고,
도 6A 및 6B는 본 발명의 용제 앰풀의 구체예의 평면도 및 단면도이며,
도 7은 본 발명의 바람직한 구체예의 원료 화학 물질 컨테이너, 용제 지지 브라켓, 용제 앰풀 및 용제 포획 앰풀의 투시도이고,
도 8은 본 발명의 구체예를 위한 다기관의 개략도이다.
본 발명은 통상적으로 스테인레스 강 또는, 해당 공정 화학 물질 또는 용제와 반응성이 없는 다른 적당한 재료로 이루어진 다수의 용기, 적어도 두 개의 용기를 포함하나, 이에 한정된 것은 아니다. 이들 컨테이너의 구성 재료로는 각종 강, 316 스테인레스 강, 니켈, 하스텔로이, 알루미늄, 크롬 또는 기타 금속; 각종 플라스틱 및 중합체, 예컨대 테플론, 폴리프로필렌, 폴리에틸렌 및 유사한 화합물; 세라믹 재료, 예컨대 실리콘 카바이드, 알루미나 및 유사 화합물; 및 유리 컨테이너, 예컨대 보로실리케이트 유리, 융합 석영 및 유사 화합물이 있으며, 이들로 국한되는 것은 아니다.
원료 화학 물질 및 용제 용기의 어느 한쪽 또는 양쪽은 라이너, 내부 도금 및 기타 구성 재료를 포함할 수 있다. 용제 및 원료 화학 물질 컨테이너 용기는 동일 재료로 제조할 필요는 없는데, 예를 들면 원료 화학 물질 컨테이너는 강으로부터 제조될 수 있는 반면, 용제 앰풀은 플라스틱으로 제조될 수 있다.
또한, 용제 컨테이너는 단일 출구 또는 다수의 출구와 유체 연통하는 다수의 챔버를 포함함으로써 용제 세정에 제공되는 용제를 1 회 이상 사용할 수 있고, 대체 화학물질에 사용할 수 있으며, 예를 들면 한 챔버는 세척 성분을 함유하고, 다른 챔버는 헹굼 성분을 함유할 수 있다. 마지막으로, 하나 이상의 챔버는 용제 흡수 매질을 함유할 수 있는데, 한 응용 기술로서 보다 용이한 취급을 위해 휘발성 유기 화학 물질(VOC) 잔류물을 고형 폐기물로 전환시키는 것이 있다.
주 원료 화학 물질 컨테이너는 통상적으로 공정 화학 물질로 충전된 밀봉 저장 용적을 포함하는 대형(1 리터 내지 200 리터 이상) 컨테이너, 원료 화학 물질 컨테이너의 저부 근방으로 연장하여 영구적으로(용접) 또는 착탈식으로(볼트 조립) 부착된 금속 또는 비금속 딥튜브, 원료 화학 물질 컨테이너 내 저 액위를 표시할 수 있도록 통상적으로 딥튜브의 저부 바로 위의 위치에 배치된 내부 또는 외부 액위 센서를 포함한다. 이 액위 센서는 금속 또는 비금속 부유식 센서; 불연속식 또는 연속식 초음파 액위 센서; 연속식 또는 불연속식 열 센서; 전기 용량 및/또는 전도도계 액위 센서; RF계 액위 센서; 및 기타 유사한 내부 액위 센서; 또는 컨테이너 상에 또는 화학 물질 이송 라인 주위에 배치된 외부 센서, 예컨대 스케일, 하중계, 외부 초음파 또는 열 센서; 및 저 액위를 검출하기 위한 기타 유사 수단 중 어느 것이나 포함할 수 있다.
저 액위 검출은 용제 퍼지 공정이 요구되는 신호를 보내기 위해 용제 퍼지 제어기 및/또는 작동자에게 전송된다. 또한, 원료 화학 물질 컨테이너는 딥튜브에 부착된 하나 이상의 출구를 최소 한도로 갖춘 다수의 밸브를 포함하며, 대부분의 경우에서 불활성 푸시 가스를 위한 제2 밸브 및/또는 공정 화학 물질의 개별 공급원으로부터 공정 화학 물질을 이송하기 위한 제3 밸브를 포함한다. 각각의 이들 밸브는 영구적으로(용접) 또는 탈착식으로(예를 들면, VCR 커넥션에 의한 볼트 조립) 일체 연결될 수 있다. 밸브는 수동식일 수도 있지만, 공압식, 전자식, 수압식 또는 솔레노이드 작동 밸브를 포함하는 자동식인 것이 바람직하다.
또한, 원료 화학 물질 컨테이너는 지지 구조체 상에 배치되어 선적 중에 공정 밸브를 보호하는 데 사용되는 차임 링을 포함한다.
원료 화학 물질 컨테이너의 다른 특성은 원료 화학 물질 컨테이너에 용접되거나 볼트 조립된 개별 앰풀과는 대조적으로, 원료 화학 물질 컨테이너 내에 완전히 장착되거나, 아니면 일체식으로 장착된 하나 이상의 보다 작은, 또는 2차 "용제" 앰풀을 함께 함유할 수도 있다는 점이다.
2차 "용제" 앰풀은 통상적으로 공정 화학 물질에 대한 용해도의 성질에 따라 선택되는 용제로 충전된 밀봉 저장 용적을 포함하는 소형(50 밀리리터 내지 1 리터) 컨테이너, 용제 앰풀의 저부 근방으로 연장하여 영구적으로(용접) 또는 착탈식으로(볼트 조립) 부착된 금속 또는 비금속 딥튜브를 포함한다.
외부 또는 내부 액위 센서는 원료 화학 물질 컨테이너에 필요한 요건을 덜 갖추고 있더라도, 본원 발명에서 임의로 사용할 수 있다. 이 액위 센서의 목적은 용제 앰풀이 비어있는 상태를 표시하여 더 이상의 용제 세척 시도를 중지하는 것이다. 이 액위 센서는 금속 또는 비금속 부유식 센서; 불연속식 또는 연속식 초음파 액위 센서; 연속식 또는 불연속식 열 센서; 전기 용량 및/또는 전도도계 액위 센서; RF계 액위 센서; 및 기타 유사한 내부 액위 센서; 또는 앰풀 상에 또는 화학 물질 이송 라인 주위에 배치된 외부 센서, 예컨대 스케일, 하중계, 외부 초음파 또는 열 센서; 및 저 액위를 검출하기 위한 기타 유사 수단 중 어느 것이나 포함할 수 있다.
또한, 용제 앰풀은 앰풀 내에 두 개의 개구부를 포함하는데, 그 하나는 딥튜브에 연결되어 모든 용제가 용제 퍼지 공정에 사용될 수 있도록 앰풀 저부로 연장한다. 다른 개구부는 용제 앰풀의 헤드 공간으로만 연장하여 용제 퍼지 작동 중에 용제 컨테이너를 교대로 가압, 배기 및 감압하는 데 사용된다. 이들 개구부는 수동식 또는 공압식 작동 밸브로 밀폐되고, 표준 VCR 형 또는 기타 고 순도 커넥터를 갖춘 용제 퍼지 제어 다기관에 부착될 수 있다. 또한, 개구부는 자동으로 밀폐되고 신속하게 분리되는 피팅로 밀폐될 수 있다. 통상적으로, 용제 앰풀 상의 피팅을 잠그어서 용제 앰풀 내 입구(헤드 공간)와 출구(딥튜브)의 우발적인 교차를 방지한다.
이 용제 앰풀은 수직(종방향) 또는 수평(횡방향) 격벽에 의해 분리된 다수의 챔버를 포함하며, 상기 챔버는 용제를 유체로서 챔버로 밀어내거나, 용제를 고형매질, 예컨대 탄소 및 일반 시장에서 구입할 수 있는 다수의 대체 용제 흡수 매질에 흡수시킴으로써 각종 세정 용제 반응성 물질 또는 헹굼 물질, 및/또는 다중 세정 조작용 또는 용제 회수 앰풀용의 추가의 용제를 분리하는 데 사용할 수 있다. 이 챔버, 바람직하게는 앰풀은 공정 진공에 의하여, 또는 푸시 가스압을 통하여(용제 앰풀과 유체 연통함) 용제 증기 또는 액체가 인발될 수 있도록 위치하는데, 그러한 고압은 용제 앰풀의 초기 충전시 가능하게 제공될 수 있다. 용제 포획 앰풀에 배치된 흡수제 매질은 세정 용제를 포획하여 유지시키기에 적당한 여러 유형의 물질일 수 있다. 예를 들면, 휘발성 유기 화합물을 포획하는 데 활성탄을 사용할 수 있는 한편, 아크릴 중합체 및 가성 및/또는 산 중화제와 같은 물질은 용제 유형에 따라서 사용할 수 있다. 또한, 흡수제 물질은 사용된 용제의 위험 등급을 개선하는 데 사용될 수 있는 액체를 포함할 수도 있다. 그러한 흡수제 물질로는 과불화탄소, 염화불화탄소, 및 고휘발성(예컨대, 과불화탄소)이거나 저휘발성(예컨대, 오일, 즉 폼블린형 불화탄소 진공 펌프 오일)인 탄화수소 및 유사한 불활성 화합물이 있다. 불활성 흡수제 물질의 저휘발성과 고휘발성은 공정 요건에 따라서 사용할 수 있다.
각각의 챔버는 용제를 공정으로 이송하고 용제를 앰풀 밖으로 밀어내기 위해 불활성 가스압을 제공하기 위한 하나 이상의 포트, 대부분의 경우에서는 다수의 포트를 구비해야 한다. 흡수제 앰풀의 경우, 폐용제를 앰풀에 보내고, 앰풀을 배기하거나 진공화하여 용제가 매질에 흡수되는 것을 촉진시키는 데 하나 이상의 밸브, 대부분의 경우에서 다수의 밸브를 사용한다.
또한, 용제 앰풀의 압력원은 용제 앰풀의 이송 전 예비 가압 단계에서 기원함으로써 용제 앰풀 입구에 대한 불활성 가스 공급원의 필요성을 배제하고, 심지어 그러한 입구에 대한 필요성도 최소화한다. 또한, 포획 앰풀은 예비 형성된 진공을 제공함으로써 용제 포획 앰풀 상에 배기 포트를 필요로 하지 않으면서 사용된 물질이 이송될 수 있도록 할 수 있다.
헹굼제를 필요로 하는 화합물로 세정하는 목적을 달성하거나 및/또는 용제 흡수 매질을 유지하는 목적을 달성하기 위하여 추가의 앰풀을 사용할 수 있다. 그러므로, 다중 용제, 헹굼 용액 및 흡수제 매질의 사용은 다중 앰풀 또는 다중 챔버를 갖춘 앰풀을 사용함으로써 모두 구현될 수 있다.
그 다음, 2차 용제 앰풀을 선적용 주 원료 화학 물질 컨테이너에 부착시킨다. 부착 공정은 2차 앰풀을 원료 화학 물질 컨테이너의 일부에 직접 용접함으로써, 즉 그것을 차임 지지체; 또는 컨테이너 벽; 또는 원료 화학 물질 컨테이너에 부착된 장착 브라켓에 용접함으로써 이루어질 수 있다. 또한, 부착의 예로는 2차 앰풀을 1차(원료 화학 물질) 컨테이너에 볼트 조립, 소형 앰풀을 차임 링, 차임 링 지지체 또는 컨테이너 본체에 고정시키는 클램프 수단에 의해 또는, 임의의 장착 브라켓 수단에 의해, 용접, 클램프 고정 또는 원료 화학 물질 컨테이너에의 볼트 조립이 있다.
또한, 용제 앰풀은 보다 대형의 원료 화학 물질 컨테이너 내부에 배치되어 용제 앰풀의 단지 가시적인 부분이 두 개의 관 연결부가 되도록 할 수 있다. 이 경우, 용제 앰풀을 원료 화학 물질 컨테이너 내부에 용접, 클램프 고정 또는 볼트 조립할 수 있으며, 별도의 앰풀 벽 또는 공유 앰풀 벽의 임의의 조합을 포함할 수 있다.
조작시, 원료 화학 물질 컨테이너는 화학 물질 이송 라인에 연결되어 공정 화학 물질이 적당한 반응 시스템으로 유동도록 할 수 있다. 이 화학 물질 라인은 용제 퍼지 조작을 실행하는 데 요구되는 밸브 및 기타 구성 요소를 포함한다. 또한, 용제 앰풀은 조작자 또는 전자 제어 유니트에 의해 제어될 때, 용제가 적당한 방식으로 유동하도록 추가의 밸브 수단을 통해 용제 퍼지 다기관에 연결된다. 공정 라인은 이 다기관을 통해 용제 앰풀과 연통한다. 설치시, 용제 앰풀 상의 밸브는 누설 방지 수단 내 용제 퍼지 작동기에 연결되어 용제 퍼지 다기관 제어 밸브에 의해 분리된 공정 화학 물질 이송 라인의 주 작용 구역을 통하여 이송될 수 있도록 한다. 이 제어는 수동 또는 자동으로 이루어질 수 있으며, 수동식, 전기식, 공압식 및 수압식 밸브가 고려된다.
한 가지 특정 구체예에서, 주 원료 화학 물질 컨테이너는 4, 11, 19 및 38 리터들이 스테인레스 강 컨테이너로 구성된 군 중 하나이며, 다양한 액위 센서를 포함하고, 원료 화학 물질 컨테이너 상에 둘 또는 세 개의 밸브를 포함한다. 밸브 중 하나는 스테인레스 강 딥튜브와 연통하여 화학 물질 용적으로 돌출하며, 공정 화학 물질을 분배하는 데 사용된다. 이들 컨테이너 각각은 차임 링과 차임 지지체를 포함할 수 있다. 그러나, 차임 링은 본 발명의 구성 요건이 아니며, 차임 링이나 차임 링 지지체가 필요없는 내부 용제 및 포획 앰풀을 갖춘 적당한 컨테이너를 구현할 수 있다.
대형 컨테이너는 임의의 공정 화학 물질 또는 고 순도 원료 화학 물질, 예를들면, 탄탈륨 펜타에톡시드(TAETO), 테트라키스(디에틸아미노) 티타늄(TDEAT), 테트라키스(디메틸아미노) 티타늄(TDMAT), 구리 헥사플루오로아세틸아세토네이트-트리메틸비닐실란(Cu(hfac)TMVS) 및 유사한 CVD 구리 전구체, 테트라에틸오르토실리케이트(TEOS) 및 기타 화학 증착(CVD) 실리콘 전구체, 예컨대 테트라메틸시클로테트라실록산(TMCTS), 붕소 및 인 함유 CVD 전구체, 예컨대 트리메틸보레이트(TMB), 트리에틸보레이트(TEB), 트리메틸포스파이트(TMPi) 및 트리에틸포스페이트(TEPO), 비스-t-부틸아미노실란(BTBAS), 탄탈륨 테트라에톡시드디메틸아미노에톡시드(TAT-DMAE), t-부틸이미도트리스디에틸아미도 탄탈륨(TBTDET), 트리에틸 아르세네이트 (TEASAT) 및 유사한 비소 전구체, 예컨대 트리에틸 아르세나이(TEOA), 물질 상의 저 K 스핀, 예컨대 미국 펜실베이니아주 알렌타운에 소재하는 에어 프로덕츠 앤드 케미칼스, 인코오포레이티드에서 시판하는 VELOX 폴리아릴렌 에테르, 하니웰에서 시판하는 FLARE 불화 아릴렌 에테르, 미국 미시건주 미들랜드에 소재하는 다우 케미컬에서 시판하는 SILK 방향족 탄화수소 수지 및 기타 관련 화합물을 함유할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 공정 화학 물질의 신속하고 완전한 제거는 적당한 용제로 공정 배관을 세척함으로써 이루어질 수 있다.
원료 화학 물질 용제 앰풀은 유기 알코올, 예컨대 메탄올, 에탄올, 프로판올 및 부탄올, 아세톤, 테트라히드로푸란, 디메틸실록산, 물, 지방족 탄화수소, 예컨대 헥산, 헵탄, 옥탄, 데칸 및 도데칸, 방향족 탄화수소, 케톤, 알데히드, 탄화수소, 에테르, 에스테르, 글림, 방향족 탄화수소, 할로겐 함유 알코올, 알킬 니트릴, 알칸올, 유기 아민, 불화 화합물 및 과불화탄소, 퍼플루오로헥산, 퍼플루오로헵탄및 이들의 혼합물을 포함하는 상기 원료 화학 물질 용제 앰풀에 함유된 원료 화학 물질 용제의 정량으로 충전된다.
또한, 반응성이지만 가용성 부산물을 제공하지 않는 공정 화학 물질도 본 발명에 적용될 수 있으며, 본 발명에서 용어 "용제"는 본 발명의 목적을 위한 "용제"의 넓은 정의 내에서 고려할 수 있다. 반응성 "용제"의 카테고리에는 산, 염기 및 반응성 용제가 포함된다. 특정한 예로서, 에탄올을 TDEAT와 함께 사용하면, 티타늄 에톡시드가 생성되고, 에탄올에 가용성이어서 완전히 제거할 수 있다. 질산 용액은 구리 산화 부산물을 제거하는 데 사용할 수 있는 한편, HF 용액은 산화티타늄 또는 산화탄탈륨과 같은 산화 부산물 물질을 제거하는 데 사용할 수 있다. 그러한 반응성 원료 화학 물질 "용제"는 고 순도 원료 화학 물질을 위한 용제로서 함께 작용하거나, 고 순도 원료 화학 물질과 반응하여 용해도가 높은 부산물을 생성할 수 있는 원료 화학 물질 산 또는 염기의 정량으로서 광범위하게 고려된다. 이 군은 HF, HNO3, HCl, H2SO4, NaOH, KOH 및 여러 가지 기타 산화제 및/또는 환원제, 뿐만 아니라 전구체 물질을 반응시키거나 제거하는 데 적당한 유기 산 및 알킬리를 포함할 수 있다.
원료 화학 물질 용제, 용제 퍼지 다기관으로부터 세정된 잔류 원료 화학 물질 및 상기 용제와 원료 화학 물질 간의 임의의 반응으로부터의 부산물을 위한 흡수제 매질제올라이트, 알루미노실리케이트, 포스포실리케이트, 탄소, 실리카, 알루미나, 분자체, 탄소 분자체, 중합체 흡착제, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 수지 베드, 점토, 다공성 세라믹 및, 고 표면적을 가지며, 상기 용제, 원료 화학 물질 및생성된 부산물에 대한 친화력을 가진 기타 매질을 포함할 수 있다. 또한, 흡수제 매질은 용제 포획 앰풀 내에서 함께 혼합되었을 때, 용제 및/또는 원료 화학 물질이 불활성이되거나 최소한 불연성이 되게 하는 물질을 포함할 수 있다. 여러 가지 불화 및 과불화 유기 또는 탄화수소 액체 또는 고체가 그러한 부류의 흡수제 매질에 포함되는 것을 고려할 수 있다. 퍼플루오로헥산, 퍼플루오로헵탄 및 이들의 혼합물과 같은 과불화탄소를 그러한 흡수제 매질의 예로 들 수 있다. 또한, 진공 펌프 오일 및/또는 유사한 저 휘발성 탄화수소 또는 불화탄소 오일과 같은 불활성 화합물을 사용할 수도 있다.
보다 소형의 용제 앰풀은 두 개의 밸브 및, 출구 밸브와 연통하는 딥튜브를 포함하고 액위 센서는 포함하지 않는 소형의 대략 150 내지 250 ㎖ 스테인레스 강 앰풀로 구성된다. 출구 밸브는 두 가지 유형이 있으며, 그 하나는 표준 수동식 또는 공압식 밸브를 사용하며, 다른 하나는 급속 분리 피팅을 사용하여 용제 퍼지 다기관에 접속한다. 소형 컨테이너는 보다 소형의 용제 앰풀에 용접되거나 볼트 조립된 브라켓 어셈블리의 수단을 통하여 보다 대형의 원료 화학 물질 컨테이너에 장착된다. 그 다음, 이 브라켓 어셈블리는 원료 화학 물질 컨테이너의 차임 링 지지체 또는 차임 링에 볼트 조립된다. 대안으로, 브라켓 어셈블리는, 예를 들면 원료 화학 물질 컨테이너의 목부에 클램프 고정하거나, 또는 볼트, 너트, 클립, 클램프 또는 기타 고정 수단에 의해 부착시킴으로써 원료 화학 물질 컨테이너에 직접 부착시킬 수도 있다. 흡수제 매질은 별도의 앰풀에 배치되고, 앰풀은 차임 링 또는 차임 링 지지체에 탈착식으로(볼트 조립) 또는 영구적으로(용접)으로 부착된다. 또한,브라켓 어셈블리는, 예를 들면 컨테이너의 목부에 클램핑 고정하거나, 볼트, 너트, 클립, 클램프 또는 기타 고정 장치에 의해 부착시킴으로써 원료 화학 물질 컨테이너에 직접 부착시킬 수도 있다. 흡수제 매질 앰풀은 용제 증기 또는 용제 액체가 흡수제 매질 앰풀로 밀려 나갈 수 있게 하는 밸브 및 라인을 통하여 용제 앰풀과 연통한다.
본 발명에서, 용제 세척, 공정 화학 물질 및 용제 흡수/회수 컨테이너는 선적하거나 일체로 교체시키기에 적당한 단일 어셈블리로 조합된다. 그 결과, 별도의 용제 앰풀을 교체하지 않아도 되므로 조작자의 작업량이 줄어들며, 각각의 컨테이너 교체로 새롭고 깨끗한 용제를 사용할 수 있고, 용제의 낭비를 최소화하며, 잠재적 공기 민감성 또는 공기 민감성, 또는 저 증기압 공정 화학 물질의 잔량을 이들의 이송 라인에서 제거할 수 있는 메카니즘을 집적 회로(IC) 제조업자에게 제공한다. 또한, 고객이 일종의 독극물/폐용제 취급 요건을 대비하여야 할 필요성을 제거하거나 최소화한다. 별도의 용제 앰풀을 요하는 시스템에서, 조작자는 용제가 환경으로 방출되는 것을 방지하기 위하여 용제 연결부를 주기적으로 퍼지해야 하고, 폐기물을 폐기하거나 별도의 패키지 하에 부분 충전 내지 충전된 용제 앰풀을 회수해야 하며, 그들의 시설 내에서 추가의 용기를 취급하여야 한다. 그러므로, 본 발명의 주 이점은 취급을 줄이고, 안정성을 증가시키며, 선적 및 폐기 비용을 절감하고, 용제 퍼지 작업을 실행함에 있어서 용제의 정확한 양이 존재하도록 하는 지를 확인하는 것이다.
대용적의 용제 물질이 용제 퍼지 다기관, 공정 라인, 질량 유동 제어기, 증발기 등을 세정하는 데 요구되는 경우, 이들 앰풀은 원료 화학 물질 컨테이너에 일체형으로 장착하기 위해서는 비실용적이 될 정도로 크게 해야할 필요가 있을 수도 있다. 또한, 본 발명은 용제 앰풀, 용제 포획 앰풀 및 원료 화학 물질 컨테이너가 물리적으로는 분리되어 있지만, 본 발명에 기재된 바와 같은 여러 가지 용기 간에 유체 연통되어 단일 캐비넷 또는 인접 캐비넷으로 배치될 수 있는 시스템을 포함한다.
도 1을 참조하면, 고 순도 원료 화학 물질 컨테이너(10), 공급원 용제 앰풀(36) 및 용제 포획 앰풀(30)을 포함하는 어셈블리가 도시되어 있다. 어셈블리 컨테이너(10)는 차임 링 브라켓(18)을 구비할 수 있다. 컨테이너(10)는 출구(22) 및 공압식 제어 밸브(24)를 구비하여 컨테이너(10)의 정상부 또는 차임 링 브라켓(20)측에서 출구(22)로부터 출구(22)와 대향하는 컨테이너(10)의 저부 근처 또는 인접한 지점으로 연장하는 부착된 딥튜브(12)로부터 고 순도 액체 원료 화학 물질을 분배한다. 이것은 고 순도 액체 원료 화학 물질(16)의 제거를 촉진하며, 통상적으로 그 액위는 딥튜브(12)와, 딥튜브(12) 단부의 약간 위에 있는 지점으로 연장하는 액위 센서(14) 위로 유지시킴으로써 액체 회수가 액위 센서(14)의 최저 액위 시그널 후에 발생할 수 있도록 한다. 액위 센서(14)는 통상적으로 나사홈 조임에 의해 폐쇄된 벙(bung) 또는 입구(42)를 통하여 컨테이너(10)로부터 연장된다. 액위 센서(14)는 자동 제어 유니트 또는 조작자와 전기적으로 연통하여 고 순도 원료 화학 물질(16)의 액위와 협동하여 어셈블리의 밸브를 제어한다.
고 순도 원료 화학 물질은 진공에 의해 회수할 수 있지만, 질소 또는 헬륨과같은 가압 불활성 가스의 공급원이 공압식 밸브(28)에 연결되어 고 순도 원료 화학 물질(16)의 액위 위의 증기 헤드 공간과 연통하는 입구(26)를 제어하는 것이 바람직하다. 가압 가스는 전자 산업 제조로에서 집적 회로를 위해 패턴 성형된 실리콘 웨이퍼 상에 산화규소를 성장시키는 데 사용되는 TEOS와 같은 액체를 하류용 딥튜브(12)로 강제로 상승시킨다.
고 순도 원료 화학 물질은 도시되지 않은 다기관을 통해 그러한 노로 이송된다. 컨테이너(10)의 교체 중에, 다기관을 세정하는 것이 요망되며, 저 증기압 화학 물질에 대해서는 단순히 진공을 인발하거나 가압 가스를 사용하는 것은 불충분할 수 있다. 용제 세정이 바람직하다.
고 순도 원료 화학 물질을 용해시키는 데 있어서 혼화성이 있는 용제는 차임 링 브라켓(20)의 지지 암(18)에 용접(44)된 원료 화학 물질 용제 앰풀(36)에 함유된다. 앰풀(36)은 입구(38)와 출구(40)를 구비하며, 딥튜브(46)에 의해 출구(40) 외부로 용제를 밀어내기 위해 가압 가스를 사용하는 컨테이너(10)의 입구 및 출구와 매우 동일하게 작동한다.
용제는 도 8에 도시된 다기관을 통과하여 잔류 고 순도 화학 물질을 제거하며, 이것은 입구(32)를 경유하여 용제 포획 앰풀(30) 내 용제와 화학 물질의 폐기물 스트림으로서 수집된다. 또한, 앰풀(30)은 재생의 용이성을 위해 출구(34)를 구비한다. 앰풀(30)은 출구(34)에 연결된 딥튜브(35)를 구비하여 앰풀(30)의 교체를 촉진하고, 앰풀(30)이 앰풀(36)과 상호 교환 가능하도록 제조 부품을 줄이는 것이 바람직하지만, 또한 앰풀(30)이 출구(34)에 부착된 딥튜브(35)를 구비하지 않는 것도 고려할 수 있다. 앰풀(30)은 빈 수용 앰풀이거나, 용제 및 화학 물질, 예컨대 실리카용 흡수제로 충전될 수 있다.
양 앰풀의 입구와 출구는 자동 제어 유니트(도시하지 않음)에 접속된 밸브에 의해 작동하는 것이 바람직하다.
도 2를 참조하면, 공통 부재는 도 1과 동일한 부재 번호로 표시하며, 컨테이너(10) 내부에 위치된 앰풀을 나타내는 제2 구체예의 기재시 이러한 공통 부재의 설명을 반복하지 않았다. 원료 화학 물질 용제 앰풀(48)은 도 1의 어셈블리와 유사하게 작동하는 입구(50)와 출구(52)를 구비하며, 출구(52)는 일체형 딥튜브(54)를 구비한다. 다기관(도시하지 않음)을 통과한 후, 앰풀(48)로부터의 사용된 용제는 도 1의 어셈블리와 일치하는 방식으로 작동하는 입구(58) 및 출구(60)를 갖춘, 내부에 배치된 용제 포획 앰풀(56) 내에 회수된다. 출구(60)는 필요에 따라서 딥튜브(61)를 구비할 수도 있다.
도 3을 참조하면, 공통 부재는 도 1과 동일한 부재 번호로 표시하며, 분리된 용제(88 및 90)를 갖춘 배플(64)식 앰풀(62) 또는 한 앰풀(66) 내의 용제 및 빈 앰풀(68) 또는 흡수제가 충전된 앰풀(68)을 나타내는 제3 구체예의 기재시 이러한 공통 부재의 설명을 반복하지 않았다. 이들 앰풀(66 및 68)은 단지 다기관으로의 접속과 자동 제어 유니트의 프로그램에 따라서 작용할 수 있다. 앰풀(68)은 입구(74)와 출구(72)를 구비하며, 출구는 액체 공급을 위한 딥튜브(70)에 일체된다. 가압 가스는 입구(74)를 통해 투입된다. 앰풀(68) 아래에 있는 앰풀(66)은 입구(78) 및 출구(82) 각각에 연결된 딥튜브(76 및 80)를 각기 구비한다. 딥튜브의 길이 또는그러한 딥튜브의 존재 유무는 어느 앰풀이 이중 용제 이송을 위해 사용되고 있는 지, 또는 흡수제의 유무 하에 어느 것이 용제 포획 앰풀로서 사용되고 있는 지에 따라 결정된다. 앰풀은 용접(84 및 86)에 의해 차임 링 브라켓(20)에 용접된다.
도 4를 참조하면, 어셈블리의 대안적인 구체예가 도시된다. 컨테이너(100)는 배플(106)에 의해 분리된 챔버(102 및 104)를 포함한다. 각각의 챔버는 입구와 출구를 갖는다. 예를 들면, 챔버(104)는 밸브(122)에 의해 제어되는 입구(120)와, 밸브(116)에 의해 제어되고, 도 1을 참고로 기재한 바와 같이 작용하는 딥튜브(114)에서 종결되는 출구(118)를 갖춘다. 액위 센서(124 및 126)는 벙(112)을 통과하여 각기 각각의 챔버에 제공된다. 하부 챔버(102)는 각기 밸브(134 및 138)에 의해 제어되는 입구(132) 및 출구(136)를 구비한다. 도 1과 유사한 환경을 기술한 바와 같이, 입구관(130)은 챔버(102)의 헤드 공간에 접근하며, 딥튜브(128)는 관(130)을 경유하여 유입되는 가압 가스의 압력을 기준하여 액체 원료 화학 물질을 회수한다. 이것은 수 가지 원료 화학 물질을 한 개의 어셈블리에 이송하고 함유할 수 있다. 비록 용제 및 용제 포획을 위한 앰풀은 예시하지 않았지만, 도 1 내지 3에 기재된 것과 동일한 구조의 앰풀을 컨테이너(100)와 함께 사용할 수 있다.
도 5를 참조하면, 앰풀 브라켓의 두 개의 교합 섹션을 갖춘 앰풀 브라켓 섹션(140)이 도시된다. 앰풀 브라켓 섹션(140)은 어셈블리 벙(42)(도 1) 주위에 장착되며, 연동 구멍(148)을 나사홈으로 맞물리게 볼트를 돌림으로써 벙(42)의 외단을 마찰 피팅함으로써 클램프 고정된다. 단부(146)는 벙(42)과 접속된다. 원료 화학 물질 용제 앰풀(36)(도 1)과 용제 포획 앰풀(30)(도 1)은 볼트(도시하지 않음)를사용하여 나사홈으로 맞물리는 구멍(150 및 152)에 의해 앰풀을 마찰적으로 연동하는 홀더(142 및 144) 중 어느 것에 체결된다. 앰풀은 지지면(154 및 156)에 놓인다.
도 6A 및 6B를 참조하면, 원료 화학 물질 용제 앰풀(158)이 보다 상세하게 도시된다. 앰풀(158)은 딥튜브(160)에 연결된 입구(164) 및 출구(162)를 갖춘다. 이 구조는 액체 용제가 일반적으로 만수위인 액위(166)에서 공수위인 액위(168)로 제거될 수 있게 한다.
본 발명의 어셈블리의 투시도는 도 7에 도시되어 있다. 컨테이너(170)는 앰풀(178 및 188)을 지지하는 앰풀 브라켓 섹션(174 및 176)을 구비한다. 각각의 앰풀은 각기 입구(180 및 190)와 출구(184 및 192)를 구비한다. 이들은 급속 분리 피팅(194, 196, 186 및 182)에 각기 연결된다. 컨테이너 입구(202)는 공압식 밸브(204)에 의해 제어된다. 컨테이너 출구(200)는 공압식 밸브(198)에 의해 제어된다. 대체로, 이들 구성 부품은 차임 링 브라켓(172)에 의해 보호된다. 임의의 액위 센서를 벙(206)을 통해 체결할 수 있다.
도 8을 참조하면, 본 발명의 어셈블리가 작동하고 연통하는 다기관(214)이 도시된다. 원료 화학 물질 용제 앰풀(208)은 고 순도 원료 화학 물질 컨테이너(210)와 용제 포획 앰풀(212)의 용제 퍼지 다기관(252)과 연통한다. 또한, 이 다기관 연결은 컨테이너(210) 내부에 배치된 앰풀로 이루어진다. 앰풀(208) 내 용제는 충전시 가압되거나 밸브(216)를 통하여 입구(230)로 도입된 불활성 푸시 가스 또는 캐리어 가스(222)가 용제를 딥튜브(228)를 통해 출구(226)로, 그리고밸브(220)를 통하여 밀어냄으로써 유입될 수 있다. 앰풀(208)의 재충전은 새로운 또는 재순환 용제(224)를 수용할 때 밸브(218)에 의해 제어되는 입구(232)를 통하여 이루어진다. 앰풀(208)로부터의 용제는 라인(238)과 밸브(240 및 246)를 통과하여 밸브(246, 250, 266 및 254)에 의해 구획되는 용제 퍼지 다기관(252)을 세정한다. 특히, 세정 중에 밸브(234) 및 진공원(236)을 통해 라인(238)에 진공을 인가할 수 있다. 또한, 불활성 퍼지 가스는 공급원(242) 및 밸브(244)로부터 투입되어 라인(238)을 세정할 수 있다. 컨테이너(210) 내 고 순도 원료 화학 물질은 입구(264)를 통해 컨테이너(210)와 연통하는 밸브(256)에 의해 제어되는 불활성 푸시 가스 공급원(258)에 의하여 딥튜브(260)로 밀려나간다. 원료 화학 물질을 보충하기 위한 추가의 충전 입구도 고려되지만 도시하지는 않았다. 원료 화학 물질은 밸브(254)를 통과하여 용제 퍼지 다기관(252)으로, 그리고 밸브(250)를 통하여 집적 회로 또는 컴퓨터 칩을 제조하기 위한 전자 제품 제조 공정 도구와 같은 사용 지점(248) 또는 최종 사용 지점으로 통과한다. 용제 퍼지 다기관(252)의 세정 중에, 용제는 용제의 압력 또는 푸시 가스 또는 포획 앰풀(212) 내에 존재할 수 있는 진공에 의하여 다기관(252)을 통하여 밸브(246)로부터 밸브(266)을 통해 순환된다. 이것은 용제, 잔류 원료 화학 물질 또는 용제가 원료 화학 물질과 반응성인 경우의 분해 산물을 라인(268), 라인(270), 밸브(272), 입구(274) 및, 비어있거나 흡수 매질을 함유할 수도 있는 포획 앰풀(212)에 통과시킨다. 용제 포획은 출구(276), 밸브(278), 라인(280 및 284)을 통해 진공원(286)으로 향하는, 앰풀(212)에 인가되는 진공에 의하여 잠재적으로 활성화된다. 그 진공원은 여러 가지 고려되는 화학 물질 및 용제를 위한 완화 또는 적당한 트랩을 포함할 수도 있다. 대안으로, 진공은 개구 밸브(282) 및 폐쇄 밸브(272 및 278)에 의해 앰풀(212) 주위로 우회할 수 있다. 포획 앰풀(212)은 진공원(286)에 연결될 필요는 없지만, 제조시 또는 재충전 또는 새로 시작할 때, 밀봉 방식으로 앰풀(212) 내에 사전 설정된 진공 조건에 의존할 수 있거나, 또는 라인(284)을 통한 배기의 유무 하에 화학 물질을 앰풀(212)로 이동시키는 가압 용제에 의존할 수 있는 것으로 고려된다.
본 발명은 전자 제조 산업에서와 같은 이송 시스템에서 고 순도 화학 물질을 사용하는 중요한 이점을 제공한다. 원료 화학 물질의 고 순도를 유지하기 위해서는 원료 화학 물질의 순도뿐만이 아니라, 그 화학 물질이 분배되는 이송 시스템도 요구된다. 통상적으로, 당업계에서는 이송 시스템의 청결을 유지하기 위해서 다중 사이클의 진공과 불활성 가압 가스로의 퍼지를 이용해왔다. 그러나, 저 휘발성 화학 물질의 경우 그러한 순환 세정으로는 충분하지 않다. 그러한 저 휘발성 화학 물질을 위한 용제가 요망된다. 본 발명은 전자 제조 산업에서의 조작자가 원료 화학 물질의 컨테이너를 이용하는 통상의 방식에 역효과를 미치지 않으면서 그러한 용제와 용제의 폐기 처분을 제공하는 독특한 시스템을 제공한다. 이것은 저 휘발성 화학 물질과 같은 심지어 난해한 원료 화학 물질에 대한 초세정 공정을 제공하는 본질상 이음매가 없는 시스템을 제공하며, 공정 라인을 통해 원료 화학 물질의 순도를 유지하는 점, 그러한 원료 화학 물질의 컨테이너를 세정하는 점 및 동일 이송 시스템에서 상이한 원료 화학 물질을 연속 사용하는 점 등의 오래 지속되어 온 문제점들을 극복한다.
본 발명을 몇 가지 바람직한 구체예에 관하여 설명하였지만, 본 발명의 모든 범주는 하기 특허 청구의 범위로 확인해야 한다.
Claims (44)
- 고 순도 원료 화학 물질 컨테이너, 원료 화학 물질 컨테이너의 내부로의 하나 이상의 입구, 원료 화학 물질 컨테이너의 내부로부터의 하나 이상의 출구, 고 순도 화학 물질 컨테이너 어셈블리와 일체형인 하나 이상의 원료 화학 물질 용제 앰풀, 원료 화학 물질 용제 앰풀의 내부로의 하나 이상의 입구, 원료 화학 물질 용제 앰풀의 내부로부터의 하나 이상의 출구, 상기 원료 화학 물질 용제 앰풀로부터의 원료 화학 물질 용제를 수용할 수 있는 크기로 된 상기 어셈블리와 일체형인 하나 이상의 용제 포획 앰풀 및 용제 포획 앰풀의 내부와 연통하는 하나 이상의 오리피스를 포함하는 것을 특징으로 하는 고 순도 화학 물질 컨테이너 어셈블리.
- 제1항에 있어서, 원료 화학 물질 용제 앰풀과 용제 포획 앰풀은 단일 배플 앰풀을 포함하는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제1항에 있어서, 원료 화학 물질 용제 앰풀은 상기 고 순도 원료 화학 물질 컨테이너 내부에 있으며, 원료 화학 물질 용제 앰풀의 내부로의 상기 입구와 원료 화학 물질 용제 앰풀의 내부로의 상기 출구는 상기 고 순도 원료 화학 물질 컨테이너의 외부에 접근하는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제1항에 있어서, 용제 포획 앰풀은 상기 고 순도 원료 화학 물질 컨테이너내부에 있으며, 용제 포획 앰풀의 내부와 연통하는 상기 오리피스는 상기 고 순도 화학 물질 컨테이너의 외부에 접근하는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제1항에 있어서, 상기 어셈블리는 상기 고 순도 원료 화학 물질 컨테이너의 외부 상에 차임 링 브라켓을 구비하는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제5항에 있어서, 상기 원료 화학 물질 용제 앰풀은 상기 차임 링 브라켓과 일체형인 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제5항에 있어서, 상기 용제 포획 앰풀은 상기 차임 링 브라켓과 일체형인 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제1항에 있어서, 상기 고 순도 원료 화학 물질 컨테이너는 상기 출구에 연결되어 상기 고 순도 원료 화학 물질 컨테이너의 저부에 인접한 지점으로 연장되는 딥튜브를 구비하는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제1항에 있어서, 상기 고 순도 원료 화학 물질 컨테이너는 상기 컨테이너의 외부와 연통하여 상기 고 순도 원료 화학 물질 컨테이너의 저부에 인접한 지점으로 연장되는 액위 센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제9항에 있어서, 상기 액위 센서는 부유식 액위 센서, 초음파 액위 센서, 캐패시턴스(capacitance)형 액위 센서, 광학 액위 센서 및 이들의 조합으로 구성된 군 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제1항에 있어서, 상기 고 순도 원료 화학 물질 컨테이너 각각의 상기 입구와 상기 출구는 가압 유체 또는 고 순도 원료 화학 물질의 유동을 제어하기 위한 밸브를 각기 구비하는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제11항에 있어서, 상기 밸브는 공압식 밸브, 솔레노이드 밸브, 수동식 밸브 및 이들의 조합으로 구성된 군 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제1항에 있어서, 상기 원료 화학 물질 용제 앰풀은 상기 원료 화학 물질 용제 앰풀의 상기 출구에 연결되어 상기 원료 화학 물질 용제 앰풀의 저부에 인접한 지점으로 연장되는 딥튜브를 구비하는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제1항에 있어서, 상기 고 순도 원료 화학 물질 컨테이너로의 상기 입구는 가압 불활성 가스의 공급원에 연결되는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제1항에 있어서, 상기 원료 화학 물질 용제 앰풀로의 상기 입구는 가압 불활성 가스의 공급원에 연결되는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제1항에 있어서, 상기 원료 화학 물질 용제 앰풀은 외부 압력원에 연결되지 않고 가압 하에 용제를 함유하는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제1항에 있어서, 상기 용제 포획 앰풀은 두 개의 오리피스를 구비하는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제17항에 있어서, 상기 용제 포획 앰풀의 상기 오리피스 중 하나는 저압 배기구 또는 진공원 중 하나에 연결되는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제1항에 있어서, 상기 용제 포획 앰풀의 내부는 진공원에 연결되지 않고 진공 하에 있는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제1항에 있어서, 상기 어셈블리는 탄탈륨 펜타에톡시드(TAETO), 테트라키스(디에틸아미노) 티타늄(TDEAT), 테트라키스(디메틸아미노) 티타늄(TDMAT), 테트라메틸시클로테트라실록산(TMCTS), 구리 헥사플루오로아세틸아세토네이트-트리메틸비닐실란(Cu(hfac)TMVS), 테트라에틸오르토실리케이트(TEOS), 트리메틸보레이트(TMB), 트리에틸보레이트(TEB), 트리메틸포스파이트(TMPi), 트리에틸포스페이트(TEPO), 비스-t-부틸아미노실란(BTBAS), 탄탈륨 테트라에톡시드디메틸아미노에톡시드(TAT-DMAE), t-부틸이미도트리스디에틸아미도 탄탈륨(TBTDET), 트리에틸아르세나이트(TEOA), 폴리아릴렌 에테르 및 이들의 혼합물로 구성된 군 중에서 선택되는 상기 고 순도 원료 화학 물질 컨테이너에 함유된 소정량의 고 순도 원료 화학 물질을 갖는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제1항에 있어서, 상기 어셈블리는 메탄올, 에탄올, 프로판올 및 부탄올과 같은 유기 알코올, 아세톤, 테트라히드로푸란, 디메틸실록산, 물, 헥산, 헵탄, 옥탄, 데칸 및 도데칸과 같은 지방족 탄화수소, 방향족 탄화수소, 케톤, 알데히드, 탄화수소, 에테르, 에스테르, 글림, 방향족 탄화수소, 할로겐 함유 알코올, 알킬 니트릴, 알칸올, 유기 아민, 불화 화합물, 퍼플루오로헥산 및 퍼플루오로헵탄과 같은 과불화탄소 및 이들의 혼합물로 구성된 군 중에서 선택되는 상기 원료 화학 물질 용제 앰풀에 함유된 소정량의 원료 화학 물질 용제를 갖는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제1항에 있어서, 상기 용제 포획 앰풀은 상기 용제를 위한 흡수제를 함유하는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제1항에 있어서, 상기 용제 포획 앰풀은 상기 용제 및 상기 고 순도 원료 화학 물질을 위한 흡수제를 함유하는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제23항에 있어서, 상기 흡수제는 제올라이트, 알루미노실리케이트, 포스포실리케이트, 탄소, 실리카, 알루미나, 분자체, 탄소 분자체, 중합체 흡착제, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 수지 베드, 점토, 다공성 세라믹 및 이들의 혼합물로 구성된 군 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제23항에 있어서, 상기 흡수제는 상기 용제 및 상기 고 순도 원료 화학 물질이 불연성 및/또는 비위험성이 되게 하는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제25항에 있어서, 상기 흡수제는 과불화탄소인 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제25항에 있어서, 상기 흡수제는 저 휘발성 오일인 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제1항에 있어서, 상기 고 순도 원료 화학 물질 컨테이너는 두 가지 상이한 고 순도 원료 화학 물질을 함유하는 두 개의 챔버를 형성하도록 배플을 구비하며, 각각의 챔버는 상기 챔버의 내부로의 하나 이상의 입구와 상기 챔버의 내부로부터의 하나 이상의 출구를 구비하는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제28항에 있어서, 상기 고 순도 원료 화학 물질 컨테이너 챔버 각각은 상기 챔버 각각의 외부와 연통하고 상기 챔버 각각의 저부에 인접한 지점으로 연장하는액위 센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제1항에 있어서, 상기 원료 화학 물질 용제 앰풀과 상기 용제 포획 앰풀 각각은 용접, 납땜, 볼트 조립, 나사 조립, 스트랩 연결, 브라켓 연결 및 이들의 조합으로 구성된 군 중에서 선택되는 체결 수단에 의하여 상기 어셈블리에 고정되는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제1항에 있어서, 상기 원료 화학 물질 용제 앰풀 및 상기 용제 포획 앰풀 각각은 서로 접속하여 각각의 앰풀이 맞물리는 두 개의 앰풀 브라켓 섹션을 포함하여 상기 어셈블리와 일체형인 앰풀 브라켓에 의해 상기 어셈블리에 고정되는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제31항에 있어서, 상기 맞물림 수단은 두 개의 앰풀 브라켓 섹션과 상기 앰풀의 마찰 피팅인 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 고 순도 원료 화학 물질 컨테이너; 가압 불활성 가스의 공급원에 연결하기 위한 일체형의 공압식 밸브를 구비한 원료 화학 물질 컨테이너의 내부로의 입구; 고 순도 화학 물질을 그 화학 물질을 사용하는 하류 공정으로 이송하는 다기관에 연결하기 위한 일체형의 공압식 밸브를 구비하고, 상기 원료 화학 물질 컨테이너의 저부에 인접한 지점으로 연장되는 딥튜브를 구비한, 원료 화학 물질 컨테이너의 내부로부터의 출구; 상기 어셈블리와 일체형인 하나 이상의 원료 화학 물질 용제 앰풀; 가압 불활성 가스의 공급원에 연결하기 위한 일체형의 공압식 밸브를 구비하는 원료 화학 물질 용제 앰풀의 내부로의 입구, 고 순도 원료 화학 물질을 하류 공정으로 이송하는 상기 다기관에 연결하기 위한 일체형의 공압식 밸브를 구비하는 원료 화학 물질 용제 앰풀의 내부로부터의 출구; 상기 원료 화학 물질 용제 앰풀로부터의 원료 화학 물질 용제를 수용할 수 있는 크기로 된 상기 어셈블리와 일체형인 용제 포획 앰풀; 및 상기 원료 화학 물질 용제 앰풀로부터 상기 다기관을 통하여 원료 화학 물질 용제를 수용하도록 용제 포획 앰풀의 내부와 연통하는 오리피스를 포함하는 것을 특징으로 하는 고 순도 원료 화학 물질 컨테이너 어셈블리.
- 제33항에 있어서, 상기 원료 화학 물질 용제 앰풀 및 상기 용제 포획 앰풀 각각은 서로 접속하여 두 개의 앰풀 브라켓 부분과 상기 앰풀의 마찰 피팅에 의해 각각의 앰풀을 맞물리는 두 개의 앰풀 브라켓 섹션을 포함하여 상기 어셈블리와 일체형인 앰풀 브라켓에 의해 상기 어셈블리에 고정되는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제33항에 있어서, 상기 원료 화학 물질 용제 앰풀은 외부 압력원에 연결되지 않으면서 가압 하에 용제를 함유하는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제33항에 있어서, 상기 용제 포획 앰풀의 내부는 진공원에 연결되지 않으면서 진공 하에 있는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제33항에 있어서, 원료 화학 물질 용제 앰풀과 용제 포획 앰풀은 단일 배플 앰풀을 포함하는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제33항에 있어서, 원료 화학 물질 용제 앰풀은 차임 링 브라켓, 컨테이너, 벙(bung), 앰풀 브라켓 및 이들의 조합으로 구성된 군 중에서 선택되는 부착 수단에 의해 원료 화학 물질 컨테이너와 일체형이 되는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제1항에 있어서, 원료 화학 물질 용제 앰풀은 차임 링 브라켓, 컨테이너, 벙, 앰풀 브라켓 및 이들의 조합으로 구성된 군 중에서 선택되는 장치로 부착함으로써 원료 화학 물질 컨테이너와 일체형이 되는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제1항에 있어서, 상기 용제 포획 앰풀은 용제 유입용 하나 이상의 입구와 배출을 촉진하기 위한 하나 이상의 출구를 포함하는 두 개 이상의 오리피스; 용제 포획 앰풀의 저부 근처로 연장된 딥튜브; 및 부유식 센서, 광학 센서, 캐패시턴스형 센서, 중량 감지 센서 및 열 감지 센서, 및 이들의 조합으로 구성된 군 중에서 선택되는 액위 센서를 구비하며, 여기서 상기 각각의 오리피스는 상기 오리피스를 폐쇄하기 위한 밸브를 구비하고, 이러한 밸브는 공압식, 수동식, 전기식, 수압식, 솔레노이드 및 이들의 조합으로 구성된 군 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 제1항에 있어서, 상기 원료 화학 물질 용제 앰풀은 고 순도 원료 화학 물질과 반응하여 가용성 부산물을 생성하는 고 순도 원료 화학 물질을 위한 용제를 함유하는 것을 특징으로 하는 어셈블리.
- 고 순도 원료 화학 물질 컨테이너; 가압 불활성 가스의 공급원에 연결하기 위한 일체형의 공압식 밸브를 구비하는 원료 화학 물질 컨테이너의 내부로의 입구; 고 순도 원료 화학 물질을 그 화학 물질을 사용하는 하류 공정으로 이송하는 다기관에 연결하기 위한 일체형의 공압식 밸브를 구비하고, 상기 원료 화학 물질 컨테이너의 저부에 인접한 지점으로 연장된 딥튜브를 구비한, 원료 화학 물질 컨테이너의 내부로부터의 출구; 상기 어셈블리와 일체형인 하나 이상의 원료 화학 물질 용제 앰풀; 고 순도 원료 화학 물질을 하류 공정으로 이송하는 상기 다기관에 연결하기 위한 일체형의 공압식 밸브를 구비한 원료 화학 물질 용제 앰풀의 내부로부터의 하나 이상의 출구; 상기 원료 화학 물질 용제 앰풀로부터의 원료 화학 물질 용제를 수용할 수 있는 크기로 된 상기 어셈블리와 일체형인 용제 포획 앰풀 및 상기 원료 화학 물질 용제 앰풀로부터 상기 다기관을 통하여 원료 화학 물질 용제를 수용하도록 용제 포획 앰풀의 내부와 연통하는 오리피스를 포함하는 것을 특징으로 하는 고 순도 원료 화학 물질 컨테이너 어셈블리.
- 고 순도 원료 화학 물질 컨테이너는 가압 불활성 가스의 공급원에 연결하기 위한 일체형의 공압식 밸브를 구비하는 원료 화학 물질 컨테이너의 내부로의 입구 및, 고 순도 화학 물질을 사용 지점으로 이송하는 다기관에 연결하기 위한 일체형의 공압식 밸브를 구비하고, 상기 원료 화학 물질 컨테이너의 저부에 인접한 지점으로 연장하는 딥튜브를 갖춘, 원료 화학 물질 컨테이너의 내부로부터의 출구를 구비하는 것인 고 순도 원료 화학 물질 컨테이너 어셈블리로부터의 고 순도 원료 화학 물질을 사용 지점으로 이송하는 다기관의 세정 방법으로, 원료 화학 물질을 상기 다기관으로 이송한 후, 상기 다기관에 연결하기 위한 일체형의 공압식 밸브를 구비하는 원료 화학 물질 용제 앰풀의 내부로부터의 외부로 상기 원료 화학 물질 용제를 이송하는 가압 불활성 가스의 공급원에 연결하기 위한 일체의 공압식 밸브를 구비하는 원료 화학 물질 용제 앰풀의 내부로의 입구를 통하여 상기 원료 화학 물질 용제 앰풀을 가압함으로써 상기 어셈블리와 일체형인 원료 화학 물질 용제 앰풀로부터 원료 화학 물질 용제를 상기 다기관으로 이송하고, 상기 원료 화학 물질 용제 앰풀로부터의 원료 화학 물질 용제를 수용하는 용제 포획 앰풀의 내부와 연통하는 오리피스를 통하여 상기 원료 화학 물질 용제 앰풀로부터의 원료 화학 물질 용제를 수용할 수 있는 크기로 된 상기 어셈블리와 일체형인 용제 포획 앰풀 내에서 상기 다기관으로부터의 용제에 의해 운반된 임의의 원료 화학 물질 및 상기 용제를 수집함으로써 상기 다기관을 세정하는 것인 방법.
- 제43항에 있어서, 밸브의 개폐 및, 원료 화학 물질과 원료 화학 물질 용제의이송은 상기 밸브와 연통하는 자동 제어 유니트에 의해 제어되는 것을 특징으로 하는 방법.
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