KR20010089717A - 연마체, 연마장치, 연마장치의 조정방법, 연마막 두께또는 연마종점의 측정방법, 및 반도체 디바이스의 제조방법 - Google Patents
연마체, 연마장치, 연마장치의 조정방법, 연마막 두께또는 연마종점의 측정방법, 및 반도체 디바이스의 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (27)
- 연마대상물을 지지하는 연마헤드와 연마체를 구비하고, 상기 연마체와 상기 연마대상물 사이에 연마제를 개재시킨 상태에서, 상기 연마체와 상기 연마대상물을 상대이동시킴으로써, 상기 연마대상물을 연마하는 연마장치에 사용되는 연마체로서,상기 연마체에는, 상기 연마대상물의 피연마면을 광학적으로 측정하는 측정광을 통과시키기 위한 1개 이상의 개구부가 설치되고, 상기 개구부에는, 적어도 측정광에 대해 투명한 창판(window plates)이 끼워넣어져 있고, 비가중시에서의 상기 연마체의 최표면(연마대상물과 접촉하는 면)과 상기 창판의 상기 최표면측 면과의 간격이 연마하중시에서의 상기 연마체의 압축변형량보다도 크게 조정되는 것을 특징으로 하는 연마체.
- 연마대상물을 지지하는 연마헤드와 연마체를 구비하고, 상기 연마체와 상기 연마대상물 사이에 연마제를 개재시킨 상태에서, 상기 연마체와 상기 연마대상물을 상대이동시킴으로써, 상기 연마대상물을 연마하는 연마장치에 사용되는 연마체로서,상기 연마체에는, 상기 연마대상물의 피연마면을 광학적으로 측정하는 측정광을 통과시키기 위한 1개 이상의 개구부가 설치되고, 상기 개구부에는, 적어도 측정광에 대해 투명한 창판이 끼워넣어져 있고, 상기 창판은, 2장 이상의 투명재료로이루어진 판이 적층되어 구성되는 것을 특징으로 하는 연마체.
- 제 2 항에 있어서,상기 창판은 적층된 2장의 투명재료판으로 이루어지고, 이 투명재료판 중 상기 연마대상물측 투명재료판의 압축탄성률은, 상기 연마대상물측의 반대측 투명재료판의 압축탄성률보다 작은 값으로 설정되는 것을 특징으로 하는 연마체.
- 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 투명재료들 중 상기 연마대상물측 투명재료의 압축탄성률 e 는, 2.9 ×107Pa ≤e ≤1.47 ×109Pa 이며, 연마체의 압축탄성률과 거의 동일한 것을 특징으로 하는 연마체.
- 연마대상물을 지지하는 연마헤드와 연마체를 구비하고, 상기 연마체와 상기 연마대상물 사이에 연마제를 개재시킨 상태에서, 상기 연마체와 상기 연마대상물을 상대이동시킴으로써, 상기 연마대상물을 연마하는 연마장치에 사용되는 연마체로서,상기 연마체에는, 상기 연마대상물의 피연마면을 광학적으로 측정하는 측정광을 통과시키기 위한 1개 이상의 개구부가 설치되고, 상기 개구부에는, 적어도 측정광에 대해 투명한 창판이 끼워넣어져 있고, 상기 연마체의 표면에 대해 상기 창판의 상기 연마대상물측 표면이 움푹 패여있고, 이 패임량이 단계적 또는 연속적으로 변화하는 것을 특징으로 하는 연마체.
- 제 5 항에 있어서,상기 개구부를 복수개 가지며, 상기 패임량이 상기 개구부마다 다르게 됨으로써, 상기 패임량이 단계적으로 변화하는 것을 특징으로 하는 연마체.
- 제 5 항에 있어서,상기 패임량이 동일한 개구부 내의 2개 이상의 부분에서 다르게 됨으로써, 상기 패임량이 단계적으로 변화하는 것을 특징으로 하는 연마체.
- 제 5 항에 있어서,상기 창판은 평행 평판 형상의 투명판이며, 상기 창판이 상기 연마체의 표면에 대해 비스듬히 설치되어 있어 상기 패임량이 연속적으로 변화하는 것을 특징으로 하는 연마체.
- 연마대상물을 지지하는 연마헤드와 연마체를 구비하고, 상기 연마체와 상기 연마대상물 사이에 연마제를 개재시킨 상태에서, 상기 연마체와 상기 연마대상물을 상대이동시킴으로써, 상기 연마대상물을 연마하는 연마장치에 사용되는 연마체로서,상기 연마체에는, 상기 연마대상물의 피연마면을 광학적으로 측정하는 측정광을 통과시키기 위한 1개 이상의 개구부가 설치되고, 상기 개구부에는, 적어도 측정광에 대해 투명한 창판이 끼워넣어져 있고, 상기 연마체의 표면에 대해 상기 창판의 상기 연마대상물측 표면이 움푹 패여있고, 상기 창판은, 박리가능한 복수장의 투명재료로 이루어진 판재로 구성되는 것을 특징으로 하는 연마체.
- 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 연마체의 최표면과 상기 창판의 상기 최표면측 면과의 간격의 최소값 G 가, 0 ㎛ < G ≤400 ㎛ 인 것을 특징으로 하는 연마체.
- 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 연마체의 최표면과 상기 창판의 상기 최표면측 면과의 간격의 최소값 G 가, 10 ㎛ < G ≤200 ㎛ 인 것을 특징으로 하는 연마체.
- 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 연마체의 최표면과 상기 창판의 상기 최표면측 면과의 간격 G(하나의 개구부 내, 또는 서로 다른 개구부들 사이에서 간격 G 가 다른 경우는 그 최대값)가, 0 ㎛ < G ≤(연마체의 두께의 90%) 이며, 상기 창판의 두께(하나의 개구부 내, 또는 서로 다른 개구부들 사이에서 두께가 다른 경우는 그 최소값) t 는, t ≥(연마체의 두께의 10%) 인 것을 특징으로 하는 연마체.
- 제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 창판의 적어도 연마대상물측 표면이 하드 코팅되는 것을 특징으로 하는 연마체.
- 제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 창체(window bodies)의 측정광에 대한 투과율이 22% 이상인 것을 특징으로 하는 연마체.
- 연마대상물을 지지하는 연마헤드와 연마체를 구비하고, 상기 연마체와 상기 연마대상물 사이에 연마제를 개재시킨 상태에서, 상기 연마체와 상기 연마대상물을 상대이동시킴으로써, 상기 연마대상물을 연마하는 연마장치에 사용되는 상기 연마체에 있어서,상기 연마체가, 상기 연마대상물의 연마면을 광학적으로 측정하는 광을 통과시키기 위해 적어도 측정광에 대해 투명한 재료로 이루어진 것을 특징으로 하는 연마체.
- 연마대상물을 지지하는 연마헤드와 연마체를 구비하고, 상기 연마체와 상기 연마대상물 사이에 연마제를 개재시킨 상태에서, 상기 연마체와 상기 연마대상물을 상대이동시킴으로써, 상기 연마대상물을 연마하는 연마장치에 있어서,상기 연마체가, 제 1 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 기재되어 있는 연마체인 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 16 항에 있어서,투광기로부터 상기 창판과 상기 개구부를 통과하여, 연마대상물에 측정광을 조사하고, 연마대상물에서 반사되어, 다시 상기 개구부와 상기 창판을 통과하여 리턴된 광을 수광기로 수광하는 기능을 갖는 연마장치에 있어서, 연마작업중에 수광되는 광의 강도가 투광되는 광의 강도의 1% 이상인 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 16 항 또는 제 17 항에 있어서,상기 창판이, 상기 연마체의 연마특성과 동등한 연마특성을 갖는 수지인 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 16 항 내지 제 18 항 중 어느 한 항에 기재되어 있는 연마장치로서, 투광기로부터 상기 창판과 상기 개구부를 통과하여, 연마대상물에 측정광을 조사하고, 연마대상물에서 반사되어, 다시 상기 개구부와 상기 창판을 통과하여 리턴된 광을 수광기로 수광하는 기능을 갖는 연마장치에 있어서, 연마체의 최표면(연마대상물과 접촉하는 면)과 상기 창판의 상기 최표면측 면과의 간격을 조정하는 방법으로서,상기 수광기로 측정한 신호에 기초하여, 상기 연마체의 최표면과 상기 창판의 상기 최표면측 면과의 간격을 조정하는 단계를 갖는 것을 특징으로 하는 연마장치의 조정방법.
- 제 16 항 내지 제 19 항 중 어느 한 항에 기재되어 있는 연마장치를 이용하여 연마를 수행하고, 수광기로 수광한 광신호를 이용하여 연마막 두께 또는 연마종점을 측정하는 방법으로서,연마막 두께 또는 연마종료점을 측정하는 측정수단으로 측정한 신호와 미리 측정하여 기억되어 있는 신호가 동일한 경우 상기 측정수단으로 측정한 신호를 연마막 두께 또는 연마종점의 측정에 이용하지 않는 것을 특징으로 하는 연마막 두께 또는 연마종점의 측정방법.
- 연마대상물을 지지하는 연마헤드와 정반 상에 설치되어 있는 연마체를 구비하고, 상기 연마체와 상기 연마대상물 사이에 연마제를 개재시킨 상태에서, 상기 연마체와 상기 연마대상물을 상대이동시킴으로써, 상기 연마대상물을 연마하는 연마장치로서,상기 정반에 형성된 1개 이상의 개구부와, 상기 연마체에 형성된 1개 이상의 개구부와, 상기 연마체에 형성된 상기 개구부의 적어도 일부분을 막도록 설치되어 있는 창과, 상기 창을 통해 상기 연마대상물의 연마면을 광학적으로 관찰하여 연마상태를 측정하는 장치와, 상기 창의 상기 연마대상물측 표면의 위치를 이동시키는 이동장치를 가지며, 상기 연마체에 형성된 상기 개구부와 상기 정반에 형성된 상기 개구부는 겹쳐져 있고, 상기 창은 상기 이동장치를 통해 상기 정반에 설치되는 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 21 항에 있어서,상기 창의 상기 연마대상물측 표면과 상기 연마대상물의 연마면과의 간격을 검지하는 장치, 상기 연마체의 마모상태를 검지하는 장치, 또는 상기 양방을 검지하는 장치를 더 갖는 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 22 항에 있어서,상기 창의 상기 연마대상물측 표면과 상기 연마대상물의 연마면과의 간격을 제어하는 제어장치를 더 갖는 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 23 항에 있어서,연마조건, 연마시간, 드레싱 조건 및 드레싱 시간으로부터 상기 연마체의 마모량을 예측하고, 상기 창의 상기 연마대상물측 표면과 상기 연마대상물의 연마면과의 간격을 제어하는 기능을 갖는 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 23 항에 있어서,상기 창의 상기 연마대상물측 표면과 상기 연마대상물의 연마면과의 간격이 일정해지도록 상기 이동장치를 제어하는 기능을 갖는 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 23 항에 있어서,상기 창의 상기 연마대상물측 표면과 상기 연마대상물의 연마면과의 간격을 상기 정반의 회전에 동기하여 제어하는 기능을 갖는 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제 16 항 내지 제 26 항에 기재되어 있는 장치 또는 방법 중 적어도 하나의 장치 또는 방법을 이용하는 것을 그 제조공정 중에 포함하는 특징으로 하는 반도체 디바이스의 제조방법.
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