KR20010024167A - 절연도파관 및 반도체제조장치 - Google Patents

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KR20010024167A
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waveguide
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microwaves
plasma
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Korean (ko)
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우에노유이치로
다케모리사토시
나카노야스노리
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가나이 쓰도무
가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼
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    • H01P1/04—Fixed joints
    • H—ELECTRICITY
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