KR20010022093A - Ｘ-레이 검사 장치 - Google Patents

Abstract

X-레이 검사 장치(1)는 X-레이 소스(2)와, X-레이 검출기(5) 및 상기 X-레이 소스(2)와 X-레이 검출기(5) 사이에 배치되는 X-레이 필터(6)를 구비한다. 상기 X-레이 필터(6)는 필터 요소(7), 특히 모세관을 포함하며, 개별적인 필터 요소의 X-레이 흡수성은 개별 필터 요소(7)내의 X-레이 흡수액(32)의 양을 조절함으로써 제어될 수 있다. 개별 필터 요소내 X-레이 흡수액의 양은 개별 필터 요소에 적용된 전압에 의해 제어될 수 있다. 필터 요소(7)는 포일의 횡방향으로 확장되는 스택에 배치된 변형 포일(10) 사이의 공간으로서 형성된다. 인접 포일은 시임(30)을 따라 서로 국부적으로 부착된다. 강판(11)과 완충 부재(12) 사이에 배치된 스택은 강판과 스택 사이에 제공된다. 상기 완충 부재는 스택의 확장 방향의 횡방향으로 수축될 수 있다. 모세관의 단면 형상은 시임의 공간에 대한 시임의 폭 비율에 달려 있다.

Description

Ｘ-레이 검사 장치{X-ray examination apparatus including an X-ray filter}

이러한 종류의 X-레이 검사 장치는 국제특허출원 제 WO 96/13040 호에 공지되어 있다.

X-레이 검사 장치는 검사될 물체, 예를 들면 방사능 검사될 환자의 X-레이 이미지를 형성한다. X-레이 소스는 X-레이 비임으로 물체를 조사하고 X-레이 이미지는 물체내에서 X-레이 흡수에 있어서의 지역차로 인해 X-레이 검출기상에 형성된다. X-레이 필터는 X-레이 이미지의 광도값 범위가 제한되는 것을 보장한다. X-레이 필터는 한편으로 물체에 의해 거의 희석되지 않는 X-레이 비임의 일부가 X-레이 필터에 의해 미소하게 희석되고 다른 한편으로 물체에 의해 심각하게 희석되는 X-레이 비임의 일부가 실질적으로 희석없이 필터에 의해 전달되도록 조절된다. X-레이 이미지의 광도값이 제한 범위내에 놓이기 때문에, X-레이 이미지는 저 대비의 작은 상세한 것도 선명하게 재생할 수 있도록 용이하게 또한 처리될 수 있다.

공지된 X-레이 검사 장치의 X-레이 필터는 매우 많은 모세관을 갖는 번들을 포함하고, 그 각각은 일단부가 X-레이 흡수액과 연통한다. X-레이 흡수액의 그러한 모세관의 내벽에 대한 부착은 관련 모세관에 적용되는 전압에 달려있다. 특히, 모세관의 내벽에 대해 X-레이 흡수액에 의해 밀봉된 접촉각은 내벽과 X-레이 흡수액 사이의 전압차에 달려있다. 상기 접촉각이 90°보다 크면, X-레이 흡수액은 모세관을 거의 관통하지 못하며, 접촉각이 90°보다 작을 때, 모세관은 전위차의 크기에 따라 많은 X-레이 흡수액으로 충전된다. 따라서, X-레이 흡수액에 대한 모세관의 모세 효과는 전기적으로 조절될 수 있다. 각 모세관내의 X-레이 흡수액의 양은 모세관에 공급된 전압에 기초하여 조절된다.

공지된 X-레이 검사 장치의 X-레이 필터의 제조는 매우 많은 수의 모세관을 규칙적인 패턴으로 묶는 것이 매우 어렵기 때문에, 복잡하고 값이 비싸다.

본 발명은 X-레이 소스, X-레이 검출기 및 상기 X-레이 소스와 X-레이 검출기 사이에 배치되고 X-레이 흡수성이 개별 필터 요소내의 X-레이 흡수액의 양 조절에 의해 조절될 수 있는 다수의 필터 요소를 포함하는 X-레이 필터를 구비하는 X-레이 검사 장치에 관한 것이다.

도 1은 본 발명이 사용된 X-레이 검사 장치의 개략도.

도 2는 X-레이 필터를 제조하는데 사용된 스택된 포일의 일예를 도시하는 개략적인 측면 및 정면도.

도 3은 도 2의 스택된 포일을 확장함으로써 형성된 X-레이 필터의 개략적인 측면 및 정면도.

도 4는 X-레이 필터를 제조하는데 사용된 스택된 필터의 다른 예를 도시하는 개략적인 측면 및 정면도.

도 5는 도 4의 스택된 포일을 확장함으로써 형성된 X-레이 필터의 개략적인 측면 및 정면도.

도 6은 본 발명에 따른 X-레이 검사 장치의 X-레이 필터의 필터 요소중 하나를 상세하게 도시하는 개략적인 평면도.

본 발명의 목적은 보다 용이하게 제조될 수 있는 X-레이 필터를 포함하는 X-레이 검사 장치를 제공하는데 있다.

이러한 목적은 본 발명에 따른 X-레이 검사 장치에 의해 달성되며, 상기 장치는 X-레이 필터가 변형가능한 포일의 스택을 포함하고, 개별적인 필터 요소가 개별적인 변형가능한 포일 사이의 공간에 의해 형성되며, 인접한 포일이 서로 국부적으로 부착되고, 변형가능한 포일의 스택이 강판 사이에 배치되며, 상기 강판이 변형가능한 포일에 기계적으로 결합되고, 포일의 스택이 포일면에 횡으로 확장되며, 완충 부재가 포일의 스택과 하나 이상의 강판 사이에 제공되어 포일의 스택에 평행하게 수축될 수 있는 것을 특징으로 한다.

포일의 스택이 포일면에 횡으로 확장되기 때문에, 예를 들면 포일면에 횡으로 포일의 스택을 스트래칭함으로써, 포일이 서로 부착되는 위치 사이에 있는 인접 포일간에 공간이 생성된다. 포일의 스택이 보다 스트래칭되면, 공간이 소정의 최대 크기에 도달할 때까지 포일 사이에 더 큰 공간이 생성된다. 포일의 스택이 매우 크게 스트래칭되면, 공간은 다시 작게 된다. 바람직하게 공간은 필터 요소로서 작용하는 모세관으로 형성된다. 필터 요소인 모세관의 X-레이 흡수성은 상기 모세관내 X-레이 흡수액의 양 조절에 의해 조절된다. 포일의 스택은 포일의 스택을 스트레칭하는 힘이 강판상에 발휘될 수 있도록 강판 사이에 배치되기 때문에 포일의 스택은 용이하게 스트레칭될 수 있다. 기계적 결합은 강판상에 발휘된 힘이 포일의 스택상에 포일면에 횡으로 작용하도록 하므로, 포일이 서로 부착되지 않는 영역에서 잡아 끊어지는 것을 보장한다. 강판은 완전히 굽어질 수 없게 될 필요는 없지만, 포일보다 상당히 덜 용이하게 변형될 수 있어야 한다. 따라서, 포일면에 횡으로 발휘된 힘이 강판이 변형되지 않고 또는 그 변형이 적어도 실질적으로 작게 되게 주로 포일의 스택을 확장하는 것이 달성된다. 기계적 결합은 완충 부재에 의해 제공된다. 예를 들면, 포일의 스택과 적어도 하나의 강판은 완충 부재의 양 측면에 연결된다. 강판에 의해 포일면의 횡으로 완충 부재상에 발휘된 힘에 반응하여, 상기 완충 부재는 포일면에 실질적으로 평행한 방향으로 수축된다. 따라서, 실제적으로 포일의 스택에 걸쳐서 인접한 포일은 포일이 서로 부착되는 공간 사이에서 동일하게 멀리 잡아 끊어지는 것이 달성된다. 따라서, 기본적으로 동일한 단면을 갖는 모세관이 포일의 스택에 걸쳐서 포일 사이에 형성될 수 있다. 그러므로, X-레이 필터의 공간 해상도는 전체 표면에 걸쳐 실질적으로 균일하게 달성된다. 따라서, X-레이 필터로 인한 X-레이 이미지에 있어서의 인위 구조 및/또는 교란이 방지될 수 있다. 바람직하게는, 두 개의 완충 부재가 사용될 수 있으며, 그러한 경우에 개별 완충 부재는 특히 공간 해상도의 고도의 균일성을 달성하도록 포일의 스택과 각 강판 사이에 제공된다. 그래서, 본 발명에 따른 X-레이 검사 장치는 고도의 진단 질의 X-레이 이미지를 형성할 수 있다, 즉 저 대비의 작은 상세한 곳이 X-레이 이미지에서 적절하게 재생될 수 있다.

상기 포일은 합성 재료의 얇은 포일이 바람직하다. 가용성 포일이 사용될 때, 스택된 포일은 포일의 평면에 횡 방향으로 용이하게 변형될 수 있으므로, 필터 요소를 구성하는 공간이 인접 포일 사이에서 국부적으로 형성된다. 바람직하게는, 얇은 포일이 사용되는데, 그 이유는 얇은 포일은 X-레이를 거의 흡수하지 못하므로, X-레이 이미지를 방해하지 않기 때문이다. 스택된 얇은 가요성 포일은 용이하게 조절될 수 있으며, 그러한 포일은 수행된 박판보다 현저하게 단점이 작다. 상기 포일은 바람직하게는 얇으며, 예를 들면 대략 5㎛의 두께를 갖는 포일이 사용된다. 더욱이, 포일은 바람직하게는 가능한 한 양호하게 X-레이를 전달하므로, X-레이 필터에 의한 X-레이의 배경 흡수가 낮게 유지된다. 게다가, X-레이를 적절하게 지지할 수 있는 고도의 기계적 강도를 갖는 포일을 사용할 수 있다는 장점이 있다. 포일에 적절한 재료는 폴리프로필렌 설폰(PPS)라는 것을 알았으며, 폴리에틸렌과 폴리에스테르도 적절한 포일 재료이다.

스택된 포일은 바람직하게는 포일의 평면에 횡방향으로 포일을 고정함으로써 확장된다. 결과적으로, 인접 포일은 서로 부착되지 않는 영역에서 국부적으로 이동한다. 확장되는 스택된 포일은 기계적으로 인장 유지함으로써 확장된 조건에서 유지될 수 있다. 또한 스택된 포일은 인장후에 포일의 탄성을 과감하게 감소시킴으로써, 예를 들면 일시적으로 가열하거나 X-레이 또는 자외선 복사에 노출시킴으로써 확장 유지될 수 있다.

본 발명의 이러한 양태 및 다른 양태는 종속 청구항에 한정된 실시예를 참조하여 이하에서 상세히 서술될 것이다.

시임의 변화 패턴은 시임의 다른 구조와 모세관을 만든다. 인접한 포일은 시임을 따라 서로 국부적으로 부착된다. 그러한 대안 구조는 매우 강하며 그럼에도 불구하고 많은 공간이 모세관을 위해 효과적으로 사용된다.

포일은 포일을 서로 접착제로 국부적으로 접착시킴으로써 서로 국부적으로 용이하게 부착될 수 있다. 바람직하게는, 좁은 접착 시임이 포일상에 제공되는데, 그것은 포일이 서로 부착되는 시임으로서 작용하고, 그후 접착 시임을 갖는 포일은 스택되어 될 수 있는 한 가압된다. 접착 시임은 구조화된 접착층 형태로 용이하게 증착될 수 있다. 접착층에 있는 접착 재료는 포일에 적절하게 접착한다. 상기 접착층은 접착 시임을 구성하는 2방향 공간 패턴을 갖는다. 그러한 접착층이 사용될 때는, 다수의 포일상에 다수의 좁은 접착 시임을 개별적으로 제공할 필요가 없다. 따라서, 국부적으로 부착된 포일의 스택이 모세관의 연속 형성을 위해 재빨리 적절하게 제조될 수 있다.

또한, 포일은 접착제를 사용하지 않고 포일을 압력하게 국부적을 가열함으로써 서로 국부적으로 부착될 수 있다. 그러한 열 압축은 인접한 포일을 다소 국부적으로 융합시킨다. 폴리머, 예를 들면 플라스틱 포일이 사용되면, 상기 포일은 포일이 서로 가압되는 영역에서 적절한 접착을 달성하도록 폴리머의 유리 천이 온도 이상으로 바람직하게 가열된다. 바람직하게는, 인접한 포일의 접착을 국부적으로 방해하는 분리 층이 인접한 포일 사이에 사용된다. 상기 분리 층은 개구부가 분리 층에 잔존하도록 구조화된다. 인접한 포일은 자유 개구부를 통해 적절한 분리 층의 양면으로 서로를 접촉시킬 수 있다. 개별 포일의 사이에서 압력이 분리 층을 갖는 포일의 스택상에 발휘되면, 인접 포일은 분리 층의 개구부를 통해 서로 접촉하는 영역에서 서로 연결된다. 분리 층이 인접한 포일을 국부적으로 이결시키는 영역에서, 포일의 스택이 잡아 끊어질 때 공간이 형성된다. 예를 들면, 개구부는 포일이 상기 시임을 따라 서로 부착되도록 열 압축에 의해 인접한 포일이 융합되는 시임을 형성하는 좁은 스트립이다.

모세관의 단면 패턴은 포일면에 횡으로 포일 스택의 확장 정도, 시임 사이의 포일면에 평행한 방향에 있는 공간, 포일이 서로 부착되는 시임, 상기 시임의 폭에 의해 결정된다. 인접 포일 사이에서 규칙적인 패턴의 시임이 그 공간보다 대략 세배 좁고 포일의 스택이 단지 조금만 확장될 때 다소 눈형태의(eye-shaped) 패턴이 얻어진다, 스택이 더 확장되면 6각형의 벌집 패턴이 생기고 스택이 보다 더 확장되면 다소 만곡된 코너를 갖는 삼각형 패턴이 얻어진다. 벌집 패턴이 사용되면, 포일의 확장 스택은 기계적으로 고강도를 갖게 달성된다. 인접 포일 사이에서 규칙적인 패턴의 시임이 대략 그 공간보다 2배 좁으면, (다소 만곡된 코너를 갖는) 다이아몬드형 패턴이 얻어지며 포일의 스택이 다소 확장되는지에 따라 눈형태의 패턴이 얻어진다. 시임이 그 공간보다 매우 좁고 포일의 스택이 아주 조금만 확장되면, 모세관의 눈형태 패턴의 단면이 형성된다. 확장 포일에서 모세관의 방향은 확장 포일에서 서로에 대한 시임의 방향에 달려있다. 예를 들면, 직선 또는 휘어지고 서로 평행한 시임이 사용되면 직선 및 휘어진 모세관이 각각 형성되고, 시임이 서로를 향해 집중하면 테이퍼진 모세관이 형성된다. 더욱이, 쌍으로 평행하게 연장하는 시임이 사용될 수 있으므로 시임의 개별 쌍은 서로에 대해 작은 각도를 둘러싼다. 그 경우에 필터 요소는 서로에 대해 작은 각도를 둘러싸는 모세관의 형태로 얻어진다. 따라서, 실제적으로 X-레이 비임에 있는 모든 X-레이는 각각의 모세관을 통해 동일 각도로 통과하는 것이 달성된다. 그러므로, X-레이 필터는 X-레이 필터의 중앙과 X-레이 필터의 에지 사이에서 그 공간 해상도가 거의 변화하지 않게 형성될 수 있다.

수은 및 갈륨과 같은 액체 금속이 X-레이 흡수액으로서 사용하기에 적절하다. 또한 세슘과 루비듐이 이 점에 있어서 적절한 재료이다. 갈륨 또는 세슘이 사용되면, 이 금속은 액화되도록 대략 30℃로 가열되어야 한다. 루비듐이 사용되면, 액화를 위해 대략 40℃로 가열되어야 한다. 더욱이, 다른 다수의 금속 합금이 X-레이 흡수액으로서 사용하기에 적절하다. 그 중에서도 칼륨, 소듐, 게르마늄, 리듐, 바륨, 수은, 망간, 창연(bismuth), 인듐, 설폰, 금, 구리 또는 셀레늄 요소의 조합을 함유하는 합금이 이 점에 있어서 적절한데, 그 이유는 이러한 요소의 합금이 100℃이하의 용융점을 갖는 합성물을 형성하도록 사용될 수 있기 때문이다.

필터 요소에 나타나는 X-레이 흡수액을 조절하는데 다양한 방법이 유용하다. 개별 필터 요소에 있는 X-레이 흡수액의 양은 필터 요소에 적용된 전압에 기초하여 특히 조절될 수 있는데, 이것은 전위차가 필터 요소의 벽과 X-레이 흡수액 사이에 존재하는 것을 의미한다. 그러한 방법은 예를 들면, 국제출원번호 제 WO 96/13040(PHN 15.044)와 제 WO 97/03450(PHN 15.378) 호에 공지되어 있다.

금속 트랙은 서로 연결되지 않는 포일의 상부상에 제공되는 스트립의 형태로 금속층에 의해 형성되는 것이 바람직하다. 예를 들면, 금속 트랙은 분리 층으로서 또한 작용하는 구조화된 금속층에 의해 형성된다. 금속 트랙은 전압이 개별 필터 요소에 적용되어 모세관이 되는 전극으로서 작용한다. 전기 절연층은 전기 단락이 X-레이 흡수액과 전극사이에 발생하지 않는 것을 보장한다. 예를 들면, 전기 절연층은 유전체층이다. 전기 절연층의 두께는 유전체층이 매우 낮은 흡수성을 가지며 전기 절연층이 X-레이 이미지에서 보이지 않는 것을 보장하도록 몇 ㎛에서 10 ㎛의 값을 초과하지 않는 것이 바람직하다. 다른 한편으로, 유전체층이 두껍지 않으므로 필터 요소의 반응 시간이 몇 십의 ms보다 길지 않게 된다. 따라서, X-레이 필터의 세팅은 일초내에 용이하게 변화될 수 있다. 그러므로, X-레이 필터의 세팅은 급속하게 연속으로 다른 X-레이 이미지에 적절하게 적용될 수 있다, 예를 들면, 초당 30, 60 또는 그 이상의 X-레이 이미지가 형성될 때 X-레이 필터는 개별적인 이미지에 적절하게 조절될 수 있다.

본 발명의 이러한 양태 및 다른 양태는 다음의 실시예와 첨부 도면을 참조하여 이하에서 상세히 서술될 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 X-레이 검사 장치의 개략도이다. X-레이 소스(2)는 물체를 조사하기 위한 X-레이 비임(3)을 방출한다. 물체(4), 예를 들면 방사능 검사될 환자내에서 X-레이의 흡수차의 결과로서, X-레이 이미지는 X-레이 소스를 향하도록 배치된 X-레이 검출기(5)의 X-레이 감지면상에 형성된다. 고압의 전원(5)은 고전압을 X-레이 소스(2)에 공급한다. 본 실시예의 X-레이 검출기(5)는 X-레이 이미지를 출구창(17)상의 광 이미지로 전환하는 X-레이 이미지 증강기(16)와 광 이미지를 픽업하는 비디오 카메라(18)를 포함하는 이미지 증강기 픽업 체인이다. 입구 스크린(19)은 입사 X-레이를 전자 광 시스템(20)에 의해 출구창상에 이미지되는 전자 비임으로 전환하는 X-레이 이미지 증강기의 X-레이 감지면으로서 작용한다. 입사 전자는 출구창(17)상의 인광체층(21)상에 광 이미지를 발생시킨다. 비디오 카메라(18)는 광 커플링(22), 예를 들면 렌즈 시스템 또는 광 섬유 커플링에 의해 X-레이 이미지 증강기(16)에 결합된다. 상기 비디오 카메라(18)는 광 이미지로부터 전자 이미지 신호를 유도하며, 상기 신호는 X-레이 이미지의 이미지 정보가 보이도록 모니터(23)에 적용된다. 또한, 상기 전자 이미지 신호는 다른 처리를 위해 이미지 처리 유닛(24)으로 공급된다.

X-레이 소스(2)와 물체(4) 사이에는 X-레이 비임의 국부적인 희석을 위해 X-레이 필터(6)가 배치된다. X-레이 필터(6)의 개별 필터 요소(7)의 X-레이 흡수는 조절 유닛(50)에 의해 조절된다. 상기 조절 유닛(50)은 고전압 전원(51)에 결합되므로, X-레이 필터(6)는 X-레이 소스에 의해 방출된 X-레이 비임(3)의 강도에 기초하여 조절될 수 있다. 더욱이, 상기 조절 유닛(50)은 비디오 카메라에 연결된다. 따라서, 상기 X-레이 필터는 전자 이미지 신호에 기초하여, 즉 X-레이 이미지의 이미지 정보에 기초하여 조절될 수 있다.

도 2는 X-레이 필터를 형성하기 위해 사용되는 스택된 포일(10)의 일예를 도시하는 개략적인 측면 및 정면도이다. 도 2는 평평한, 대략 평행한 포일(10)의 스택을 도시하며, 그것은 도면에서 정면도로 도시된 평면에 수직으로 연장한다. 각각의 구조화된 접착층(14)은 인접 포일의 사이마다 제공된다. 포일의 스택은 두 개 이상 또는 이하의 강판(11) 사이에 배치된다. 강판의 변형성은 포일 및 접착층의 변형성보다 매우 작다. 완충 부재(12)는 각 강판과 포일(10)의 스택 사이에 제공된다. 상기 강판은 각각의 완충 부재(12)에 연결되며, 각 완충 부재는 포일의 스택에 연결된다. 예를 들면, 각 완충 부재는 예를 들면 접착층(14)에 의해 스택에서 각각의 맨 끝(하부 및 상부) 포일에 연결된다. 인접 포일은 포일 평면에 횡 방향으로 중간 접착층을 갖는 포일의 스택을 압축함으로써 서로 국부적으로 부착된다, 특히 인접 포일은 접착 스트립 사이에서 서로 분리가 유지되면서 접착 스트립(33) 근처에서 서로 접촉한다. 따라서, 부착 스트립은 시임(30)을 형성함으로써 인접 포일이 서로 국부적으로 부착된다.

도 3은 도 2의 스택된 포일을 스트래칭함으로써 형성된 X-레이 필터의 개략적인 측면 및 정면도이다. 포일(10)의 스택은 화살표(40) 방향으로 스트래칭된다. 스트래칭은 예를 들면 화살표 방향으로 하나의 또는 양 강판(11)을 당김으로써 실현된다. 포일 스택의 스트래칭은 인접 포일 사이에, 즉 포일이 서로 부착되지 않는 영역에 공간을 국부적으로 생성한다. 접착 스트립의 사용 때문에, 포일 사이의 공간은 도면의 평면에 대략 수직으로 시임(30)에 평행하게 연장하는 모세관(7)으로서 형성된다. 포일 스택의 스트래칭 정도는 시임의 치수 및 시임의 간극과 관련하여 모세관의 치수를 결정한다. 포일의 횡 방향으로의 스트래칭으로 인해, 완충 부재는 포일에 평행한 방향으로 미소하게 수축된다. 따라서, 스택에 있는 포일은 주로 포일의 횡방향으로 스트래칭되는 것이 달성된다. 완충 부재는 바람직하게는 아크릴 테이프의 완충층이다.

도 4는 X-레이 필터를 형성하는데 사용되는 스택된 포일의 다른 예를 도시하는 개략적인 측면 및 정면도이다. 스택의 개별 포일(10)은 구조화된 개별 층(14)을 대신한다. 바람직하게는, 상기 개별 층(14)은 대략 5 내지 500 nm의 범위에 있는 두께를 갖는 알루미늄 스트립으로 구성되며, 대략 20 nm의 두께를 갖는 알루미늄 스트립이 바람직하게 사용된다. 포일이 압력하에서 유리 천이 온도 이상의 값으로 가열되면, 인접 포일은 알루미늄이 인접 포일 사이에서 존재하지 않는 영역에서 부분적으로 융합된다. 인접 포일은 그러한 열압축 처리에 의해 서로 국부적으로 부착된다. 알루미늄 스트립이 인접 포일 사이에서 존재하는 영역에서, 포일은 열압축 처리에 의해 서로 부착되지 않는다. 70 내지 500℃의 범위에 있는 유리 천이 온도를 갖는 포일은 그러한 열압축 방법의 적용에 매우 적절한 것을 알 수 있다.

도 5는 도 4의 스택된 포일을 스트래칭함으로써 형성된 X-레이 필터의 개략적인 평면도이다. 포일(10)의 스택은 화살표(40) 방향으로 스트래칭된다. 스트래칭은 예를 들면 화살표 방향으로 하나의 또는 양 강판(11)을 당김으로써 실현된다. 포일 스택의 스트래칭은 인접 포일 사이에, 즉 포일이 서로 부착되지 않는 영역에 공간을 생성한다. 평행한 스트립이 사용되면, 인접 포일이 서로 부착되는 대략 평행한 시임이 예를 들면 열압축에 의해 형성된다. 그러한 대략 평행한 시임 때문에, 포일 사이의 공간은 도면의 평면에 대략 수직으로 시임에 평행하게 연장하는 모세관으로서 형성된다. 포일 스택의 스트래칭 정도는 시임의 치수와 시임의 간극과 관련하여 모세관의 치수를 결정한다. 포일의 횡 방향 스트래칭으로 인해, 완충 부재는 포일에 평행한 방향으로 미소하게 수축된다. 따라서, 포일의 스택에서 일어나는 스트래칭은 주로 포일의 횡방향으로 향한다.

도 6은 본 발명에 따른 X-레이 검사 장치의 X-레이 필터의 필터 요소중 하나의 상세한 개략적인 평면도이다. 도 6은 도 2,3,4 및 5와 관련하여 설명된 바와 같이 국부적으로 부착된 포일의 스택의 스트래칭에 의해 형성된 모세관중 하나의 종축을 횡방향으로 취한 단면을 뚜렷하게 도시한다. 모세관의 벽은 포일(10)에 의해 형성된다. 전도층(14)은 내측으로 향하는 벽(10)의 측면상에 제공된다. 예를 들면, 전도층은 도 4와 5를 참조하여 설명된 일예에 사용된 구조화된 알루미늄 분리 층(14)과 동일한 층이다. 예를 들면, 도 2와 3에서 도시된 일예와 같이 분리 층이 사용되지 않으면, 전도층은 개별적으로 제공된다. 개별 모세관의 전도층은 서로 전기적으로 절연되므로 개별 모세관에 있는 X-레이 흡수액의 양이 서로 독립적인 방법으로 전기 제어될 수 있도록 보장한다. 전기 절연층은 전도층상에 제공된다. 유전체층은 전기 단락이 모세관에 있는 X-레이 흡수액과 전도층 사이에서 발생하지 않도록 보장한다. 더욱이, 전도층은 소수성 피복층(31;hydrophobic coating layer)으로 커버된다. X-레이 흡수액과 수소성 피복층의 친화력은 낮다.

Claims (10)

1. X-레이 소스(2)와, X-레이 검출기(5)와, 상기 X-레이 소스와 X-레이 검출기 사이에 배치되는 X-레이 필터(6)를 구비하며, 상기 X-레이 필터(6)는 X-레이 흡수성이 개별적인 필터 요소(7)내의 X-레이 흡수액의 양 조절에 의해 조절될 수 있는 다수의 필터 요소(7)를 포함하는 X-레이 검사 장치(1)에 있어서,

   상기 X-레이 필터는 변형가능한 포일의 스택을 포함하고, 개별적인 필터 요소는 개별적인 변형가능한 포일 사이의 공간에 의해 형성되며, 인접한 포일은 서로 국부적으로 부착되고, 변형가능한 포일의 스택은 강판 사이에 배치되며, 상기 강판은 변형가능한 포일에 기계적으로 결합되고, 포일의 스택은 포일면에 횡으로 확장되며, 완충 부재가 포일의 스택과 하나 이상의 강판 사이에 제공되어 포일면에 평행하게 수축될 수 있는 것을 특징으로 하는 X-레이 검사 장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 국부적으로 인접한 포일은 서로 접착제로 부착되거나 서로 융합되는 것을 특징으로 하는 X-레이 검사 장치.
3. 제 2 항에 있어서, 서로 부착되는 인접한 포일의 개별 쌍의 시임 패턴은 서로에 관해 변화되는 것을 특징으로 하는 X-레이 검사 장치.
4. 제 1 항에 있어서, 구조화된 접착층이 개별적인 포일 사이에 제공되는 것을 특징으로 하는 X-레이 검사 장치.
5. 제 1 항에 있어서, 구조화된 분리층이 개별적인 포일 사이에 제공되는 것을 특징으로 하는 X-레이 검사 장치.
6. 제 1 항에 있어서, 상기 인접한 포일은 시임을 따라 서로 국부적으로 부착되며, 인접한 시임 사이의 거리에 대한 개별 시임 폭의 비는 0.1 내지 0.4 범위이며, 바람직하게는 1/4 또는 1/3이 되는 것을 특징으로 하는 X-레이 검사 장치.
7. 제 1 항에 있어서, 상기 인접한 포일은 시임을 따라 서로 국부적으로 부착되며, 상기 개별적인 시임의 폭은 인접한 시임 사이의 거리보다 매우 작은 것을 특징으로 하는 X-레이 검사 장치.
8. 제 1 항에 있어서, 상기 X-레이 흡수액은 액체 금속인 것을 특징으로 하는 X-레이 검사 장치.
9. 제 1 항에 있어서, 금속 트랙이 개별적인 포일상에 제공되며, 전기 절연층이 상기 금속 트랙상에 제공되고, 소수성 피복층이 상기 전기 절연층상에 제공되는 것을 특징으로 하는 X-레이 검사 장치.
10. 제 1 항에 있어서, 상기 완충 부재는 고무, 점성과 탄성을 가진 재료 또는 엘라스토머 재료를 사용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 X-레이 검사 장치.