KR20000066610A - 액정표시소자의 배향막 위치 정확도 측정방법 - Google Patents

액정표시소자의 배향막 위치 정확도 측정방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20000066610A
KR20000066610A KR1019990013843A KR19990013843A KR20000066610A KR 20000066610 A KR20000066610 A KR 20000066610A KR 1019990013843 A KR1019990013843 A KR 1019990013843A KR 19990013843 A KR19990013843 A KR 19990013843A KR 20000066610 A KR20000066610 A KR 20000066610A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
glass substrate
transfer plate
alignment
alignment film
alignment marks
Prior art date
Application number
KR1019990013843A
Other languages
English (en)
Inventor
정은호
Original Assignee
김영환
현대전자산업 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 김영환, 현대전자산업 주식회사 filed Critical 김영환
Priority to KR1019990013843A priority Critical patent/KR20000066610A/ko
Publication of KR20000066610A publication Critical patent/KR20000066610A/ko

Links

Classifications

    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61LMETHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
    • A61L2/00Methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects other than foodstuffs or contact lenses; Accessories therefor
    • A61L2/02Methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects other than foodstuffs or contact lenses; Accessories therefor using physical phenomena
    • A61L2/04Heat
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61LMETHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
    • A61L2/00Methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects other than foodstuffs or contact lenses; Accessories therefor
    • A61L2/02Methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects other than foodstuffs or contact lenses; Accessories therefor using physical phenomena
    • A61L2/08Radiation
    • A61L2/085Infrared radiation
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61LMETHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
    • A61L2/00Methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects other than foodstuffs or contact lenses; Accessories therefor
    • A61L2/24Apparatus using programmed or automatic operation
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61LMETHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
    • A61L2202/00Aspects relating to methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects
    • A61L2202/10Apparatus features
    • A61L2202/11Apparatus for generating biocidal substances, e.g. vaporisers, UV lamps
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61LMETHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
    • A61L2202/00Aspects relating to methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects
    • A61L2202/10Apparatus features
    • A61L2202/14Means for controlling sterilisation processes, data processing, presentation and storage means, e.g. sensors, controllers, programs
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61LMETHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
    • A61L2202/00Aspects relating to methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects
    • A61L2202/10Apparatus features
    • A61L2202/15Biocide distribution means, e.g. nozzles, pumps, manifolds, fans, baffles, sprayers

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Epidemiology (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

본 발명은 액정표시소자의 배향막 위치 정확도 측정 방법을 개시한다. 개시된 본 발명은, 배향막이 도포되지 않는 유리기판의 양측 가장자리 2개소에 유리기판용 정렬 마크를 형성한다. 유리기판에 배향막을 도포하는데 사용되는 전사판에 전사판용 마크를 형성한다. 전사판을 유리기판상에 배치한 후, 각 정렬 마크를 카메라로 촬영하여 서로의 중심이 일치하는지를 확인하여, 배향막의 위치 정확도를 측정한다.

Description

액정표시소자의 배향막 위치 정확도 측정 방법{Method for determining position accuracy of alignment layer of LCD}
본 발명은 액정표시소자의 배향막 위치 정확도 측정 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 액정표시소자의 유리기판에 형성된 배향막이 유리기판상에서 정확하게 위치되었는지의 여부를 측정하는 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 액정의 위상을 변화시켜 원하는 글자나 문자 또는 숫자를 디스플레이시키는 액정표시소자는 2개의 유리기판 사이에 액정이 봉입된 구조의 액정 셀과, 이 액정 셀로 빛을 조사하는 백 라이트 유니트를 포함한다.
액정 셀은 제조하는 방법은 다음과 같다. 먼저, 화소전극이 형성된 하부 유리기판과 상부 유리기판 각각의 내측면에 액정 분자의 초기 배열 상태를 결정하는 배향막을 전사판을 이용해서 코팅한다. 2개의 유리기판 중 어느 하나의 유리기판상에는 접착제를 프린트하고, 다른 하나의 유리기판에는 스페이서를 코팅한 후, 봉착 공정에서 이들 2개의 유리기판을 겹쳐 포갠 상태로 압착 장치의 건조 오븐에 넣고, 열압착을 실시한다. 또한, 상하부 유리기판 각각에는 빛이 일정한 방향으로만 입사되도록 하기 위한 편광판이 부착된다. 한편, 배향막의 재질은 폴리이미드(PI)로서, 경화 공정을 통해서 견고하게 경화된다.
여기서, 배향막은 유리기판의 전체 표면에 걸쳐서 도포되는 것이 아니라, 가장자리를 제외한 중앙에만 도포된다. 한편, 배향막은 전술된 바와 같이, 전사판을 이용해서 도포되므로, 유리기판에 대한 전사판의 상대적 위치가 바로 배향막의 도포 위치가 된다.
그러므로, 전사판을 이용해서 배향막을 유리기판에 코팅하기 전에, 전사판이 유리기판의 중앙에 정확하게 위치되었는지의 여부를 사전에 확인해야 한다. 만일, 전사판이 유리기판에 대해서 한 쪽으로 치우쳐 있다면, 배향막도 전사판이 치우친 방향으로 코팅되기 때문에, 전 제품의 유리기판에 배향막을 코팅하기 전에 유리기판에 대한 전사판의 상대적 위치를 측정해야 한다. 종래에는, 불량으로 판정된 유리기판에 전사판을 이용해서 배향막을 코팅한 후, 이를 현미경으로 촬영하여 전사판의 위치 정확도를 측정하였다.
그런데, 종래에는 불량 유리기판을 이용해서 전사판, 즉 배향막의 위치 정확도를 측정한 후, 규격내에 만족하게 되면, 배향막을 실제의 유리기판에 코팅하는 공정을 실시하였다. 즉, 종래에는 전수 검사를 행하지 않고 불량 유리기판에 대해서만 배향막의 위치 정확도에 대한 검사를 실시하였다.
이와 같이 전수 검사가 불가능한 관계로, 배향막이 어긋나게 도포된 유리기판에 계속 후속 공정이 실시되므로써, 불량율이 높아지는 원인이 되었다.
또한, 별도의 불량 유리기판을 이용해서 배향막의 위치 정확도를 측정하는 작업을 실시해야 하기 때문에, 이러한 준비 작업으로 인해서 많은 시간이 지연되는 문제점도 있었다.
따라서, 본 발명은 종래의 배향막 위치 정확도 측정 방법이 안고 있는 제반 문제점들을 해소하기 위해 안출된 것으로서, 별도의 불량 유리기판을 이용하지 않고 실제 배향막 코팅 공정에 투입되는 유리기판 전체를 모두 검사할 수 있고, 따라서 측정을 위한 별도의 준비 시간도 필요하지 않게 되는 액정표시소자의 배향막 위치 정확도 측정 방법을 제공하는데 목적이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 측정 방법을 설명하기 위한 도면.
- 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 -
1 ; 유리기판 2 ; 전사판
3 ; 유리기판용 정렬 마크 4 ; 전사판용 정렬 마크
상기와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 배향막의 위치 정확도 측정 방법은 다음과 같은 단계로 이루어진다.
배향막이 도포되지 않는 유리기판의 양측 가장자리 2개소에 유리기판용 정렬 마크를 형성한다. 유리기판에 배향막을 도포하는데 사용되는 전사판에 전사판용 마크를 형성한다. 전사판을 유리기판상에 배치한 후, 각 정렬 마크를 카메라로 촬영하여 서로의 중심이 일치하는지를 확인하여, 배향막의 위치 정확도를 측정한다.
상기된 본 발명의 구성에 의하면, 유리기판과 전사판에 구비된 각 정렬 마크의 중심이 일치되는지의 여부로 유리기판에 대한 전사판의 상대적 위치를 측정하게 되므로써, 모든 유리기판에 대한 배향막의 도포 위치를 정확하게 측정할 수가 있게 된다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면에 의거하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 측정 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도시된 바와 같이, 유리기판(1)상에 유리기판(1)보다 크기가 작은 전사판(2)이 배치된다. 즉, 전사판(2)을 이용해서 도포되는 배향막은 유리기판(1)의 전체 표면에 도포되는 것이 아니라 가장자리를 제외한 중앙부에만 도포된다.
배향막이 도포되지 않는 유리기판(1)의 양측 가장자리, 즉 전사판(2)으로부터 노출된 양측 가장자리 2개소에 +자 형상의 유리기판용 정렬 마크(3)를 형성한다. 한편, 유리기판용 정렬 마크(3) 위치와 대응되는 전사판(2) 위치에 ●자 형상의 전사판용 정렬 마크(4)를 형성한다.
이어서, 유리기판(1) 전체를 고체촬상소자 카메라(CCD camera)로 촬영하여, 유리기판(1) 전체 면적을 확인하고, 아울러 유리기판(1) 전체 면적에 대한 유리기판용 정렬 마크(3)의 좌표를 확인한다.
그런 다음, 전사판(2)을 유리기판(1)상에 배치하고, 전사판(2) 전체를 카메라로 스캐닝 방식으로 촬영한다. 이때, 전사판용 정렬 마크(4)인 ●자 형상내에 유리기판용 정렬 마크(3)인 +자 형상이 허용된 범위내에 위치하는지의 여부를 확인한다. 즉, +자 형상이 ●자 형상의 중심에 정확하게 일치되거나 또는 ●자 형상의 중심에서는 약간 편심되지만 허용된 범위내에 위치하는지의 여부를 확인한다.
이러한 위치 정확도 측정 방법은 어느 하나의 유리기판에 대해서만 실시하는 것이 아니라, 배향막이 도포되는 모든 유리기판에 대해서 실시한다. 따라서, 전 제품에 대한 전수 검사가 가능하다. 아울러, 불량 유리기판을 이용한 별도의 검사를 하지 않아도 되기 때문에, 시간 지연이 방지된다.
상기된 바와 같이 본 발명에 의하면, 유리기판과 전사판에 구비된 정렬 마크를 이용해서 전 제품에 대한 배향막의 도포 위치를 검사할 수가 있게 되므로써, 전 제품에 대한 전수 검사가 가능하게 된다. 따라서, 배향막이 어긋난 위치에 도포된 유리기판에 후속 공정이 실시되어, 불량율이 높아지는 것이 방지된다.
또한, 실제의 배향막 도포 라인에서 배향막 위치 정확도 검사가 실시되므로, 종래와 같이 불량 유리기판을 이용한 별도의 검사를 실시하지 않아도 되어, 시간 지연이 방지된다.
한편, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능할 것이다.

Claims (1)

  1. 액정표시소자의 유리기판에 전사판을 이용해서 배향막이 정확한 위치에 도포되는지의 여부를 확인하기 위해, 상기 배향막의 위치 정확도를 측정하는 방법으로서,
    상기 배향막이 도포되지 않은 유리기판의 양측 가장자리에 유리기판용 정렬 마크를 형성하고, 상기 유리기판용 정렬 마크의 위치와 대응하는 위치로 상기 전사판에도 정렬 마크를 형성하는 단계;
    상기 유리기판의 전체 면적을 확인하고, 이 면적에 대해서 각 유리기판용 정렬 마크의 좌표를 확인하는 단계; 및
    상기 유리기판상에 전사판을 배치하고, 상기 전사판용 정렬 마크에 유리기판용 정렬 마크가 허용된 범위내에 위치하는지의 여부를 확인하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 배향막 위치 정확도 측정 방법.
KR1019990013843A 1999-04-19 1999-04-19 액정표시소자의 배향막 위치 정확도 측정방법 KR20000066610A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990013843A KR20000066610A (ko) 1999-04-19 1999-04-19 액정표시소자의 배향막 위치 정확도 측정방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990013843A KR20000066610A (ko) 1999-04-19 1999-04-19 액정표시소자의 배향막 위치 정확도 측정방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20000066610A true KR20000066610A (ko) 2000-11-15

Family

ID=19580846

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019990013843A KR20000066610A (ko) 1999-04-19 1999-04-19 액정표시소자의 배향막 위치 정확도 측정방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20000066610A (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100795510B1 (ko) * 2006-04-04 2008-01-16 주식회사 탑 엔지니어링 페이스트 도포장치의 도포 위치 검사방법

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0269993A (ja) * 1988-09-05 1990-03-08 Nec Corp 積層ガイド孔加工方法
JPH0629183A (ja) * 1992-07-07 1994-02-04 Seiko Epson Corp 位置合わせ方法、露光装置、半導体装置の製造方法
JPH10256138A (ja) * 1997-03-17 1998-09-25 Matsushita Electron Corp 重ね合わせ測定マーク
JPH1154877A (ja) * 1997-08-01 1999-02-26 Seiko Epson Corp 基板接続構造、液晶表示装置及び電子機器

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0269993A (ja) * 1988-09-05 1990-03-08 Nec Corp 積層ガイド孔加工方法
JPH0629183A (ja) * 1992-07-07 1994-02-04 Seiko Epson Corp 位置合わせ方法、露光装置、半導体装置の製造方法
JPH10256138A (ja) * 1997-03-17 1998-09-25 Matsushita Electron Corp 重ね合わせ測定マーク
JPH1154877A (ja) * 1997-08-01 1999-02-26 Seiko Epson Corp 基板接続構造、液晶表示装置及び電子機器

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100795510B1 (ko) * 2006-04-04 2008-01-16 주식회사 탑 엔지니어링 페이스트 도포장치의 도포 위치 검사방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2023185B1 (en) Process for manufacturing display panel, display panel manufacturing apparatus and display panel
KR100718560B1 (ko) 액정 표시 장치 및 그 제조 방법
CN100514143C (zh) 液晶显示器件及其制造方法
CN108132558B (zh) 对位检测方法及显示装置
KR20160018328A (ko) 광학 필름 첩부 위치 측정 장치
TW201202721A (en) Array test apparatus
KR20000066610A (ko) 액정표시소자의 배향막 위치 정확도 측정방법
TW201027094A (en) Array test apparatus and method of measuring position of point on substrate thereof
JPH11295755A (ja) 配線基板の検査方法及び液晶装置の製造方法
CN106125319B (zh) 2d/3d可切换显示装置的制作系统与制作方法
JP4520224B2 (ja) 液晶パネルのシール剤塗布方法および装置
US9804437B2 (en) Liquid crystal display comprising an optical member having a chamfered portion and method for manufacturing the same
JP2000267253A (ja) 露光マスクの形成方法および液晶装置の製造方法
KR20140076886A (ko) 정렬 장치, 이를 포함하는 노광 장치 및 액정 표시 장치의 제조 방법
JP2004061633A (ja) 補正値算出装置、基板、基板製造方法、電気光学装置、電気光学装置の製造方法及び電子機器
KR100840676B1 (ko) 액정표시소자의 핫 프레스 장치 및 이를 이용한 합착방법
KR101189148B1 (ko) 액정표시장치의 배향막 러빙장치
KR20070068581A (ko) 편광판 부착 시스템 및 이를 이용한 편광판 부착 방법
JP2000187227A (ja) 液晶装置の製造方法
US20060146273A1 (en) Method for measuring a cell gap in a liquid crystal display
KR20070003155A (ko) 액정표시소자의 합착 방법
JP2000249519A (ja) 位置合わせ方法
JP2004191141A (ja) 平坦度測定方法、吸着力測定方法および測定用電気光学パネル
KR101339352B1 (ko) 액정표시장치용 컬러필터 기판의 검사장치
TW583387B (en) Method for measuring deviation of bonding between glass substrate and IC

Legal Events

Date Code Title Description
N231 Notification of change of applicant
N231 Notification of change of applicant
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application