KR20000051499A - 반도체 레이저의 전원 감지회로 - Google Patents

반도체 레이저의 전원 감지회로 Download PDF

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이윤재
구희호
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윤종용
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Abstract

본 발명은 반도체 레이저의 출력이 깜박거리는 경우 이 깜박거림을 검출하여 레이저의 출력을 차단함으로써 공정불량이 방지되도록 된 반도체 레이저의 전원 감지회로를 제공하기 위한 것이다. 이를 위해 본 발명에 따른 반도체 레이저의 전원 감지회로는, 레이저 다이오드의 반도체 레이저와 포토다이오드의 광 검출기를 포함하는 레이저 패키지를 구동시키는 반도체 레이저 구동회로에 있어서, 상기 포토다이오드에 연결되고 이 포토다이오드의 깜박거림을 모니터하는 모니터회로와, 이 모니터회로에 연결되고 상기 모니터회로로부터의 모니터신호와 소정 기준신호를 비교하여 그 차에 따른 제어신호를 출력하는 제어회로, 이 제어회로에 연결되고 상기 제어신호에 의해 구동전력을 상기 레이저 다이오드에 인가하며 변동하는 모니터신호와 기준신호간의 차이를 제거하기 위해 상기 레이저 다이오드를 규칙적으로 구동시키는 전원회로 및, 상기 모니터회로로부터 검출된 레이저 출력의 깜박거림 검출신호에 따른 소정 출력신호를 반도체 레이저 전원제어 집적회로(U17)로 출력하여 상기 반도체 레이저 전원제어 집적회로가 레이저의 전원을 차단하도록 하고, 발광다이오드를 발광시켜 레이저의 출력이 깜박이는 동작상태를 나타내는 저전압 검출회로로 구성된다.

Description

반도체 레이저의 전원 감지회로{Circuit for sensing power of semiconduc- tor laser}
본 발명은 반도체 레이저에 관한 것으로, 보다 상세하게는 노광설비에 사용되는 반도체 레이저의 전원 감지회로에 관한 것이다.
일반적으로, 노광설비에 사용되는 레이저는 사용용도에 따라 두가지 종류로 구분되는데, 이들 각각의 명칭은 LSA(laser step alignment) 레이저, WGA(wafer global alignment) 레이저이다. 상기 WGA 레이저는 웨이퍼를 이전 패턴과 정확히 정렬시키기 위해 현재의 웨이퍼 중심을 구하는데 사용되고, LSA 레이저는 샷(shot)의 중심을 구할 때 사용된다.
상기 레이저들은 레이저의 파워를 전압으로 환산시키고, 환산된 레이저의 전압과 기준전압을 비교한 후 환산된 전압이 기준전압 이하가 될 때에는 "POWER DOWN ERROR"의 메시지를 모니터 화면상에 출력하도록 되어 있다.
이와 같은 메시지가 출력될 때 발생하는 문제로는 몇 가지가 있다. 첫째로, 상기 레이저 파워의 저하(drop)가 제로까지 저하되는 것은 아니고 미리 설정된 파워, 예를 들면 기준 파워의 5∼10% 이하가 될 때부터 레이저가 깜박거리게 된다. 이와 같이, 레이저가 깜박거리게 되면, 레이저 본래의 기능을 수행하지 못하게 된다. 즉, 샷의 중심을 잘못 계측하게 되어 이전 패턴과의 정렬이 정확히 수행되지 못하는 오정렬(misalign)이 발생하게 된다.
한편, 반도체 레이저에는 검출전압이 기준전압과 비교되기 이전에 레이저의 전압을 임의로 조정할 수 있게 되어 있지만, 실제 레이저의 깜박거리는 순간의 전압은 레이저마다 미세한 차이가 있기 때문에 그 깜박거리는 순간의 전압을 기준으로 레이저의 전압 값을 설정하는 것은 상당히 어려운 문제이다. 따라서, 반도체 레이저에서는 레이저 파워에 다소의 여유로 두고 미리 교환을 하도록 되어 있다.
도 1은 종래 반도체 레이저 구동회로의 블록도이다. 동 도면에 있어서, 상기 구동회로는 레이저 다이오드(2a)의 형태인 반도체 레이저와 포토다이오드(2b)의 형태인 광 검출기(2b)를 포함하는 레이저 패키지(2)와, 모니터회로(110), 제어회로(111) 및, 전원회로(112)로 구성되어 있다. 상기 포토다이오드(2b)는 레이저 다이오드(2a)로부터 방사된 레이저 빔을 수신하여 대응 전기신호를 생성하기 위해 광전자 변환을 수행한다.
그리고, 모니터회로(110)가 전기신호를 모니터하는 포토다이오드(2b)에 연결됨으로써 레이저빔 세기의 변동을 나타내는 모니터신호를 생성하게 된다. 제어회로(111)는 상기 모니터회로(110)에 연결되고 상기 모니터신호를 소정 기준신호와 비교하여 그 차이에 따른 제어신호를 출력한다.
또한, 전원회로(112)는 상기 제어회로(111)에 연결되고 상기 제어신호에 의해 구동전력을 상기 레이저 다이오드(2a)에 인가하며 변동하는 모니터신호와 기준신호간의 차이를 제거하기 위해 레이저 다이오드(2a)를 규칙적으로 구동시킨다.
도 2는 도 1에 도시된 반도체 레이저 구동회로의 상세회로도이다. 동 도면에 있어서, 상기 레이저 패키지(2)는 상기 레이저 다이오드(2a)와 상기 포토다이오드(2b)를 포함하고 있다. 상기 레이저 다이오드(2a)의 애노드 단자는 전원선(Vcc)에 연결되어 있고, 상기 포토다이오드(2b)의 캐소드 단자는 상기 전원선(Vcc)에 연결되어 있다.
먼저 상기 리셋신호가 로우레벨로 동작하는 경우, 상기 아날로그 스위치(101)가 오프상태로 되어 제어회로와 전원회로가 동작을 시작하게 된다. 동시에, 상기 레이저 다이오드(2a)가 레이저빔을 방출하도록 동작되고, 상기 포토다이오드(2b)가 레이저빔 세기에 비례하는 포토전류의 출력을 시작한다.
이 포토전류는 전류-전압 변환저항(R10)에 의해 대응전압으로 변환된다. 상기 차동 증폭기(100)는 대응전압에 대해 임피던스 변환을 수행하고, 그 출력단자로부터 모니터신호를 출력한다. 따라서, 이러한 모니터신호는 포토다이오드(2b)로부터 수신된 레이저빔의 세기에 비례하는 전압 값을 갖는다.
상기 적분용 저항(R12)과 차동 증폭기(102) 및 적분용 캐패시터(C10)로 이루어진 적분기는 상기 차동 증폭기(102)의 +입력단자에 인가된 기준신호(Vref)와 그 -입력단자에 인가된 모니터신호간의 전압차이에 따라 적분용 캐패시터(C10)가 규칙적으로 충전 및 방전되도록 동작한다.
따라서, 상기 증폭기(102)는 상기 전압차에 따른 출력전압을 갖는 제어신호를 출력단자로부터 출력한다. 상기 출력전압은 저항(R16, R17)에 의해 분할된다. 상기 분할된 전압은 상기 레이저 다이오드(2a)를 구동하는 구동 트랜지스터(T10)에 의해 구동전류로 변환된다. 이러한 구동전류는 변화하는 모니터신호와 일정 기준신호간의 전압 차를 제거하기 위해 상기 레이저 다이오드(2a)에 인가된다.
한편, 상기 차동 증폭기(100)로부터의 모니터신호와 기준전압신호가 증폭기(102)에 의해 비교된 후 상기 모니터신호가 기준전압신호 보다 높으면 상기 증폭기(102)가 하이레벨 신호를 출력하고, 낮으면 로우레벨 신호를 출력하게 된다. 이후, 레이저의 파워가 낮아지게 되면, 전환되는 전압도 낮아지게 되어 기준전압 보다 낮을 때가 발생하게 된다. 이때, 상기 증폭기(102)로부터 계속 로우레벨 신호가 출력되어 반도체 레이저 전원제어 집적회로(U17 Integrated Circuit; 도시되지 않음)가 로우레벨 신호를 검출함으로써 최종적으로 모니터 화면상에 "LASER POWER DOWN" 이라는 메시지를 출력하게 된다.
그러나, 상기 전원제어 집적회로가 매번 짧은 순간 레이저의 출력신호를 검출하는 것이 아니라 웨이퍼를 로딩(loading)하는 첫 번째에서만 검출하고 있기 때문에, 레이저가 깜박거리게 되면 레이저의 출력신호를 검출하지 못하게 된다. 이와 같이, 레이저의 출력신호를 검출하지 못하게 되면, 상기 전원제어 집적회로는 레이저가 정상적으로 출력되는 것으로 인식하고 다음 동작을 수행하게 되어 공정불량이 발생하는 문제점이 있었다.
이에 본 발명은 상기한 사정을 고려하여 이루어진 것으로, 반도체 레이저의 출력이 깜박거리는 경우 이 깜박거림을 검출하여 레이저의 출력을 차단함으로써 공정불량이 방지되도록 된 반도체 레이저의 전원 감지회로를 제공하고자 함에 그 목적이 있다.
도 1은 종래 반도체 레이저 구동회로의 블록도,
도 2는 도 1에 도시된 반도체 레이저 구동회로의 상세회로도,
도 3은 본 발명에 따른 반도체 레이저의 전원 감지회로의 블록도,
도 4는 도 3에 도시된 반도체 레이저의 전원 감지회로의 상세회로도,
도 5는 도 4에 도시된 저전압 검출회로의 타이밍도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
1,2: 레이저 패키지1a,2a: 레이저 다이오드
1b,2b: 포토다이오드10,12,100,102: 차동 증폭기
11,101: 아날로그 스위치13: 비교기
14: 인버터15: AND게이트
16: D플립플롭20,110: 모니터회로
21,111: 제어회로22,112: 전원회로
23: 저전압 검출회로
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 레이저의 전원 감지회로는, 레이저 다이오드의 반도체 레이저와 포토다이오드의 광 검출기를 포함하는 레이저 패키지를 구동시키는 반도체 레이저 구동회로에 있어서, 상기 포토다이오드에 연결되고 이 포토다이오드의 깜박거림을 모니터하는 모니터회로와, 이 모니터회로에 연결되고 상기 모니터회로로부터의 모니터신호와 소정 기준신호를 비교하여 그 차에 따른 제어신호를 출력하는 제어회로, 이 제어회로에 연결되고 상기 제어신호에 의해 구동전력을 상기 레이저 다이오드에 인가하며 변동하는 모니터신호와 기준신호간의 차이를 제거하기 위해 상기 레이저 다이오드를 규칙적으로 구동시키는 전원회로 및, 상기 모니터회로로부터 검출된 레이저 출력의 깜박거림 검출신호에 따른 소정 출력신호를 반도체 레이저 전원제어 집적회로(U17)로 출력하여 상기 반도체 레이저 전원제어 집적회로가 레이저의 전원을 차단하도록 하고, 발광다이오드를 발광시켜 레이저의 출력이 깜박이는 동작상태를 나타내는 저전압 검출회로로 구성된 것을 특징으로 한다.
상기와 같이 구성된 본 발명은, 상기 레이저의 출력이 깜박거리는 경우, 즉 출력전압이 하이레벨로부터 로우레벨 또는 로우레벨로부터 하이레벨로 반복적으로 변화되는 경우 비교기가 그 출력단자로부터 로우레벨 신호, 예를 들면 0V의 전압을 출력하여 D플립플롭의 출력신호가 상기 반도체 레이저 전원제어 집적회로로 입력됨으로써 상기 전원제어 집적회로(U17)가 레이저의 전원을 차단하여 공정상에서 발생하게 될 제품의 불량을 방지할 수 있게 된다. 또한, 상기 레이저의 출력이 계속적으로 깜박이더라도 상기 D플립플롭의 출력신호가 계속적으로 상기 반도체 레이저 전원제어 집적회로로 입력됨으로써 레이저의 전원이 계속적으로 차단되게 된다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 반도체 레이저의 전원 감지회로에 대해 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 반도체 레이저의 전원 감지회로의 블록도이고, 도 4는 도 3에 도시된 반도체 레이저의 전원 감지회로의 상세회로도이다. 여기서, 도 1과 도 2에 도시된 종래의 반도체 레이저 구동회로와 동일한 구성에는 그에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 3에 있어서, 상기 반도체 레이저의 전원 감지회로는 레이저 다이오드(1a)의 형태인 반도체 레이저와 포토다이오드(1b)의 형태인 광 검출기를 포함하는 레이저 패키지(1)와, 모니터회로(20), 제어회로(21), 전원회로(22) 및, 저전압 검출회로(23)로 구성되어 있다. 여기서, 상기 포토다이오드(1b)는 레이저 다이오드(1a)로부터 방사된 레이저빔을 수신하여 대응 전기신호를 생성하기 위해 광전자 변환을 수행한다.
그리고, 모니터회로(20)는 전기신호를 모니터하는 포토다이오드(1b)에 연결되고, 이 포토다이오드(1b)로부터의 깜박거림을 검출하여 모니터신호를 출력한다. 상기 제어회로(21)는 상기 모니터회로(20)에 연결되고, 이 모니터회로(20)로부터의 모니터신호를 소정 기준신호와 비교하여 그 차이에 따른 제어신호를 출력한다.
또한, 전원회로(22)는 상기 제어회로(21)에 연결되고, 상기 제어회로(21)로부터의 제어신호에 의해 구동전력을 상기 레이저 다이오드(1a)에 인가하며, 변동하는 모니터신호와 기준신호간의 차이를 제거하기 위해 레이저 다이오드(1a)를 규칙적으로 구동시킨다.
그리고, 저전압 검출회로(23)는 상기 모니터회로(20)로부터 검출된 레이저 출력의 깜박거림 검출신호에 따른 소정 출력신호, 예를 들면 로우레벨의 신호를 반도체 레이저 전원제어 집적회로(U17)로 출력하여 상기 반도체 레이저 전원제어 집적회로가 레이저의 전원을 차단하도록 하고, 발광다이오드를 발광시켜 레이저의 출력이 깜박이는 동작상태를 나타내게 된다.
도 4는 도 3에 도시된 반도체 레이저의 전원 감지회로의 상세회로도이다. 동 도면에 있어서, 상기 레이저 패키지(1)는 상기 레이저 다이오드(1a)와 상기 포토다이오드(1b)를 포함하고 있다. 상기 레이저 다이오드(1a)의 애노드 단자는 전원선(Vcc)에 연결되어 있고, 상기 포토다이오드(1b)의 캐소드 단자는 상기 전원선(Vcc)에 연결되어 있다.
여기서, 모니터회로는 상기 포토다이오드(1b)로부터 출력되는 포토전류가 대응전압으로 변환되도록 작용하는 전류-전압 변환저항(R1)을 갖추고 있다. 이 저항(R1)은 그 일단이 차동 증폭기(10)의 +입력단자에 연결되어 있고, 그 타단은 접지되어 있다. 그리고, 상기 차동 증폭기(10)의 -입력단자는 그 출력단자에 접속됨과 더불어 상기 저전압 검출회로(23)의 비교기(13)의 -입력단자에 연결되어 있다. 상기 차동 증폭기(10)는 임피던스 변환을 하는 버퍼로서의 기능을 수행함과 더불어, 그 출력단자로부터 모니터신호를 출력한다. 이 모니터신호는 상기 포토다이오드(1b)로부터 수신된 레이저빔의 깜박거림 신호를 의미한다.
그리고, 제어회로는 적분용 저항(R2)과, 차동 증폭기(12), 적분용 캐패시터(C1) 및, 아날로그 스위치(11)로 구성되어 있다. 상기 적분용 저항(R2)은 상기 이전 차동 증폭기(10)의 출력단자와 상기 차동 증폭기(12)의 -입력단자간에 연결되어 있다. 상기 적분용 캐패시터(C1)는 상기 차동 증폭기(12)의 -입력단자와 출력단자간에 연결되어 있다.
더욱이, 상기 차동 증폭기(12)는 소정 전압값, 즉 기준 전압신호를 +입력단자로 수신한다. 상기 적분용 저항(R2)과 차동 증폭기(12) 및 캐패시터(C1)는 적분회로를 구성하여 상기 모니터회로로부터의 모니터신호와 기준 전압신호간의 차이에 따른 제어신호를 출력한다. 또한, 상기 아날로그 스위치(11)는 상기 차동 증폭기(12)의 -입력단자와 출력단자간에 삽입되어 있고, 제어회로로부터의 리셋신호에 의해 동작하게 된다.
상기 전원회로는 전압 분할저항(R6, R7)과, 구동 트랜지스터(T1) 및, 전압-전류 변환저항(R8)으로 구성되어 있다. 상기 트랜지스터(T1)의 베이스는 저항(R6)을 통해 증폭기(12)의 출력단자에 연결되고, 콜렉터는 상기 레이저 다이오드(1a)의 캐소드 단자에 연결되며, 에미터는 저항(R8)을 통해 접지되어 있다.
그리고, 상기 저전압 검출회로는 비교기(13)와, 인버터(14), AND게이트(15), D플립플롭(16), 저항(R10) 및, 발광다이오드(17)로 구성되어 있다. 한편, 레이저의 출력이 정상상태일 경우 상기 D플립플롭(16)의 입력단자(D)로는 항상 하이레벨, 즉 5V의 전압이 인가되어 그 출력단자(Q)로부터는 하이레벨의 출력신호가 출력되게 된다.
한편, 상기 레이저의 출력이 깜박거리게 되면 상기 D플립플롭(16)의 입력단자(D)로 하이레벨, 즉 5V로부터 로우레벨, 즉 0V 또는 로우레벨로부터 하이레벨로 변화되는 신호가 입력되고, 이와 동시에 순간적으로 클록단자(CK)로 펄스신호가 입력되어 상기 D플립플롭(16)의 출력단자(Q)로부터 로우레벨, 즉 0V의 출력신호가 출력되게 된다. 이후, 상기 0V의 출력신호가 반도체 레이저 전원제어 집적회로(U17 Integrated Circuit; 도시되지 않음)의 13번 단자로 입력됨으로써 상기 집적회로(U17)가 레이저의 전원을 차단하게 된다. 이와 동시에, 상기 D플립플롭(16)의 출력단자()로부터는 하이레벨의 출력신호가 출력되어 상기 발광다이오드(17)를 동작시키게 된다.
다음에, 상기 반도체 레이저 구동회로의 동작은 다음과 같다. 먼저, 상기 리셋신호가 로우레벨로 동작하는 경우, 상기 아날로그 스위치(11)가 오프상태로 되어 제어회로와 전원회로가 동작을 시작하게 된다. 이와 동시에, 상기 레이저 다이오드(1a)가 레이저빔을 방출하도록 동작되고, 상기 포토다이오드(1b)가 레이저빔 세기에 비례하는 포토전류를 출력하기 시작한다.
이 포토전류는 전류-전압 변환저항(R1)에 의해 대응전압으로 변환된다. 상기 차동 증폭기(10)는 대응전압에 대해 임피던스 변환을 수행하고, 그 출력단자로부터 모니터신호를 출력한다. 따라서, 이러한 모니터신호는 포토다이오드(1b)로부터 수신된 레이저빔의 깜박거림 신호이다.
도 5는 도 4에 도시된 저전압 검출회로의 타이밍도로서, 이를 이용하여 본 발명에 따른 저전압 검출회로의 동작을 설명한다. 먼저, 도 5에 도시된 리셋신호가 상기 D플립플롭(16)의 리셋단자()로 입력되고, 이때 레이저의 출력신호가 정상일 경우에는 하이레벨의 전압, 예를 들면 5V의 전압, 리셋시에는 로우레벨의 전압, 예를 들면 0V의 전압이 상기 리셋단자()로 입력되게 된다. 그리고, 상기 D플립플롭(16)은 출력단자(Q)로부터 하이레벨의 전압, 예를 들면 5V의 전압을 출력하게 된다.
이후, 차동 증폭기(10)로부터의 모니터신호와 기준 전압신호가 비교기(13)에 의해 비교되게 된다. 이때, 비교 결과 레이저의 출력이 정상상태일 경우에는 상기 비교기(13)는 그 출력단자로부터 하이레벨 신호, 즉 5V의 전압을 출력하고, 이 전압이 D플립플롭(16)의 입력단자(D)로 입력되게 된다.
한편, 상기 차동 증폭기(10)로부터의 신호전압과 기준전압의 비교결과 레이저의 출력이 깜박거리게 되면, 상기 비교기(13)의 출력단자, 즉 A 노드로부터 하이레벨 즉 5V로부터 로우레벨 즉 0V 또는 로우레벨로부터 하이레벨로 변화되는 신호가 출력되고, 이와 동시에 순간적으로 클록단자(CK)로 펄스신호가 입력되어 상기 D플립플롭(16)의 출력단자(Q)로부터 로우레벨, 즉 0V의 출력신호가 출력되게 된다.
이후, 반도체 레이저 전원제어 집적회로(U17)가 레이저의 전원을 차단하게 된다. 이와 동시에, 상기 D플립플롭(16)의 출력단자()로부터는 하이레벨의 출력신호가 출력되어 상기 발광다이오드(17)를 동작시키게 된다. 이와 같이, 발광다이오드(17)가 발광하게 되어 레이저가 깜박거리는 동작상태임을 사용자는 확인할 수 있게 된다.
또한, 상기 레이저의 출력이 계속적으로 깜박거리는 경우, 즉 출력전압이 하이레벨로부터 로우레벨 또는 로우레벨로부터 하이레벨로 반복적으로 변화되는 경우에도 상기 비교기(13)가 그 출력단자로부터 계속적으로 로우레벨 신호, 예를 들면 0V의 전압을 출력하여 D플립플롭(16)의 출력신호가 상기 반도체 레이저 전원제어 집적회로(U17)로 계속적으로 입력됨으로써 상기 전원제어 집적회로(U17)가 레이저의 전원을 계속적으로 차단하여 공정상에서 계속적으로 발생하게 될 제품의 불량을 방지할 수 있게 된다.
그러나, 상기 D플립플롭(16)의 출력단자(Q)가 상기 AND게이트(15)의 타단에 접속되어 있어 상기 출력단자(Q)의 출력신호가 로우레벨 신호이면 상기 AND게이트(15)의 출력신호는 로우레벨 신호가 된다. 따라서, 상기 D플립플롭(16)의 클록단자(CK)로는 로우레벨 신호가 입력되어 D플립플롭(16)의 출력단자에는 출력변화가 발생하지 않게 된다.
이후, 상기 레이저의 출력이 깜박거리는 경우 상기 전원제어 집적회로(U17)가 레이저의 전원을 차단하게 되면, 사용자가 레이저를 교환한 후 리셋스위치를 작동시켜 모든 신호의 상태를 초기화시키게 된다.
한편, 본 발명은 상기한 특정 실시예에 한정되는 것이 아니라 본원의 요지와 범주를 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지로 변형 및 수정하여 실시할 수 있는 것이다.
상기한 본 발명에 따른 반도체 레이저의 전원 감지회로는, 상기 레이저의 출력이 깜박거리는 경우, 즉 출력전압이 하이레벨로부터 로우레벨 또는 로우레벨로부터 하이레벨로 반복적으로 변화되는 경우 비교기가 그 출력단자로부터 로우레벨 신호, 예를 들면 0V의 전압을 출력하여 D플립플롭의 출력신호가 상기 반도체 레이저 전원제어 집적회로로 입력됨으로써 상기 전원제어 집적회로(U17)가 레이저의 전원을 차단하게 된다.
또한, 상기 레이저의 출력이 계속적으로 깜박이더라도 상기 D플립플롭의 출력신호가 계속적으로 상기 반도체 레이저 전원제어 집적회로로 입력됨으로써 레이저의 전원이 계속적으로 차단되게 된다.
이와 동시에, 레이저의 출력이 깜박거리는 동작상태를 표시함과 더불어, 이후의 제품 생산공정이 정지됨으로써 공정상에서의 제품의 공정불량이 발생하지 않게 된다. 그리고, 레이저 출력의 깜박거림이 미리 차단되게 되어 샷 중심 계측의 잘못이 미연에 방지되고, 이전 패턴과의 오정렬(misalign) 또한 방지되게 된다.

Claims (3)

  1. 레이저 다이오드의 반도체 레이저와 포토다이오드의 광 검출기를 포함하는 레이저 패키지를 구동시키는 반도체 레이저 구동회로에 있어서,
    상기 포토다이오드에 연결되고 이 포토다이오드의 깜박거림을 모니터하는 모니터회로와,
    이 모니터회로에 연결되고 상기 모니터회로로부터의 모니터신호와 소정 기준신호를 비교하여 그 차에 따른 제어신호를 출력하는 제어회로,
    이 제어회로에 연결되고 상기 제어신호에 의해 구동전력을 상기 레이저 다이오드에 인가하며 변동하는 모니터신호와 기준신호간의 차이를 제거하기 위해 상기 레이저 다이오드를 규칙적으로 구동시키는 전원회로 및,
    상기 모니터회로로부터 검출된 레이저 출력의 깜박거림 검출신호에 따른 소정 출력신호를 반도체 레이저 전원제어 집적회로(U17)로 출력하여 상기 반도체 레이저 전원제어 집적회로가 레이저의 전원을 차단하도록 하고, 발광다이오드를 발광시켜 레이저의 출력이 깜박이는 동작상태를 나타내는 저전압 검출회로로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 레이저의 전원 감지회로.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 저전압 검출회로는 상기 모니터회로로부터의 상기 포토다이오드의 깜박거림 신호와 기준 전압신호를 비교한 후 소정 출력신호를 출력하는 비교기와,
    이 비교기로부터의 출력신호가 입력단자(D)로 입력됨과 더불어, 순간적으로 클록단자(CK)로 펄스신호가 입력되어 출력단자(Q)로부터 소정 출력신호가 상기 반도체 레이저 전원제어 집적회로(U17)로 출력하여 상기 반도체 레이저 전원제어 집적회로가 레이저의 전원을 차단시키도록 하는 D플립플롭 및,
    이 D플립플롭의 출력단자()로부터의 출력신호에 의해 발광되는 발광다이오드로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 레이저의 전원 감지회로.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 D플립플롭은 상기 비교기로부터의 출력신호가 하이레벨로부터 로우레벨로 또는 로우레벨로부터 하이레벨로 변화되면 그 출력단자(Q)로부터 소정 출력신호, 즉 로우레벨신호를 출력하고, 이후 상기 출력신호가 변화되더라도 계속적으로 로우레벨신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 반도체 레이저의 전원 감지회로.
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CN113176556A (zh) * 2021-04-20 2021-07-27 安徽汉先智能科技有限公司 一种用于激光雷达设备的激光能量检测电路

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