KR20000042747A - 이방성 전도필름의 가압착시 병진 및 회전테이블의 이송제어방법 - Google Patents

이방성 전도필름의 가압착시 병진 및 회전테이블의 이송제어방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 이방성 전도필름의 가압착시 병진 및 회전테이블의 이송제어방법을 제공한다.
그 이송제어방법은, TMA의 4변(X1,X2,Y1,Y2)중 X1변 및 X2변에 각각 X11,X12와 X21,X22위치와 Y1변 및 Y2변 Y11위치와 Y21위치의 리드부에 이방성 전도필름을 압착시키기 위해 XYθ테이블의 정위치에 TMA 원판을 투입하여 진공흡착수단으로 고정시킨 후, 압착헤드가 위치하는 압착위치로 XYθ테이블에 의해 그 TMA를 이송시키고 그 압착위치에서 이방성 전도필름을 상기 각 리드부에 압착시키는 이방성 전도필름의 가압착 방법에 있어서: X11,X12와 X21,X22위치와 Y1변 및 Y2변 Y11위치와 Y21위치의 리드부의 기준점이 그 각 리드부가 압착헤드와 일치되는 상태에서의 압착헤드의 원점과 일치되게 하여 구해지는 목표위치로의 이동량(Xmov 및 Ymov) 및 이동각도(θmov)에 의해 각각의 리드부의 기준점이 압착헤드의 원점에 위치하도록 XYθ테이블이 구동되는 것을 특징으로 한다.

Description

이방성 전도필름의 가압착시 병진 및 회전테이블의 이송제어방법
본 발명은, 이방성 전도필름의 가압착시 병진 및 회전테이블의 이송제어방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 TCP(tape carrier package)의 리드부를 각 TMA의 리드부에 연결시키기 위해 TMA를 XYθ테이블상에 배치시켜 압착헤드측으로 이동시켜 이방성 전도필름을 TMA의 다수의 리드부에 가압착시킴에 있어 그 XY테이블을 간단하게 구동시킬 수 있는 이방성 전도필름의 가압착시 병진 및 회전테이블의 이송제어방법에 관한 것이다.
도 1에는 테이프 캐리어 패키지의 일예가 평면도로서 도시되며, 도 2에는 TMA에 테이프 캐리어 패키지를 실장하기 위한 이방성 전도필름테이프의 구조가 단면도로서 도시된다.
도 1에서 TCP(10)은, TMA(thin film micro-mirror array actuated)(1) 또는 LCD용 구동드라이브용 IC칩(11)을 지니며, 외부소자와 TMA(1)에 전기적 연결을 위한 입력리드부(16)와 출력리드부(14)가 패턴부(13,15)를 개재하여 형성되며, 그 출력리드부(14)에는 테스트 패드부(14')가 형성된다.
이와 같이 형성되는 TCP(10)는 그 입력리드부(16) 및 출력리드부(14)에서 TAB(tape automated bonding)법에 의해 도 1에 도시된 바와 같이 이방성 전도필름(anisotropic conductive film: ACF)(18)에 의해 TMA(1)와 같은 소자에 실장된다.
그 이방성 전도필름테이프(19)의 구조가 도 2에 도시된다.
도 2에서 이방성 전도필름테이프(19)는 이방성 전도필름(18)의 상하로 투명한 상보호막필름(19')과 백색의 하보호막필름(19")이 부착되어 있다. 이와 같이 구성된 이방성 전도필름테이프(19)로부터 상보호막필름(19')과 하보호막필름(19")을 제거하고 이방성 전도필름(18)만을 일정한 길이로 핸드그리퍼에 의해 절단시켜 TMA(1)의 리드부(1')에 압착시키고, 그 뒤, TCP(10)의 리드부(14)를 압착시킴으로써 실장되게 된다.
그러나, 상술한 바와 같이 이방성 전도필름테이프(19)으로부터 상보호막필름(19')과 하보호막필름(19")을 제거하고 이방성 전도필름(18)만을 일정한 길이로 핸드그리퍼에 의해 절단시켜 TMA(1)의 리드부(1')에 압착시키는 공정은 번거롭고 생산성이 저하된다는 문제가 있으며, 또한, 기존의 테이프 이송장치와 절단장치로 자동화하는 것은 상보호막필름(19')과 하보호막필름(19")을 박리시키고 절단장치에 의해 이방성 전도필름(18)을 절단시킨 후에는 절단된 이방성 전도필름(18)을 이송하는 장치가 별도로 필요하게 되며, 이러한 이송장치를 없애기 위해서는 압착후에 다시 여분의 이방성 전도필름(18)을 절단하여야 한다는 문제가 있어 용이하게 구성되지 못하였다.
또한, 종래 LCD의 구동드라이버를 연결시키기 위한 장치에 있어서는 1변만을 가압착하는 것으로 그 구성이 매우 복잡하여 4변에 TCP(10)를 연결하여야 하는 TMA(1)에는 적용하기 곤란하다.
따라서, 본 발명은, 이러한 문제를 해결하기 위한 것으로, TMA를 XYθ테이블상에 배치시키고 압착헤드측으로 이동시켜 이방성 전도필름을 TMA의 다수의 리드부에 가압착시킴에 있어 각 리드부가 압착헤드의 위치에 배치되도록 그 XYθ테이블을 간단하게 구동시킬 수 있는 이방성 전도필름의 가압착시 병진 및 회전테이블의 이송제어방법을 제공하는 데에 그 목적이 있다.
도 1은 이방성 전도필름을 이용하여 TMA에 테이프 캐리어 패키지를 실장하는 상태를 도시한 평면도,
도 2는 TMA에 테이프 캐리어 패키지를 실장하기 위한 이방성 전도필름테이프의 구조를 도시한 단면도,
도 3a는 본 발명의 일실시예에 따른 이방성 전도필름의 가압착장치의 구성을 도시한 개략도이고, 도 3b는 구체적인 가압착장치의 정면도이며, 도 3c는 그 측면도,
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이방성 전도필름의 가압착방법의 구성을 도시한 공정도,
도 5는 TMA의 원점을 좌측 상부 코너로 하고, 각 리드부의 기준점을 각각 압착헤드에 일치시킨 경우의 그 압착헤드의 원점과 일치시켜 배치시킨 상태에서 XYθ테이블의 이동량을 구하기 위한 구성도,
도 6은 TMA의 원점을 변경시킨 때의 XYθ테이블의 이동량을 구하기 위한 구성도,
도 7은 압착장치를 자동으로 운전하기 위한 흐름도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명>
1: TMA(thin film micro-mirror array actuated) 1': 리드부
10: TCP(tape carrier package) 11: IC칩
12: 필름부 13,15: 패턴부
14,16: 리드부 14': 패드부
18: 이방성 전도필름(ACF) 18': 박리전도필름
19: 이방성 전도필름테이프 19': 상보호막필름
19": 하보호막필름 20: 공급릴
21: 하보호막필름 권취릴 22: 압착헤드
23: 상보호막필름 권취릴 30: 공급유니트
31: 절단장치 32: ACF척
33: 박리봉 35: XYθ테이블
이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명의 일실시예에 따른 이방성 전도필름의 가압착시 병진 및 회전테이블의 이송제어방법은, TMA의 4변(X1,X2,Y1,Y2)중 X1변 및 X2변에 각각 X11,X12와 X21,X22위치와 Y1변 및 Y2변 Y11위치와 Y21위치의 리드부에 이방성 전도필름을 압착시키기 위해 XYθ테이블의 정위치에 TMA 원판을 투입하여 진공흡착수단으로 고정시킨 후, 압착헤드가 위치하는 압착위치로 XYθ테이블에 의해 그 TMA를 이송시키고 그 압착위치에서 이방성 전도필름을 상기 각 리드부에 압착시키는 이방성 전도필름의 가압착 방법에 있어서: X11,X12와 X21,X22위치와 Y1변 및 Y2변 Y11위치와 Y21위치의 리드부의 기준점이 그 각 리드부가 압착헤드와 일치되는 상태에서의 압착헤드의 원점과 일치되게 하며, 상기 압착헤드의 원점으로부터 TMA의 원점까지의 거리를 ｜dx｜ 및｜dy｜라하고, 상기 TMA의 원점으로부터 각 기준점까지의 X축 및 Y축 거리를 각각 Px 및 Py라 할 때, 목표위치로의 이동량(Xmov 및 Ymov)는 다음의 수학식 1에 의해 구해지며,
(여기서, -X_Limit < dx < +X_Limit이고, -Y_Limit < dy < +Y_Limit임),
또한, 이동각도(θmov)는, θD를 이동할 목표지점의 θ데이타라 하고, θs는 현재 지점의 θ데이타라 할 때, -π< θmov < π와 -2π< θD, θs< 2π를 만족시키도록 θmov = θD- θs과 θmov = θD+ 2π - θs(θmov > ±π인 경우)에 의해 정해지는 XYθ의 이동량(Xmov,Ymov,θmov)에 의해 각각의 리드부의 기준점이 압착헤드의 원점에 위치하도록 XYθ테이블이 구동되는 것을 특징으로 한다.
이에 따라 +값으로 Px 및 Py를 세팅할 수 있게 된다.
또, 상기 TMA(1)의 원점(Oa)이 다른 원점(Oa')으로 변경되는 때에는 다음의 수학식 2, 즉,
에 의하여 변경된 원점에 의해 XY의 이동량(Xmov,Ymov)이 구해질 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 3a에는 본 발명에 관련된 이방성 전도필름의 가압착장치의 구성이 개략도로서 도시되고, 도 3b에는 구체적인 가압착장치가 정면도로 도시되며, 도 3c에는 그 측면도가 도시된다. 또, 도 4에는 본 발명의 실시예에 따른 이방성 전도필름의 가압착방법의 구성이 공정도로서 도시된다.
도 3a 내지 도 3c에서 이방성 전도필름의 가압착장치는 공급릴(20), 하보호막필름 권취릴(21), 압착헤드(22), 절단장치(31), ACF척(32), 박리봉(33), XYθ테이블(35) 및 상보호막필름 권취릴(23)을 포함하여 구성되고 그 중간 중간에 다수의 안내롤러가 개재되며, 승강장치(30')를 포함하여 구성될 수 있고, 공급릴(20), 하보호막필름 권취릴(21) 및 상보호막필름 권취릴(23)은 유도모터에 의해서도 구동될 수 있지만, 그 다수의 안내롤러중에서 상보호막필름(19')의 박리후 박리 필름테이프(18')의 절단장치(31) 및 압착헤드(22)에의 이송을 위한 안내롤러는 펄스모터에 의해 구동되어 정밀한 간격으로 박리 필름테이프(18')가 이송되도록 구성된다.
공급릴(20)은, 도 2에 도시된 바와 같은 이방성 전도필름테이프(19)를 롤형태로 장착하여 안내롤러를 개재하여 공급하도록 구성되며, 하보호막필름 권취릴(21)은, 상기 공급릴(20)로부터 공급되는 이방성 전도필름테이프(19)로부터 안내롤러를 개재하여 상보호막필름(19')만을 박리시켜 권취하도록 구성된다.
ACF척(32)은, 상기 하보호막필름(19")이 박리된 박리 필름테이프(18')이 소정의 절단거리만큼 이송된 때에 그 박리 필름테이프(18') 내지 상보호막필름(19')을 상류 내지 하류에서 파지시켜 텐션을 가하도록 구성된다.
절단장치(31)는, 상기 상보호막필름(19')이 박리된 박리 필름테이프(18')로부터 소정의 위치에서 이방성 전도필름(18)만을 절단하도록 구성된다.
압착헤드(22)는, 상기 절단장치(31)에서 절단되는 이방성 전도필름(18)을 TMA(1)의 리드부(1')에 열에 의해 압착시키도록 히터를 내장하며 도시가 생략된 승강장치에 의해 승강된다.
박리봉(33)은, 그 압착헤드(22)에 의해 열압착된 후, 상보호막필름(19')을 하류측에서 분리시키도록 이동된다.
XYθ테이블(35)은, 상기 TMA(1)를 상부에 로딩시켜 압착헤드(22)에 의해 압착되는 위치에 그 TMA(1)의 각 리드부(1')를 위치시키도록 구성된다.
상보호막필름 권취릴(23)은, 상기 이방성 전도필름(18)이 압착헤드(22)에 의해 압착된 후의 스크랩인 상보호막필름(19')을 안내롤러를 개재하여 권취시키도록 구성된다.
또한, 상기 압착헤드(22)하부에서 XYθ테이블(35)상의 TMA(1)와 접촉하지 아니하는 상태로 박리 필름테이프(18')가 이송되며, 이송된 박리 필름테이프(18')의 이방성 전도필름(18)이 TMA(1)의 각 리드부(1')에 접촉하도록 공급릴(20), 상보호막필름 권취릴(23) 등의 이방성 전도필름(18)의 공급유니트(30)가 승강장치(30')에 의해 승강되게 구성될 수 있다.
또한, 상기 가압착장치가 자동/수동의 절환스위치에 의해 자동운전 내지 수동운전으로 작동될 수 있으며, 터치스크린(51,52,53)에 의해서도 조작될 수 있다.
이와 같이 구성되는 이방성 전도필름의 가압착 장치는, 각 공급릴(20), 하보호막필름 권취릴(21), 상보호막필름 권취릴(23) 등의 각 유도모터 내지 펄스모터와 XYθ테이블(35) 및 압착헤드(22) 내지 승강장치(30')가 다음에 일예로 설명하는 작동순서로 제어되도록 구성된, 도시가 생략된 연산기능을 지니는 제어부 및 메모리부를 포함하여 구성된다.
먼저, 도 4에서 본 발명의 일실시예에 따른 이방성 전도필름의 가압착방법은, TMA(1) 원판의 투입단계(P1), 부착단계(P2), 분리단계(P3), 이동단계(P4) 및 회전 및 이동단계(P5)를 기본적인 단계로서 포함하며, 제 1 반복단계, 제 2 반복단계(P6,P7) 및 제 3 반복단계를 포함하여 TMA(1)의 전 변에 걸쳐 이방성 전도필름(18)의 부착이 완료되게 된다.
즉, 투입단계(P1)에서 XYθ테이블(35)의 정위치에 TMA(1) 원판을 투입하여 진공흡착수단(35')으로 고정시키고, 부착단계(P2)에서 압착헤드(22)의 압착위치에서 그 투입된 TMA(1)의 X11위치에 이방성 전도필름(18)을 부착시키며, 분리단계(P3)에서 박리봉(33)과 같은 분리수단에 의해 적절한 상보호막필름(19')을 이방성 전도필름(18)으로부터 박리시킨다.
이와 같이 하여 하나의 X11위치에 이방성 전도필름(18)의 부착이 완료되면, 이동단계(P4)에서 상기 XYθ테이블(35)을 이동시켜 TMA(1)의 X12위치를 압착위치로 이동하고는 제 1 반복단계에서 상기 부착단계와 분리단계를 TMA(1)의 X12위치에서 반복실시한다.
그 뒤, 회전 및 이동단계(P5)에서 상기 XYθ테이블(35)을 이용하여 TMA(1)의 Y1위치를 압착위치에 일치시키도록 회전 및 이동시킨며, TMA(1)의 Y1위치에 대해 제 2 반복단계(P6,P7)에서 상기 부착단계와 분리단계를 반복실시한다.
또한, 제 3 반복단계에서 상기 이동단계(P4)와 회전 및 이동단계(P5)와 유사한 단계를 반복하여 TMA(1)의 X21,X22 및 Y2위치를 각각 압착위치로 이동시키고, 그 위치에서 각각 상기 부착단계와 분리단계를 반복 실시함으로써 TMA(1)의 4면에 결쳐 6위치에서 이방성 전도필름(18)이 부착되게 된다.
도 5에는 TMA의 원점을 좌측 상부 코너로 하고, 각 리드부의 기준점을 각각 압착헤드에 일치시킨 경우의 그 압착헤드의 원점과 일치시켜 배치시킨 상태에서 XYθ테이블의 이동량을 구하기 위한 구성도가 도시되며, 도 6에는 TMA의 원점을 변경시킨 때의 XYθ테이블의 이동량을 구하기 위한 구성도가 도시된다.
도 5에서 TMA(1)의 4변(X1,X2,Y1,Y2)중 X1변 및 X2변에 각각 X11,X12와 X21,X22위치와 Y1변 및 Y2변 Y11위치와 Y21위치의 리드부(1')에 이방성 전도필름(18)을 압착시키기 위해 XYθ테이블(35)의 정위치에 TMA(1) 원판을 투입하여 진공흡착수단(35')으로 고정시킨 후, 다음의 XYθ의 이동량(Xmov,Ymov,θmov)에 의해 각각의 리드부(1')의 기준점(P1 내지 P6)이 압착헤드(22)의 원점(Oh)에 위치하도록 XYθ테이블(35)이 구동된다.
도 5에서는 X1변 및 X2변의 X11,X12와 X21,X22위치와 Y1변 및 Y2변 Y11위치와 Y21위치의 리드부(1')의 기준점(P1 내지 P6)이 그 각 리드부(1')가 압착헤드(22)와 일치되는 상태에서의 압착헤드(22)의 원점(Oh)과 일치되게 결정되며, 상기 압착헤드(22)의 원점(Oh)으로부터 TMA(1)의 원점(Oa)까지의 거리를 ｜dx｜ 및｜dy｜라하고, 상기 TMA(1)의 원점(Oa)으로부터 각 기준점(P1 내지 P6)까지의 X축 및 Y축 거리를 각각 Px 및 Py라 할 때, 목표위치로의 이동량(Xmov 및 Ymov)는 다음의 수학식 1에 의해 구해진다. 즉,
= -
(여기서, -X_Limit < dx < +X_Limit이고, -Y_Limit < dy < +Y_Limit임).
또한, 이동각도(θmov)는, θD를 이동할 목표지점의 θ데이타라 하고, θs는 현재 지점의 θ데이타라 할 때, -π< θmov < π와 -2π< θD, θs< 2π를 만족시키도록 θmov = θD- θs과 θmov = θD+ 2π - θs(θmov > ±π인 경우)에 의해 정해진다.
구체적인 수치를 일예로 들면 다음 표 1과 같다.
No Px Py θ
P1 10 5 0
P2 45 5 0
P3 75 10
P4 70 50 π
P5 35 50 π
P6 5 45
Oa 0 0 0
상술한 바와 같이 함으로써 XYθ테이블(35)에 의해 이동거리를 최단축거리로 할 수 있으며, 각 기준점(P1 내지 P6)까지의 X축 및 Y축 거리를 각각 Px 및 Py를 + 값으로 세팅할 수 있게 된다.
또한, 도 6에서 상기 TMA(1)의 원점(Oa)이 다른 원점(Oa')으로 변경되는 때에는 다음의 수학식 2에 의해서 변경된 원점(Oa')에 의해 XY의 이동량(Xmov,Ymov)이 구해진다. 즉,
= +
일반적인 XY좌표내의 위치이동식은,
= -
에 의하여 구해진다. 여기서, 보통 Xt, Yt는 On이므로 0으로 놓을 수 있으며, 이와같이 하여 상기 수학식 2가 구해진다.
TMA(1)의 원점의 변경의 경우 구체적인 예는 다음 표 2 및 표 3과 같다.
Point No. Px Py θ
P1 -30 25 0
P2 5 25 0
P3 35 20
P4 30 -20 π
P5 -5 -20 π
P6 -35 -15
Oa 0 0 0
Step Ps PD Oa' Xmov Ymov θmov
θ dx dy
1↓ P1 0 Oh -100 -100 130 75 0
2↓ P2 0 Oh 30 -25 -35 0 0
3↓ P3 Oh -5 -25 25 -10
4↓ P4 π Oh 20 -35 10 15
5↓ P5 π Oh 30 -20 -35 0 0
6↓ P6 Oh -5 -20 25 -15
7 Oa 0 Oa 15 -35 -115 -65
= -
일예로서 원점을 포함하여 총 7포인트로 하고, 초기값 θs= 0, ｜dx｜= 100, ｜dy｜= 100 으로 설정하여 XYθ테이블(35)의 최소이동펄스에 의한 XYθ의 이동량(Xmov,Ymov,θmov)을 상술한 식들에 의해 구하면, 다음 표 4와 같다.
Step 이동시킬지점 Ps 목표점PD AMA 원점 Oa' Xmov Ymov θmov
θ dx dy
1↓ P1 0 Oh(0, 0) -100 -100 90 105 0
2↓ P2 0 Oh(0, 0) -10 5 -35 0 0
3↓ P3 Oh(0, 0) -45 5 35 -80
4↓ P4 π Oh(0, 0) -10 -75 80 25
5↓ P5 π Oh(0, 0) 70 -50 -35 0 π
6↓ P6 Oh(0, 0) 35 -50 10 55
7 Oa 0 Oa(-100, -100) 45 5 -145 -105
도 7에 도시된 자동운전방법에 있어서는 자동운전모드가 선택되어 스타트스위치에서 시작되면, 원점복귀단계(S12)에서 XYθ테이블(35)이 원점으로 복귀되고, 조작모드가 자동운전모드로 선택된다(단계S13).
그 뒤, TMA(1)을 XYθ테이블(35)상에 로딩시키도록 로딩단계(S14)가 수행되고, 단계 S15에서 상기 로딩된 TMA(1)를 진공으로 흡착시키도록 지령을 내리며, 스타트 스위치 감지단계(S16)에서 상기 로딩된 TMA(1)에 그 각 변의 압착위치마다에 이방성 전도필름(18)을 자동으로 압착하도록 스타트스위치(43)의 작동을 감지하여 자동운전을 개시한다.
단계 S17에서는 상류의 박리 필름테이프(18') 내지 하류의 상보호막필름(19')의 고정상태를 해제하기 위한 ACF척 개방단계가 수행되고, 단계 S18에서 박리 필름테이프(18')를 상보호막필름(19')과 함께 한 피치만큼 이송시키도록 이송단계가 수행된다.
그 이송단계에서 한 피치만큼 이송된 때, ACF척 폐쇄단계(S19)에서 박리 필름테이프(18') 내지 하류의 상보호막필름(19')을 고정시켜 텐션을 인가하도록 ACF척(32)을 하강시키며, 절단장치(31)에 의해 하프 절단단계(S20)에서 박리 필름테이프(18')중에서 이방성 전도필름(18)만을 소정의 길이로 절단한다.
그 뒤, 단계 S21에서 상기 TMA(1)의 이방성 전도필름(18)의 압착위치를 그 이방성 전도필름(18)의 하부에 배치시키도록 XYθ테이블(35)을 상술한 식들에 의해 구해지는 XYθ의 이동량(Xmov,Ymov,θmov)만큼 작동시키며, 단계 S22에서 그 절단된 이방성 전도필름(18)을 그 하부에 이동된 TMA(1)에 압착시키기 위해 압착헤드(22)를 하강시킨다.
그 압착상태에서 소정의 시간동안 열을 가하여 열압착단계(S23)를 실시하며, 열압착단계후에 압착헤드(22)를 상승시킨다(단계 S24).
절단되고 압착된 이방성 전도필름(18)과 상보호막필름(19')을 분리시키도록 분리단계(S25)에서 박리봉(33)을 작동시키고는 TMA(1)의 4변의 전 압착위치에서 각각 이방성 전도필름(18)이 압착되었는지를 확인하여 전부 압착되지 아니한 때에는 상기 ACF척 개방단계(S17) 내지 분리단계(S25)를 반복한다(단계 S26).
또한, 상기 XYθ테이블 이동단계(S21)후에 이방성 전도필름(18)이 TMA(1)에 밀접하게 접촉하도록 그 공급유니트(30)를 하강시키는 유니트하강단계르 추가로 포함할 수 있으며, 이 경우, 상기 분리단계(S25)전이나 후에 그 공급유니트(30)를 상승시키는 유니트상승단계를 포함하게 되고, 또한, 상기 단계 S26에서 압착완료가 확인된 때에는 TMA(1)를 언로딩시키거나 TCP(10)를 압착시키기 위해 XYθ테이블(35)을 원점으로 복귀시키는 원점복귀단계(S27)를 다시 실시할 수도 있다.
이와 같이 이방성 전도필름의 가압착장치의 자동운전제어방법이 구성되고, 작동됨으로써 자동으로 이방성 전도필름(18)을 이방성 전도필름테이프(19)로부터 이송시키면서 절단하여 각각의 압착위치에서 열과 압력에 의해 가압착시킬 수 있게 된다.
상술한 바와 같이 본 발명의 이송방법에 의하면, 데이터의 수동입력에 대응하여 상기 식들에 의하여 구해지는 XYθ테이블(35)의 XYθ의 이동량(Xmov,Ymov,θmov)만큼 각 리드부(1')에 대해 자동으로 또한, 순차로 XYθ테이블(35)이 이송됨으로써 최단거리로 정확한 위치에 이방성 전도필름(18)을 각각 압착시킬 수 있으며, 이로 인한 TCP(10)의 압착시 압착불량을 제거할 수 있게 된다.
이상에서 설명한 본 발명의 실시예들에 따른 이방성 전도필름의 가압착시 병진 및 회전테이블의 이송제어방법의 구성과 작용에 의하면, XYθ테이블(35)에 의해 최단거리로 자동이면서도 연속적이고, 정확하게 각각의 TMA(1)의 리드부(1')가 압착헤드(22)의 위치에 이송되어 이방성 전도필름(18)을 압착할 수 있게 되어 생산성과 정밀도를 향상시킬 수 있는 등의 효과가 있다.

Claims (2)

  1. TMA(1)의 4변(X1,X2,Y1,Y2)중 X1변 및 X2변에 각각 X11,X12와 X21,X22위치와 Y1변 및 Y2변 Y11위치와 Y21위치의 리드부(1')에 이방성 전도필름(18)을 압착시키기 위해 XYθ테이블(35)의 정위치에 TMA(1) 원판을 투입하여 진공흡착수단(35')으로 고정시킨 후, 압착헤드(22)가 위치하는 압착위치로 XYθ테이블(35)에 의해 그 TMA(1)를 이송시키고 그 압착위치에서 이방성 전도필름(18)을 상기 각 리드부(1')에 압착시키는 이방성 전도필름의 가압착 방법에 있어서:
    X11,X12와 X21,X22위치와 Y1변 및 Y2변 Y11위치와 Y21위치의 리드부(1')의 기준점(P1 내지 P6)이 그 각 리드부(1')가 압착헤드(22)와 일치되는 상태에서의 압착헤드(22)의 원점(Oh)과 일치되게 하며, 상기 압착헤드(22)의 원점(Oh)으로부터 TMA(1)의 원점(Oa)까지의 거리를 ｜dx｜ 및｜dy｜라하고, 상기 TMA(1)의 원점(Oa)으로부터 각 기준점(P1 내지 P6)까지의 X축 및 Y축 거리를 각각 Px 및 Py라 할 때, 목표위치로의 이동량(Xmov 및 Ymov)는 다음의 수학식 1에 의해 구해지며,
    = -
    (여기서, -X_Limit < dx < +X_Limit이고, -Y_Limit < dy < +Y_Limit임),
    또한, 이동각도(θmov)는, θD를 이동할 목표지점의 θ데이타라 하고, θs는 현재 지점의 θ데이타라 할 때, -π< θmov < π와 -2π< θD, θs< 2π를 만족시키도록 θmov = θD- θs과 θmov = θD+ 2π - θs(θmov > ±π인 경우)에 의해 정해지는 XYθ의 이동량(Xmov,Ymov,θmov)에 의해 각각의 리드부(1')의 기준점(P1 내지 P6)이 압착헤드(22)의 원점(Oh)에 위치하도록 XYθ테이블(35)이 구동되는 것을 특징으로 하는 이방성 전도필름의 가압착시 병진 및 회전테이블의 이송제어방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 TMA(1)의 원점(Oa)이 다른 원점(Oa')으로 변경되는 때에는 다음의 수학식 2, 즉,
    = +
    에 의하여 변경된 원점(Oa')에 의해 XY의 이동량(Xmov,Ymov)이 구해지는 것을 특징으로 하는 이방성 전도필름의 가압착시 병진 및 회전테이블의 이송제어방법.
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