KR20000039001A - 광펌프 레이저 밸브 및 광펌프 레이저 장치 - Google Patents

광펌프 레이저 밸브 및 광펌프 레이저 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20000039001A
KR20000039001A KR1019980054195A KR19980054195A KR20000039001A KR 20000039001 A KR20000039001 A KR 20000039001A KR 1019980054195 A KR1019980054195 A KR 1019980054195A KR 19980054195 A KR19980054195 A KR 19980054195A KR 20000039001 A KR20000039001 A KR 20000039001A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
laser
resonator
light
optical
valve
Prior art date
Application number
KR1019980054195A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100303831B1 (ko
Inventor
송청담
김상묵
Original Assignee
김순택
삼성에스디아이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 김순택, 삼성에스디아이 주식회사 filed Critical 김순택
Priority to KR1019980054195A priority Critical patent/KR100303831B1/ko
Priority to JP11349866A priority patent/JP2000183454A/ja
Publication of KR20000039001A publication Critical patent/KR20000039001A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100303831B1 publication Critical patent/KR100303831B1/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00—Semiconductor lasers
    • H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
    • H01S5/22—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure
    • H01S5/2205—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure comprising special burying or current confinement layers
    • H01S5/2206—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure comprising special burying or current confinement layers based on III-V materials
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/091—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
    • H01S3/094—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light
    • H01S3/0941—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light of a laser diode
    • H01S3/09415—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light of a laser diode the pumping beam being parallel to the lasing mode of the pumped medium, e.g. end-pumping
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00—Semiconductor lasers
    • H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
    • H01S5/18—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities
    • H01S5/183—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities having only vertical cavities, e.g. vertical cavity surface-emitting lasers [VCSEL]
    • H01S5/18308—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities having only vertical cavities, e.g. vertical cavity surface-emitting lasers [VCSEL] having a special structure for lateral current or light confinement
    • H01S5/18311—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities having only vertical cavities, e.g. vertical cavity surface-emitting lasers [VCSEL] having a special structure for lateral current or light confinement using selective oxidation

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Projection Apparatus (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)

Abstract

본 발명은 광펌프 레이저 밸브 및 광펌프 레이저 장치에 관한 것으로, 일정한 파장의 빛에 대하여 공진을 일으키는 레이저 공진기; 상기 레이저 공진기가 레이저 빔을 생성할 수 있도록 펌핑하여주는 광 펌핑 소스; 및 상기 레이저 공진기에서 방출된 레이저 빔이 영상 화면을 형성하도록 필터링하여 주는 광 밸브;를 구비한다.

Description

광펌프 레이저 밸브 및 광펌프 레이저 장치
본 발명은 광펌프 레이저 밸브 및 광펌프 레이저 장치에 관한 것이다.
도 1은 종래의 액정 광 밸브(LCLV; Liquid Crystal Light Valve)를 이용한 입체 영상 프로젝터의 개략적 구성도이다. 도시된 바와 같이, 종래의 입체 영상 프로젝터는 광원인 고압 금속-할라이드 램프(100)에서 발광된 백색광을 콜리메이팅 렌즈(200)로 평행광을 만들어 액정표시패널(300)로 집속시키고, 이 액정표시패널(300)은 입사된 광을 영상 신호에 맞추어 필터링하여 투과시킨다. 이 투과된 빛은 광학 렌즈계(400)로 집속시켜 스크린(500)에 투사하여 영상 화면을 얻어내는 장치이다. 그러나, 이와 같은 종래의 액정 광 밸브를 이용한 입체 영상 프로젝터는 고압의 금속-할라이드 광을 사용하지만 액정표시 패널에서 걸러져 투사된 광은 분산각이 크고 휘도가 낮아 스크린에 맺히는 화상은 콘트라스트가 수준에 못미치고, 선명하지 못하다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하고자 창안한 것으로, 투사형 표시 장치의 휘도 향상와 선명도(contrast)를 향상시키는 동시에 레이저의 영상 실현 및 장치의 콤팩트화가 가능한 광펌핑 레이저 밸브 및 광펌핑 레이저 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1은 종래의 액정 광 밸브를 이용한 입체 영상 프로젝터의 개략적 구성도,
도 2는 본 발명에 따른 일체형 광펌프 레이저 밸브의 개략적 구조를 보여주는 단면도,
도 3은 본 발명에 따른 분리형 광펌프 레이저 밸브의 개략적 구조를 보여주는 단면도,
도 4는 도 2 혹은 도 3의 광펌프 레이저 밸브의 레이저 공진기가 단결정으로 형성된 예를 보여주는 단면도,
그리고 도 5는 도 2 혹은 도 3의 광펌프 레이저 밸브의 레이저 공진기가 양자 우물 다중층으로 형성된 예를 보여주는 단면도이다.
＜도면의 주요부분에 대한 부호의 설명＞
1. 금속 반사기 2. 불활성 가스
3. 투명 도전막 4. 산화물 미러
5. 활성층 6. 분산 브래그 반사기
7. 투명 기판 8. 광 밸브(액정표시패널)
9. 레이저 공진기(cavity) 10. 광 펌핑 소스
11. 금속 반사기 12. 불활성 가스
13. 투명 도전막 14. 산화물 미러
15. 활성층 16. 분산 브래그 반사기
17. 투명 기판 18. 광 밸브(액정표시패널)
19. 레이저 공진기(cavity) 20. 광 펌핑 소스
100. 백색 광원 200. 콜리메이팅 렌즈
300. 액정 표시 패널 400. 투사 렌즈
500. 스크린
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 광펌핑 레이저 밸브는, 일정한 파장의 빛에 대하여 공진을 일으키는 레이저 공진기; 상기 레이저 공진기가 레이저 빔을 생성할 수 있도록 펌핑하여주는 광 펌핑 소스; 및 상기 레이저 공진기에서 방출된 레이저 빔이 영상 화면을 형성하도록 필터링하여 주는 광 밸브;를 구비한 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 레이저 공진기는 수직 공진 면방전 레이저 다이오드로 이루어지되, 이 수직 공진 면방전 레이저 다이오드에서 활성층은 Ⅱ-Ⅵ족 혹은 Ⅲ-Ⅴ족 화합물 반도체의 단결정층으로 형성되거나 혹은 Ⅱ-Ⅵ족 혹은 Ⅲ-Ⅴ족 화합물 반도체의 이종 물질이 교번 접합을 통하여 다중 양자 우물층 혹은 초격자층으로 형성되며, 이 수직 공진 면방전 레이저 다이오드에서 공진기를 이루는 미러는 상대적으로 고굴절율과 저굴절율을 각각 갖는 산화물 유전체가 교번 접합되어 형성된 다이크로익 미러로 이루어지거나 혹은 상대적으로 고굴절율과 저굴절율을 각각 갖는 Ⅱ-Ⅵ족 혹은 Ⅲ-Ⅴ족 화합물 반도체가 교번 접합되어 형성된 분산 브래그 반사기로 이루어진 것이 바람직하며, 상기 광 펌핑 소스는 점광원 혹은 면광원 형태의 가스 방전관으로 이루어진 것이 바람직하며, 상기 광 밸브는 액정 표시 패널로 이루어진 것이 바람직하다. 또한, 본 발명에 있어서, 상기 레이저 공진기 및 상기 광 펌핑 소스는 직접 접합된 일체형으로 형성되거나 혹은 별도로 분리된 분리형으로 형성된 것이 바람직하다.
또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 광펌핑 레이저 장치는, 일정한 파장의 빛에 대하여 공진을 일으키는 레이저 공진기; 및 상기 레이저 공진기가 레이저 빔을 생성할 수 있도록 펌핑하여주는 광 펌핑 소스;를 구비한 것을 특징으로 한다.
본 발명에 있어서, 상기 레이저 공진기는 수직 공진 면방전 레이저 다이오드로 이루어지되, 이 수직 공진 면방전 레이저 다이오드에서 활성층은 Ⅱ-Ⅵ족 혹은 Ⅲ-Ⅴ족 화합물 반도체의 단결정층으로 형성되거나 혹은 Ⅱ-Ⅵ족 혹은 Ⅲ-Ⅴ족 화합물 반도체의 이종 물질이 교번 접합을 통하여 다중 양자 우물층 혹은 초격자층으로 형성되며, 이 수직 공진 면방전 레이저 다이오드에서 공진기를 이루는 미러는 상대적으로 고굴절율과 저굴절율을 각각 갖는 산화물 유전체가 교번 접합되어 형성된 다이크로익 미러로 이루어지거나 혹은 상대적으로 고굴절율과 저굴절율을 각각 갖는 Ⅱ-Ⅵ족 혹은 Ⅲ-Ⅴ족 화합물 반도체가 교번 접합되어 형성된 분산 브래그 반사기로 이루어진 것이 바람직하며, 상기 광 펌핑 소스는 점광원 혹은 면광원 형태의 가스 방전관으로 이루어진 것이 바람직하다. 또한, 본 발명에 있어서, 상기 레이저 공진기 및 상기 광 펌핑 소스는 직접 접합된 일체형으로 형성되거나 혹은 별도로 분리된 분리형으로 형성된 것이 바람직하다.
이하 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 광펌핑 레이저 밸브 및 광펌핑 레이저 장치를 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 일체형 광펌프 레이저 밸브의 개략적 구조를 보여주는 단면도이다. 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 일체형 광펌프 레이저 밸브는 크게 레이저 발진부 즉 레이저 공진기(cavity)(9)와 이 레이저 공진기(9)를 펌핑하여 주는 광원 즉 광 펌핑 소스(10) 및 레이저 공진기(9)에서 방출된 레이저 빔을 영상 화면으로 필터링하여 주는 광 밸브(8)로 구성된다. 여기서, 레이저 공진기(9)와 광 펌핑 소스(10)는 직접 연결된 일체형으로 구성된다. 도시된 각 부분의 세부 구성은 글로우 방전 원리를 이용한 광펌핑 소스(10)는 금속 반사기(1), 불활성 가스(2), 투명 도전막(3)을 구비하며, 레이저 공진기(9)는 산화물 미러(4), 활성층(5), 분산 브래그 반사기(6) 및 투명 기판(7)을 구비하며, 광 밸브(8)는 액정표시패널로 이루어진다.
도 3은 본 발명에 따른 분리형 광펌프 레이저 밸브의 개략적 구조를 보여주는 단면도이다. 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 분리형 광펌프 레이저 밸브는 크게 레이저 발진부 즉 레이저 공진기(19)와 이 레이저 공진기(19)를 펌핑하여 주는 광원 즉 광펌핑 소스(20) 및 레이저 공진기(19)에서 방출된 레이저 빔을 영상화면으로 필터링하여 주는 광 밸브(18)로 구성된다. 여기서, 레이저 공진기(19)와 광 펌핑 소스(20)는 별도로 독립된 분리형으로 구성된다. 도시된 각 부분의 세부 구성은 글로우 방전 원리를 이용한 광펌핑 소스(20)는 금속 반사기(11), 불활성 가스(12), 투명 도전막(13)을 구비하며, 레이저 공진기(19)는 산화물 미러(14), 활성층(15), 분산 브래그 반사기(16) 및 투명 기판(17)을 구비하며, 광 밸브(18)는 액정표시패널로 이루어진다.
이상의 일체형 및 분리형의 두 실시예에서 레이저 공진기(9, 19)는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, Fabry-Perot 형인 수직 공진기 면발광 레이저(VCSEL; vertical cavity surface emitting laser)의 형태로 제작된다. 즉, 수직 공진기 면발광 레이저는 자외선은 투과시키고 가시광은 반사시키는 제1반사층(4, 14), 반도체로 구성되는 발광원인 활성층(5, 15), 부분 반사율을 갖고 있으며 발진된 레이저가 투과되는 제2반사층(6, 16), 그리고 지지판인 투명기판(7, 17)으로 이루어진다. 레이저 공진기(9, 19)의 면적은 광 밸브(8, 18)의 면적과 상관없이 크기에 제한을 두지 않는다.
여기서, 레이저 공진기(9, 19)의 활성층은, 도 4에 도시된 바와 같이, Ⅱ-Ⅵ족 혹은 Ⅲ-Ⅴ족 화합물 반도체의 단결정층(5, 15)으로 형성되기도 한다. 여기에 사용되는 물질은 가시광 영역의 빛을 발광하는데 적합한 에너지 밴드갭을 갖는 물질을 사용한다. 사용 물질은 Cd, Zn, Mg, S, Se를 사용한 화합물 및 Ga, Al, In, N을 사용한 화합물을 사용한다. 이들 화합물은 가시광의 적, 녹, 청색 각각의 발광에 적합한 에너지 밴드갭을 갖도록 일정 성분비의 binary, ternary, 또는 quaternary의 형태를 취하도록 조절된다. 또한, 레이저 공진기(9, 19)의 활성층은 도 5에 도시된 바와 같이, Ⅱ-Ⅵ족 혹은 Ⅲ-Ⅴ족 화합물 반도체의 이종 물질의 교번 접합을 통한 다중 양자 우물 또는 초격자 구조(5, 15)로 형성되기도 한다. 여기에 사용되는 물질 역시 가시광 영역의 빛을 발광하는데 적합한 에너지 밴드갭을 갖는 물질을 사용한다. 사용 물질은 Cd, Zn, Mg, S, Se를 사용한 화합물 및 Ga, Al, In, N을 사용한 화합물을 사용한다. 이들 화합물 역시 가시광의 적, 녹, 청색 각각의 발광에 적합한 에너지 밴드갭을 갖도록 일정 성분비의 binary, ternary, 또는 quaternary의 형태를 취하도록 조절된다. 이와 같이, 활성층(5, 15)을 다중 양자 우물이나 초격자 구조로 형성하는 것은 적,녹,청색 각각의 발광에 적합한 발광 전이 레벨이 형성되도록 에너지 밴드갭을 설계하기가 용이하고 우물 및 장벽 물질의 성분비, 두께 및 층수의 조절을 통하여 제작하기가 용이하기 때문이다.
또한, 상기 일체형 및 분리형의 두 실시예에서 레이저 공진기(9, 19)를 구성하는 공진기 미러(4, 14, 6, 16)는 고굴절율 및 저굴절율의 산화물 유전체의 교번 접합에 의한 다이크로익 미러로 이루어진다. 이 때, 제1반사층(4, 14)은 자외선은 투과시키고, 가시광은 반사시키는 다층 구조로 제작하여 자외선 광은 반도체 활성층(5, 15)을 여기시키고 활성층(5, 15)에서 발생된 가시광은 공진기 내에서 공진 증폭이 일어나게 반사시키도록 구성된다. 제2반사층(6, 16)은 부분 반사층으로 활성층에서 발생된 빛의 공진 증폭과 더불어 증폭된 빛이 공진기 밖으로 투사되도록 반사율을 제1반사층(4, 14) 보다는 낮도록 조절되고, 적,녹,청색 파장에 해당하는 반사대를 갖도록 제작된다. 다른 실시예로, 공진기 미러(4, 14, 6, 16)는 고굴절율 및 저굴절율의 Ⅱ-Ⅵ족 혹은 Ⅲ-Ⅴ족 화합물 반도체의 교번 접합에 분산 브래그 반사기로 이루어지기도 한다. 이와 같이 공진기 두 미러는 고굴절율 및 저굴절율 물질의 교번 접합으로 구성되는 분산 브래그 반사기는 계면에서의 간섭효과를 이용한 다중층 박막으로 구성된 미러이다. 여기에 사용되는 물질은 활성층 물질과 동일한 Cd, Zn, Mg, S, Se를 사용한 화합물 및 Ga, Al, In, N을 사용한 화합물로, 이들 화합물은 일정 성분비의 binary, ternary, 또는 quaternary의 형태로 사용된다. 가시광의 적,녹,청색 각각의 레이저 발광에 적합한 반사대 및 반사율을 갖도록 두께 및 성분비, 층수가 조절된다.
또한, 상기 두 실시예에서 레이저 공진기(9, 19)를 펌핑하여 주는 광원 즉 광 펌핑 소스(10, 20)는 자외선 영역의 빛을 효과적을 발광하는 불활성 가스 방전관으로 구성하되, 점광원 또는 면광원의 형태로 구성된다.
그리고, 상기 두 실시예에서 레이저 공진기(9, 19)에서 방출된 레이저 빔을 영상 신호를 받아 영상 화면으로 필터링하여 주는 광 밸브(8, 18)는 주로 액정 표시 패널로 이루어지는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명에 따른 광펌핑 레이저 장치는 이상 설명된 바와 같은 구성을 갖는 광펌핑 레이저 밸브 구조에서 광 밸브(8, 18) 즉 액정표시패널을 제거한 구조와 동일하다. 이와 같이 광 밸브를 제거하게 되면, 레이저 장치로서의 적용될 수 있다. 따라서 그 구성 및 동작은 상기 광펌핑 레이저 밸브의 구성 및 동작과 동일하기 때문에 설명을 생략한다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 광펌핑 레이저 밸브(및 광펌핑 레이저 장치)는 일정한 파장의 빛에 대하여 공진을 일으키는 레이저 공진기; 상기 레이저 공진기가 레이저 빔을 생성할 수 있도록 펌핑하여주는 광 펌핑 소스; 및 상기 레이저 공진기에서 방출된 레이저 빔이 영상 화면을 형성하도록 필터링하여 주는 광 밸브;를 구비함으로써, 각각 다음과 같은 장점들을 갖는다.
1. 분산각이 작고 직진성을 가진 면발광 레이저를 이용하므로 손실이 적은 투사형 표시 장치를 구성할 수 있어 화면의 휘도가 향상된다.
2. 레이저를 직접 적용하므로 기존의 투사형 표시 장치 보다 선명도가 향상된다.
3. 레이저 공진기는 발광 효율이 높고 광손실리 적으므로 저전력화가 가능하다.
4. 간단하고 부피가 적은 소재와 부품을 사용하므로 콤팩트화가 가능하다.
5. 레이저에 의한 신영상 문화 실현이 가능하다.
6. 새로운 펌핑법에 의한 레이저 장치의 실현이 가능하다.

Claims (21)

  1. 일정한 파장의 빛에 대하여 공진을 일으키는 레이저 공진기;
    상기 레이저 공진기가 레이저 빔을 생성할 수 있도록 펌핑하여주는 광 펌핑 소스; 및
    상기 레이저 공진기에서 방출된 레이저 빔이 영상 화면을 형성하도록 필터링하여 주는 광 밸브;를
    구비한 것을 특징으로 하는 광펌프 레이저 밸브.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 레이저 공진기는 수직 공진 면방전 레이저 다이오드로 이루어진 것을 특징으로 하는 광펌프 레이저 밸브.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 수직 공진 면방전 레이저 다이오드에서 활성층은 Ⅱ-Ⅵ족 혹은 Ⅲ-Ⅴ족 화합물 반도체의 단결정층으로 형성된 것을 특징으로 하는 광펌프 레이저 밸브.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 수직 공진 면방전 레이저 다이오드에서 활성층은 Ⅱ-Ⅵ족 혹은 Ⅲ-Ⅴ족 화합물 반도체의 이종 물질이 교번 접합을 통하여 다중 양자 우물층 혹은 초격자층으로 형성된 것을 특징으로 하는 광펌프 레이저 밸브.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 수직 공진 면방전 레이저 다이오드에서 공진기를 이루는 미러는 상대적으로 고굴절율과 저굴절율을 각각 갖는 산화물 유전체가 교번 접합되어 형성된 다이크로익 미러로 이루어진 것을 특징으로 하는 광펌프 레이저 밸브.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 수직 공진 면방전 레이저 다이오드에서 공진기를 이루는 미러는 상대적으로 고굴절율과 저굴절율을 각각 갖는 Ⅱ-Ⅵ족 혹은 Ⅲ-Ⅴ족 화합물 반도체가 교번 접합되어 형성된 분산 브래그 반사기로 이루어진 것을 특징으로 하는 광펌프 레이저 밸브.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 광 펌핑 소스는 가스 방전관으로 이루어진 것을 특징으로 하는 광펌프 레이저 밸브.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 광 펌핑 소스는 점광원 혹은 면광원 형태로 이루어진 것을 특징으로 하는 광펌프 레이저 밸브.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 광 밸브는 액정 표시 패널로 이루어진 것을 특징으로 하는 광펌프 레이저 밸브.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 레이저 공진기 및 상기 광 펌핑 소스는 직접 접합된 일체형으로 형성된 것을 특징으로 하는 광펌프 레이저 밸브.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 레이저 공진기 및 상기 광 펌핑 소스는 별도로 분리된 분리형으로 형성된 것을 특징으로 하는 광펌프 레이저 밸브.
  12. 일정한 파장의 빛에 대하여 공진을 일으키는 레이저 공진기; 및
    상기 레이저 공진기가 레이저 빔을 생성할 수 있도록 펌핑하여주는 광 펌핑 소스;를
    구비한 것을 특징으로 하는 광펌프 레이저 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 레이저 공진기는 수직 공진 면방전 레이저 다이오드로 이루어진 것을 특징으로 하는 광펌프 레이저 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 수직 공진 면방전 레이저 다이오드에서 활성층은 Ⅱ-Ⅵ족 혹은 Ⅲ-Ⅴ족 화합물 반도체의 단결정층으로 형성된 것을 특징으로 하는 광펌프 레이저 장치.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 수직 공진 면방전 레이저 다이오드에서 활성층은 Ⅱ-Ⅵ족 혹은 Ⅲ-Ⅴ족 화합물 반도체의 이종 물질이 교번 접합을 통하여 다중 양자 우물층 혹은 초격자층으로 형성된 것을 특징으로 하는 광펌프 레이저 장치.
  16. 제13항에 있어서,
    상기 수직 공진 면방전 레이저 다이오드에서 공진기를 이루는 미러는 상대적으로 고굴절율과 저굴절율을 각각 갖는 산화물 유전체가 교번 접합되어 형성된 다이크로익 미러로 이루어진 것을 특징으로 하는 광펌프 레이저 장치.
  17. 제13항에 있어서,
    상기 수직 공진 면방전 레이저 다이오드에서 공진기를 이루는 미러는 상대적으로 고굴절율과 저굴절율을 각각 갖는 Ⅱ-Ⅵ족 혹은 Ⅲ-Ⅴ족 화합물 반도체가 교번 접합되어 형성된 분산 브래그 반사기로 이루어진 것을 특징으로 하는 광펌프 레이저 장치.
  18. 제12항에 있어서,
    상기 광 펌핑 소스는 가스 방전관으로 이루어진 것을 특징으로 하는 광펌프 레이저 장치.
  19. 제12항에 있어서,
    상기 광 펌핑 소스는 점광원 혹은 면광원 형태로 이루어진 것을 특징으로 하는 광펌프 레이저 장치.
  20. 제12항에 있어서,
    상기 레이저 공진기 및 상기 광 펌핑 소스는 직접 접합된 일체형으로 형성된 것을 특징으로 하는 광펌프 레이저 장치.
  21. 제12항에 있어서,
    상기 레이저 공진기 및 상기 광 펌핑 소스는 별도록 분리된 분리형으로 형성된 것을 특징으로 하는 광펌프 레이저 장치.
KR1019980054195A 1998-12-10 1998-12-10 광펌프레이저밸브및광펌프레이저장치 KR100303831B1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019980054195A KR100303831B1 (ko) 1998-12-10 1998-12-10 광펌프레이저밸브및광펌프레이저장치
JP11349866A JP2000183454A (ja) 1998-12-10 1999-12-09 光ポンプレ―ザ―バルブ及び光ポンプレ―ザ―装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019980054195A KR100303831B1 (ko) 1998-12-10 1998-12-10 광펌프레이저밸브및광펌프레이저장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20000039001A true KR20000039001A (ko) 2000-07-05
KR100303831B1 KR100303831B1 (ko) 2001-11-02

Family

ID=19562217

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019980054195A KR100303831B1 (ko) 1998-12-10 1998-12-10 광펌프레이저밸브및광펌프레이저장치

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP2000183454A (ko)
KR (1) KR100303831B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100098569A (ko) * 2007-12-21 2010-09-07 오스람 옵토 세미컨덕터스 게엠베하 표면 방출 반도체 레이저 및 그 제조 방법

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7122843B2 (en) * 2004-05-28 2006-10-17 Eastman Kodak Company Display device using vertical cavity laser arrays

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100098569A (ko) * 2007-12-21 2010-09-07 오스람 옵토 세미컨덕터스 게엠베하 표면 방출 반도체 레이저 및 그 제조 방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR100303831B1 (ko) 2001-11-02
JP2000183454A (ja) 2000-06-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6552754B1 (en) Laser video projector using optical pumping valve
JP4349048B2 (ja) プロジェクタ
JP3434726B2 (ja) 発光装置
TWI446012B (zh) 具降低斑點之寬頻雷射燈
JP3967145B2 (ja) プロジェクタ装置
US8926100B2 (en) Illumination device having improved illumination light symmetricalness and projector having the illumination device
CN111385552B (zh) 投影仪
USRE42515E1 (en) Method of manufacturing reflective mirror, illumination device, and projector
JP2017212390A (ja) 光源装置、およびプロジェクター
CN110824820A (zh) 波长转换元件、光源装置和投影仪
KR101211831B1 (ko) 프로젝터
US20110128505A1 (en) Laser beam source device, laser beam source device manufacturing method, projector, and monitoring device
JP2013143480A (ja) 発光装置およびその製造方法、並びにプロジェクター
US20200059062A1 (en) Systems and methods for end pumped laser mirror stack assemblies
JP2005005217A (ja) 発光素子、照明装置、投射型表示装置
JPH08321660A (ja) 窒化物半導体レーザ素子
KR100303831B1 (ko) 광펌프레이저밸브및광펌프레이저장치
JP2007258466A (ja) 照明装置及び発光装置
KR100307448B1 (ko) 광펌핑밸브를이용한레이저영상투사장치
JP5299251B2 (ja) 発光装置およびプロジェクター
CN214751292U (zh) 照明系统以及投影装置
JP2003142759A (ja) ファイバレーザ装置およびそれを用いた映像表示装置
CN100582910C (zh) 光源装置及图像显示装置
JP5344173B2 (ja) 発光装置およびプロジェクター
JP5304540B2 (ja) 発光装置およびプロジェクター

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20070626

Year of fee payment: 7

LAPS Lapse due to unpaid annual fee