KR20000031524A - 핸들러의 챔버에서 테스트 트레이 승강장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 수직으로 상승 및 하강시 용이하게 수직으로 승, 하강 이동시킬 수 있는 테스트 트레이 승강장치에 관한 것이다. 본 발명은 챔버의 내부 양측면에서 수직으로 승, 하강되는 테스트 트레이를 승,하강시키기 위한 다수의 라드와, 다수의 라드 중 테스트 트레이를 하강시키기 위한 제1복수의 라드와 결합되는 제1승강블럭과, 다수의 라드 중 테스트 트레이를 승강시키기 위한 제2복수의 라드와 결합되는 제2승강블럭과, 제1승강블럭과 상측 양단이 결합되어 제1승강블럭을 승, 하강시키기 위해 신장, 수축되는 제1교차 링크 바(cross link bar)와, 제2승강블럭의 상측 양단이 결합되어 제2승강블럭을 승, 하강시키기 위해 신장, 수축되는 제2교차 링크 바와, 제1교차 링크 바의 하측 양단에 결합되어 제1교차 링크 바를 신장, 수축시키기는 제1모터 구동부와, 제2교차 링크 바의 하측 양단에 결합되어 제2교차 링크 바를 신장, 수축시키기 제2모터 구동부로 구성된다.

Description

핸들러의 챔버에서 테스트 트레이 승강장치
본 발명은 핸들러의 챔버에서 테스트 트레이 승강장치에 관한 것으로, 특히 핸들러의 챔버에서 수직으로 상승 및 하강하여 이송되는 테스트 트레이를 용이하게 승, 하강 이송시킬 수 있는 테스트 트레이 승강장치에 관한 것이다.
패키지(package)가 완료된 반도체 소자는 출하전 테스트되며, 테스트 결과에 따라 등급 별로 분류 적재되며, 테스트된 반도체 소자를 공급하거나 테스트가 완료된 반도체 소자를 분류 적재하기 위해 핸들러가 사용된다. 핸들러의 구성을 첨부된 도면을 이용하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 종래 핸들러의 구성을 나타낸 단면도이다. 도시된 바와 같이 먼저, 패키지가 완료된 반도체 소자들은 픽업장치(1)에 의해 테스트 트레이(2)에 장착된다. 반도체 소자가 장착된 테스트 트레이(2)는 수평 상태로 이동되어 입구(3a)를 통해 가열챔버(3)로 진입된다. 가열챔버(12)로 진입된 테스트 트레이(2)는 가열챔버(3)의 승강기(3b)에 의해 순차적으로 한 스텝(step)씩 하강된다. 가열챔버(3)의 승강기(3b)에 의해 한 스텝씩 하강되는 과정에서 반도체 소자는 테스트 온도 조건에 맞도록 가열된다. 테스트 온도 조건은 반도체 소자가 제품에 적용되어 정상적인 동작시 반도체 소자에서 발생될 수 있는 온도로 설정되며, 테스트 트레이(2)는 가열챔버(3)의 출구(3c)를 통해 배출되는 동안 가열된다.
출구(3c)를 통해 배출된 테스트 트레이(2)는 테스트 사이트(test site)(4)로 이송된다. 테스트 사이트(4)로 이송된 테스트 트레이(2)는 테스트 장치(5)에 도달된다. 테스트 장치(5)는 수직으로 하강하여 테스트 트레이(2)를 소정의 힘으로 눌러 테스트 트레이(2)와 전기적으로 접속한다. 이 때, 테스트 트레이(2)는 고정장치(6)에 의해 고정된 상태에서 테스트 장치(5)와 접속된다. 테스트 트레이(2)가 테스트 장치(5)에 접속되어 테스트되고 테스트 장치(5)에서 그 결과를 피드백(feedback) 받아 반도체 소자의 성능을 판별한다.
성능이 판별된 반도체 소자를 장착한 테스트 트레이(2)는 테스트 사이트(4)를 통과해 냉각챔버(7)의 입구(7a)로 진입한다. 진입된 테스트 트레이(2)는 냉각챔버(7)의 승강기(7b)에 의해 순차적으로 상승한다. 상승 과정에서 테스트 트레이(2)는 상온으로 냉각된다. 반도체 소자가 상온으로 냉각된 상태에서 테스트 트레이(2)는 출구(7c)를 통해 배출되어 픽업장치(1)에 의해 테스트 결과에 따라 등급별로 분류 적재된다.
양산된 반도체 소자를 대량으로 테스트 하기 위해 테스트 트레이가 사용된다. 테스트 트레이에 테스트하기 위한 반도체 소자가 장착되면, 테스트 트레이는 가열챔버, 테스트 사이트 및 냉각챔버로 순착 이송된다. 이러한 연속적인 과정에서 반도체 소자가 테스트되며, 테스트 트레이의 승, 하강시 승, 하강에 의한 반도체 소자의 파손 등을 보호하기 위해 보다 안정적으로 테스트 트레이를 승, 하강시킬 수 있는 장치가 요구된다.
본 발명은 수직으로 세워진 상태에서 챔버를 순환하는 테스트 트레이 승강시 테스트 트레이를 용이하게 수직 승, 하강시킬 수있는 챔버에서의 테스트 트레이 승강장치를 제공함을 목적으로 한다.
이러한 목적을 구현하기 위한 본 발명은, 챔버의 내부 양측면에서 수직으로 승, 하강되는 테스트 트레이를 승,하강시키기 위한 다수의 라드와, 다수의 라드 중 테스트 트레이를 하강시키기 위한 제1복수의 라드와 결합되는 제1승강블럭과, 다수의 라드 중 테스트 트레이를 승강시키기 위한 제2복수의 라드와 결합되는 제2승강블럭과, 제1승강블럭과 상측 양단이 결합되어 제1승강블럭을 승, 하강시키기 위해 신장, 수축되는 제1교차 링크 바(cross link bar)와, 제2승강블럭의 상측 양단이 결합되어 제2승강블럭을 승, 하강시키기 위해 신장, 수축되는 제2교차 링크 바와, 제1교차 링크 바의 하측 양단에 결합되어 제1교차 링크 바를 신장, 수축시키기는 제1모터 구동부와, 제2교차 링크 바의 하측 양단에 결합되어 제2교차 링크 바를 신장, 수축시키기 제2모터 구동부로 구성됨을 특징으로 한다.
도 1은 종래 핸들러의 구성을 나타낸 단면도,
도 2는 본 발명이 적용된 핸들러의 챔버 구성을 나타낸 사시도,
도 3은 도 2에 도시된 챔버에서의 테스트 트레이 승강장치의 사시도,
도 4는 도 3에 도시된 모터 구동부를 나타낸 사시도,
도 5는 도 3에 도시된 교차 링크 바를 나타낸 정면도,
도 6은 도 3에 도시된 승강블럭의 구성을 나타낸 분리 조립 사시도이다.
＊도면의 주요부분에 대한 부호 설명＊
100: 챔버 110: 챔버
121,122,123,124: 다수의 라드 130: 제1승강블럭
140: 제2승강블럭 151: 제1교차 링크 바
152: 제2교차 링크 바 160: 제1모터 구동부
170: 제2모터 구동부
본 발명을 첨부된 도면을 이용하여 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명이 적용된 핸들러의 챔버 구성을 나타낸 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 챔버에서의 테스트 트레이 승강장치의 사시도이다. 도시된 바와 같이, 챔버(100)의 내부 양측면에서 수직으로 승, 하강되는 테스트 트레이(101)를 승, 하강시키기 위한 다수의 라드(121)(122)(123)(124)와, 다수의 라드(rod)(121)(122)(123)(124) 중 테스트 트레이(101)를 하강시키기 위한 제1복수의 라드(121)(122)와 결합되는 제1승강블럭(130)과, 다수의 라드(121)(122)(123)(124) 중 테스트 트레이(101)를 승강시키기 위한 제2복수의 라드(123)(124)와 결합되는 제2승강블럭(140)과, 제1승강블럭(130)과 상측 양단(151a)(151b)이 결합되어 제1승강블럭(130)을 승, 하강시키기 위해 신장과 수축되는 제1교차 링크 바(cross link bar)(151)와, 제2승강블럭(140)과 상측 양단(152a)(152b)이 결합되어 제2승강블럭(140)을 승, 하강시키기 위해 신장과 수축되는 제2교차 링크 바(152)와, 제1교차 링크 바(151)의 하측 양단(151c)(151d)에 결합되어 제1교차 링크 바(151)의 신장, 수축시키는 제1모터 구동부(160)와, 제2교차 링크 바(152)의 하측 양단(152c)(152d)에 결합되어 제2교차 링크 바(152)의 신장, 수축시키는 제2모터 구동부(170)로 구성된다.
본 발명의 구성을 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2에서와 같이 테스트될 반도체 소자가 테스트 트레이(101)에 장착된 후 챔버(100)를 수직으로 승, 하강 이송되어 테스트가 실시된다. 챔버(100)는 가열챔버(100a)의 직하방에 테스트 사이트(test site)(100b)가 형성되고, 테스트 사이트(100b)의 직하방에 냉각챔버(100c)가 직하방 구조로 순차 형성된다. 직하방 구조로 형성된 챔버(100)에서 테스트 트레이(101)는 수직으로 세워 승, 하강시킨다. 테스트 트레이(101)를 수직으로 세워 이송시키기 위해 핸들러의 지지구조물(100d) 내측에 승강 장치가 장착된다.
테스트 트레이 승강장치의 구조는 도 3에 도시된다. 도 3은 도 2에 도시된 챔버에서의 테스트 트레이 승강장치의 사시도이다. 도시된 바와 같이, 테스트 트레이(101)의 승, 하강시 이를 다수의 라드(121)(122)(123)(124)에 의해 지지된다. 테스트 트레이(101)의 승, 하강시 이를 지지하는 다수의 라드(121)(122)(123)(124) 중 가열챔버(100a), 테스트 사이트(100b) 및 냉각챔버(100c)로 수직 하강되는 테스트 트레이(101)는 제1복수의 라드(121)(122)에 의해 지지된다.
제1복수의 라드(121)(122)는 제1승강블럭(130)의 양단에 각각 고정되며, 테스트 트레이(101)의 하강시 테스트 트레이(101)는 제1복수의 라드(121)(122)의 각각의 선단에 결합되어 장착된 안착편(121a)(121b)에 안착된다. 안착편(121a)(121b)에 테스트 트레이(101)가 안착된 후 제1복수의 라드(121)(122)가 하강하여 테스트 트레이(101)를 하강시킨다. 테스트 트레이(101)의 하강시 이를 각각 제1복수의 가이드봉(125a)(125b)에 의해 안내하여 하강로를 이탈하지 않도록 한다.
제1복수의 라드(121)(122)의 하강에 의해 연동되어 하강되는 제1승강블럭(130)은 제1교차 링크 바(151)에 의해 하강된다. 제1교차 링크 바(151)의 상측 양단(151a)(151b)은 제1승강블럭(130)에 결합되며, 이 결합에 의해 제1교차 링크 바(151)의 수축에 의해 제1승강블럭(130)이 하강 동작한다. 제1승강블럭(130)의 하강을 위해 수축되는 제1교차 링크 바(151)는 제1모터 구동부(160)의 회전에 의해 연동되어 수축된다.
제1교차 링크 바(151)의 하측 양단(151c)(151d)은 제1모터 구동부(160)의 회전에 의해 이격 거리가 좁아지거나 넓어지도록 제1모터 구동부(160)의 양측면에 결합 장착된다. 이 이격 거리의 조정에 의해 제1교차 링크 바(151)가 좁아지거나 넓어지고, 이 작동에 의해 제1승강블럭(130)과 이에 결합된 제1복수의 라드(121)(122)가 승, 하강하여 테스트 트레이(101)를 수직으로 하강시키게 된다.
테스트 트레이(101)를 수직으로 하강시켜 구동하기 위한 제1모터 구동부(160)는 제1교차 링크 바(151)를 여러 단계로 승, 하강 동작시킨다. 즉, 제1모터 구동부(160)는 가열챔버(100a)에서 테스트 사이트(100b)로, 테스트 사이트(100b)에서 다시 냉각챔버(100c)로 테스트 트레이(101)를 수직 하강시키기 위해 동작한다. 제1모터 구동부(160)에 의해 냉각챔버(100c)로 수직 하강된 테스트 트레이(101)는 제1승강블럭(130)에 형성된 복수의 가이드봉(127a)(127b)에 의해 안내된다.
복수의 가이드봉(127a)(127b)에 의해 안내되어 수직 하강 이동한 테스트 트레이(101)는 챔버(100)의 외부로 배출된다. 테스트 트레이(101)의 배출시 테스트 트레이(101)를 승강시키기 위해 다수의 라드(121)(122)(123)(124) 중 제2복수의 라드(123)(124)에 의해 지지된다. 제2복수의 라드(123)(124)는 제2승강블럭(140)에 결합되며, 제1승강블럭(130)과 동일하게 구성되어 제1모터 구동부(170)에 의해 제2교차 링크 바(152)를 신장시켜 테스트 트레이(101)를 배출한다.
테스트 트레이(101) 배출시 제2승강블럭(140)의 양단에 설치된 제2복수의 가이드봉(126a)(126b)에 의해 안내되며, 테스트 트레이(101)를 가열챔버(100a)로 이송시키기 위해 제2복수의 라드(123)(124)의 중간에 각각 안착봉(123a)(124a)이 형성되며, 안착봉(123a)(124a)은 새롭게 챔버(100)로 공급된 테스트 트레이(101)를 안착시켜, 안착된 테스트 트레이(101)는 제2복수의 라드(123)(124)의 선단에 의해 가열챔버(100a)로 승강하여 공급된다.
제2교차 링크 바(152)의 신장에 의해 테스트 트레이(101)를 배출 또는 가열챔버(100a)로 공급하기 위해 제2교차 링크 바(152)의 상측 양단(152a)(152b)은 제2승강블럭(140)의 양단에 결합되며, 하측 양단(152c)(152d)는 제2모터 구동부(170)에 결합된다.
제1교차 링크 바(151) 및 제2교차 링크 바(152)를 수축, 신장시키기 위한 구동력을 발생하는 제1모터 구동부(160) 및 제2모터 구동부(170)를 첨부된 도 4를 이용하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 4는 도 3에 도시된 모터 구동부를 나타낸 사시도이다. 도시된 바와 같이, 제1모터 구동부(160)와 제2모터 구동부(170)는 동일한 구성을 갖도록 형성된다. 제1모터 구동부(160)와 제2모터 구동부(170)는 각각 프레임(110)에 설치된다.
프레임(110)에 설치되는 제1모터 구동부(160)와 제2모터 구동부(170)는 각각 가이드(161)(171)가 형성된다. 또한 가이드(161)(171)에 인접되도록 모터(162)(172)가 프레임(110)에 고정 장착되며, 각 모터(162)(172)는 외부로부터 전기신호를 공급받고 이 전기신호에 의해 회전한다. 각 모터(162)(172)의 회전력에 의해 회전되도록 각 모터(162)(172)에는 스크류(163)(173)이 형성된다.
각 스크류(163)(173)의 양단에는 스크류(163)(173)의 지지부재(164)(174)가 형성되며, 스크류(163)(173)의 회전에 의해 이동되는 이동블럭(165)(175)이 결합된다. 이동블럭(165)(175)은 가이드(161)(171) 위를 슬라이딩 이동시 이탈되지 않도록 가이드(161)(171)와 결합된 가이드 블럭(166)(176)에 고정 결합된다.
가이드 블럭(166)(176)에 고정 결합된 각 이동블럭(165)(175)에 제1교차 링크 바(151) 및 제2교차 링크 바(152)의 각 하측 양단(151c)(151d)(152c)(152d) 중 일단(151d)(152d)이 회동되도록 결합된다. 제1교차 링크 바(151) 및 제2교차 링크 바(152)의 하측 타단(151c)(152c)은 각 지지부재(164)(174)에 고정 결합시켜, 각 이동블럭(165)(175)이 각 스크류(163)(173)를 따라 이동시 제1교차 링크 바(151) 및 제2교차 링크 바(152)는 수축, 신장을 하게 된다.
제1모터 구동부(160)와 제2모터 구동부(170)에 의해 수축, 신장되는 제1교차 링크 바(151) 및 제2교차 링크 바(152)는 도 5에 도시되어 있다. 도 5는 도 3에 도시된 교차 링크 바의 구조를 나타낸 평면도로 제1교차 링크 바(151)의 구조를 나타낸다. 도시된 바와 같이, 제1교차 링크 바(151)는 스트라이프 바(strip bar)(151e)(151f)
(151g)(151h)가 서로 "X" 형상으로 구성된다.
"X" 형상을 한 제1교차 링크 바(151)는 스트라이프 바(151e)(151f)에 의해 하나의 교차 링크 바를 형성하며, 스트라이프 바(151g)(151h)에 의해 형성된 교차 링크 바가 스트라이프 바(151e)(151f)의 하단에 결합된다. 즉, 교차 링크 바를 2단으로 형성하며, 필요한 경우 다수의 교차 링크 바를 형성하여 사용할 수 있다.
각각 스트라이프 바(151e)(151f)(151g)(151h)는 힌지(151i)에 의해 결합되며, 제2교차 링크 바(152) 또한 제1교차 링크 바(151)와 같은 구조로 형성된다. 제1교차 링크 바(151) 및 제2교차 링크 바(152)의 상측 양단(151a)(151b)(152a)(152b)에는 각각 제1승강블럭(130) 및 제2승강블럭(140)이 힌지 결합된다.
제1교차 링크 바(151) 및 제2교차 링크 바(152)에 힌지 결합되는 각 제1승강블럭(130) 및 제2승강블럭(140)은 도 6에서와 같다. 도 6은 도 3에 도시된 승강블럭의 구성을 나타낸 분리 조립 사시도로 제1승강블럭(130)을 나타낸다.
제1승강블럭(130)은 일면(130a)에 제1교차 링크 바(151)의 상측 양단(151a)(151b) 중 일측단(151a)이 결합되도록 형성되는 힌지부재(131)가 형성된다. 일면(130a)에 형성된 힌지부재(131)와 소정 간격으로 이격된 상태에서 가이드(132)가 설치되고, 가이드(132)를 따라 슬라이딩하여 이동할 수 있도록 가이드(132)에 슬라이딩 블럭(133)이 결합된다.
슬라이딩 블럭(133) 위에는 제1교차 링크 바(151)의 상측 양단(151a)(151b) 중 일단(151b)의 힌지 결합을 위해 관통홈이 형성된 결합부재(134)가 고정 설치된다. 제1교차 링크 바(151)의 상측 일단(151b)과 힌지 결합된 결합부재(134)는 제1모터 구동부(160)에 의해 수축되거나 신장되는 제1교차 링크 바(151)에 의해 이동되어 테스트 트레이(101)를 승, 하강시킨다.
또한 제2승강블럭(140)은 제1승강블럭(130)과 동일한 구조로 형성되며, 이와 같이 챔버(100)에 수직으로 승,하강하는 테스트 트레이(101)를 제1교차 링크 바(151) 와 제2교차 링크 바(152) 및 모터(162)(172)를 이용하여 승, 하강시킴으로써 테스트 트레이(101)를 용이하게 제어를 할 수 있다.
이상에서와 같이 본 발명은 챔버에서 수직으로 승, 하강하는 테스트 트레이를 용이하게 제어할 수 있어 테스트 트레이의 이송 속도를 향상시켜 테스트 작업의 생산성을 높일 수 있는 효과를 제공한다.

Claims (5)

  1. 가열챔버와 테스트 사이트(test site)와 냉각챔버가 직하방 구조로 순차 형성된 핸들러의 챔버에 있어서,
    상기 챔버의 내부 양측면에서 수직으로 승, 하강되는 테스트 트레이를 승,하강시키기 위한 다수의 라드;
    상기 다수의 라드 중 테스트 트레이를 하강시키기 위한 제1복수의 라드와 결합되는 제1승강블럭;
    상기 다수의 라드 중 테스트 트레이를 승강시키기 위한 제2복수의 라드와 결합되는 제2승강블럭;
    상기 제1승강블럭과 상측 양단이 결합되어 제1승강블럭을 승, 하강시키기 위해 신장, 수축되는 제1교차 링크 바(cross link bar);
    상기 제2승강블럭의 상측 양단이 결합되어 제2승강블럭을 승, 하강시키기 위해 신장, 수축되는 제2교차 링크 바;
    상기 제1교차 링크 바의 하측 양단에 결합되어 제1교차 링크 바를 신장, 수축시키기는 제1모터 구동부;
    상기 제2교차 링크 바의 하측 양단에 결합되어 제2교차 링크 바를 신장, 수축시키기 제2모터 구동부로 구성됨을 특징으로 하는 챔버에서의 테스트 트레이 승강장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1승강블럭과 제2승강블럭은 각각 일면에 상기 제1교차 링크 바의 상측 양단 중 일측단이 결합되도록 형성되는 힌지부재;
    상기 힌지부재와 소정 간격으로 이격되어 설치되는 가이드;
    상기 가이드를 따라 슬라이딩하여 이동할 수 있도록 결합되는 슬라이딩 블럭; 및
    상기 슬라이딩 블럭 위에 고정 설치되어 제1교차 링크 바의 상측 양단 중 타측단을 결합하기 위해 관통홈이 형성된 결합부재로 구성됨을 특징으로 하는 챔버에서의 테스트 트레이 승강장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1교차 링크 바와 제2교차 링크 바는 각각 다수의 교차 링크 바로 형성됨을 특징으로 하는 챔버에서의 테스트 트레이 승강장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1교차 링크 바와 제2교차 링크 바는 각각 2단 교차 링크 바로 형성됨을 특징으로 하는 챔버에서의 테스트 트레이 승강장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1모터 구동부와 제2모터 구동부는 각각 프레임 위에 고정 설치되는 가이드;
    프레임에 고정되어 외부로부터 공급되는 전기신호에 따라 회전력을 발생하는 모터;
    상기 모터와 결합되어 모터의 회전력에 연동되어 회전하는 스크류;
    상기 스크류의 회전에 의해 연동되어 이동되는 이동블럭; 및
    상기 이동블럭과 결합되고 상기 가이드 위를 슬라이딩하여 이동시 이탈되지 않도록 가이드와 결합되는 가이드 블럭으로 구성됨을 특징으로 하는 챔버에서의 테스트 트레이 승강장치.
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