KR20000027345A - 왁스 혼합액 자동조제, 공급 방법 및 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 왁스 혼합액 자동조제, 공급 방법 및 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 혼합액의 품질을 유지하며 사용 점들의 액체압력을 일정하게 할 수 있도록 체적, 중량계량법을 병행하며 기포연속포집기 및 밸브 박스 안에 U-trap을 설치하고 공급배관라인을 다수개의 루프로 구비함으로써, 종래의 혼합공정에서 통상의 유량계를 사용함으로 정확도가 떨어지고 배관 내에 압력 차가 발생되며 고형 고착화 현상이 발생하는 불편함을 겪던 것을 해소하기 위한 혼합비의 정확도를 확보하기 위하여 체적 계량법 및 중량 계량법을 병행 도입하였으며, 혼합액이 접촉하면서 공기에 노출되는 부위를 수시로 세정함으로써 장치가 항상 청결한 상태로 보전되도록 하였고, 초기 장비 시동 시나 기타 다른 이유 등으로 인하여 기포가 발생하는 경우에도 기포연속포집기를 설치하여 기포를 제거하고, 기포가 장비로 올라가기 전에 U-trap을 설치하여 일단 발생한 기포가 장비로 들어가는 경우가 발생하지 않도록 하였다. 또한 공급배관 라인을 단일화하지 않고 루프개념을 도입하여 세 개의 루프를 구성, 배관라인에서의 문제가 발생하는 경우 그 루프에 연결되어 있는 장비만이 운전 정지되도록 구성하였으며, 배관의 길이 증가로 인한 압력저하를 최소화하였다. 따라서 공급되는 왁스 혼합액의 품질을 유지하며 사용 점들의 액체압력을 일정하게 유지하는데 있다.

Description

왁스 혼합액 자동조제, 공급 방법 및 장치(Automatic preparation supply and apparatus of mixture solution of wax)

본 발명은 왁스 혼합액 자동조제, 공급 방법 및 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 혼합액의 품질을 유지하며 사용 점들의 액체압력을 일정하게 할 수 있도록 체적, 중량계량법을 병행하며 기포연속포집기 및 밸브 박스 안에 U-trap을 설치하고 공급배관라인을 다수개의 루프로 구비함으로써, 종래의 혼합공정에서 통상의 유량계를 사용함으로 정확도가 떨어지고 배관 내에 압력 차가 발생되며 고형 고착화 현상이 발생하는 불편함을 겪던 것을 해소하기 위한 U-trap과 다수개의 루프를 갖는 왁스 혼합액 자동조제, 공급 방법 및 장치에 관한 것이다.

반도체 단결정 실리콘웨이퍼 제조 공정 중 최종 표면연마를 위한 화학적 기계적 연마공정은 연마 블록에 웨이퍼를 붙여서 진행하는 왁스 접착 방법(Wax Mounting)과 연마기 허브(hub)에 바로 붙여서 진행하는 왁스를 사용하지 않는 접착 방법(Free Mounting)의 두 가지가 있다. 이 발명은 전자의 경우에 사용하는 왁스를 보다 정밀하게 혼합하고 연마기로 공급하기 위한 장비이다. 이 때 사용한 연마기는 미국 특허 (R. J. Walsh 5,605,487, 1994)에 등록되어 있는 장비를 기준으로 하였으나, 모든 왁스 접착 방법을 사용하는 장비에 이용 가능하다. 또한 연마공정에 사용하는 공정은 반도체 디바이스 공정 중 노광(Photo Lithography)공정에 사용하는 감광제(Photo Resist)와 거의 같은 성격을 가지는 화학 약품이다.

왁스나 감광제의 구성 성분을 알아보면 "가"원료 왁스레진(Wax Resin)은 접착고형물로 사용, 보통 1000cps이상의 고 점도로 이송 시 고려하여야 하고, "나"원료 연화점 조절제는 왁스의 온도에 따른 연화점을 조절하기 위해 사용되며, "다"원료 염색제는 왁스 코팅 후 결함관찰과 생산라인의 구분을 위하여 사용된다. 또 "라"원료 계면활성제는 블록 표면을 친수성 또는 친유성으로 조절하기 위해 사용되고, "마", "바"원료 용제(Solvent)는 유체이송과 박막 스핀 코팅(Spin Coating)을 위해 사용되며, 세정액은 왁스 조제 시 탱크와 파이프의 정기적인 세정이 필요하며 이는 왁스가 휘발되어 고착화되는 현상을 방지하기 위한 것이다. 세정액은 왁스를 세척할 수 있도록 조제되었다.

상기와 같이 구성된 종래의 기술은 보통 혼합공정에서 다수의 원료액을 계량하기 위하여 통상의 유량계를 사용하고 있으나 이는 유체의 흐름조건에 따라 측정 정확도의 변화가 심하여 만족할 만한 정확도를 얻을 수 없다. 또 주기적인 탱크와 배관의 자동세척을 고려하지 않아 원료액 및 혼합액이 공기와 접촉할 경우 내용물 중 휘발성 유체가 증발하면 장비의 탱크 내벽 및 파이프의 내벽에 고형 고착화되고 이들을 계속 사용하면 이들이 적층되어 장치의 계속 사용이 불가능하게 된다. 이를 방지하는 방법으로 이송방법이 있는데, 가스를 이용한 가압 방식이 가장 단순한 이송 방법이나 이를 사용하여 이송하는 경우 사용하는 가스가 왁스내부에 고압으로 인하여 고용되기 때문에 사용 처에서는 기포가 발생하게 되어 가압 방식을 사용할 수 없다. 또한 기존의 기술을 사용할 시에는 높은 점도로 인하여 초기 시동 시 혼합 방법에 의하여 발생하거나 이송 시에 발생하는 거품을 효과적으로 제거하기 힘들다. 종래는 공급 배관라인에서 장비로 바로 연결되기 때문에 기포가 발생한 경우 장비로 들어갈 확률이 높아지며, 공급 배관라인을 단일화하여 공급라인의 누수 등 고장이 발생할 경우 공급 라인에서 작업되는 모든 연마기가 운전 정지될 수 있다. 또한 장비의 수가 증가함에 따라서 배관의 길이가 길어져 배관의 마찰력으로 인한 압력저하현상을 받아 장비간의 압력의 차이가 발생하여 장비간 유체의 양이 달라지는 등의 문제점이 상존 하였다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 혼합비의 정확도를 확보하기 위하여 체적계량법 및 중량계량법을 병행 도입하였으며, 혼합액이 접촉하면서 공기에 노출되는 부위를 수시로 세정함으로써 장치가 항상 청결한 상태로 보전되도록 하였으며, 초기 장비 시동 시나 기타 다른 이유 등으로 인하여 기포가 발생하는 경우에도 기포연속포집기를 설치하여 기포를 제거하고, 기포가 장비로 올라가기 전에 밸브 박스 안에 U-trap을 설치하여 일단 발생한 기포가 장비로 들어가는 경우가 발생하지 않도록 하였다. 또한 공급배관 라인을 단일화하지 않고 루프개념을 도입하여 세 개의 루프를 구성 배관라인에서의 문제가 발생하는 경우 그 루프에 연결되어 있는 장비만이 운전 정지되도록 구성하였고, 배관의 길이 증가로 인한 압력저하를 최소화할 수 있다. 따라서 공급되는 왁스혼합액의 품질을 유지하며 사용 점들의 액체압력을 일정하게 유지하는데 있다.

이와 같은 본 발명의 목적은 원료를 담는 복수개의 드럼과 선택밸브와 압력조절밸브 및 펌프가 구비된 주입부와 세정액 저장 및 가압하는 가압탱크와 원료를 담는 병과 선택밸브와 질소가압밸브가 연결 설치되어, 인입밸브와 배출밸브가 상부에 구비되고, 진공발생기가 설치되며, 상부는 좁고 하부로 넓어지게 형성된 다수개의 계량탱크와, 외주면으로 액위감지센서가 구비되고, 세정스프레이와 중량계량저울이 설치되며, 교반기와 배출변이 구비된 혼합탱크와, 세정스프레이와 순환선택밸브가 구비되고, 액위감지센서가 설치되며, 복수개로 구비된 공급탱크와, 다수의 연마기가 설치되고, 유량계와 압력조절변이 구비된 다수개의 루프가 설치된 것을 포함하여 달성되며, 특히 상기 혼합탱크와 공급탱크사이에는 순환이송펌프와 자동역세필터가 설치되고, 상기 공급탱크와 루프사이에는 공급펌프와 필터와 압력조절변과 유량계가 설치되며, 상기 루프에는 공급쪽과 배출쪽에 U-trap이 형성된 밸브 박스를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

이하 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면에 의거하여 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명에 따른 왁스 혼합액 자동조제, 공급 방법 및 장치의 개략적인 흐름도

도 2는 본 발명에 따른 왁스 혼합액 자동조제, 공급 방법 및 장치의 개략도

도 3 (a)는 본 발명에 따른 왁스 혼합액 자동조제, 공급 방법 및 장치의 원료액 주입에 관한 개략도

도 3 (b)는 본 발명에 따른 왁스 혼합액 자동조제, 공급 방법 및 장치의 염색제 주입에 관한 개략도

도 3 (c)는 본 발명에 따른 왁스 혼합액 자동조제, 공급 방법 및 장치의 혼합 및 이송에 관한 개략도

도 3 (d)는 본 발명에 따른 왁스 혼합액 자동조제, 공급 방법 및 장치의 왁스 혼합액 공급에 관한 개략도

도 3 (e)는 본 발명에 따른 왁스 혼합액 자동조제, 공급 방법 및 장치의 기포연속포집기에 관한 사시도

도 4는 본 발명에 따른 왁스 혼합액 자동조제, 공급 방법 및 장치의 다수개로 분리된 루프를 나타낸 개략도

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10 : 주입부 10a, 10b : 드럼

11 : 압력조절밸브 12 : 펌프

13 : 선택밸브 20 : 가압탱크

30a, 30b, 30c : 계량탱크 31 : 병

32 : 질소가압밸브 33 : 인입밸브

34 : 배출밸브 35 : 진공발생기

40 : 혼합탱크 41 : 액위감지센서

42 : 세정스프레이 43 : 중량계량저울

44 : 교반기 45 : 배출변

50a, 50b : 공급탱크 51 : 순환선택밸브

60a, 60b, 60c : 루프 61 : 연마기

62 : 유량계 63 : 압력조절변

64 : 밸브박스 70a : 순환/이송펌프

70b : 자동역세필터 80 : 공급펌프

81 : 필터 82 : 유량계

90 : 기포연속포집기 91 : 밸브

92 : 토출공 93 : 배출공

94 : 인입공

도 1은 본 발명에 따른 왁스 혼합액 자동조제, 공급 방법 및 장치의 개략적인 흐름도이다. 이에 따르면 본 발명은 크게 원료액 주입, 세정액 저장 및 가압, 혼합 및 이송, 왁스 혼합액 공급으로 이루어진다.

구체적으로는 본 발명의 구성을 보여주는 첨부도면 도 2를 살펴보면 원료액 주입, 혼합 및 이송, 왁스 혼합액 공급/순환, 세정, 시스템 및 다수개의 루프, 기포연속포집기 및 공급배관에서 장비로 들어가는 밸브 박스 안에 U-trap을 구성한 공급배관라인으로 구성된 것을 알 수 있다. 다시 말해서 "가"원료액(왁스레진), "나"원료액(연화점 조절제), "다"원료액(염색제), "라"원료액(계면 활성제), "마"원료액(용제), "바"원료액(용제, 초순수)의 6가지 등 다수가 있으며 각 원료액의 성질 및 투입량에 따라 체적계량 또는 중량계량이 결정된다. 예를 들면 "가", "나"및 "바"원료액의 경우는 중량계량이며 "다", "라", "마"원료액은 계량탱크(30a, 30b, 30c)에 의한 체적계량을 하고 있다. "가"원료액의 경우 원료액이 드럼(10a, 10b)으로부터 펌프(12)에 의하여 혼합탱크(40)에 이송되며, 혼합탱크(40)를 계량하고 있는 중량계량저울(43)이 미리 세팅된 중량만큼을 감지하면 선택밸브(13)를 닫고 펌프(12)를 정지시킴으로서 필요한 량을 정확히 투입한다. "다", "라", "마"원료액의 경우 계량탱크(30a, 30b, 30c)를 진공상태로 만들고(진공발생기측의 밸브를 열면)원료 인입측의 밸브를 열면 원료 "다"원료액의 각각의 병(31)으로부터 원료가 계량탱크(30a, 30b, 30c)에 차 오르고 액위가 미리 계량하여 위치를 결정한 H(high)에 이르면 원료 인입밸브(33)를 닫는다. 이어 질소가압밸브(32) 및 원료 배출밸브(34)를 열어 계량탱크(30a, 30b, 30c)를 질소로 가압 시키고 계량탱크(30a, 30b, 30c)내의 액체를 혼합탱크(40) 쪽으로 배출시킴으로서 필요한 량을 정확히 투입한다. 이 때 반응이 일어날 수 있는 원료액은 투입순서를 조절할 수 있도록 계장에 대한 설계를 한다.

혼합탱크(40)의 액위가 혼합기 레벨 이상으로 차 오르면 혼합기를 구동시키고 동시에 펌프(12)를 구동시켜 원활히 혼합이 되도록 한다. 미리 정해진 시간만큼 혼합/순환이 이루어진 후 복수개의 공급 탱크(50a, 50b)중 미리 대기중인 공급탱크에 자동으로 순환/이송펌프(70a)에 의해 왁스 혼합액이 이송되며 이때 자동역세필터(70b)를 경유하게 된다. 이송됨에 따라 혼합탱크(40)의 액위가 미리 정해진 낮은 위치에 이르면 (중량 저울에 의해 감지) 순환/이송 펌프(70a)의 구동이 멈추고 관련된 밸브들이 닫힌다. 동시에 배출변(45)이 열려 잔여 혼합액을 배출시키고 세정액밸브가 열리면서 세정스프레이(42)쪽으로 세정액이 분사되어 혼합탱크(40) 내부 면을 세정시키면서 액이 배출변(45)을 통하여 배출된다. 세정액이 일정기간 공급되다가 연이어 초순수(불순물을 제거한 물) 세정밸브가 열려 초순수 세정(헹굼)이 동일 방법으로 이어지며 세정액 공급이 중단된 후 일정시간 배출밸브가 열려 있어 혼합탱크(40)내의 액체를 완전히 배출시킨 후 닫히게 되어 다음 혼합에 대비한다.

상기와 같은 방법으로 양 A, B공급탱크(50a, 50b)에 혼합 왁스액이 충진 되면서 공급펌프(80)에 의해 루프A(60a), 루프B(60b), 루프C(60c)에 액이 공급되면서 순환선택밸브(52)에 의해 공급되고 있는 탱크로 돌아오게 되며 이때 사용 점에서 연마기(61:Polisher)측의 밸브의 개폐에 의해 자동으로 연마기(61)에 혼합액이 공급된다. 이 때 각 루프에서 장비로 공급되는 라인은 밸브박스(64)를 구성하여 내부에 U-trap을 설치하였다. 또한 각 루프마다 기포연속포집기(90)를 설치하여 기포가 연속적으로 제거 되도록 구성하였다. 여기에서 루프A(60a), 루프B(60b) 및 루프C(60c) 등 다수개의 공급관을 병렬 배치한 것은 작동되는 수십대의 연마기(61)들을 다수의 그룹을 구분 공급하는 것이, 첫째 최초 연마기와 마지막 연마기간 공급 압력 차이를 최소로 할 수 있고 둘째, 만일 공급 루프관에 누수 또는 파손 등의 결함이 있을 경우 가동되는 전체 연마기들 중 해당 루프에 연결된 연마기들만의 구분 가동 중지함으로서 정지 손실을 최소화할 수 있는 잇점이 있게된다. 또한 각 루프마다 기포연속포집기(90)를 연결하여 발생하는 모든 기포를 제거할 수 있다. A공급탱크(50a)가 왁스 혼합액을 공급중이고 B공급탱크(50b)가 왁스 혼합액이 가득 차있는 상태에서 A공급탱크(50a)의 액위가 중간 액위에 이르면 이를 감지하여 혼합탱크(40)에 원료액이 공급되면서 왁스 혼합이 개시되어 혼합완료 후 대기시킨다. 연이어서 액위가 저액위에 다다르면 A공급탱크(50a)로 공급이 절환 되고 배출변(45)이 열리면서 배출/세정/헹굼의 과정이 상술한 혼합탱크(40)와 동일한 순서/방법에 의해 진행되어 혼합액을 받을 준비가 완료되면 상술한 바와 같이 혼합액이 A공급탱크(50a)에 이송되며, 상술한 바와 같이 혼합탱크(40)는 배출/세정/헹굼이 되어 대기상태가 된다.

본 발명의 실시 과정을 첨부 도면을 참조하여 살펴보면, 도 3 (a)는 본 발명에 따른 왁스 혼합액 자동조제, 공급 방법 및 장치의 원료액 주입에 관한 개략도로써, 전체적인 구성은 다수개의 드럼(10a, 10b)과 복수개의 펌프(12)와 각각의 선택밸브(13) 및 압력조절밸브(11)로 이루어지며, 도면에 도시된 바와 같이 좌측의 복수개의 드럼(10a, 10b)은 "가"원료(왁스레진)를 저장하는 것으로, 외부에서 CDA(Clean Dry Air)가 공급되면 압력조절밸브(11)를 통과해서 펌프(12)로 이동한다. 이 때 펌프(12)는 선택밸브(13)를 통해 나온 원료를 일정한 압력으로 혼합탱크(40)로 이송시킨다. 또한 우측에 도시된 바와 같이 복수개의 배출공이 구비된 드럼(10a, 10b)은 "나"원료(연화점 조절제)가 저장되어 상기에서 설명한 것과 같이 압력조절밸브(11)와 선택밸브(13) 및 펌프(12)의 수단으로 "나"원료(연화점 조절제)를 혼합탱크(40)로 이송한다. 여기서, 복수개의 배출공 중 한 곳으로는 발생된 가스를 배출하게 된다. 각각의 배관에는 물로 세척할 수 있도록 되어 있다.

도 3 (b)는 본 발명에 따른 염색제 주입에 관한 개략도로써, 세정액 저장 및 가압하는 가압탱크(20)와, 상부는 폭이 좁고 하부로 넓어지는 형상을 갖는 다수개의 계량탱크(30a, 30b, 30c)와, 원료액이 충진된 다수개의 병(31)과, 세정스프레이(42)가 내측으로 구비되고, 외주면으로 중량계량저울(43)이 복수개 설치되며, 교반기(44)에 의한 회전으로 원료를 혼합하는 혼합탱크(40)로 이루어진다. 참고로 도면의 혼잡을 피하기 위해 알파벳 대문자를 사용하여 각각 연결되는 곳을 도시하였으며 이들은 각각 A, B, C, D, H, K:병(31)에서 발생된 가스가 배출되는 것이고, E:"마"원료가 병(31)과 혼합탱크(40)로 인입되는 것, G:가압탱크(20)에서 혼합탱크(40)로 세정액이 이송되는 것이며, I:CDA(Clean Dry Air)가 외부에서 가압탱크(20)로 인입되는 것을 나타내고 있다. 다시 말해서 각각의 병(31)에서 나온 원료(여기서는 "다", "라", "마"원료)는 진공발생기(35)에 의해 제어되는 각각의 계량탱크(30a, 30b, 30c:"다", "라", "마"탱크)를 거쳐 세정스프레이(42)와 중량계량저울(43)이 구비된 혼합탱크(40)로 이송된다. 이 때 질소가 외부에서 각각의 계량탱크(30a, 30b, 30c)로 인입된다.

상기에서 설명한 중량계량저울(43)은 혼합탱크(40)의 액위를 감지하기 위한 것으로 외주면에 복수개가 설치되어 집중 분포를 방지하게 된다.

도 3 (c)는 본 발명에 따른 혼합 및 이송에 관한 개략도로써, 도 3(b)에서 상술한 알파벳 대문자 A, B, C, D, H, K:병(31)에서 발생된 가스가 배출되는 것이고, E:"마"원료가 병(31)과 혼합탱크(40)로 인입되는 것, F, G:계량탱크(30a, 30b, 30c)에서 혼합탱크(40)로 세정액이 이송되는 것이며, I:CDA(Clean Dry Air)가 외부에서 계량탱크(30a, 30b, 30c)로 인입되는 것으로 복수개의 순환/이송펌프(70a)와 자동역세필터(70b)로 이루어지며, 상술한 혼합탱크(40)로 보내진 원료액이 혼합되어 복수개의 순환/이송펌프(70a)에 의해 자동역세필터(70b)를 거쳐 복수개의 공급탱크(50a, 50b:미도시)로 이송된다.

도 3 (d)는 본 발명에 따른 왁스 혼합액 공급에 관한 개략도로써, 복수개의 공급탱크(50a, 50b)와 복수개의 공급펌프(80)와 복수개의 필터(81)와 다수개의 압력조절변(82)과 다수개의 루프(60a, 60b, 60c)로 이루어진다. 전술한 자동역세필터(70b)로부터 원료액이 공급탱크(50a, 50b)로 공급되어 공급펌프(80)에 의해 필터(81)를 거쳐 각각의 루프(60a, 60b, 60c)로 이송된다. 이 때 각각의 공급탱크(50a, 50b)는 세정액이 투입되어 세정이 가능하도록 하였고, 복수개로 구성된 공급탱크(50a, 50b)는 동시에 사용되지 않고 각각에 구비된 액위감지센서(53)로 액위를 감지하여 상호 보완하면서 가동이 멈추지 않도록 하였다. 또한 다수개로 나누어진 루프(60a, 60b, 60c)에는 유량계(83)가 설치되어 연마기(61)로 보내어진 원료액의 양을 파악하여 보충할 수 있도록 공급탱크(50a, 50b)와 연결되어 있고, 다수의 연마기(61)가 이와 분리되어 설치된다.

각각의 루프(60a, 60b, 60c)에는 다수개의 연마기(61)가 설치되어 있고, 각각의 연마기(61)에 연결된 배관에는 기포연속포집기(90:미도시)와 U-trap이 형성된 밸브 박스(64:미도시)가 설치되어 배관에 발생되는 기포를 발견하여 제거할 수 있도록 되어있다.

도 3 (e)는 상술한 기포연속포집기의 사시도이며, 이에 따르면 장방형의 밑판에 상부로 원통이 형성되고 이 외측으로 대향되게 배출공(93)과 인입공(94)이 구비되며, 원통 상단에 밸브(91)와 에어 토출공(92)이 형성된 기포연속포집기(90)로 이루어져 발생된 기포를 제거하도록 되어있다.

도 4는 본 발명에 따른 왁스 혼합액 자동조제, 공급 방법 및 장치의 다수개로 분리된 루프를 나타낸 개략도로써, 도면에 나타난 바와 같이 선의 종류를 서로 다르게 도시하여 각각의 루프가 분리되었다는 것을 알 수 있고, 각각의 루프(60a, 60b, 60c)에는 기포연속포집기(90)가 설치되어 각 루프에 발생되는 기포를 발견하여 제거해주며, 고장이 발생될 경우, 전체적으로 가동을 중단하는 것이 아니라 일부만 정지시킴으로써, 작업효율을 높이는 것이다.

이와 같이 구성된 본 발명은 왁스 혼합액 자동조제, 공급 방법 및 장치에 상술한 바와 같이 원료액 주입, 혼합 및 이송, 왁스 혼합액 공급/순환, 세정, 시스템 및 다수개의 루프, 기포연속포집기 및 공급배관에서 장비로 들어가는 밸브 박스 안에 U-trap을 구성한 공급배관라인을 실시함으로써, 상기의 체적계량 및 중량계량법에 의하여 높은 정도의 혼합비율의 달성은 물론 자동화에 의하여 높은 반복정도를 얻을 수 있으며 배출/세정/헹굼에 의하여 장치의 모든 부분을 항시 청결하게 유지할 수 있어 종래의 기술이 갖는 문제점을 해소할 수 있다. 또한 공급장치의 거품 발생을 억제하여 왁스 품질의 연속성을 지킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (5)

1. 반도체 연마 블록에 실리콘웨이퍼를 접착시키는데 사용되는 왁스 혼합, 공급 장치에 있어서,

   원료를 담는 복수개의 드럼(10a, 10b)과 선택밸브(13)와 압력조절밸브(11) 및 펌프(12)가 구비된 주입부(10)와;

   세정액 저장 및 가압하는 가압탱크(20)와;

   원료를 담는 병(31)과 선택밸브(13)와 질소가압밸브(32)가 연결 설치되어, 인입밸브(33)와 배출밸브(34)가 상부에 구비되고, 진공발생기(35)가 설치되며, 상부는 좁고 하부로 넓어지게 형성된 다수개의 계량탱크(30a, 30b, 30c)와,

   외주면으로 액위감지센서(41)가 구비되고, 세정스프레이(42)와 중량계량저울(43)이 설치되며, 교반기(44)와 배출변(45)이 구비된 혼합탱크(40)와,

   세정스프레이(42)와 순환선택밸브(51)가 구비되고, 액위감지센서(41)가 설치되며, 복수개로 구비된 공급탱크(50a, 50b)와,

   다수의 연마기(61)가 설치되고, 유량계(62)와 압력조절변(63)이 구비된 다수개의 루프(60a, 60b, 60c)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 왁스 혼합액 자동조제, 공급 방법 및 장치
2. 제 1항에 있어서, 상기 혼합탱크(40)와 공급탱크(50a, 50b)사이에는 순환/이송펌프(70a)와 자동역세필터(70b)가 설치된 것을 포함하여 이루어지는 왁스 혼합액 자동조제, 공급 방법 및 장치
3. 제 1항에 있어서, 상기 공급탱크(50a, 50b)와 루프(60a, 60b, 60c)사이에는 공급펌프(80)와 필터(81)와 압력조절변(63)과 유량계(82)가 설치된 것을 포함하여 이루어지는 왁스 혼합액 자동조제, 공급 방법 및 장치
4. 제 1항에 있어서, 상기 루프(60a, 60b, 60c)에는 공급쪽과 배출쪽에 U-trap이 형성된 밸브 박스(64)가 구비된 것을 포함하여 이루어지는 왁스 혼합액 자동조제, 공급 방법 및 장치
5. 제 1항에 있어서, 상기 루프(60a, 60b, 60c)에 설치된 배관에는 원통형의 형상에 대향되게 배출공(93)과 인입공(94)이 형성되고, 상단에 밸브(91)와 에어 토출공(92)이 형성된 기포연속포집기(90)를 포함하여 이루어지는 왁스 혼합액 자동조제, 공급 방법 및 장치