KR20000018666U - 노광 및 정열장치의 웨이퍼 레벨링 기구 - Google Patents

Abstract

본 고안은 웨이퍼의 초점과 레벨을 조정할 때 그 이동량을 확인할 수 있게 하여, 초점 에러 및 레벨링 에러에 대한 장치의 보수 점검을 용이하게 하는 노광 및 정열장치의 웨이퍼 레벨링 기구를 제공하는 데 그 목적이 있다

이를 실현하는 노광 및 정열장치의 웨이퍼 레벨링 기구는, 모터(9)에 연결되어 회전하는 리이드 스크류(13), 이 리이드 스크류(13)에 결합되어 수평 방향으로 이동하는 캠(15), 이 캠(15)의 경사면(17)에 구름 접촉되고 테이블(7)에 여결되어 수직 방향으로 이동하는 롤러(19), 테이블(7)의 하측에 설치되어 테이블(7)의 이동량을 감지하는 감지부(23), 이 감지부(23)에 전기적으로 연결되어 그 감지신호를 시각 신호로 변환하여 표시하는 표시부(25)로 구성된다.

Description

노광 및 정열장치의 웨이퍼 레벨링 기구{wafer leveling device of align ＆exposure}

본 고안은 노광 및 정렬장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼 정열시 웨이퍼의 레벨링량을 감지 및 표시하여 초점 및 레벨 에러 발생시 노광 및 정열장치의 보수 점검을 용이하게 하는 노광 및 정열장치의 웨이퍼 레벨링 기구에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조공정의 하나인 사진 공정은 감광막 도포기, 반도체 제조용 카메라, 정열기, 그리고 현상기 등에 의하여 실현된다.

여기서, 감광막 도포기는 웨이퍼에 감광액을 균일하게 도포하고, 반도체 제조용 카메라는 자외선을 이용하여 마스크상의 회로 패턴을 감광액이 도포된 웨이퍼 표면에 전사, 즉 노광하며, 이 회로 패턴이 그려진 마스크를 반복적으로 축소 투영하게 되는 데, 이때 정열기는 웨이퍼상의 위치를 마스크에 정확하게 일치시키도록 웨이퍼를 정열시키며, 그리고 현상기는 노광 지역을 현상액으로 제거한다.

이러한 일련의 공정에서 회로 패턴을 웨이퍼에 투영하는 노광 공정은 웨이퍼를 투영될 마스크의 위치에 정확하게 일치시키는, 즉, 초점 및 레벨을 맞추는 것을 요구한다. 이 요구를 실현하기 위하여, 노광 및 정열장치는 웨이퍼 레벨링 기구를 구비하고 있다.

노광 및 정열장치에서 웨이퍼 레벨링 기구(1)는 도 1에 도시된 바와 같이, 웨이퍼(3)의 하측에 등 각(角) 간격으로 3곳에 배치되어 있다. 물론 웨이퍼(3)는 도 2에 도시된 바와 같이, 진공으로 잡아주는 웨이퍼 홀더(5)에 고정되어 상하 위치 조절 가능한 테이블(7) 상에 설치된다.

웨이퍼 레벨링 기구(1)는 모터(9)의 구동력으로 베이스(11)에 설치된 리이드 스크류(13)를 회전시키고, 이 리이드 스크류(13)에 결합된 캠(15)을 수평 방향(a↔b)으로 이동시키며, 이 캠(15)의 경사면(17)에 구름 접촉되는 롤러(19)를 수직 방향(c↔d)으로 이동시키고, 이 롤러(19)에 설치된 테이블(7)을 수직 방향(c↔d)으로 이동시킴으로써 웨이퍼(3)의 초점 및 레벨을 조절하도록 구성된다.

그러나 이 웨이퍼 레벨링 기구(1)는 단순히 모터(9)를 구동하여 웨이퍼(3)의 위치, 즉 초점 및 레벨을 맞추기 때문에 그 이동 정도의 인지를 곤란하게 한다. 이로 인하여 초점 에러 및 레벨링 에러 발생시 노광 및 정열장치의 보수 점검을 어렵게 하는 단점이 있다.

따라서 본 고안은 상기와 같은 단점을 해소하기 위하여 안출된 것으로서, 본 고안의 목적은 웨이퍼의 초점과 레벨을 조정할 때 그 이동량을 확인할 수 있게 하여, 초점 에러 및 레벨링 에러에 대한 장치의 보수 점검을 용이하게 하는 노광 및 정열장치의 웨이퍼 레벨링 기구를 제공하는 것이다

도 1은 본 고안이 적용되는 노광 및 정열장치의 웨이퍼 레벨링 기구의 평면도이다.

도 2은 도 1의 A-A선에 따른 종래기술의 단면도이다.

도 3은 도 1의 A-A선에 따른 본 고안에 따른 단면도이다.

〈 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 〉

9:모터 13:리이드 스크류 15:캠

17:경사면 19:롤러 21:웨이퍼 레벨링 기구

23:감지부 25:표시부

이를 실현하기 위한 본 고안에 따른 노광 및 정열장치의 웨이퍼 레벨링 기구는,

모터의 구동으로 리이드 스크류를 회전시키고, 이 리이드 스크류에 결합된 캠을 수평 방향으로 이동시키며, 이 캠의 경사면에 구름 접촉되는 롤러를 수직 방향으로 이동시키고, 이 롤러에 설치된 테이블을 수직 방향으로 이동시켜 웨이퍼의 초점 및 레벨을 조절하도록 구성되며,

테이블의 이동량을 감지하도록 테이블의 하측에 설치되는 감지부와, 이 감지부의 감지신호를 이동량으로 표시하는 표시부를 포함한다.

이하 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 의거하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 고안이 적용되는 노광 및 정열장치의 웨이퍼 레벨링 기구의 평면도로서, 본 고안의 웨이퍼 레벨링 기구(21)는 종래기술에서 언급된 레벨링 기구(1)의 구성에 감지부(23)와, 도3에 도시된 바와 같은 표시부(25)를 더 구비하고 있다. 따라서 종래기술에서 언급된 부분은 생략하고 다른 부분에 대해서만 설명한다.

감지부(23)는 테이블(7)의 하측 베이스(11)에 수직 방향으로 설치되어 테이블(7)의 상하 이동에 따라 그 선단(27)이 수직 방향으로 이동한다. 이 감지부(23)는 웨이퍼(3)의 초점 및 레벨 조절시 미세하게 이동하는 테이블(7)의 이동량을 감지하여 그 거리를 측정케 한다. 즉, 이 센서는 특정의 구성으로 한정되지는 않지만 웨이퍼(3)의 초점 및 레벨 조절이 마이크로미터 단위로 이루어지는 것을 감안하여 수 마이크로미터 정도의 이동을 감지할 수 있는 정도이면 무관하다.

이러한 감지부(23)는 웨이퍼(3)의 초점 및 레벨을 감지하여, 레벨링 기구(21)를 정확하게 제어하도록 레벨링 기구(21)의 개수와 같은 개수로 설치됨이 바람직하다. 본 실시예에서는 감지부(23)가 베이스(11)에 등 각(角) 간격으로 3개 설치된 것을 예시하고 있다.

그리고 표시부(25)는 감지부(23)에 전기적으로 연결되어 감지부(23)에서 감지한 테이블(7)의 이동량을 표시한다. 즉, 표시부(25)는 감지부(23)의 전기 신호를 시각 신호로 변환시키는 수단을 구비한 모니터가 적용될 수 있으며, 이동량의 확인을 용이하게 하기 위하여 감지한 이동량을 디지털로 표시할 수 있으면 더욱 바람직하다.

상술한 바와 같이 구성된 노광 및 정열장치의 웨이퍼 레벨링 기구의 작용은 다음과 같다.

웨이퍼(3)를 웨이퍼 홀더(5)에 로딩하면, 진공력에 의하여 웨이퍼(3)는 웨이퍼 홀더(5)에 고정된다.

이 웨이퍼(3)의 초점과 레벨이 마스크(미도시)에 일치하도록 모터(1)를 구동시킨다. 모터(1)의 구동으로 리이드 스크류(13)가 수평 방향(a↔b)을 이동하여 캠(15)을 수평 방향(a↔b)으로 이동시킨다. 따라서 이 캠(15)의 경사면(17)에 구름 접촉하는 롤러(19)에 의하여 테이블(7)이 수직 방향(c↔d)으로 이동되면서 웨이퍼(3)의 초점과 레벨을 조절한다.

이 때, 감지부(23)는 테이블(7)의 이동량을 감지하여 그 감지 신호를 표시부(25)에 인가시킨다.

표시부(25)는 그 감지 신호를 시각 신호로 변환하여 테이블의 이동량을 디지털로 표시한다.

이렇게 표시된 테이블(7)의 이동량은 웨이퍼(3)의 초점 에러 및 레벨링 에러 발생시 노광 및 정열장치를 보수 점검을 위한 참고 데이터로 사용된다.

본 고안의 노광 및 정열장치의 웨이퍼 레벨링 기구는 웨이퍼의 초점 및 레벨 조정시 테이블의 하측에 구비된 감지부로 테이블의 이동량을 감지하고 이에 전기적으로 연결된 표시부로 그 이동량을 디지털로 표시하므로 초점 에러 및 레벨링 에러 발생시 장치의 보수 점검을 용이하게 한다.

Claims (1)

1. 모터의 구동으로 리이드 스크류를 회전시키고, 이 리이드 스크류에 결합된 캠을 수평 방향으로 이동시키며, 이 캠의 경사면에 구름 접촉되는 롤러를 수직 방향으로 이동시키고, 이 롤러에 설치된 테이블을 수직 방향으로 이동시켜 웨이퍼의 초점 및 레벨을 조절하는 노광 및 정열장치의 웨이퍼 레벨링 기구에 있어서,

   상기 테이블의 이동량을 감지하도록 상기 테이블의 하측에 설치되는 감지부와,

   상기 감지부의 감지신호를 이동량으로 표시하는 표시부를 포함하는 노광 및 정열장치의 웨이퍼 레벨링 기구.