KR20000013627A

KR20000013627A - 반도체 제조설비의 안전장치

Info

Publication number: KR20000013627A
Application number: KR1019980032595A
Authority: KR
Inventors: 류규복; 양태구
Original assignee: 윤종용; 삼성전자 주식회사
Priority date: 1998-08-11
Filing date: 1998-08-11
Publication date: 2000-03-06

Abstract

본 발명은 차단기나 혹은 콘센트 등의 과열시 경보 메시지나 설비의 인터록신호를 출력하도록 하는 반도체 제조설비의 안전장치에 관한 것으로, 이는 입력전원을 부하에 공급하면서 누전시 입력전원을 차단하게 되는 차단기를 갖는 반도체 제조설비의 안전장치에 있어서, 이 차단기 내의 온도변화에 의해 스위칭되는 온도 감응 스위치와, 이 온도 감응 스위치 작동시 경보 메시지와 인터록신호의 출력을 제어하게 되는 제어부로 구성된 것이다.

Description

반도체 제조설비의 안전장치

본 발명은 반도체 제조설비의 안전장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 차단기(breaker)나 혹은 콘센트 등의 과열시 경보 메시지나 설비의 인터록신호를 출력하도록 하는 반도체 제조설비의 안전장치에 관한 것이다.

도1은 반도체 제조설비의 전원 공급장치를 보인 구성도로서, 입력전원에는 부하(102)에 공급되는 전원을 단속하게 되는 단속기(101)는 누전시나 부하측에 과부하가 걸렸을 때 구동되어 부하(102)에 공급되는 입력전원을 차단하기 때문에 부하(101)를 보호할 수 있는 것이다.

또한, 콘센트는 미도시된 전원장치로부터 입력되는 전원을 부하에 공급하는 역할만을 수행한다.

그러나, 차단기나 콘센트는 자체에서 발생되는 열에 대처하지 못하고, 과열시 화재를 유발하여 안전사고를 일으키게 되는 결점이 있다.

이에 본 발명의 목적은 차단기나 콘센트 등이 과열시 이를 알리기 위한 경보 메시지나 설비 인터록신호를 출력하여 안전사고를 미연에 방지할 수 있도록 하는 반도체 제조설비의 안전장치를 제공함에 있다.

도1은 종래의 전원 공급장치를 나타내는 구성도이다.

도2는 본 발명에 따른 반도체 제조설비의 안전장치를 나타내는 구성도이다.

※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

1 : 차단기 2 : 부하

3a,3b : 온도 감응 스위치 4 : 제어부

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 제조설비의 안정장치는 입력전원을 부하에 공급하면서 누전시 입력전원을 차단하게 되는 차단기를 갖는 반도체 제조설비의 안전장치에 있어서, 이 차단기 내의 온도변화에 의해 스위칭되는 온도 감응 스위치와, 이 온도 감응 스위치 작동시 경보 메시지와 인터록신호의 출력을 제어하게 되는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

이 온도 감응 스위치는 차단기 내의 출력단, 부하측에 연결되는 것이 바람직하다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도2를 참조하면, 부하(2)에 입력되는 입력전원을 단속하는 차단기(1)의 출력단, 즉 부하측에는 온도 감응 스위치(3a(3b)가 설치되어있고, 이 온도 감응 스위치(3a)(3b)는 제어부(4)의 입력단에 연결되어있다. 그리고, 이 제어부(4)는 온도 감응 스위치(3a)(3b)의 작동신호를 입력받아 차단기(1)의 과열상태를 판정하고, 과열시 이를 알리기 위한 경보 메시지와 설비를 인터록하기 위한 인터록신호를 출력하도록 되어있다.

따라서, 차단기(1)의 내부온도가 올라가게 되면, 보다 상세하게는 온도 감응 스위치(3a)(3b)가 설치된 출력단자의 온도가 올라가게 되면, 온도 감응 스위치(3a)(3b)의 작동신호가 제어부(4)에 공급된다. 여기서, 제어부(4)는 두 개의 이상의 출력단자에 설치된 온도 감응 스위치 중 하나 이상의 온도 감응 스위치로부터 작동신호가 입력되면, 차단기(1)가 과열된 것으로 판정한다. 그리고, 이 제어부(4)는 이를 알리기 위한 경보 메시지를 출력하는 한편, 설비를 인터록시키기 위한 인터록신호를 생성하여 출력하게 된다.

이에 따라 작업자는 차단기나 콘센트의 과열상태를 알 수 있을뿐만 아니라, 차단기나 콘센트의 과열로 인해 설비가 무리한 동작을 수행하는 것을 막을 수 있는 것이다.

따라서, 본 발명에 의하면 차단기나 콘센트에서 발생되는 열을 감지하고, 과열시 경보 메시지나 설비 인터록신호를 출력함으로써, 차단기나 콘센트의 과열에 대처할 수 있을뿐만 아니라, 설비에 과부하가 걸리는 것을 차단할 수 있는 것이다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims

입력전원을 부하에 공급하면서 누전시 입력전원을 차단하게 되는 차단기를 갖는 반도체 제조설비의 안전장치에 있어서,

이 차단기 내의 온도변화에 의해 스위칭되는 온도 감응 스위치;

이 온도 감응 스위치 작동시 경보 메시지와 인터록신호의 출력을 제어하게 되는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 안전장치.
제1항에 있어서,

이 온도 감응 스위치는 차단기 내의 출력단에 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 안정장치.