KR20240014375A - 반도체 장비용 컨트롤러 이상징후 모니터링 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 장비용 컨트롤러 이상징후 모니터링 방법으로, 이상징후 모니터링 서버가, 상기 컨트롤러 내측에 구비된 불꽃감지기로부터 제 1 신호를 수신받는 단계; 상기 컨트롤러 내측에 구비된 온도센서로부터 제 2 신호를 수신받는 단계; 상기 컨트롤러 내측에 구비된 연기센서로부터 제 3 신호를 수신받는 단계; 상기 컨트롤러의 누전차단기 센서로부터 누설전류에 대한 제 4 신호를 수신받는 단계; 상기 컨트롤러의 정격전류에 대응하는 제 5 신호를 수신받는 단계; 및 상기 제 1 내지 제 5 신호 중 적어도 어느 하나 이상이 기설정된 범위를 벗어나는 경우 상기 이상징후 모니터링 서버는 상기 컨트롤러에서 이상징후가 발생하였음으로 판단하는 단계를 포함하는 반도체 장비용 컨트롤러 이상징후 모니터링 방법을 제공한다.
Description
본 발명은 반도체 장비용 컨트롤러 이상징후 모니터링 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 모니터링 위치와 이격된 장소에 위치하는 반도체 장비 컨트롤러에서 발생한 화재 등의 이상신호를 효과적으로 장비 디스플레이를 통해서 모니터링할 수 있는 반도체 장비 컨트롤러 기술에 관한 것이다.
반도체 소자의 제조 공정은 크게 반도체 기판 상에 가공막을 형성하는 증착 공정, 상기 증착 공정으로 형성된 가공막 상에 피가공막을 형성하여 패터닝하는 포토리소그래피 공정, 상기 포토리소그래피 공정에 의해 형성된 상기 피가공막을 마스크로 사용하여 상기 가공막을 식각하는 식각 공정, 상기 피가공막을 이온주입마스크로 사용하여 불순물 이온을 주입하는 이온주입 공정 및, 각종 열처리 공정 등을 포함하여 이루어진다.
이와 같은 다수의 공정은 일련의 정해진 흐름을 따라 정확하게 관리 및 제어되어야 하며, 이는 반도체 장비 제어 시스템에 의해 수행되며, 이러한 제어 시스템은 실제 공정이 진행되는 챔버 등을 포함하는 반도체 장비와는 이격되어 설치된 컨트롤러에 의하여 전기적으로 제어된다. 또한, 이러한 반도체 및 디스플레이 제조공정 라인에는 반도체 및 디스플레이 제조설비에 전력을 공급하기 위한 다양한 전력 공급장치가 구비된다. 통상 반도체 장비용 컨트롤러는 파워라인, 공정을 제어하기 위한 다수의 PCB 등을 갖는 구조이다.
도 1은 반도체 장비(100)와, 이를 제어하기 위한 반도체 장비용 컨트롤러(200)의 모식도이다.
도 1을 참조하면, 반도체 장비(100)는 공정이 진행되는 챔버 등과 이를 작업자가 모니터링하는 디스플레이를 포함하며, 이를 제어하기 위한 컨트롤러(200)는 장비(100)와 이격된 곳에서 전기적으로 반도체 장비(100)와 연결되어 있다. 실제 현장에서는 반도체 장비(100)는 건물의 위층에 위치하고 컨트롤러(200)는 아래층에 위치하고 있고 작업자는 통상 위층에 위치하고 있어서 서로 물리적으로 이격된 상태이다.
이러한 상황에서 전기적인 과부하 등으로 인하여 컨트롤러(200)에 연기나 화재가 발생하는 경우 상층에 위치하는 작업자는 이를 용이하게 인지하기 어려우며, 특히 장비와 컨트롤러가 상하층으로 구분되어 있어서 이러한 이상 상황을 뒤늦게 파악하는 경우 반도체 생산 공정이 일정 기간 지연되는 등으로 심각한 생산량 저하를 초래할 수 있다.
만약, 화재 발생을 감지한 작업자가 하우층으로 내려가려면 이동에만 많은 시간이 소요되고 또한 도착 후 직접 소화 작업 등을 수행하여야 한다. 상부층에서 하부층으로 이동하려면 일정한 절차를 진행해야 하는 등 많은 시간이 소요된다. 즉, 클린룸(clean room)인 상부층에는 방진복을 착용한 상태이며, 하부층인 클린룸에서는 내산 가운을 착용하여야 하며 또한 내산 보호용 고글을 착용하여야 하는 등 안전 보호구를 착용하고 이동하는데만 5분 이상이 소요된다. 가동중인 반도체 장비의 에러발생시 즉시적인 대응이 가능하도록 지속적이고 계속적인 모니터링을 하고 또한 이상상황 발생시 신속한 대응조치가 가능하도록 하는 것이 생산차질로 인한 피해를 최소화하기 위해 매우 중요하다.
그러므로, 컨트롤러에서 직접 화재로 이어지기 전에 이러한 문제를 해결하는 것이 필요하고 따라서 이상 징후가 감지되면 이를 조기에 알람 경고하는 컨트롤러 이상징후 모니터링 방법이 필요하다.
따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 상층에 위치하는 작업자에게 하층에 위치하는 반도체 장비용 컨트롤러 이상징후를 용이하게 모니터링할 수 있는 수단과 방법을 제공하는 것이다.
본 발명은, 이상징후 모니터링 서버에 의한 반도체 장비용 컨트롤러 이상징후 모니터링 방법으로, 상기 이상징후 모니터링 서버가, 상기 컨트롤러 내측에 구비된 불꽃감지기로부터 제 1 신호를 수신받는 단계; 상기 컨트롤러 내측에 구비된 온도센서로부터 제 2 신호를 수신받는 단계; 상기 컨트롤러 내측에 구비된 연기센서로부터 제 3 신호를 수신받는 단계; 상기 컨트롤러의 누전차단기 센서로부터 누설전류에 대한 제 4 신호를 수신받는 단계; 상기 컨트롤러의 정격전류에 대응하는 제 5 신호를 수신받는 단계; 및 상기 제 1 내지 제 5 신호 중 적어도 어느 하나 이상이 기설정된 범위를 벗어나는 경우 상기 이상징후 모니터링 서버는 상기 컨트롤러에서 이상징후가 발생하였음으로 판단하는 단계;를 포함한다..
그리고, 상기 제 2 신호 또는 제 3 신호가 기설정된 범위를 벗어나는 경우, 상기 이상징후 모니터링 서버는 상기 이상징후를 화재로 인식하는 단계를 더 포함한다.
그리고, 상기 컨트롤로 내측에 구비된 냉각팬 공기흐름 센서로부터 상기 냉각팬 동작여부에 관한 제 6 신호를 더 수신받으며, 상기 제 6 신호가 기설정된 범위를 벗어나는 경우, 상기 이상징후 모니터링 서버는 상기 컨트롤러에서 이상징후가 발생하였음으로 판단할 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 누전차단기 센서로부터의 제 4 신호 및 상기 컨트롤러의 정격전류에 대응하는 제 5 신호가 기설정된 범위를 벗어나는 경우, 상기 이상징후 모니터링 서버는 상기 위험발생 가능성을 알리는 알림1단계를 발하고, 상기 온도센서로부터의 제 2 신호 또는 상기 연기센서로부터의 제 3 신호가 기설정된 범위를 벗어나는 경우, 상기 이상징후 모니터링 서버는 상기 이상징후를 화재로 인식하여 긴급상황을 알리는 알림2단계를 경고의 단계를 분리하여 발하도록 할 수도 있다.
본 발명의 일 실시예는 컨트롤러의 이상징후를 모니터링하기 위한 신호를 수신받아 정상 또는 이상으로 판단하기 위한 반도체 장비용 컨트롤러 이상징후 모니터링 서버를 제공하며, 특히 연기 검출기 등과 같은 단일 검출기에 의해서 화재 등을 발생하는 종래 기술과 달리 복수의 센서로부터의 신호를 복합적으로 판단하여 화재 등의 이상징후를 판단하여, 오경보(false alarm)의 문제와 컨트롤러와 장비가 이격된 환경에서도 장비에서 근무하는 작업자로 하여금 정확한 컨트롤러 상황을 파악할 수 있게 한다.
도 1은 다수의 반도체 장비(100)와 이를 제어하기 위한 다수의 반도체 장비용 컨트롤러(200)가 상하층으로 분리되어 설치되어 있는 모습이며,
도 2는 도 1에 도시된 장비 중 하나의 반도체 장비(100)와 하나의 반도체 장비용 컨트롤러(200)를 이용하여 모니터링 하는 개념적인 모습을 보여주고 있으며, 작업자는 반도체 장비(100)와 함께 상층에 위치하여 장비를 조작하거나 반도체 장비용 컨트롤러(200)를 모니터링하는 모습이며,
도 3은 본 발명에 따라 반도체 장비용 컨트롤러(200)에 본 발명 실시를 위한 모니터링 장치들이 구비된 모습이며,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 이상징후 모니터링 서버의 블록도 및 동작방법을 설명하기 위한 참조용 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 장비 중 하나의 반도체 장비(100)와 하나의 반도체 장비용 컨트롤러(200)를 이용하여 모니터링 하는 개념적인 모습을 보여주고 있으며, 작업자는 반도체 장비(100)와 함께 상층에 위치하여 장비를 조작하거나 반도체 장비용 컨트롤러(200)를 모니터링하는 모습이며,
도 3은 본 발명에 따라 반도체 장비용 컨트롤러(200)에 본 발명 실시를 위한 모니터링 장치들이 구비된 모습이며,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 이상징후 모니터링 서버의 블록도 및 동작방법을 설명하기 위한 참조용 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명을 상세하게 설명하기 전에, 본 명세서에서 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 무조건 한정하여 해석되어서는 아니 되며, 본 발명의 발명자가 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해서 각종 용어의 개념을 적절하게 정의하여 사용할 수 있다.
더 나아가 이들 용어나 단어는 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 함을 알아야 한다. 즉, 본 명세서에서 사용된 용어는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하기 위해서 사용되는 것일 뿐이고, 본 발명의 내용을 구체적으로 한정하려는 의도로 사용된 것이 아니다. 이들 용어는 본 발명의 여러 가지 가능성을 고려하여 정의된 용어임을 알아야 한다. 또한, 본 명세서에 있어서, 단수의 표현은 문맥상 명확하게 다른 의미로 지시하지 않는 이상, 복수의 표현을 포함할 수 있다. 또한, 유사하게 복수로 표현되어 있다고 하더라도 단수의 의미를 포함할 수 있음을 알아야 한다.
본 명세서의 전체에 걸쳐서 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소를 "포함"한다고 기재하는 경우에는, 특별히 반대되는 의미의 기재가 없는 한 임의의 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 임의의 다른 구성 요소를 더 포함할 수도 있다는 것을 의미할 수 있다.
더 나아가서, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소의 "내부에 존재하거나, 연결되어 설치된다"고 기재한 경우에는, 이 구성 요소가 다른 구성 요소와 직접적으로 연결되어 있거나 접촉하여 설치되어 있을 수 있다.
또한, 일정한 거리를 두고 이격되어 설치되어 있을 수도 있으며, 일정한 거리를 두고 이격되어 설치되어 있는 경우에 대해서는 해당 구성 요소를 다른 구성 요소에 고정 내지 연결시키기 위한 제 3의 구성 요소 또는 수단이 존재할 수 있다.
한편, 상기 제 3의 구성 요소 또는 수단에 대한 설명은 생략될 수도 있음을 알아야 한다.
반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결"되어 있다거나, 또는 "직접 접속"되어 있다고 기재되는 경우에는, 제 3의 구성 요소 또는 수단이 존재하지 않는 것으로 이해하여야 한다. 마찬가지로, 각 구성 요소 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 " ~ 사이에"와 "바로 ~ 사이에", 또는 " ~ 에 이웃하는"과 " ~ 에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지의 취지를 가지고 있는 것으로 해석되어야 한다. 또한, 본 명세서에 있어서 "일면", "타면", "일측", "타측", "제 1", "제 2" 등의 용어는, 하나의 구성 요소에 대해서 이 하나의 구성 요소가 다른 구성 요소로부터 명확하게 구별될 수 있도록 하기 위해서 사용된다.
하지만, 이와 같은 용어에 의해서 해당 구성 요소의 의미가 제한적으로 사용되는 것은 아님을 알아야 한다. 또한, 본 명세서에서 "상", "하", "좌", "우" 등의 위치와 관련된 용어는, 사용된다면, 해당 구성 요소에 대해서 해당 도면에서의 상대적인 위치를 나타내고 있는 것으로 이해하여야 한다. 또한, 이들의 위치에 대해서 절대적인 위치를 특정하지 않는 이상은, 이들 위치 관련 용어가 절대적인 위치를 언급하고 있는 것으로 이해하여서는 아니 된다. 더욱이, 본 발명의 명세서에서는, "…부", "…기", "모듈", "장치" 등의 용어는, 사용된다면, 하나 이상의 기능이나 동작을 처리할 수 있는 단위를 의미한다. 이는 하드웨어 또는 소프트웨어, 또는 하드웨어와 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있음을 알아야 한다. 또한, 이하에서, 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 구성, 예를 들어, 종래 기술을 포함하는 공지 기술에 대한 상세한 설명은 생략될 수도 있다.
도 1를 보면 반도체 생산설비의 모습으로, 다수의 반도체 장비(100)와 이를 제어하기 위한 다수의 반도체 장비용 컨트롤러(200)가 상하층으로 분리되어 설치되어 있고, 도 2에서는 이들 다수 개의 장비 중 하나의 반도체 장비(100)와 하나의 반도체 장비용 컨트롤러(200)를 이용하여 작업자가 반도체 장비를 조작하거나 컨트롤러를 모니터링 하는 개념적인 모습을 보여주고 있다.
도면에서 보듯이, 반도체 제조설비 특성상 작업자는 반도체 장비(100)와 함께 상층에 위치하고, 반도체 장비용 컨트롤러(200)는 하층에 위치하여, 작업자의 위치와 장비용 컨트롤러(200)의 위치가 상층과 하층으로 물리적으로 분리되어 있다. 그러므로, 하층에 위치하는 장비용 컨트롤러(200)에 이상상황이 발생하더라도 작업자는 육안으로 확인이 불가능한 상황이다.
도 3은 본 발명에 따라 반도체 장비용 컨트롤러(200)에 본 발명 실시를 위한 모니터링 장치들이 구비된 모습이며, 모니터링을 위한 장치들로는 온도센서, 누설전류 센서, 연기 센서, 냉각팬 공기흐름 센서 등을 포함하여 다양한 센서 감지 장비들이 구비될 수 있다. 도 4는 반도체 장비용 컨트롤러(200)에 구비된 이들 센서를 이용하여 이상징후를 모니터링하는 서버의 개념적인 블록도를 이용하여 본 발명의 동작방법을 설명하기 위한 참고용 그림이다.
본 발명은 컨트롤러에 구비된 이들 센서로부터의 신호로부터 정상 동작임을 나타내는 범위를 기준을 정하고, 그 기준을 벗어나는 경우, 이 경우를 컨트롤러의 이상징후(예를 들어 화재)가 발생하였음으로 판단하고, 컨트롤러의 이상징후를 모니터링하기 위한 신호를 지속적으로 수신받으면서 정상 또는 이상으로 판단하게 된다.
도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 이상징후 모니터링 서버(300)는, 상기 컨트롤러 내측에 구비된 불꽃감지기로부터 제 1 신호, 상기 컨트롤러 내측에 구비된 온도센서로부터 제 2 신호, 상기 컨트롤러 내측에 구비된 연기센서로부터 제 3 신호, 상기 컨트롤러의 누전차단기 센서로부터 누설전류에 대한 제 4 신호, 상기 컨트롤러의 정격전류에 대응하는 제 5 신호를 수신받는다. 본 발명의 일 실시예에서 상기 제 1 내지 제 5 신호는 정해진 순서 또는 동시에 발생하여 상기 이상징후 모니터링 서버로 전송될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서 상기 이상징후 모니터링 서버는, 이러한 제 1 내지 제 5 등의 전기적 신호를 수신받는 신호수신부(310), 상기 신호수신부(310)에 의하여 수신된 상기 제 1 내지 제 5 신호 중 적어도 어느 둘 이상이 기설정된 범위를 벗어나는 경우 상기 이상징후 모니터링 서버는 상기 컨트롤러에서 이상징후가 발생하였음으로 판단하는 이상징후 판단부(320)를 포함한다.
본 발명은 특히 연기 검출기 등과 같은 단일 검출기에 의해서 화재 등을 발생하는 종래 기술과 달리 복수의 센서로부터의 신호를 복합적으로 판단하여 화재 등의 이상징후를 판단하여, 오경보(false alarm)의 문제와 컨트롤러와 장비가 이격된 환경에서도 장비에서 근무하는 작업자로 하여금 정확한 컨트롤러 상황을 파악할 수 있게 한다.
더 나아가, 본 발명은 컨트롤러의 내측에 냉각팬의 동작 상태를 알 수 있도록 냉각팬 공기흐름 센서를 구비하게 하여 냉각팬의 동작 실패를 감지하게 하여 누설전류의 이상징후와 함께 이를 고려, 이상징후를 판단한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 컨트롤러 이상징후 모니터링 방법을 설명하는 단계를 보면, 온도 센서, 누설차단기(GFCI)로부터의 누설전류 센서, 전류 센서, 연기 센서, 냉각팬 공기흐름 센서로부터 전류 신호를 입력받는다. 본 발명의 서버는 온도 센서, 누설차단기(GFCI)로부터의 누설전류 센서, 전류 센서, 연기 센서, 냉각팬 공기흐름 센서로부터 수신받은 전류 신호가 기설정된 전류 신호의 범위 이내인 경우 정상 동작으로 판단하나, 이를 벗어나는 경우에는 이상징후로 판단한다.
예를 들어 온도 센서에 의하여 센싱된 온도가 기설정된 온도 조건보다 30℃ 이상 높은 경우에는 이상 징후로 판단하여 경보를 소리 등으로 발생시킬 수 있다. 이를 보다 설명하는 다음과 같다.
불꽃 감지기: 불꽃 감지기의 신호를 서버에 상태의 값을 통신으로 전달하고, 서버에서는 이를 디스플레에 표시한다.
온도 센서 : 4-20mA의 신호 전류로 변환하여 서버는 모니터에 상태의 값을 통신으로 전달하고, 모니터에서 이를 디스플레이 한다. 디스플레이 모니터에서 온도 설정 값을 변경 할 수 있으며, 주위 환경에 따른 실제 온도 추이에 맞게 경보 온도를 설정한다.
연기 센서: 평상시의 먼지 등으로 연기감지기의 상태를 서버에서 모니터에 상태의 값을 통신으로 전달하고, 모니터에서 이를 디스플레이 한다.
누설차단기: 누설전류를 4-20mA의 신호 전류로 변환하여 서버에서 모니터로 상태의 값을 통신으로 전달하고, 모니터에서 이를 디스플레이 한다. 디스플레이 모니터에서 누설전류 허용 설정 값을 변경 할 수 있으며, 주위 환경에 따른 실제 누설전류 추이에 맞게 누설전류 허용 이상 경보를 설정한다.
전류센서: 설비의 정격전류를 4-20mA의 신호 전류로 변환하여 서버에서 모니터로 상태의 값을 통신으로 전달하고, 모니터에서 이를 디스플레이 한다. 디스플레이 모니터에서 정격전류 허용 설정 값을 변경 할 수 있으며, 실제 운전 전류에 맞게 정격전류 이상 경보로 부하 및 과부하 조치를 할 수 있다.
냉각팬 공기흐름 센서: 냉각팬의 공기흐름을 프로그램 컨트롤러에서 모니터에 상태의 값을 통신으로 전달하고, 모니터에서 이를 디스플레이 한다.
기타: 전기 설비의 공급 전압을 전류 검출을 4-20mA 신호 전류로 검출하여 서버에서 모니터에 상태의 값을 통신으로 전달하고, 모니터에서 이를 디스플레이 하며, 위의 모든 설정 및 제어는 반도체 장비에 설치된 터치 스크린 모니터에서 작업자가 수행할 수 있다.
특히 본 발명은 연기 검출기 등과 같은 단일 검출기에 의해서 화재 등을 발생하는 종래 기술과 달리 복수의 센서로부터의 신호를 복합적으로 판단하여 화재 등의 이상징후를 판단하여, 오경보(false alarm)의 문제와 컨트롤러와 장비가 이격된 환경에서도 장비에서 근무하는 작업자로 하여금 정확한 컨트롤러 상황을 파악할 수 있게 한다.
본 발명의 또 다른 일 실시예는 광학에 기초한 불꽃 센서와 연기(smoke) 센서 중 적어도 어느 하나가 이상징후를 판단하고, 동시에 온도센서가 기설정된 범위 이상을 모니터링하는 경우 이상징후를 판단하여 경보를 발생시켜, 센서 오작동에 의한 문제를 감소시킬 수 있다.
또 다른 일 실시예에서는 누설전류와 정격전류가 동시에 이상신호를 발생시키는 경우, 컨트롤러 내부의 회로 등에서 비정상적인 저항 증가로 인한 화재 등의 위험 발생 가능성을 예측하여 이를 작업자에게 알려줄 수 있다.
즉, 본 발명은 상술한 센서 중 광학-온도 센서를 상호간 연동하여 현재의 화재 발생 상황을 작업자에게 알려줄 수 있고, 또한 전력계통의 이상을 누설-정격 전류의 동시 모니터링하여 위험도를 작업자에게 알려줄 수도 있을 것이다. 즉, 전류 내지 전력계통 이상을 감지하여 위험가능성을 알리는 1단계와, 광학-온도 센서에서 이상을 감지하여 실제 화재가 발생한 경우 긴급상황을 알리는 2단계로 구분하여 알람 경고를 발하도록 제어할 수도 있을 것이다.
즉, 상기 누전차단기 센서로부터의 제 4 신호 및 상기 컨트롤러의 정격전류에 대응하는 제 5 신호가 기설정된 범위를 벗어나는 경우, 상기 이상징후 모니터링 서버는 상기 위험발생 가능성을 알리는 알림1단계를 발하고, 상기 온도센서로부터의 제 2 신호 또는 상기 연기센서로부터의 제 3 신호가 기설정된 범위를 벗어나는 경우, 상기 이상징후 모니터링 서버는 상기 이상징후를 화재로 인식하여 긴급상황을 알리는 알림2단계를 경고의 단계를 분리하여 발하도록 할 수도 있을 것이다.
본 발명의 위 모니터링 방법은 반도체 생산 설비의 하부층에 위치하는 AC RACK, PFU(Power Filter Unit) 등의 PCB 또는 Power Back Up 콘덴서 등등의 장비에 모두 적용이 가능하다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
Claims (4)
- 이상징후 모니터링 서버에 의한 반도체 장비용 컨트롤러 이상징후 모니터링 방법으로,
상기 이상징후 모니터링 서버가,
상기 컨트롤러 내측에 구비된 불꽃감지기로부터 제 1 신호를 수신받는 단계;
상기 컨트롤러 내측에 구비된 온도센서로부터 제 2 신호를 수신받는 단계;
상기 컨트롤러 내측에 구비된 연기센서로부터 제 3 신호를 수신받는 단계;
상기 컨트롤러의 누전차단기 센서로부터 누설전류에 대한 제 4 신호를 수신받는 단계;
상기 컨트롤러의 정격전류에 대응하는 제 5 신호를 수신받는 단계; 및
상기 제 1 내지 제 5 신호 중 적어도 어느 하나 이상이 기설정된 범위를 벗어나는 경우 상기 이상징후 모니터링 서버는 상기 컨트롤러에서 이상징후가 발생하였음으로 판단하는 단계;를 포함하는 반도체 장비용 컨트롤러 이상징후 모니터링 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 반도체 장비용 컨트롤러 이상징후 모니터링 방법은,
상기 제 2 신호 또는 제 3 신호가 기설정된 범위를 벗어나는 경우, 상기 이상징후 모니터링 서버는 상기 이상징후를 화재로 인식하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비용 컨트롤러 이상징후 모니터링 방법. - 제 2항에 있어서,
상기 반도체 장비용 컨트롤러 이상징후 모니터링 방법은,
상기 컨트롤로 내측에 구비된 냉각팬 공기흐름 센서로부터 상기 냉각팬 동작여부에 관한 제 6 신호를 더 수신받으며, 상기 제 6 신호가 기설정된 범위를 벗어나는 경우, 상기 이상징후 모니터링 서버는 상기 컨트롤러에서 이상징후가 발생하였음으로 판단하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비용 컨트롤러 이상징후 모니터링 방법. - 제 1항에 있어서,
상기 반도체 장비용 컨트롤러 이상징후 모니터링 방법은,
상기 누전차단기 센서로부터의 제 4 신호 및 상기 컨트롤러의 정격전류에 대응하는 제 5 신호가 기설정된 범위를 벗어나는 경우, 상기 이상징후 모니터링 서버는 상기 위험발생 가능성을 알리는 알림1단계를 발하고,
상기 온도센서로부터의 제 2 신호 또는 상기 연기센서로부터의 제 3 신호가 기설정된 범위를 벗어나는 경우, 상기 이상징후 모니터링 서버는 상기 이상징후를 화재로 인식하여 긴급상황을 알리는 알림2단계를 발하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비용 컨트롤러 이상징후 모니터링 방법.
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|---|---|---|---|
| KR1020220092032A KR20240014375A (ko) | 2022-07-25 | 2022-07-25 | 반도체 장비용 컨트롤러 이상징후 모니터링 방법 |
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| KR1020220092032A KR20240014375A (ko) | 2022-07-25 | 2022-07-25 | 반도체 장비용 컨트롤러 이상징후 모니터링 방법 |
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| KR20240014375A true KR20240014375A (ko) | 2024-02-01 |
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|---|---|---|---|---|
| KR20000013627A (ko) | 1998-08-11 | 2000-03-06 | 윤종용 | 반도체 제조설비의 안전장치 |
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2022
- 2022-07-25 KR KR1020220092032A patent/KR20240014375A/ko unknown
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