KR20000007806U - 반도체 마스크 고정용 홀더 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 마스크 고정용 홀더에 관한 것으로, 베이스 플레이트(11)의 상면 일측에는 고정블럭(13)을 설치하고, 대각선방향의 타측에는 탄지수단(14)을 구비하여, 간편하게 마스크를 착,탈함과 아울러 종래와 같이 스크류를 풀거나 조이지 않으므로 이물질의 발생을 감소시킬 수 있다.

Description

반도체 마스크 고정용 홀더

본 고안은 반도체 마스크 고정용 홀더에 관한 것으로, 특히 마스크를 간편하게 착,탈할 수 있도록 하는데 적합한 반도체 마스크 고정용 홀더에 관한 것이다.

일반적으로 노광공정에서 사용하는 마스크(또는 레티클)을 제조하여 SEM장비에서 디팩트, 선폭이 규정치 이내로 제조되었는지를 검사하게 되는데, 이와 같이 마스크의 검사시 마스크를 고정시키기 위한 홀더가 도 1에 도시되어 있는 바, 이를 간단히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래 반도체 마스크 고정용 홀더의 구성을 보인 평면도로서, 도시된 바와 같이, 종래 홀더는 대략 사각판체상이고 일정 두께를 갖는 베이스 플레이트(1)와, 그 베이스 플레이트(1)의 상면 일측에 고정되며 마스크(2)의 인접한 2면을 지지하기 위하여 "ㄱ"자형상으로 설치되어 있는 4개의 고정블럭(3)과, 그 고정블럭(3)의 대각선 방향에 이동 및 고정가능하게 "ㄱ"자형상으로 설치되어 있는 2개의 가동블럭(4)으로 구성되어 있다.

도면중 미설명 부호 5는 스크류이고, 4a는 장공이다.

상기와 같이 구성되어 있는 종래 반도체 마스크 고정용 홀더에서 마스크(2)를 장착할 때는 가동블럭(4)의 스크류(5)를 풀고 가동블럭(4)을 후방으로 이동시킨다.

그런 다음, 상기 고정블럭(3)들의 내측면에 마스크(2)의 인접한 2면이 지지되도록 마스크(2)를 베이스 플레이트(1)의 상면에 위치시키고, 가동블럭(4)을 전방으로 밀어서 마스크(2)의 인접한 나머지 2면을 지지하도록 한 상태에서 스크류(5)를 고정하여 마스크(2)를 장착한 다음, 마스크(2)가 장착된 홀더(6)를 SEM장비의 검사부로 이동하여 검사를 실시한다.

그러나, 상기와 같이 구성되어 있는 종래 반도체 마스크 고정용 홀더(6)는 마스크(2)를 착,탈하기 위하여 가동블럭(4)의 스크류(5)를 조이거나 푸는 작업을 실시하여야 하므로 번거롭고, 이물질이 발생되는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 본 고안의 목적은 간편하게 조작됨과 아울러 이물질을 발생시키지 않는 반도체 마스크 고정용 홀더를 제공함에 있다.

도 1은 종래 반도체 마스크 고정용 홀더의 구성을 보인 평면도.

도 2는 본 고안 반도체 마스크 고정용 홀더의 구성을 보인 평면도.

도 3은 도 2의 A부를 상세히 보인 측면도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

11 : 베이스 플레이트 12 : 마스크

13 : 고정블럭 14 : 탄지수단

21 : 지지대 22 : 스프링

23 : 고정봉

상기와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여 마스크가 얹혀지는 판체상의 베이스 플레이트와, 그 베이스 플레이트의 상면에 고정되며 마스크의 인접한 2면을 지지하는 고정블럭과, 그 고정블럭의 대각선 방향에 설치되며 마스크의 나머지 2면을 지지하기 위한 탄지수단을 구비하여서 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 마스크 고정용 홀더가 제공된다.

이하, 상기와 같이 구성되어 있는 본 고안 반도체 마스크 고정용 홀더를 첨부된 도면의 실시예를 참고하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 고안 반도체 마스크 고정용 홀더의 구성을 보인 평면도이고, 도 3은 도 2의 A부를 상세히 보인 측면도로서, 도시된 바와 같이, 대략 사각판체상의 베이스 플레이트(11)의 상면에 "ㄱ"자형상으로 마스크(12)의 인접한 2면을 지지하기 위한 4개의 고정블럭(13)이 설치되어 있고, 그 고정블럭(13)의 대각선 방향에는 마스크(12)의 나머지 인접한 2면을 탄력적으로 지지하기 위한 탄지수단(14)이 설치되어 있다.

상기 탄지수단(14)은 마스크(12)의 모서리부분 2면에 지지되는 "U"자형상의 지지대(21)와, 그 지지대(21)의 후면에 연결되며 지지대(21)를 전방으로 탄력적으로 밀기 위한 스프링(22)과, 그 스프링(22)을 지지하기 위하여 베이스 플레이트(11)에 고정되어 있는 고정봉(23)으로 구성되어 있다.

도면중 미설명 부호 15는 스크류이다.

상기와 같이 구성되어 있는 본 고안 반도체 마스크 고정용 홀더에 마스크를 착,탈하는 순서를 설명하면 다음과 같다.

먼저, 홀더(30)에 마스크(12)를 장착하는 경우에는 지지대(21)를 손으로 잡고 후방으로 당겨서 스프링(22)의 탄력을 받는 상태에서 지지대(21)가 후방으로 일정거리 이동되도록 한다. 그런 다음, 상기 고정블럭(13)의 내측면에 마스크(12)의 인접한 2면에 밀착되도록 베이스 플레이트(11)의 상면에 마스크(12)를 위치시키고, 손으로 잡고있던 지지대(12)를 놓으면, 스프링(22)의 탄력에 의하여 지지대(21)가 전진하여 마스크(12)의 대각선 방향 나머지 2면을 지지한다. 이와 같은 상태에서 마스크(12)가 장착된 홀더(30)를 SEM장비의 검사부로 이동하여 디팩트검사, 선폭검사 등을 실시한다.

상기와 같이 SEM장비에서 검사를 실시하고난 후에는 다시 장비에서 홀더(30)를 해체한 다음, 홀더(30)에 장착되어 있는 마스크(12)를 떼어내게되는데, 이때는 상기와 같은 장착시의 반대로 하면된다.

즉, 손으로 지지대(21)을 잡고 후방으로 지지대(21)를 이동한 상태에서 베이스 플레이트(11)의 상면에 위치해있는 마스크(12)를 떼어내고, 지지대(21)를 놓는 것으로 간단하게 마스크(12)를 해체하게 된다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 고안 반도체 마스크 고정용 홀더는 베이스 플레이트의 상면 일측에는 고정블럭을 설치하고, 대각선방향의 타측에는 탄지수단을 구비하여, 간편하게 마스크를 착,탈함과 아울러 종래와 같이 스크류를 풀거나 조이지 않으므로 이물질의 발생을 감소시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (2)

1. 마스크가 얹혀지는 판체상의 베이스 플레이트와, 그 베이스 플레이트의 상면에 고정되며 마스크의 인접한 2면을 지지하는 고정블럭과, 그 고정블럭의 대각선 방향에 설치되며 마스크의 나머지 2면을 지지하기 위한 탄지수단을 구비하여서 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 마스크 고정용 홀더.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 탄지수단은 마스크의 모서리 2면을 지지하기 위한 지지대와, 그 지지대의 후단부에 연결설치되는 스프링과, 그 스프링의 후단부를 고정시키기 위한 고정봉으로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 마스크 고정용 홀더.