KR20000003752A - 패턴 투영 장치 - Google Patents

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KR20000003752A
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박한준
정태보
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김영환
현대전자산업 주식회사
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Abstract

본 발명은 패턴 투영 장치를 개시한다. 개시된 본 발명은, 포토레지스트(2)가 도포된 유리기판(1)의 연직 상부에 램프(3)가 배치된다. 빛을 연직 하부로 반사하는 반사체(4)가 램프(3) 상부에 배치된다. 컴퓨터로 설계된 패턴 도면을 전송받아 디스플레이하는 모듈레이터(5)가 램프(3) 하부에 배치되고, 투영된 패턴 영상을 확대 또는 축소하는 렌즈(7)가 모듈레이터(5) 하부에 배치된다. 한편, 패턴 영상의 노이즈를 제거하는 필터(8)가 렌즈(7)와 유리기판(1) 사이에 배치되어서, 컴퓨터로 설계된 패턴 도면이 레티클 없이 직접 포토레지스트(2)상에 투영되므로써, 바로 리소그래프 공정을 통해 유리기판(1)상에 전극 패턴을 형성할 수가 있게 된다.

Description

패턴 투영 장치
본 발명은 패턴 투영 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 도면에 설계된 액정표시소자의 패턴을 직접 유리기판으로 투영하는 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 액정표시소자는 한 쌍의 투광성 기판 사이에 액정 분자를 배향하여 개재시킨 것으로, 액정 분자의 배향 상태를 전기적으로 제어하는 빛을 투광 또는 차단하여 화상 표시를 행한다. 이러한 액정표시소자는 전자식 탁상 계산기나, 디지탈 시계 등의 표시수단으로서 폭 넓게 실용화됨과 더불어, 오늘날 랩탑 컴퓨터, 텔레비젼 수상기, 및 워드 프로세서 등의 표시 수단으로 급속하게 보급되고 있다.
따라서, 액정표시소자가 화상 표시를 행하기 위해서, 액정표시소자에 전극 패턴이 형성된다. 종래에는, 유리기판에 화학기상증착이나 스퍼터링 공정을 통해 전극 배선막을 증착한 후, 이 배선막상에 포토레지스트를 도포하고, 설계된 패턴대로 제작된 레티클을 이용한 포토리소그래피 공정을 통해서 포토레지스트를 식각하여, 전극 패턴을 형성하였다.
그러나, 포토리소그래피 공정을 이용한 종래의 전극 패턴 형성 방식은, 설계된 도면에 따라 레티클을 제작해야 하기 때문에, 제조 비용이 너무 높다는 단점이 있다.
따라서, 본 발명은 종래의 전극 패턴 형성 방식이 안고 있는 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로서, 레티클 없이 설계된 도면이 직접 유리기판상에 투영되도록 하여, 바로 리소그래피 공정을 통해서 전극 패턴을 형성할 수 있도록 하므로써, 제조 비용이 절감되는 패턴 투영 장치를 제공하는데 목적이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 패턴 투영 장치를 나타낸 도면
- 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 -
1 - 유리기판 2 - 포토레지스트
3 - 램프 4 - 반사체
5 - 모듈레이터 6 - 컴퓨터
7 - 렌즈 8 - 필터
상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 투영 장치는 다음과 같은 구성으로 이루어진다.
포토레지스트가 도포된 유리기판의 연직 상부에 램프가 배치되고, 이 램프의 상부에는 빛이 연직 하부로 입사되도록 빛을 반사하는 반사판이 배치된다. 램프 하부에, 패턴 설계 도면의 영상이 전송되어 디스플레이되는 모듈레이터(modulator)가 배치된다. 모듈레이터 하부에는, 투영된 패턴 영상을 확대 또는 축소하는 렌즈가 배치되고, 그 하부에는 영상의 노이즈를 제거하기 위한 필터가 배치된다.
상기된 본 발명의 구성에 의하면, 컴퓨터로 설계된 도면이 모듈레이터로 전송되고, 램프에서 입사된 빛에 의해 모듈레이터에 디스플레이된 도면이 렌즈를 통과하면서 확대 또는 축소된 후, 포토레지스트상에 투영되게 되므로써, 포토레지스트상에 직접 전극 패턴이 도시된 것처럼 되어서, 바로 리소그래피 공정을 통해 전극 패턴을 형성할 수가 있게 된다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면에 의거하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 패턴 투영 장치를 나타낸 도면이다.
도시된 바와 같이, 포토레지스트(2)가 도포된 유리기판(1)의 연직 상부에 램프(2)가 배치된다. 램프(2)에서 발한 빛이 포토레지스트(2)상으로 입사되도록, 빛을 반사하는 깔때기 형상의 반사체(4)가 램프(2) 상부에 배치된다.
한편, 포토레지스트(2)에 형성될 전극 패턴은 컴퓨터(6)에서 설계된다. 이 컴퓨터(6)에서 작성된 설계 도면을 전송받아 디스플레이하는 모듈레이터(5)가 램프(2) 하부에 배치된다. 모듈레이터(5)는 OHP 필름을 투영하는 영사기와 같은 원리의 장비로서, 공지된 기술이다.
모듈레이터(5)에 디스플레이된 설계 도면은 램프(3)의 빛에 의해 연직 하부로 투영되는데, 이 투영된 영상을 확대 또는 축소하는 렌즈(7)가 모듈레이터(5)의 하부에 배치된다. 또한, 영상내의 노이지를 제거하기 위한 필터(8)가 렌즈(8)와 유리기판(1) 사이에 배치된다.
이하, 상기와 같이 구성된 본 실시예의 동작을 상세히 설명한다.
컴퓨터(6)에서 설계된 패턴 도면은 모듈레이터(5)로 전송되어 디스플레이된다. 램프(1)에서 발한 빛은 직접 또는 반사체(4)에 의해 연직 하부로 반사되어, 디스플레이된 화면을 연직 하부로 투영시키게 된다. 투영되는 화면은 렌즈(7)에 의해 축소 또는 확대된 후, 필터(8)를 거치면서 노이즈가 제거된다. 이와 같이 투영된 영상은 포토레지스트(2)상에 투영되어지고, 이 투영된 패턴대로 리소그래피 공정을 실시하면, 유리기판(1)상에 설계된 도면대로 전극 패턴이 형성된다.
상기된 바와 같이 본 발명에 의하면, 컴퓨터에서 설계된 전극 패턴이 직접 포토레지스트로 투영되므로써, 별도로 레티클이 필요없어지게 된다. 따라서, 레티클 제작으로 인한 제조 비용 상승이 방지되고, 또한 레티클 제작 공정도 삭제되는 효과가 있다.
한편, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능할 것이다.

Claims (2)

  1. 램프; 상기 램프의 상부에 배치되어, 램프의 빛을 연직 하부로 반사시키는 반사체; 상기 램프의 하부에 배치되어, 전극 패턴 도면을 전송받아 디스플레이하는 모듈레이터; 상기 모듈레이터로 전극 패턴을 전송하는 컴퓨터; 및 상기 모듈레이터 하부에 배치되어, 상기 램프의 빛에 의해 투영되는 전극 패턴 영상을 확대 또는 축소하는 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 투영 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 렌즈와 유리기판 사이에, 전극 패턴 영상의 노이즈를 제거하는 필터가 배치된 것을 특징으로 하는 패턴 투영 장치.
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