JP4932421B2 - 液晶表示装置とその製造方法 - Google Patents
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Description
透過領域に開口を有して反射領域にハーフトーン露光スリットを有する露光マスクを通して露光し、前記開口による露光部を除去すると共に前記ハーフトーン露光スリットによるハーフトーン露光部の前記有機絶縁膜を減膜して前記球形粒子を露出させ、
露光後の前記有機絶縁膜を焼成して硬化させ、
硬化させた前記有機絶縁膜の上に金属薄膜を成膜して前記球形粒子の露出で形成された凹凸面に倣った凹凸面を有する拡散反射層を形成する。
有機樹脂膜材料PET・・・比重1.05、屈折率1.50のアクリル樹脂に感光剤としてNQDを混入
球形粒子PTC・・・比重1.00、屈折率1.50、粒子径1.6μmのアクリル変性ポリスチレン
有機樹脂膜材料PETと球形粒子PTCの配合・・重量比で3:1とし、総固形分量30%、粘度20mPa・sに調整。
有機樹脂膜材料PET・・・比重1.05、屈折率1.50のアクリル樹脂に感光剤としてNQDを混入
球形粒子PTC・・・比重2.65、屈折率1.45、粒子径1.8μmの石英ビーズ
有機樹脂膜材料PETと球形粒子PTCの配合・・・重量比で1:1とし、総固形分量40%、粘度20mPa・sに調整。
Claims (7)
- 画素内に反射領域とを有する複数の画素をマトリクス状に配列した液晶表示装置であって、
前記反射領域は、有機絶縁膜材料に当該有機絶縁膜材料の屈折率と同等の屈折率をもつ粒子を含有した有機絶縁膜を有し、
前記粒子の径が前記有機絶縁膜の膜厚より大であることで凹凸面が形成されており、
前記凹凸面の表面形状に倣って成膜された金属膜で形成された拡散反射電極を有し、
前記画素内に、前記反射領域と共に透過領域を有し、
前記反射領域の前記粒子を含有した前記有機絶縁膜は、前記透過領域と前記反射領域との境界領域まで延在し、
前記境界領域における前記有機絶縁膜の膜厚が、前記粒子の径より大きいことを特徴とする液晶表示装置。 - 請求項1において、
前記反射領域のセルギャップと前記透過領域のセルギャップ比が1:2であることを特徴とする液晶表示装置。 - 薄膜トランジスタおよび画素電極を形成した第1基板と、前記第1基板と対向する第2基板とを有し、画素内に反射領域を有する複数の画素をマトリクス状に配列した液晶表示装置の製造方法であって、
前記第1基板の内面上に、有機絶縁樹脂材に粒子を混合した有機絶縁膜材料を塗布し、その後乾燥させ、有機絶縁膜を形成する有機絶縁膜形成工程と、
ハーフトーン露光スリットを有する露光マスクを通して、前記ハーフトーン露光スリットを前記反射領域に対応させて前記有機絶縁膜を露光し、その後現像して、前記ハーフトーン露光スリットによるハーフトーン露光部の前記有機絶縁膜を減膜して前記粒子の一部を露出させる露光現像工程と、
前記有機絶縁膜を焼成して硬化させる有機絶縁膜硬化工程と、
硬化させた前記有機絶縁膜の上層に金属薄膜を成膜して前記粒子の露出で形成された凹凸面に倣った凹凸面を有する拡散反射層を形成する拡散反射層形成工程とを含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 薄膜トランジスタおよび画素電極を形成した第1基板と、前記第1基板と対向する第2基板とを有し、画素内に透過領域と反射領域とを有する複数の画素をマトリクス状に配列した液晶表示装置の製造方法であって、
前記第1基板の内面上に、有機絶縁樹脂材に粒子を混合した有機絶縁膜材料を塗布し、その後乾燥させ、有機絶縁膜を形成する有機絶縁膜形成工程と、
開口とハーフトーン露光スリットとを有する露光マスクを通して、前記開口を前記透過領域に対応させ、且つ前記ハーフトーン露光スリットを前記反射領域に対応させて、前記有機絶縁膜を露光し、その後現像して、前記開口による露光部の前記有機絶縁膜を除去すると共に前記ハーフトーン露光スリットによるハーフトーン露光部の前記有機絶縁膜を減膜して前記粒子の一部を露出させる露光現像工程と、
前記有機絶縁膜を焼成して硬化させる有機絶縁膜硬化工程と、
硬化させた前記有機絶縁膜の上層に金属薄膜を成膜して前記粒子の露出で形成された凹凸面に倣った凹凸面を有する拡散反射層を形成する拡散反射層形成工程とを含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 請求項3又は4において、
前記露光工程でのハーフトーン露光で、前記有機絶縁膜の膜厚を前記粒子の径の50%相当を現像により除去することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 請求項3乃至5の何れか1項において、
前記有機絶縁膜材料の前記有機絶縁樹脂材に対する前記粒子の混合比で前記拡散反射層の凹凸の配列ピッチを調整することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 請求項3乃至6の何れか1項において、
前記有機絶縁樹脂材が、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、オレフィン樹脂、フェノール樹脂の何れかに感光剤としてナフトキノンジアジドを混合したもの、もしくは前記有機絶縁樹脂材に光酸発生剤を混合したものであることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
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