KR20000003384A - 플라즈마 디스플레이 패널용 격벽 제조방법 및이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널 소자 - Google Patents

플라즈마 디스플레이 패널용 격벽 제조방법 및이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널 소자 Download PDF

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Abstract

본 발명은 공정을 단순화시킴과 아울러 광반사 특성을 향상시키는 플라즈마 디스플레이 패널용 격벽의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 격벽 제조방법은 하판유리의 상부에 소정의 두께를 갖는 도금용 시드층을 형성하는 단계와, 하판유리의 상부에 격벽 제조용 몰드를 정위치시킨후, 전기도금법에 의해 격벽을 형성하는 단계와, 격벽 제조용 몰드를 분리한후 격벽 사이에 형성된 도금용 시드층을 제거하는 단계를 포함한다.
이에따라, 본 발명에 따른 격벽의 제조방법은 생산수율의 향상과 제조원가를 절감시킴과 아울러, 광반사 특성을 향상시키게 된다.

Description

플라즈마 디스플레이 패널용 격벽 제조방법 및 이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널 소자 (Fabrication Method of Barrier Rib for Plasma Display Panel and Plasma Display Panel Element Thereof)
본 발명은 평면 표시장치에 관한 것으로, 특히 공정을 단순화함과 아울러 광반사 특성을 향상시키는 플라즈마 디스플레이 패널용 격벽의 제조방법에 관한 것이다. 또한, 상기 격벽을 이용한 플라즈마 디스플레이 패널 소자에 관한 것이다.
최근, 액정표시장치(Liquid Crystal Display; 이하 "LCD"라 함), 전계방출 표시장치(Field Emission Display; 이하 "FED"라 함) 및 플라즈마 표시장치(Plasma Display Panel; 이하 "PDP"라 함)등의 평면 표시장치가 활발히 개발되고 있으며, 이들중 PDP는 단순구조에 의한 제작의 용이성, 고휘도 및 고발광 효율의 우수, 메모리 기능 및 160。 이상의 광시야각을 갖는 점과 아울러 40 인치이상의 대화면을 구현할수 있는 장점을 가지고 있다.
도 1을 참조하면, 종래기술에 따른 PDP는 어드레스 전극(2)을 실장한 하부유리판(14)과, 상기 하부 유리판(14)의 상부에 소정의 두께로 도포된 하부 유전체후막(18)과, 하부 유전체후막(18)의 상부에 형성되어 각각의 방전셀을 분할하는 격벽(8)과, 플라즈마 방전으로 발생된 빛에 의해 여기되어 발광하는 형광체(6)와, 상부유리판(16)의 상부에 형성된 투명전극(4)과, 상기 상부유리판(16) 및 투명전극(4)의 상부에 소정의 두께로 도포된 상부 유전체후막(12)과, 상기 유전체 후막(12)의 상부에 도포된 보호막(10)을 구비한다. 어드레스 전극(2) 및 투명전극(4)에 소정의 구동전압(예를들어 200V)이 인가되면, 방전셀의 내부에는 어드레스전극(2)에서 방출된 전자에 의해 플라즈마 방전이 일어나게 된다. 이를 상세히 설명하면, 전극에서 방출된 전자가 방전셀에 봉입된 He+Xe 가스 또는 Ne+Xe 가스의 원자와 충돌하여 상기 가스의 원자들을 이온화 시켜면서 2차전자의 방출이 일어나며 이때의 2차전자는 가스의 원자들과 충돌을 반복하면서 차례로 원자를 이온화 해간다. 즉, 전자와 이온이 배로 증가하는 애벌런치(Avalanche)과정에 들어간다. 상기 애벌런치 과정에서 발생된 빛이 적색(Red; 이하 "R"라 함), 녹색(Green; 이하 "G"라 함), 청색(Blue;이하 "B"라 함)의 형광체를 여기 발광하게 되며 상기 형광체에서 발광된 R,G,B의 빛은 보호막(10), 상부 유전체후막(12) 및 투명전극(4)을 경유하여 상부유리판(16)으로 진행되어 문자 또는 그래픽을 표시하게 된다. 한편, 상기 격벽(8)은 각각의 방전셀을 분할함과 아울러, 형광체(6)에서 발광된 빛을 상부유리판(16) 쪽으로 반사시키게 된다. 이를위해, 격벽(8)은 낮은 열팽창계수와 높은 반사율, 열적안정성, 낮은 소성온도와 치밀한 조직 및 낮은 유전율 등의 특성이 요구된다. 한편, 종래기술에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 구조에 있어서도 상부유리판(16)에 투명전극(4), 버스전극(도시되지 않음), 유전체후막(12) 및 보호막(10)이 순차적으로 적층된 구조로 형성되어 약 30%의 광흡수가 발생하게 되므로 소자의 발광효율이 저하되며, 분말제조, 페이스트 합성, 프린팅 작업, 고온소성작업 등이 요구되어 공정이 복잡화됨과 아울러, 제조비용의 상승 원인이 되고 있다.
도 2를 참조하여 종래기술에 따른 격벽의 제조방법에 대해서 설명하기로 한다. 격벽은 페이스트(Paste) 또는 슬러리(Slurry)를 유전체후막이 형성된 유리기판상에 스크린 프린터법, 샌딩법 및 첨가법 등에 의해 제조되어진다. 상기 방법들을 도 2의 (a) 내지 도 2의 (c)를 결부하여 설명하기로 한다. 도 2의 (a)에 도시된 스크린 프린터(Screen Print)법은 먼저, 유전체후막(18)이 형성된 유리기판(14)의 상부에 스크린(22)을 정위치 시킨후, 스크린 상부의 페이스트(20)를 소정의 두께로 유리기판에 도포한후, 소정시간 건조시킨다. 이어서, 상기와 동일한 방법을 수차례(예를들면, 10-15회) 반복수행하여 소정의 두께(예를들어, 150 - 200㎛)를 갖는 격벽(8)을 형성하게 된다. 상기 스크린 프린팅법은 공정이 간단하고 제조단가가 낮은 장점이 있으나, 스크린과 기판의 위치조정을 하고 인쇄와 건조를 수회 되풀이하는 공정이 필요로 하게되어 제조시간이 많이 소요될뿐만 아니라 반복작업시 스크린과 기판의 위치가 어긋나 고해상도의 격벽을 제작하는데 어려움이 있다.
도 2의 (b)에 도시된 샌딩(Sanding) 법은 먼저, 유전체후막(18)이 형성된 유리기판(14)의 상부에 소정두께(예를들어, 150 - 200㎛)의 페이스트(20)를 도포한다 이어서, 페이스트의 상부에 라미네이트를 도포한후, 사진식각법에 의해 패턴을 형성한다. 다음으로 상기 패턴에 연마제를 분사하여 패턴이 형성되지 않은 부분의 페이스트(20)를 제거시킨후, 페이스트 상부의 라미네이트(24)를 제거한다. 이때, 라미네이트는 포토 레지스트 또는 슬러리에 유기물 또는 무기물을 소정비율로 첨가하여 테이프(Tape)의 형태로 제작된 것을 의미하며, 상기 유기물 또는 무기물의 조성에 의해 감광성을 가지게 된다. 상기 샌딩법은 대면적의 기판에 격벽을 형성할수 있고 고정세화가 가능한 장점이 있으나, 설비투자에 소요되는 경비가 많이 들뿐만 아니라 제조공정시 기판에 물리적 충격을 가하게 되므로 소성시에 기판의 균열을 발생시키는 문제점이 도출되고 있다.
도 2의 (c)에 도시된 첨가법(Additive)법은 유전체후막이 도포된 유리기판의 상부에 소정두께의 라미네이트(24)를 도포한후, 사진식각법에 의해 패턴을 형성한다. 다음으로 패턴이 형성되지 않은 부분의 라미네이트(24)를 제거한다. 이어서, 라미네이트가 제거된 부분에 페이스트(20)를 도포한후, 페이스트(20)와 인접한 라미네이트(24)를 제거한다. 이어서, 상기와 동일한 방법을 수차례(예를들면, 10회) 반복수행하여 소정의 두께(예를들어, 150 - 200㎛)를 갖는 격벽(8)을 형성하게 된다. 이때, 라미네이트는 포토 레지스트 또는 슬러리에 유기물 또는 무기물을 소정비율로 첨가하여 테이프(Tape)의 형태로 제작된 것을 의미하며, 상기 유기물 또는 무기물의 조성에 의해 감광성을 가지게 된다. 상기 첨가법(Additive)은 미세한 형상의 격벽형성이 가능하고 대면적의 기판제작에 적합한 장점이 있으나, 격벽의 높이가 100㎛ 이상의 패턴을 도포할 경우 제조시간이 길게 소요될뿐만 아니라 형성된 패턴이 허물어지거나 소성시에 격벽에 균열이 발생하는 문제점들이 도출되고 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 공정을 단순화함과 아울러 특성을 향상시킬수 있는 격벽 제조방법 및 격벽 제조용 몰드를 제공 하는데 있다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따른 광효율을 높이도록 구성된 플라즈마 디스플레이 패널을 제공 하는데 있다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 광효율을 높이도록 구성된 플라즈마 디스플레이 패널을 제공 하는데 있다.
도 1은 종래기술에 따른 플라즈마 디스플레이 패널 소자의 구조를 도시한 도면.
도 2는 도 1의 격벽 제조방법을 수순에 따라 도시한 도면.
도 3은 PDP용 격벽 제조방법을 수순에 따라 도시한 도면.
도 4는 도 3을 확대하여 도시한 도면.
도 5는 격벽 제조용 몰드를 도시한 도면.
도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널 소자의 구조를 도시한 도면.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널 소자의 구조를 도시한 도면.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
2,32 : 어드레스 전극 4 : 투명전극
6,36 : 형광체 8,38 : 격벽
10,40 : 보호층 12,42 : 유전체후막
14,44 : 하부유리판 16,46 : 상부 유리판
18,48 : 유전체후막 20 : 페이스트
22 : 스크린 24 : 라미네이트
50 : 도금용 시드 52 : 격벽제조용 몰드
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 격벽 제조방법은 하판유리의 상부에 소정의 두께를 갖는 도금용 시드층을 형성하는 단계와, 하판유리의 상부에 격벽 제조용 몰드를 정위치시킨후, 전기도금법에 의해 격벽을 형성하는 단계와, 격벽 제조용 몰드를 분리한후 격벽 사이에 형성된 도금용 시드층을 제거하는 단계를 포함한다.
또한, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 격벽 제조몰드는 도금용액 유입구가 형성된 몸체부와, 몸체부에서 소정의 길이로 신장되어 격벽 형성용 그루브를 분리하는 분리판을 구비한다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널소자는 금속재질로 된 격벽을 구비한다.
또한, 본발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널 소자는 어드레스 전극이 실장된 하부 유리판의 상부에 소정의 두께로 도포되어 벽전하를 형성하는 하부 유전체후막과, 하부 유전체후막의 상부에 형성되어 각각의 방전셀을 분할하는 격벽과, 격벽 및 하부 유전체후막의 상부에 소정의 두께로 도포되어 벽전하를 형성하는 상부 유전체후막과, 상부 유전체후막의 상부에 소정의 두께로 도포되어 플라즈마 방전으로 발생된 빛에 의해 여기·발광되는 형광체막과, 형광체막의 상부에 소정의 두께로 도포되어 플라즈마 방전에 의한 스퍼터링으로부터 형광체막을 보호하는 보호막과, 하부유리판과 밀봉되어 가시광선을 투과시키는 상부유리판을 구비한다.
상기 목적외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
도 3 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명 하기로 한다.
도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 격벽 제조방법의 수순이 도시되어 있다. 하판유리(44)의 상부에 도금용 시드층(50)을 형성한다. (제1 단계) 하판유리(44)에는 어드레스 전극 및 유전체 후막이 형성되어 있으며, 무전해도금법, 스퍼터링법(Sputtering) 및 증착법(Evaporation) 등에 의해 상기 하판유리(44)의 상부에 소정의 두께를 갖는 금속박막층을 형성하게 된다. 이때, 도 3의 (a)에 도시된 금속박막층은 후술하는 전기도금시 격벽의 시드(Seed)로 작용한다고 하고 "도금용 시드층"으로 불리운다. 도금용 시드층(50)이 형성된 하판유리(44)의 상부에 격벽 제조용 몰드(Mold)를 정위치시킨후, 전기도금법에 의해 격벽을 형성한다. (제2 단계) 전해조에서 전기도금을 수행하기 위해 전극의 일측을 도금용 시드층(50)에 접속하고 전극의 타측은 도금재료에 연결하게 된다. 상기 전극사이에 소정의 전압을 인가하면, 도금재료가 이온화 되면서 격벽 제조용 몰드에 형성된 도금용액 유입구(52b)를 경유하여 도금용액이 도금용 시드층(50)에 성장된다. 이과정에서 도 3의 (b)에 도시된바와같이 소정의 크기를 갖는 격벽이 형성된다. 상기 도금재료로는 Cu,Ni,Ag,Cr,Zn,W,Co,Fe 등을 사용하게 되며, 이의 합금인 CuZn,CuNi,CrNi,FeZn,NiW,CoW 등을 사용할수도 있다. 이들 도금재료는 사용자의 의도에 따라 상기 Cu, Ni, Ag, Cr, Zn, W, Co, Fe, CuZn, CuNi, CrNi, FeZn, NiW 및 CoW를 적어도 하나이상을 사용하여 격벽을 형성하게 된다. 이로인해, 금속재료로 형성된 격벽은 치밀한 조직을 가지게 되어 종래의 글래스-세라믹스(Glass-Ceramics) 재질의 격벽에 비해 플라즈마 방전시 불순원소의 흡착이 줄어들게 되어 발광효율이 증대된다. 또한, 금속재료로 형성된 격벽은 종래의 글래스-세라믹스 재질의 격벽에 비해 가시광선의 반사율이 크게되어 발광효율이 증대된다. 격벽 제조용 몰드를 분리한후 격벽 사이에 형성된 도금용 시드층을 제거한다. (제3 단계) 도 3의 (c)에 도시된바와같이 격벽이 형성된후, 격벽 제조용 몰드를 분리하게 된다. 이를위해 도 4에 도시된바와같이 격벽 제조용 몰드의 분리판(52a)은 하부의 폭이 상부의 폭보다 크도록 소정의 기울기를 갖게 형성되어 진다. 이에따라, 이온이 공급되어 형성된 격벽(38)은 하부의 폭이 상부로 갈수로 줄어들게 되며 상기 몰드의 분리판(52a)은 하부의 폭이 상부의 폭보다 크도록 소정의 기울기를 갖게 형성(예를들면, 사다리꼴)되어 격벽(38)으로부터 격벽 제조용 몰드를 분리하기 용이하도록 되어있다. 이어서, 각 격벽간의 절연을 위해 습식식각법을 이용하여 격벽 사이에 형성된 도금용 시드층(50)을 제거하게 된다. 본 발명에 따른 격벽 제조방법은 종래의 격벽제조 방법에서 요구되는 모상유리분말 또는 혼합분말 형성, 페이스트 형성, 프린팅공정 및 고온소성 공정등들을 필요로 하지 않고 금속재료를 전기도금에 의해 격벽을 형성하게 되므로 공정의 단순화에 기인하여 생산수율의 향상과 제조원가를 절감하게 된다.
도 5의 (a)를 참조하면, 플라즈마 디스플레이 패널용 격벽 제조몰드는 도금용액 유입구(52b)가 형성된 몸체부(52c)와, 몸체부(52c)에서 소정의 길이로 신장되어 격벽 형성용 그루브(Groove;52a)를 분리하는 분리판(52d)을 구비한다. 도금용액 유입구(52b)는 격벽 형성용 그루브(52a)의 상부에 슬릿의 형태로 다수개 형성되어 있으며, 전기도금시 도금용액이 유입되는 경로를 형성하게 된다. 격벽 형성용 그루브(52b)는 격벽이 형성되는 공간으로 전기도금시 도금용액이 유입되어 도금용 시드층(50)에 의해 성장되어 소정의 크기를 갖는 격벽을 형성하게 된다. 분리판(52d)은 방전셀이 형성되는 공간으로 상부의 폭이 하부의 폭보다 크도록 소정의 기울기를 갖게 형성(예를들면, 사다리꼴)되어 격벽(38)으로부터 격벽 제조용 몰드를 분리하기 용이하도록 되어있다. 상기 격벽 형성용 몰드는 전기도금의 영향을 받지않고 재사용이 가능한 글래스 재질 또는 글래스-세라믹스 재질을 사용하게 된다. 한편, 도 5의 (b)를 참조하면, 도 5의 (a)와 동일한 기능을 갖는 격벽 제조용 몰드가 도시되어 있다. 도금용액 유입구(52b)가 격벽 형성용 그루브(52a)의 상부에 하나의 긴 슬릿의 형태로 형성되어 도금용액이 유입되는 경로를 형성하게 된다. 그외의 격벽 형성용 그루브(52b) 및 분리판(52d)의 기능 및 구조는 도 5a와 동일하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 또한, 상기 격벽 제조용 몰드는 기계가공법, 식각법, 사진석판법 등에 의해서 제조되어 진다.
도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널 소자는 어드레스 전극(32)을 실장한 하부유리판(44)과, 상기 하부 유리판(44)의 상부에 소정의 두께로 도포된 하부 유전체후막(48)과, 하부 유전체후막(48)의 상부에 형성되어 각각의 방전셀을 분할하는 격벽(38)과, 플라즈마 방전으로 발생된 빛에 의해 여기되어 발광하는 형광체(36)와, 상부유리판(46)의 상부에 형성된 투명전극(41)과, 상기 상부유리판(46) 및 투명전극(41)의 상부에 소정의 두께로 도포된 상부 유전체후막(42)과, 상기 유전체 후막(42)의 상부에 도포된 보호막(40)을 구비한다. 상기 격벽은 금속재질을 사용하므로 높은 반사율을 가지게 되어 발광효율이 증대된다. 또한, 금속재료로 형성된 격벽은 치밀한 조직을 가지게 되어 종래의 글래스-세라믹스(Glass-Ceramics) 재질의 격벽에 비해 플라즈마 방전시 불순원소의 흡착이 줄어들게 되어 발광효율이 증대된다 그외의 구성 및 기능은 도 1과 동일하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 7을 참조하면 본 발명에 따른 PDP소자는 어드레스 전극(32)을 실장한 하부유리판(44)과, 상기 하부 유리판(44)의 상부에 소정의 두께로 도포되어 벽전하를 형성하는 하부 유전체후막(48)과, 하부 유전체후막(48)의 상부에 형성되어 각각의 방전셀을 분할하는 격벽(38)과, 상기 격벽(38) 및 하부 유전체후막(48)의 상부에 소정의 두께로 도포되어 벽전하를 형성하는 상부 유전체후막(42)과, 상부 유전체후막(42)의 상부에 소정의 두께로 도포되어 플라즈마 방전으로 발생된 빛에 의해 여기·발광되는 형광체(36)와, 상기 형광체(36)의 상부에 소정의 두께로 도포되어 형광체를 플라즈마 방전에 의한 스퍼터링으로부터 보호하는 보호막(40)과, 상기 격벽(38)의 상부에 위치하여 가시광선을 투과시키는 상부유리판(46)을 구비한다. 격벽(38)은 금속재질로 형성되어 가시광선의 반사율을 향상시킴과 아울러, 도전성을 가지게 되므로 종래의 상부 유리판(46)에 형성된 투명전극의 기능을 수행하여 PDP를 구동하게 된다. 이에따라, 본 발명에 따른 PDP에서는 종래 투명전극들간의 면방전이 일어나지 않고 도전성을 갖는 격벽과 격벽 사이에서 방전이 일어나게 되므로 방전전압을 저하시킬수 있게된다. 또한, 상부 유전체후막(42) 및 보호막(40)을 격벽(38)의 상부에 순차적으로 형성시켜 상부 유리판(46)에서의 광투과율이 향상되게 된다. 한편, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법에 대해서 살펴보기로 한다. 먼저, 하판유리(44)의 상부에 격벽을 형성한다. 격벽은 도 3과 동일한 방법에 의해 형성되므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 격벽이 형성된 하판유리(44)의 상부에 소정의 두께로 상부 유전체후막을 형성한다. 화학 기상증착법(Chemical Vapor Deposition), 물리화학적 기상증착법(PECVD), 스크린 프린팅법, 고온 산화막 처리법 등을 이용하여 수㎛ 두께의 유전체후막을 형성하게 된다. 이어서, 상부 유전체후막의 상부에 소정의 두께로 형광체막을 형성한다. 상기 유전체 후막과 동일한 방법에 의해 수백㎛의 형광체막을 형성하게 된다. 형광체막의 상부에 소정의 두께로 보호막을 형성한다. 상기 유전체후막과 동일한 방법에 의해 3000-5000Å의 보호막을 형성하게 된다. 이 경우, 보호막의 재질로는 MgO, BaO, CaO,DLC(Diamond-Like Corbon)등이 사용된다. 전면유리판을 정위치시킨후 밀봉한다. 이로인해, 본 발명에 따른 PDP에서는 종래의 투명전극 및 버스전극이 요구되지 않게 되어 제조공정을 단순화할수 있다.
상술한 바와같이, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 격벽 제조방법 및 제조몰드는 공정의 단순화에 기인하여 생산수율의 향상과 제조원가를 절감함과 아울러, 광반사특성을 향상시킬수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널소자는 광투과율을 높여 휘도를 향상시킴과 아울러, 제조공정을 단순화 시킬수 있는 장점이 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자 라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims (17)

  1. 하판유리의 상부에 소정의 두께를 갖는 도금용 시드층을 형성하는 단계와,
    상기 하판유리의 상부에 격벽 제조용 몰드를 정위치시킨후, 전기도금법에 의해 격벽을 형성하는 단계와,
    상기 격벽 제조용 몰드를 분리한후 격벽 사이에 형성된 도금용 시드층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 격벽 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 격벽의 재질이 Cu, Ni, Ag, Cr, Zn, W, Co, Fe, CuZn, CuNi, CrNi, FeZn, NiW 및 CoW중 적어도 하나 이상인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 격벽 제조방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 도금용 시드층을 무전해도금법에 의해 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 격벽 제조방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 도금용 시드층을 스퍼터링법에 의해 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 격벽 제조방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 도금용 시드층을 증착법에 의해 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 격벽 제조방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 격벽 사이에 형성된 도금용 시드층을 습식식각법에 의해 제거시키는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 격벽 제조방법.
  7. 도금용액 유입구가 형성된 몸체부와,
    상기 몸체부에서 소정의 길이로 신장되어 격벽 형성용 그루브를 분리하는 분리판을 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 격벽 제조몰드.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 분리판이 하부의 폭이 상부의 폭보다 크도록 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 격벽 제조몰드.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 도금용액 유입구가 상기 격벽 형성용 그루브의 상부에 하나의 긴 슬릿의 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 격벽 제조몰드.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 도금용액 유입구가 상기 격벽 형성용 그루브의 상부에 적어도 하나 이상의 슬릿의 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 격벽 제조몰드.
  11. 제 7 항에 있어서,
    상기 몸체부 및 분리판의 재질이 글래스-세라믹스인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 격벽 제조몰드.
  12. 제 7 항에 있어서,
    상기 몸체부 및 분리판의 재질이 글래스인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 격벽 제조몰드.
  13. 금속재질로 된 격벽을 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 소자.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 격벽의 재질이 Cu, Ni, Ag, Cr, Zn, W, Co, Fe, CuZn, CuNi, CrNi, FeZn, NiW 및 CoW중 적어도 하나 이상인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널소자.
  15. 어드레스 전극이 실장된 하부 유리판의 상부에 소정의 두께로 도포되어 벽전하를 형성하는 하부 유전체후막과,
    상기 하부 유전체후막의 상부에 형성되어 각각의 방전셀을 분할하는 격벽과,
    상기 격벽 및 하부 유전체후막의 상부에 소정의 두께로 도포되어 벽전하를 형성하는 상부 유전체후막과,
    상기 상부 유전체후막의 상부에 소정의 두께로 도포되어 플라즈마 방전으로 발생된 빛에 의해 여기·발광되는 형광체막과,
    상기 형광체막의 상부에 소정의 두께로 도포되어 플라즈마 방전에 의한 스퍼터링으로부터 형광체막을 보호하는 보호막과,
    상기 하부유리판과 밀봉되어 가시광선을 투과시키는 상부유리판을 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 소자.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 격벽의 재질이 Cu, Ni, Ag, Cr, Zn, W, Co, Fe, CuZn, CuNi, CrNi, FeZn, NiW 및 CoW중 적어도 하나 이상인 것을 특징하는 플라즈마 디스플레이 패널 소자.
  17. 제 15 항에 있어서,
    상기 격벽이 플라즈마 디스플레이 패널의 구동전극으로 사용되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널 소자.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100459890B1 (ko) * 1999-05-26 2004-12-03 삼성에스디아이 주식회사 가스방전표시소자의 격벽 제조 방법
KR20060013905A (ko) * 2004-08-09 2006-02-14 조광섭 금속 격벽 평판 램프

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