KR20000000515U - Coating device for liquid crystal display device with foreign material detection function - Google Patents
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Abstract
본 고안은 이물질 감지 기능이 구비된 액정표시소자용 코팅 장치를 개시한다. 개시된 본 고안은, 코팅액이 토출되는 디스펜서의 하부에 도장 롤러가 배치되고, 도장 롤러의 외주에 코팅액을 긁어서 균일한 두께로 코팅시키는 블레이드가 배치된다. 도장 롤러의 하부에 코팅 롤러가 배치되고, 코팅 롤러의 외주에 도장 롤러에 코팅된 코팅액을 전사받는 전사판이 부착된다. 전사판에 전사된 코팅액이 코팅되는 유리기판(10)은 스테이지(9)상에 안치되고, 이 스테이지(9)가 코팅 롤러의 하부에 진입하는 것에 의해, 유리기판(10)상에 코팅액이 코팅된다. 스테이지(9)와 코팅 롤러 사이에 발광 및 수광 센서(20,21)가 스테이지(9)의 이동 방향과 직교,배치되어, 유리기판(10)상에 돌출되게 묻은 이물질이 발광 및 수광 센서(20,21)에 의해 감지되므로써, 스테이지(9)가 즉시 정지되고 아울러 코팅 작업도 중단된다. 따라서, 이물질에 의해 유리기판(10)과 전사판 및 도장 롤러가 파손되는 사태가 방지되고, 또한 전사판에 이물질이 묻어서 후속 공정에서 유리기판(10)상에 코팅액이 국부적으로 코팅되지 않게 되는 사태도 방지된다.The present invention discloses a coating device for a liquid crystal display device having a foreign matter detection function. In the disclosed subject matter, a coating roller is disposed below the dispenser from which the coating liquid is discharged, and a blade is disposed on the outer circumference of the coating roller to scrape the coating liquid and coat it with a uniform thickness. A coating roller is disposed below the coating roller, and a transfer plate for transferring the coating liquid coated on the coating roller is attached to the outer circumference of the coating roller. The glass substrate 10 to which the coating liquid transferred to the transfer plate is coated is placed on the stage 9, and the coating liquid is coated on the glass substrate 10 by entering the lower portion of the coating roller. do. Between the stage 9 and the coating roller, the light emission and light reception sensors 20 and 21 are arranged orthogonal to the moving direction of the stage 9 so that foreign matters protruding on the glass substrate 10 are emitted and received by the light reception sensor 20. By being sensed by, 21, the stage 9 is immediately stopped and at the same time the coating operation is stopped. Therefore, the situation in which the glass substrate 10, the transfer plate, and the painting roller are damaged by foreign matters is prevented, and the foreign matter is deposited on the transfer plate so that the coating liquid is not locally coated on the glass substrate 10 in a subsequent process. Is also prevented.
Description
본 고안은 이물질 감지 기능이 구비된 액정표시소자용 코팅 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 액정표시소자의 유리기판에 포토레지스트와 같은 액을 코팅하는 장치에, 유리기판상에 칩과 같은 이물질이 묻어 있는 것을 감지하는 기능을 구비시킨 것에 관한 것이다.The present invention relates to a coating apparatus for a liquid crystal display device having a foreign material detection function, and more particularly, to a device for coating a liquid such as photoresist on a glass substrate of a liquid crystal display device, and to depositing foreign substances such as chips on the glass substrate. It relates to having a function to detect the presence.
액정표시소자의 유리기판에 포토 마스크 공정을 통해 소정의 패턴을 형성시키기 위해서, 유리기판상에 포토레지스트를 균일한 두께로 코팅하게 되고, 이러한 용도에 사용되는 코팅 장치가 도 1 및 도 2에 도시되어 있다. 도 1은 정면도이고, 도 2는 평면도이다.In order to form a predetermined pattern on the glass substrate of the liquid crystal display device through a photo mask process, the photoresist is coated on the glass substrate with a uniform thickness, and a coating apparatus used for this purpose is shown in FIGS. 1 and 2. have. 1 is a front view and FIG. 2 is a plan view.
도 1에 도시된 바와 같이, 베이스(1)상에 모터(2)가 장착되어 있고, 모터(2)에 리드 스크류(3)가 연결되어 있다. 리드 스크류(3)에는 도 2에 도시된 바대로, 2개의 왕복대(4)가 치합되어서, 리드 스크류(3)의 회전에 따라 전진 또는 후진하게 되어 있다. 각 왕복대(4)의 양단에는 하부 블럭(5)이 설치되어서, 베이스(1)상을 따라 이동되도록 되어 있다. 하부 블럭(5)의 상부면에 테이퍼부(51)가 형성되어 있고, 이 테이퍼부(51)와 대향되는 테이퍼부(61)가 하부면에 형성된 상부 블럭(6)이 상부 블럭(5)상에 배치되어 있다. 즉, 각 블럭(5,6)의 테이퍼부(51,61)는 미끄럼 가능하게 맞대어진 상태이다.As shown in FIG. 1, a motor 2 is mounted on the base 1, and a lead screw 3 is connected to the motor 2. As shown in Fig. 2, two lead carriages 4 are engaged with the lead screw 3, so that the lead screw 3 is moved forward or backward as the lead screw 3 rotates. Lower blocks 5 are provided at both ends of each carriage 4 so as to move along the base 1. A tapered portion 51 is formed on the upper surface of the lower block 5, and an upper block 6 having a tapered portion 61 facing the tapered portion 51 on the lower surface is formed on the upper block 5. Is placed on. In other words, the tapered portions 51 and 61 of the respective blocks 5 and 6 are in a sliding state.
각 상부 블럭(5)의 일단에는 가이드 블럭(7)이 설치되어 있고, 이 가이드 블럭(7)이 베이스(1)상에 설치된 가이드 축(8)에 승강가능하게 끼워져 있다. 각 상부 블럭(6)상에 높이 조정 볼트(17)를 매개로 유리기판(10)이 안착되는 스테이지(9)가 연결되어 있다. 한편, 스테이지(9)상에 안치된 유리기판(10)의 두께를 감지하여 모터(2)의 구동을 제어하는 두께 센서(11)가 브래킷(19)으로 지지되어, 스테이지(9) 상부에 배치되어 있다.A guide block 7 is provided at one end of each upper block 5, and the guide block 7 is fitted to the guide shaft 8 provided on the base 1 so as to be lifted and lowered. The stage 9 on which the glass substrate 10 is seated is connected to each upper block 6 via the height adjusting bolt 17. Meanwhile, a thickness sensor 11 that senses the thickness of the glass substrate 10 placed on the stage 9 and controls the driving of the motor 2 is supported by the bracket 19, and disposed above the stage 9. It is.
포토레지스트가 토출되는 디스펜서(12)의 하부에 포토레지스트가 균일한 두께로 코팅되는 도장 롤러(13)가 배치되고, 도장 롤러(13)의 일측에 블레이드(14)가 소정의 간격을 두고 배치되어, 디스펜서(12)에서 도장 롤러(13)로 토출된 포토레지스트가 블레이드(14)에 의해 긁혀지게 되므로써, 블레이드(14)와 도장 롤러(13) 사이의 두께로 균일하게 도장 롤러(13)의 외주에 코팅된다. 도장 롤러(13)의 직경보다 2배의 직경을 갖으며 반대 방향으로 회전되는 코팅 롤러(15)가 도장 롤러(13)의 하부에 미세한 간격을 두고 배치된다. 코팅 롤러(15)의 외주의 절반에는 도장 롤러(13)에 코팅된 포토레지스트를 전사받아 다시 유리기판(10)에 코팅하는 전사판(16)이 부착된다.A paint roller 13 is disposed below the dispenser 12 through which the photoresist is discharged, and the photoresist is coated with a uniform thickness, and the blades 14 are arranged at one side of the paint roller 13 at predetermined intervals. Since the photoresist discharged from the dispenser 12 to the painting roller 13 is scratched by the blade 14, the outer circumference of the painting roller 13 is uniformly uniform in the thickness between the blade 14 and the painting roller 13. Is coated on. The coating roller 15 having a diameter twice as large as the diameter of the painting roller 13 and rotating in the opposite direction is disposed at a minute interval under the painting roller 13. A transfer plate 16 is attached to half of the outer circumference of the coating roller 15 to transfer the photoresist coated on the painting roller 13 and to coat the glass substrate 10 again.
상기와 같이 구성되어서, 우선 높이 조정 볼트(17)로 스테이지(9)의 수평도를 조정한다. 유리기판(10)이 스테이지(9)상에 안치되어 정렬된 다음 진공에 의해 흡착되면, 두께 센서(11)에 의해 유리기판(10)의 두께가 감지된다. 이는, 전사판(16)과 유리기판(10)의 표면이 정확하게 일치되어야만 코팅이 가능하기 때문이고, 만일 유리기판(10)의 두께가 너무 두껍거나 반대로 얇으면, 두께 센서(11)에서 감지된 신호가 모터(2)로 입력된다.It is comprised as mentioned above, and the horizontality of the stage 9 is adjusted first with the height adjustment bolt 17. As shown in FIG. When the glass substrate 10 is placed and aligned on the stage 9 and then adsorbed by vacuum, the thickness of the glass substrate 10 is sensed by the thickness sensor 11. This is because coating is possible only when the surfaces of the transfer plate 16 and the glass substrate 10 coincide exactly. If the thickness of the glass substrate 10 is too thick or conversely thin, the thickness detected by the thickness sensor 11 is detected. The signal is input to the motor 2.
그러면, 모터(2)가 구동되어 리드 스크류(3)가 회전된다. 따라서, 각 왕복대(4)가 우측 또는 좌측으로 이동하게 되고, 그에 따라 하부 블럭(5)이 그 방향으로 이동된다. 따라서, 하부 블럭(5)이 우측으로 이동되면, 상부 블럭(6)은 하부 블럭(5)의 테이퍼부(51)중 높은 부분에 의해 지지되므로 가이드 축(8)을 따라 상승하게 된다. 반대로, 하부 블럭(5)이 좌측으로 이동되면, 상부 블럭(6)은 하강하게 되므로써, 스테이지(9)의 높이가 전사판(16)과 대응되게 조정되어진다.Then, the motor 2 is driven to rotate the lead screw 3. Thus, each carriage 4 is moved to the right or to the left, so that the lower block 5 is moved in that direction. Thus, when the lower block 5 is moved to the right, the upper block 6 is supported by the higher portion of the tapered portion 51 of the lower block 5 and thus rises along the guide shaft 8. On the contrary, when the lower block 5 is moved to the left, the upper block 6 is lowered so that the height of the stage 9 is adjusted to correspond to the transfer plate 16.
한편, 포토레지스트는 디스펜서(12)에서 토출되어 도장 롤러(13)의 외주에 묻게 된 후, 블레이드(14)에 의해 균일한 두께로 도장 롤러(13) 전체 외주면에 코팅된다. 코팅 롤러(15)는 도장 롤러(13)에 대해 반대 방향으로 회전되면서, 도장 롤러(13)의 원주 길이와 동일한 길이를 갖는 전사판(16)에 도장 롤러(13)에 코팅된 포토레지스트가 코팅된다.On the other hand, the photoresist is discharged from the dispenser 12 and buried in the outer circumference of the paint roller 13, and then coated on the entire outer circumferential surface of the paint roller 13 with a uniform thickness by the blade (14). The coating roller 15 is rotated in the opposite direction with respect to the painting roller 13, and the photoresist coated on the painting roller 13 is coated on the transfer plate 16 having the same length as the circumferential length of the painting roller 13. do.
스테이지(9)는 코팅 롤러(15)의 하부로 진입되고, 코팅 롤러(15)는 계속 회전하면서 전사판(16)에 전사된 포토레지스트가 유리기판(10)상에 균일한 두께로 코팅된다.The stage 9 enters the lower portion of the coating roller 15, and the coating roller 15 is continuously rotated so that the photoresist transferred to the transfer plate 16 is coated with a uniform thickness on the glass substrate 10.
그런데, 포토레지스트가 코팅될 유리기판에 이물질이 묻어 있게 되면 다음과 같은 심각한 문제가 발생된다.However, when foreign matter is deposited on the glass substrate to be coated with the photoresist, the following serious problem occurs.
첫째, 이물질이 칩과 같은 고체이면, 칩이 전사판으로 눌리면서 유리기판이 파손되고, 유리기판의 파편들이 전사판을 손상시키며, 아울러 전사판과 접촉되는 도장 롤러도 파손된다.First, if the foreign matter is a solid such as a chip, the chip is pressed by the transfer plate, the glass substrate is broken, the fragments of the glass substrate damage the transfer plate, and also the paint roller that is in contact with the transfer plate.
둘째, 이물질이 유체이면, 전사판에 이물질이 묻게 되고, 이후 코팅 작업에서 이물질이 묻은 전사판 부분에는 포토레지스트가 전사되지 않게 된다. 따라서, 유리기판에 포토레지스트가 코팅되지 않게 되는 부분이 발생되므로써, 불량이 야기된다.Second, when the foreign matter is a fluid, foreign matter is deposited on the transfer plate, and then the photoresist is not transferred to the transfer plate portion where the foreign matter is stuck in the coating operation. Thus, a portion is generated in which the photoresist is not coated on the glass substrate, thereby causing a defect.
따라서, 본 고안은 종래의 코팅 장치가 안고 있는 제반 문제점들을 해소하기 위해 안출된 것으로서, 유리기판상에 이물질이 묻어 있는지의 여부를 코팅 작업전에 감지하고, 이물질이 감지되면 코팅 작업을 즉시 중단시키므로써, 유리기판의 파손과 전사판 및 도장 롤러의 파손을 방지하고, 또한 코팅 작업의 신뢰도를 향상시킬 수 있는 이물질 감지 기능이 구비된 액정표시소자용 코팅 장치를 제공하는데 목적이 있다.Therefore, the present invention has been devised to solve all the problems of the conventional coating apparatus, by detecting whether the foreign matter on the glass substrate before the coating operation, and by stopping the coating operation immediately if foreign matter is detected, It is an object of the present invention to provide a coating apparatus for a liquid crystal display device having a foreign matter detection function that can prevent breakage of a glass substrate and damage of a transfer plate and a painting roller, and also improve the reliability of a coating operation.
도 1 및 도 2는 종래의 코팅 장치를 나타낸 것으로서,1 and 2 show a conventional coating apparatus,
도 1은 정면도1 is a front view
도 2는 평면도2 is a plan view
도 3은 본 고안에 따른 이물질 감지 기능이 구비된 코팅 장치를 나타낸 평면도3 is a plan view showing a coating apparatus equipped with a foreign matter detection function according to the present invention
도 4는 본 고안의 동작 설명도4 is an operation explanatory diagram of the present invention
- 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 --Explanation of symbols for the main parts of the drawing-
9 - 스테이지 10 - 유리기판9-Stage 10-Glass Board
20 - 발광 센서 21 - 수광 센서20-Light Sensor 21-Light Sensor
31 - 마킹 펜31-Marking Pen
상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 고안은 다음과 같은 구성으로 이루어진다.In order to achieve the above object, the present invention consists of the following configurations.
코팅액이 토출되는 디스펜서의 하부에 도장 롤러가 배치되고, 도장 롤러의 외주에 코팅액을 긁어서 균일한 두께로 도장 롤러의 외주에 코팅시키는 블레이드가 배치된다. 도장 롤러의 하부에 코팅 롤러가 배치되고, 코팅 롤러의 외주에 도장 롤러에 코팅된 코팅액을 전사받는 전사판이 부착된다. 유리기판은 스테이지상에 안치되어, 스테이지가 코팅 롤러의 하부로 진입되면, 전사판이 유리기판상에 접촉되므로써 코팅액이 유리기판상에 코팅된다.A paint roller is disposed under the dispenser through which the coating liquid is discharged, and a blade is coated on the outer circumference of the paint roller with a uniform thickness by scraping the coating liquid on the outer circumference of the paint roller. A coating roller is disposed below the coating roller, and a transfer plate for transferring the coating liquid coated on the coating roller is attached to the outer circumference of the coating roller. The glass substrate is placed on the stage, and when the stage enters the lower portion of the coating roller, the coating liquid is coated onto the glass substrate by contacting the transfer plate on the glass substrate.
한편, 스테이지의 양측에 유리기판상에 돌출되어 묻어 있는 이물질을 감지하는 발광 및 수광 센서가 스테이지의 이동 방향과 직교되게 배치된다. 발광 및 수광 센서에 의해 이물질이 감지되면, 스테이지의 이동이 즉시 정지되어 코팅 작업이 중단된다. 또한, 발광 및 수광 센서를 잇는 선상에 이물질의 위치를 유리기판상에 표기하는 마킹 펜이 배치된다.On the other hand, the light emission and light receiving sensor for detecting foreign matter protruding on the glass substrate on both sides of the stage is disposed perpendicular to the direction of movement of the stage. When foreign matter is detected by the light-emitting and light-receiving sensors, the movement of the stage is immediately stopped and the coating operation is stopped. In addition, a marking pen is disposed on the glass substrate to indicate the position of the foreign matter on the line connecting the light emission and light reception sensors.
상기된 본 고안의 구성에 의하면, 유리기판상에 이물질이 묻어서 돌출된 상태로 있게 되면, 발광 센서로부터 발한 레이저가 수광 센서에 수광되지 못하게 되므로써, 이물질이 유리기판상에 묻어 있다는 것이 감지되고, 그 즉시 스테이지의 이동이 정지됨과 아울러 코팅 작업도 중단되므로써, 이물질에 의한 유리기판과 전사판 및 도장 롤러의 파손이 방지되며, 아울러 이후 코팅 작업에서 코팅액이 유리기판상에 국부적으로 코팅되지 않게 되는 것도 방지된다.According to the above-described configuration of the present invention, when foreign matter is deposited on the glass substrate and protrudes, the laser emitted from the light emitting sensor cannot be received by the light receiving sensor, whereby it is detected that the foreign matter is buried on the glass substrate. As the movement of the metal sheet is stopped and the coating operation is stopped, the glass substrate, the transfer plate, and the painting roller are prevented from being damaged by foreign substances, and the coating liquid is prevented from being locally coated on the glass substrate in the subsequent coating operation.
이하, 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부도면에 의거하여 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 3은 본 고안에 따른 이물질 감지 기능이 구비된 코팅 장치의 평면도이고, 도 4는 본 고안의 동작 설명도이다.Figure 3 is a plan view of the coating apparatus with a foreign matter detection function according to the present invention, Figure 4 is an operation explanatory diagram of the present invention.
도 3에 도시된 바와 같이, 유리기판(10)은 스테이지(9)상에 안치되어, 코팅 롤러(미도시)가 배치된 좌측 방향으로 이동된다. 그 사이에, 레이저를 발하고 수광하는 발광 및 수광 센서(20,21)가 스테이지(9)의 이동 방향에 대해 직교,배치된다. 또한, 발광 센서(20)가 배치된 부분에 레이저가 조사되는 선상을 따라 브래킷(30)이 설치되고, 이 브래킷(30)에 이물질의 위치를 유리기판(10)에 표시하는 마킹 펜(31)이 설치된다.As shown in FIG. 3, the glass substrate 10 is placed on the stage 9 and moved in a left direction in which a coating roller (not shown) is disposed. In the meantime, the light emission and light reception sensors 20 and 21 which emit and receive a laser are orthogonal to and disposed with respect to the moving direction of the stage 9. In addition, the bracket 30 is installed along the line where the laser is irradiated on the portion where the light emitting sensor 20 is disposed, and the marking pen 31 displaying the position of the foreign matter on the glass substrate 10 on the bracket 30. This is installed.
한편, 코팅 롤러의 외주 절반 부분에 전사판(미도시)이 부착되고, 전사판 길이와 동일한 직경을 갖는 도장 롤러(미도시)가 코팅 롤러의 상부에 배치된다. 코팅 롤러의 외주에는 디스펜서(미도시)에서 토출된 포토레지스트를 긁어서 균일한 두께로 코팅시키는 블레이드(미도시)가 배치된다.On the other hand, a transfer plate (not shown) is attached to the outer circumferential half of the coating roller, and a coating roller (not shown) having the same diameter as the transfer plate length is disposed on the coating roller. On the outer circumference of the coating roller is a blade (not shown) for scraping the photoresist discharged from the dispenser (not shown) to coat a uniform thickness.
이하, 상기와 같이 구성된 본 실시예의 동작을 도 4를 참고로 하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the operation of the present embodiment configured as described above will be described in detail with reference to FIG. 4.
유리기판(10)상에 이물질(40)이 돌출되게 묻어 있으면, 유리기판(10)이 스테이지(9)와 함께 이동하다가 이물질(40)이 묻어 있는 부분이 레이저가 조사되는 위치에 도달하면, 발광 센서(20)에서 조사된 레이저가 이물질(40)에 굴절되어 수광 센서(21)에 도달하지 못하게 된다. 그러면, 그 즉시 스테이지(9)의 이동은 정지되고, 아울러 코팅 작업도 즉시 중단된다. 바람직하게는, 경보기를 발광 및 수광 센서(20,21)에 접속시켜, 경보음도 발해지게 한다.When the foreign matter 40 is buried to protrude on the glass substrate 10, the glass substrate 10 moves together with the stage 9, and when the portion where the foreign matter 40 is buried reaches the position where the laser is irradiated, The laser irradiated from the sensor 20 is refracted by the foreign matter 40 so as not to reach the light receiving sensor 21. Then, the movement of the stage 9 is immediately stopped, and also the coating operation is immediately stopped. Preferably, the alarm is connected to the light emission and light reception sensors 20 and 21, so that the alarm sound is also emitted.
또한, 마킹 펜(31)이 하강되어, 유리기판(10)의 외곽에 표시를 하므로써, 그 표시선상에 이물질(40)이 묻어 있다는 것을 작업자가 알 수 있게 해준다.In addition, the marking pen 31 is lowered so that the operator can know that the foreign matter 40 is on the display line by marking the outer side of the glass substrate 10.
상기된 바와 같이 본 고안에 의하면, 유리기판(10)상에 이물질이 묻어 있게 되면, 발광 및 수광 센서(20,21)에 의해 이물질이 감지되어 스테이지(9)의 이동이 즉시 정지되고, 동시에 코팅 작업도 중단된다. 따라서, 칩과 같은 고체 이물질이 전사판으로 눌려짐으로 인해서, 유리기판(10)과 전사판 및 도장 롤러가 파손되는 것이 방지되고, 유체 이물질이 전사판에 묻음으로 인해 후속 공정에서 유리기판(10)상에 국부적으로 코팅액이 코팅되지 않게 되는 사태도 방지된다.As described above, according to the present invention, when foreign matter is deposited on the glass substrate 10, foreign matter is detected by the light emission and light receiving sensors 20 and 21, and the movement of the stage 9 is immediately stopped and simultaneously coated. The work also stops. Accordingly, the glass substrate 10 and the transfer plate and the paint roller are prevented from being damaged by the solid foreign matter such as the chip being pressed by the transfer plate, and the glass substrate 10 in the subsequent process due to the foreign matter being buried in the transfer plate. The situation where the coating liquid is not coated locally on the c) is also prevented.
한편, 본 고안은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 고안의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능할 것이다.On the other hand, the present invention is not limited to the above-described specific preferred embodiment, any person having ordinary knowledge in the field to which the present invention belongs without departing from the gist of the present invention claimed in the claims can be variously modified. will be.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019980009973U KR20000000515U (en) | 1998-06-11 | 1998-06-11 | Coating device for liquid crystal display device with foreign material detection function |
Applications Claiming Priority (1)
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| KR2019980009973U KR20000000515U (en) | 1998-06-11 | 1998-06-11 | Coating device for liquid crystal display device with foreign material detection function |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| KR20000000515U true KR20000000515U (en) | 2000-01-15 |
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ID=69517471
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| KR2019980009973U KR20000000515U (en) | 1998-06-11 | 1998-06-11 | Coating device for liquid crystal display device with foreign material detection function |
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|---|---|
| KR (1) | KR20000000515U (en) |
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1998
- 1998-06-11 KR KR2019980009973U patent/KR20000000515U/en not_active Application Discontinuation
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