KR19990070345A

KR19990070345A - 반도체 핸들러의 디바이스 로딩장치

Info

Publication number: KR19990070345A
Application number: KR1019980005131A
Authority: KR
Inventors: 김수경
Original assignee: 구본준; 엘지반도체 주식회사
Priority date: 1998-02-19
Filing date: 1998-02-19
Publication date: 1999-09-15

Abstract

본 발명은 반도체 핸들러의 디바이스 로딩장치에 관한 것으로, 종래에는 이동된 1개의 슬리브에서 공급되는 디바이스를 트랙에서 검사하도록 되어 있기 때문에 검사수량을 증가시키데 한계가 있는 문제점이 있었다. 본 발명 반도체 핸들러의 디바이스 로딩장치는 슬리브(11)를 2개씩 이동하고, 그 이동된 2개의 슬리브(11)에서 2개의 트랙(14)(14')으로 디바이스들을 공급하며, 그 공급된 디바이스들을 테스트 머신(15)(15')에서 즉시 검사가 이루어지도록 함으로써, 종래 1개의 슬리브에서 디바이스를 인출하여 검사하는 경우보다 검사수량이 2배이상 향상되는 효과가 있다.

Description

반도체 핸들러의 디바이스 로딩장치

본 발명은 반도체 핸들러의 디바이스 로딩장치에 관한 것으로, 특히 테스트 사이트에 로딩부를 고정설치하여 디바이스의 로딩시간을 단축할 수 있도록 하는데 적합한 반도체 핸들러의 디바이스 로딩장치에 관한 것이다.

완성된 디바이스들을 검사하기 위한 종래 핸들러가 도 1에 도시되어 있는 바, 이를 간단히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래 반도체 핸들러의 구조를 개략적으로 보인 평면도로서, 도시된 바와 같이, 반도체 디바이스 핸들러는 다수개의 디바이스들이 수납되어 있는 슬리브(1)들 적치하기 위한 적치대(2)와, 그 적치대(2)에 적치되어 있는 슬리브(1)들 중에 1개씩 슬리브(1)를 이동시키기 위한 슬리브 이동실린더(3)와, 그 슬리브 이동실린더(3)에 의하여 이동된 슬리브(1)에서 인출된 디바이스를 슬라이딩시키기 위한 1개의 트랙(4)과, 그 트랙(4)의 전단부에서 슬라이딩되는 디바이스를 1개씩 분리하기 위한 세퍼레이터(5)와, 그 세퍼레이터(5)에서 분리된 디바이스를 검사하기 위한 4개의 테스트 머신(6)으로 구성되어 있다.

도면중 미설명 부호 7,7'는 실린더이동축이다.

상기와 같이 구성되어 있는 종래 반도체 핸들러는 동작시에는 먼저, 적치대(2)에 적치되어 있는 슬리브(1)중 1개를 슬리브 이동실린더(3)가 이동시켜서 슬리브(1)의 전단부를 트랙(4)의 입구부에 일치시키면 슬리브(1)에 트랙(4)을 따라 디바이스들이 슬라이딩되고, 이와 같이 슬라이딩되는 디바이스가 1개씩 세퍼레이터(5)에서 분리되어 각각의 테스트 머신(6)에 공급되도록 하여 디바이스의 특성검사를 실시하게 된다.

그러나, 상기와 같이 구성되어 있는 종래 반도체 핸들러에서는 1개의 슬리브(1)에서 공급되는 디바이스들을 검사하기 때문에 검사하기 위한 디바이스의 공급수량을 향상시키는 것이 한계가 있는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 본 발명의 목적은 2개의 슬리브에서 2개의 트랙으로 디바이스들을 동시에 공급할 수 있도록 하여 검사수량을 향상시키도록 하는데 적합한 반도체 핸들러의 디바이스 로딩장치를 제공함에 있다.

도 1은 종래 반도체 핸들러의 구조를 개략적으로 보인 평면도.

도 2는 본 발명 디바이스 로딩장치가 설치된 핸들러의 구조를 개략적으로 보인 평면도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

11 : 슬리브 12 : 적치대

13,13' : 슬리브 이동실린더 14,14' : 트랙

15,15' : 테스트 머신

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 다수개의 슬리브를 적치하기 위한 적치대와, 그 적치대에 있는 슬리브중 2개의 슬리브를 이동시키기 위한 2개의 슬리브 이동실린더와, 그 2개의 슬리브 이동실린더에 의하여 이동된 슬리브에서 인출된 디바이스들을 슬라이딩시킴과 아울러 그 슬라이딩된 디바이스들을 테스트 머신으로 직접 장착되도록 하기 위한 2개의 트랙을 구비하여서 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 핸들러의 디바이스 로딩장치가 제공된다.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명 반도체 핸들러의 디바이스 로딩장치를 첨부된 도면의 실시예를 참고하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명 디바이스 로딩장치가 설치된 핸들러의 구조를 개략적으로 보인 평면도로서, 도시된 바와 같이, 본 발명 디바이스 로딩장치가 설치된 핸들러는 다수개의 디바이스들이 담겨있는 슬리브(11)들을 적치하기 위한 적치대(12)의 하측에 2개의 슬리브 이동실린더(13)(13')가 설치되어 있고, 그 2개의 슬리브 이동실린더(13)(13')에 의하여 이동된 2개의 슬리브(11)들과 일직선이 될 수 있도록 2개의 트랙(14)(14')이 설치되어 있으며, 그 트랙(14)(14')의 전단부에는 각각 테스트 머신(15)(15')가 설치되어 있다.

즉, 적치대(12)에 적치되어 있는 슬리브(11)들을 2개씩 동시에 이동하여 테스트 머신(15)(15')에 직접 디바이스가 장착될 수 있도록 설치되어 있는 트랙(14)(14')으로 디바이스들을 슬라이딩시킬 수 있도록 되어 있다.

도면중 미설명 부호 16,16'는 실린더 이동축이다.

상기와 같이 구성되어 있는 본 발명 반도체 핸들러의 디바이스 로딩장치에서는 디바이스들이 수납되어 있는 슬리브(11)들이 적치되어 있는 적치대(12)에서 슬리브 이동실린더(13)(13')가 2개의 슬리브(11)를 실린더 이동축(16)(16')을 따라 이동시키고, 이와 같이 이동되는 슬리브(11)의 전단부가 각각 설치된 2개의 트랙(14)(14') 후단부에 설치되면 디바이스들이 슬리브(11)들에서 인출되어 각각의 트랙(14)(14')을 따라 슬라이딩되어 트랙(14)(14')의 전방에 설치된 각각의 테스트 머신(15)(15')으로 공급되도록 함으로써, 2개의 트랙(14)(14')에서 슬라이딩되는 디바이스들을 즉시 검사하게 된다.

상기 실시예에서는 2개의 슬리브(11)를 이동시키고, 그 이동된 슬리브(11)에서 인출된 디바이스들을 2개의 트랙(14)(14')에서 슬라이딩이동시켜서 직접 테스트 머신(15)(15')에서 검사가 이루어지도록 한 것을 예로들어 설명하였으나, 꼭 그에 한정하는 것은 아니고 본 발명의 사상을 벗어나지 않는 범위안에서 2개 이상의 슬리브(11)를 이동시키는 것도 가능하다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명 반도체 핸들러의 디바이스 로딩장치는 슬리브를 2개씩 이동하고, 그 이동된 2개의 슬리브에서 2개의 트랙으로 디바이스들을 공급하며, 그 공급된 디바이스들을 테스트 머신에서 즉시 검사가 이루어지도록 함으로써, 종래 1개의 슬리브에서 디바이스를 인출하여 검사하는 경우보다 검사수량이 2배이상 향상되는 효과가 있다.

Claims

다수개의 슬리브를 적치하기 위한 적치대와, 그 적치대에 있는 슬리브중 2개의 슬리브를 이동시키기 위한 2개의 슬리브 이동실린더와, 그 2개의 슬리브 이동실린더에 의하여 이동된 슬리브에서 인출된 디바이스들을 슬라이딩시킴과 아울러 그 슬라이딩된 디바이스들을 테스트 머신으로 직접 장착되도록 하기 위한 2개의 트랙을 구비하여서 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 핸들러의 디바이스 로딩장치.