KR19990065738A - 반도체소자 제조용 웨이퍼 캐리어 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체소자 제조용 웨이퍼 캐리어에 관한 것이다.
본 발명에 의한 웨이퍼가 적재되는 다수의 슬롯이 형성되어 있고, 상기 슬롯이 형성되는 측면, 상기 양측면을 지지하는 에치빔 및 받침대로 이루어지는 반도체소자 제조용 웨이퍼 캐리어는 상기 캐리어의 양측면을 직각 삼각형 형태로 형성시켜 상기 에치빔이 이루는 면이 밑면이 되는 사다리꼴의 형태로 변형되어 이루어진다.
따라서, 캐리어의 양측면이 직각 삼각형 형태로 형성시켜 사다리꼴의 형태로 변형하므로써 하중이 아래로 향하게 되어 상기 캐리어의 휨을 방지하여 상기 캐리어에 장착되어 있는 웨이퍼의 이동시 깨트리는 것을 방지하는 효과가 있다.
Description
본 발명은 반도체소자 제조용 웨이퍼 캐리어에 관한 것이다.
반도체소자의 제조공정은 실리콘 웨이퍼 위에 확산, 사진, 식각 및 이온주입등 일련의 공정을 수행하여 이루어진다.
상기 웨이퍼는 상기 각각의 공정을 진행하기 위하여 항상 일정한 규격의 웨이퍼 캐리어 내에 존재한다. 그러므로 상기 웨이퍼 캐리어는 반도체 공정내의 웨이퍼와 가장 밀접하게 사용되고, 모든 공정을 동일하게 진행할 수 있고, 상기 웨이퍼를 쉽게 다음 공정으로 이동시킬 수 있도록 한다. 따라서, 상기 웨이퍼 캐리어의 상태는 수율과 매우 밀접한 관계가 있으며, 특별한 주의를 기울이지 않으면 안된다.
도1은 종래의 방법에 의한 반도체소자 제조용 웨이퍼 캐리어를 나타내는 도면이다.
도1에서 보는 바와 같이 웨이퍼(12)가 적재되는 다수의 슬롯(4)이 형성되어 있고, 상기 슬롯(4)이 형성되는 측면(6), 상기 양 측면(6)을 지지하는 에치빔(8) 및 받침대(10)로 이루어지는 반도체소자 제조용 웨이퍼 캐리어(2)는 테프론 재질로 만들어지며 육면체 형태이다. 상기 캐리어(2)는 열 및 자연열화에 따라 좌우가 틀어져 모양이 휘는 일이 발생한다. 그러므로 상기 휨이 발생하여 변화된 캐리어(2) 내에 장착된 상기 웨이퍼(12)는 반도체 설비의 이송암이 상기 설비 내로 상기 웨이퍼(12)를 이송하지 못하여 장비 다운을 유발시킨다. 만약 이송하더라도 상기 웨이퍼(12)를 공정이 끝난 후 다시 상기 캐리어(2) 내로 장착할 때 정확히 상기 자기 슬롯에 장착할 수 없어 상기 캐리어(2)에 부딪혀 상기 웨이퍼(12)가 깨지는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은, 상기 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서 캐리어의 양 측면을 직각 삼각형 형태로 형성하여 상기 캐리어를 사다리꼴의 형태로 변형시겨 상기 캐리어의 휨을 최소화 시킬 수 있는 반도체소자 제조용 웨이퍼 캐리어를 제공하는 데 있다.
도1은 종래의 방법에 의한 반도체소자 제조용 웨이퍼 캐리어를 나타내는 도면이다.
도2는 본 발명에 의한 반도체소자 제조용 웨이퍼 캐리어의 일 실시예를 나타내는 도면이다.
※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
2 ; 캐리어 4 ; 슬롯
6, 16 ; 측면 8 ; 에치빔
10 : 받침대 12 ; 웨이퍼
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 웨이퍼가 적재되는 다수의 슬롯이 형성되어 있고, 상기 슬롯이 형성되는 측면, 상기 양측면을 지지하는 에치빔 및 받침대로 이루어지는 반도체소자 제조용 웨이퍼 캐리어는 상기 캐리어의 양 측면을 직각 삼각형 형태로 형성시켜, 상기 에치빔이 이루는 면이 밑면이 되는 사다리꼴의 형태로 변형되어 이루어진다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도2는 본 발명에 따른 반도체소자 제조용 웨이퍼 캐리어의 일 실시예를 나타내는 도면이다.
도2에서 보는 바와 같이 반도체소자 제조용 웨이퍼 캐리어(2)는 웨이퍼(12)가 적재되는 다수의 슬롯(4), 상기 슬롯(4)이 형성되는 측면(16), 상기 양 측면(16)을 지지하는 에치빔(8) 및 받침대(10)로 이루어진다. 상기 캐리어(2)의 양 측면(6)은 직각 삼각형 형태로 형성되어 상기 캐리어의 전체 모습은 사다리꼴의 형태이다. 즉, 상기 에치빔(8)이 이루는 면이 상기 사다리꼴의 밑면을 이룬다. 그러므로 상기 캐리어(2)의 하중이 아래로 향하도록하여 종래의 육면체 형태의 상기 캐리어(2)가 열에의하여 좌우가 뒤틀려 생기는 변형을 막아 상기 캐리어(2) 내에 장착된 상기 웨이퍼(12)는 항상 수평한 상태를 유지한다. 따라서, 상기 반도체소자 설비의 이송암은 상기 웨이퍼(12)를 상기 설비 내로 정확하게 이동시킬 수 있고, 공정을 수행한 후 상기 웨이퍼(12)를 다시 상기 캐리어(2)의 슬롯(4) 내로 정확하게 장착할 수 있다.
따라서, 본 발명에 의하면 상술한 바와 같이 캐리어의 양측면을 직각 삼각형 형태로 형성하여 사다리꼴의 형태로 변형시겨 상기 에치빔면이 상기 사다리꼴의 밑면이 되도록 하여 하중이 아래로 향하게 되므로써 상기 캐리어의 휨을 방지하여 상기 캐리어에 장착되어 있는 웨이퍼의 이동시 깨트리는 것을 방지하는 효과가 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
Claims (1)
- 웨이퍼가 적재되는 다수의 슬롯이 형성되어 있고, 상기 슬롯이 형성되는 측면, 상기 양측면을 지지하는 에치빔 및 받침대로 이루어지는 반도체소자 제조용 웨이퍼 캐리어에 있어서,상기 캐리어의 양 측면을 직각 삼각형 형태로 형성시켜, 상기 에치빔이 이루는 면이 밑면이 되는 사다리꼴의 형태로 변형되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체소자 제조용 웨이퍼 캐리어.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019980001168A KR19990065738A (ko) | 1998-01-16 | 1998-01-16 | 반도체소자 제조용 웨이퍼 캐리어 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019980001168A KR19990065738A (ko) | 1998-01-16 | 1998-01-16 | 반도체소자 제조용 웨이퍼 캐리어 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19990065738A true KR19990065738A (ko) | 1999-08-05 |
Family
ID=65892569
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019980001168A KR19990065738A (ko) | 1998-01-16 | 1998-01-16 | 반도체소자 제조용 웨이퍼 캐리어 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR19990065738A (ko) |
-
1998
- 1998-01-16 KR KR1019980001168A patent/KR19990065738A/ko not_active Application Discontinuation
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Legal Events
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| WITN | Withdrawal due to no request for examination |