KR19990029697A - 압전소자 및 이를 포함하는 전자부품 - Google Patents
압전소자 및 이를 포함하는 전자부품 Download PDFInfo
- Publication number
- KR19990029697A KR19990029697A KR1019980037403A KR19980037403A KR19990029697A KR 19990029697 A KR19990029697 A KR 19990029697A KR 1019980037403 A KR1019980037403 A KR 1019980037403A KR 19980037403 A KR19980037403 A KR 19980037403A KR 19990029697 A KR19990029697 A KR 19990029697A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- piezoelectric
- support
- thickness
- external electrodes
- Prior art date
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 36
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 17
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 14
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 3
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 208000019901 Anxiety disease Diseases 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000036506 anxiety Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/56—Monolithic crystal filters
- H03H9/562—Monolithic crystal filters comprising a ceramic piezoelectric layer
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02007—Details of bulk acoustic wave devices
- H03H9/02157—Dimensional parameters, e.g. ratio between two dimension parameters, length, width or thickness
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
본 발명은 길이방향의 진동모드로 진동하는 압전소자, 및 이를 포함하는 전자부품에 관한 것으로, 본 발명의 압전소자는, 압전기판의 표면과 배면의 양주면에 설치되어 있는 외부전극들; 및 상기 압전기판의 한쪽 주면상에서, 상기 압전소자의 노드부(nodal portion)에 고정되어 있는 도전부들을 포함한다. 상기 압전소자는, T1/T의 관계가 약 0.5 이하로 설정되며, 또 L1/L의 관계가 약 0.2 이하로 설정되도록 구성된다(단, 압전소자의 두께와 길이는 각각 T와 L이며, 지지부의 두께와 길이는 각각 T1과 L1이다).
Description
본 발명은 발진자와 필터에 이용되는, 길이방향의 진동모드로 진동하는 압전소자, 및 이를 포함하는 전자부품에 관한 것이다.
길이방향의 진동모드로 진동하는 종래의 압전소자에 있어서, 무심사의 일본 특허 공고번호 2-224515호 공보에 기재된 바와 같이, 압전소자의 길이방향으로 연장하는 선형의 홈(groove)에 의해 분리되어 있는 입력전극 및 출력전극이, 압전기판의 한쪽 주면에 설치되어 있으며, 상기 압전기판의 다른쪽 주면에는 공통전극이 배치되어 있다. 입력전극 및 출력전극 각각은 도전성 고무로 구성된 지지부를 포함한다. 상기 도전성 고무로 구성된 지지부는, 외도체와 전기적 접속을 이루기 위한 전기적 접촉부로서 기능한다.
지지부가 고정되어 있는 상술한 압전소자에 있어서, 그러나, 압전소자의 공진특성을 악화시키는, 지지부의 특정 치수와 재료에 의해서, 길이방향의 진동이 때때로 방해받는다.
이런 문제점에 대한 다양한 연구의 결과로서, 지지부의 두께, 길이 및 탄성계수(영 모듈)가 공진저항에 밀접하게 관련되어 있으며, 또 공진저항은 공진특성 악화의 원인이 된다는 것을 발견하였다.
상술한 문제점들을 극복하기 위해, 본 발명의 바람직한 구현예들은, 길이방향으로의 진동을 방해하는 것을 방지하며, 또 공진특성(resonance properties)의 악화를 제거하는 압전소자를 제공한다.
또한, 본 발명의 바람직한 구현예들은, 길이방향으로의 진동을 방해하는 것을 방지함과 함께 공진특성의 악화를 제거하는 압전소자를 포함함과 함께, 전기적 특성이 우수한 전자부품을 제공한다.
도1은 본 발명의 바람직한 구현예에 따른 압전소자의 사시도이다.
도2는 도1의 압전소자의 공진저항과 L1/L과의 관계를 보여주는 도면이다.
도3은 도1의 압전소자의 공진저항과 T1/T와의 관계를 보여주는 도면이다.
도4는 도1의 압전소자의 공진저항과 지지부의 영 모듈과의 관계를 보여주는 도면이다.
도5는 지지부의 영 모듈이 109N/㎡ 이상인 경우의 임피던스 특성 곡선이다.
도6은 지지부의 영 모듈이 109N/㎡ 미만인 경우의 임피던스 특성 곡선이다.
도7은 도1에 나타낸 압전소자를 이용한 표면 실장형 발진자의 일례를 보여주는 사시도이다.
도8은 도1에 나타낸 압전소자를 이용한 표면 실장형 발진자의 또 하나의 예를 보여주는 사시도이다.
도9는 실장기판의 영 모듈이 1011N/㎡ 이하인 경우의 임피던스 특성 곡선이다.
도10은 실장기판의 영 모듈이 1011N/㎡ 보다 큰 경우의 임피던스 특성 곡선이다.
(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)
1: 압전소자 2: 압전 세라믹 기판
3: 홈 4, 5: 전극
6: 전극 7, 8: 지지부
10: 실장기판 11, 12: 패턴전극
14: 도전성 와이어
본 발명의 바람직한 구현예에 따르면, 압전소자는 길이방향의 진동모드로 진동하며, 또 이것은,
압전기판;
상기 압전기판의 표면과 배면의 양주면에 각각 설치되어 있는 한 쌍의 외부전극들; 및
상기 한 쌍의 외부전극 중의 하나에서, 상기 압전기판의 각 노드부(nodal portion)에 배치되어 있는 도전성 지지부
를 포함하며,
상기 압전소자는, T1/T ≤ 0.5(T는 압전소자의 두께를 나타내며, T1은 지지부의 두께를 나타낸다)인 조건을 만족하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 하나의 바람직한 구현예에 따르면, 압전소자는 길이방향의 진동모드로 진동하며, 또 이것은,
압전기판;
상기 압전기판의 표면과 배면의 양주면에 각각 설치되어 있는 한 쌍의 외부전극들; 및
상기 한 쌍의 외부전극 중의 하나에서, 상기 압전기판의 각 노드부에 배치되어 있는 도전성 지지부
를 포함하며,
상기 압전소자는, L1/L ≤ 0.2(L은 압전소자의 길이를 나타내며, L1은 지지부의 길이를 나타낸다)인 조건을 만족하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 바람직한 구현예에 따르면, 압전소자는 길이방향의 진동모드로 진동하며, 또 이것은,
압전기판;
상기 압전기판의 표면과 배면의 양주면에 각각 설치되어 있는 한 쌍의 외부전극들; 및
상기 한 쌍의 외부전극 중의 하나에서, 상기 압전기판의 각 노드부에 배치되어 있는 도전성 지지부
를 포함하며,
상기 압전소자는, T1/T ≤ 0.5 및 L1/L ≤ 0.2 (T는 압전소자의 두께를 나타내고, T1은 지지부의 두께를 나타내며, L은 압전소자의 길이를 나타내며, L1은 지지부의 길이를 나타낸다)인 조건을 만족하는 것을 특징으로 한다.
상기 조건에서 설명된 상술한 특색 및 관계에 의해, 공진저항이 상당히 감소되고, 길이방향으로의 진동이 방해받는 것이 방지되며, 종래의 장치에 관한 상술한 문제점들 및 손실에 의해 거의 영향받지 않는, 우수한 공진성능과 전기적 특성을 갖는 압전소자가 획득된다.
압전소자가 외도체(예를 들어, 실장기판의 패턴전극)에 확고하게 접속된 경우, 지지부는, 압전소자와 외도체간의 진동공간을 형성하는 스페이서(spacer)로서 기능하며, 또 압전소자의 전극과 외도체를 전기적으로 접속하기 위한 도전부재로서 기능한다. 이 경우, 압전소자의 안정성을 향상시킴과 함께 진동불량과 절연불량을 방지하기 위해, 지지부의 두께(T1)와 길이(L1)를 가능한 한 크게 설정하는 것이 바람직하다. 상술한 바와 같이 두께(T1)와 길이(L1)를 한정하지만, 진동특성에 방해되지 않는 범위내에서, 두께(T1)와 길이(L1)를 가능한 한 크게 하는 것이 바람직하다.
지지부의 치수 이외에도, 지지부를 형성하는데 이용되는 재료와 이런 재료의 영 모듈은 공진저항에 큰 영향을 준다. 그러므로, 약 109N/㎡ 이상의 영 모듈을 갖는 재료로 지지부를 구성하는 것이 바람직하다. 이러한 영 모듈이 높은 재료로 구성된 지지부는, 압전소자의 진동에 따라서 진동하고, 압전소자의 길이방향으로의 진동을 억제하지 않으므로, 이에 의해 공진저항이 상당히 감소된다.
절연성 실장기판의 상면에 배치되어 있는 패턴전극상에 상술한 바람직한 구현예에 따른 압전소자를 실장함으로써, 전자부품을 얻는다. 즉, 지지부가 고착되어 있는 압전소자의 주면은 패턴전극이 배치되어 있는 실장기판의 표면과 마주하여 배치되고, 지지부는 실장기판의 하나의 패턴전극에 확고하게 접속되며, 압전소자의 다른 주면상의 전극은 도전성 와이어(wire)에 의해 실장기판의 또 하나의 패턴전극에 접속된다. 캡은, 압전소자를 도포하도록 실장기판에 확고하게 접합될 수 있다.
이런 전자부품에 있어서, 약 1011N/㎡ 이하의 영 모듈을 갖는 재료로 실장기판을 구성하는 것이 바람직하다. 즉, 실장기판의 영 모듈이 바람직하게도, 약 1011N/㎡ 이하인 경우에는, 압전소자의 진동이 지지부를 통과하여 실장기판에 전달되지만, 실장기판의 진동흡수효과에 의해 압전소자에 반사파가 되돌아가기 어렵다. 그 결과, 특성이 우수한 압전부품이 얻어진다.
본 발명의 다른 목적, 특징, 및 이점(利點)들이, 첨부한 도면을 참조하여 하기의 바람직한 구현예들에 설명함으로써 더욱 명백해질 것이다.
도1은 본 발명의 구현예에 따른 길이방향의 진동모드로 진동하도록 구성되어 있는 압전소자(1)를 보여준다. 도1에 있어서, 바람직하게도 실질적으로 직사각형의 압전 세라믹 기판(2)은, 이것의 한쪽 주면(主面)에, 길이방향으로 연장하는 직선상의 홈(3)에 의해 분리되어 있는 제1 및 제2의 외부전극(4, 5)과, 또 바람직하게도 이것의 다른쪽 주면의 전면을 도포하도록 형성되어 있는 제3의 외부전극(6)을 구비한다. 제1의 전극(4)과 제2의 전극(5)의 각 노드부에는, 각각 도전성 지지부(7, 8)가 고정된다. 바람직하게는, 지지부(7, 8)는 동일한 두께(T1) 및 동일한 길이(L1)를 갖는 것이 좋다.
이러한 바람직한 구현예에 있어서, 바람직하게는, 홈(3)은, 폭진동 및 두께진동에 의해 발생하는 스퓨리어스(spurious response)를 제어하기 위해, 압전소자(1)의 폭방향의 중앙으로부터 벗어난 방향으로 연장되는 것이 좋다.
본 발명의 바람직한 구현예의 한 실시예에 있어서, 상술한 압전소자(1)의 두께(T), 길이(L) 및 폭(W)을 각각 다음의 근사값: 0.38㎜, 4.1㎜ 및 0.9㎜로 설정하였으며, 또 지지부(7, 8)의 두께 및 길이를 T1 및 L1로 표시한 장치에서, 공진저항을 측정하였으며, 상기 공진저항은 도2 및 도3에 나타낸 바와 같이 L1/L 및 T1/T에 따라 변화하였다.
도2에 나타낸 실시예에서는, T1/T의 비율이 약 0.5로 설정되었고, 지지부(7, 8)의 영(Young) 모듈이 약 109N/㎡로 설정되었으며, 도3에 나타낸 실시예에서는, L1/L의 비율이 약 0.2로 설정되었고, 영 모듈이 약 109N/㎡로 설정되었다.
도2 및 도3은, L1/L이 약 0.2를 초과하는 경우와, T1/T가 약 0.5를 초과하는 경우에, 공진저항이 급속하게 증가하는 것을 나타낸다. 이것은 길이방향의 진동을 방해하며, 압전소자(1)의 특성을 악화시킨다. 그러므로, T1/T의 비율 및 L1/L의 비율을 하기의 값으로 각각 설정하는 것이 바람직하다:
T1/T ≤ 0.5
L1/L ≤ 0.2
또한, 지지부(7, 8)의 영 모듈과 공진저항과의 관계에 있어서, 도4에 나타낸 바와 같이, 영 모듈이 약 109N/㎡ 미만이 되는 경우에, 공진저항이 급속하게 증대하였다는 것을 알았다.
도5는 지지부(7, 8)의 영 모듈이 약 109N/㎡ 이상인 경우의 압전소자(1)의 임피던스 특성을 보여준다. 도6은 영 모듈이 약 109N/㎡ 미만인 경우의 임피던스 특성을 보여준다.
도5에 나타낸 바와 같이, 영 모듈이 약 109N/㎡ 이상인 경우, 지지부(7, 8)는 압전소자(1)의 길이방향의 진동에 응하여 변위되고, 압전소자(1)의 진동이 방해받지 않으며, 즉, 바람직한 임피던스 특성이 얻어질 수 있다. 한편, 영 모듈이 약 109N/㎡ 미만인 경우, 도6에 나타낸 바와 같이, 지지부(7, 8)는 압전소자(1)의 길이방향의 진동에 응하여 변위하지 않으며, 지지부(7, 8)가 길이방향의 진동을 흡수하는데, 이것은 오직 제동효과(damping effect)만을 발생시킨다. 그러므로, 공진점과 반공진점간의 임피던스의 차이인 리스폰스(response)가 악화된다.
따라서, 지지부(7, 8)는, 약 109N/㎡ 이상의 영 모듈을 갖는 재료로 구성되는 것이 바람직하다. 이런 바람직한 구현예에 있어서, 바람직하게는, 지지부(7, 8)는 약 109N/㎡ 이상의 영 모듈을 갖는 에폭시계 도전성 접착제로 구성되는 것이 좋다.
도7은 도1에 나타낸 압전소자(1)를 이용한 표면 실장형 발진자의 예를 나타낸다.
이 발진자는 압전소자(1) 이외에도, 실장기판(10)과 캡(cap)(20)을 구비한다. 실장기판(10)은 바람직하게는, 알루미나 세라믹(alumina ceramic), 유리(glass) 세라믹, 유리구조의 에폭시계 수지(glass fabric based epoxy resin), 또는 다른 적당한 재료로 구성되어 있는 실질적으로 직사각형의 절연성 박판(薄板)인 것이 좋다. 실장기판(10)의 상면에는, 바람직하게는, 입력측과 출력측의 2개의 패턴전극(11, 12)이 예를 들어, 스퓨터링법(sputtering), 증착법(evaporation) 또는 인쇄법(printing)과 같은 적당한 방법에 의해 설치되는 것이 좋다. 패턴전극(11, 12)은, 실장기판(10)의 측면의 가장자리부에 설치되어 있는 노치부(notches)(13)에 의해 실장기판(10)의 배면측(back side)에 연장되어 설치된다.
압전소자(1)는, 지지부(7, 8)가 실장기판(10)의 상면과 마주하여 위치되도록 실장된다. 즉, 지지부(7, 8)는, 바람직하게도 도전성 접착제(도시하지 않았음)에 의해 입력측(또는 출력측)의 패턴전극(11)의 접속부(11a)에 접합되어, 이에 의해 외부전극(4, 5)이 패턴전극(11)에 전기적으로 접속된다. 이때, 지지부(7, 8)의 두께에 의해, 진동부로서 기능하는 압전소자(1)의 길이방향의 양단부와 실장기판(10)간에 소정의 틈이 형성되기 때문에, 압전소자(1)의 진동부와 실장기판(10)간의 접촉에 의해 진동이 방해받을 것이라는 불안이 제거된다. 또, 외부전극(4, 5)과, 전위가 서로 다른 패턴전극(12)간의 접촉에 의해 절연불량이 발생될 것이라는 우려도 없게된다.
압전소자(1)의 접합후에, 압전소자(1)의 제3의 외부전극(6)과, 출력측(또는 입력측)의 패턴전극(12)의 접속부(12a)는, 도전성 와이어(14)에 의해 접속된다. 이 와이어(14)는 종래의 와이어 접합법에 의해 용이하게 접속될 수 있다.
압전소자(1)의 제3의 외부전극(6)과 출력측 패턴전극(12)이 도전성 와이어(14)에 의해 접속된 경우, 도전성 페디스틀(pedestal)(30)은, 도8에 나타낸 바와 같이, 패턴전극(12)의 접속부(12a)에 고정될 수 있으며, 도전성 와이어(14)에 의해 제3의 외부전극(6)에 접속될 수 있다. 이 경우에, 페디스틀(30)의 두께를 압전소자(1)와 지지부 (7) 또는 (8)과의 두께의 합에 실질적으로 동등하도록 설정함으로써, 페디스틀(30)의 상면과 압전소자(1)의 상면이 높이에 있어서 거의 동일하게 될 수 있으며, 이것은 와이어 접합 작업을 용이하게 한다.
압전소자(1)가 접합되고 와이어(14)가 접속된 이후에, 압전소자(1)를 캡(20)으로 덮어서 밀폐하도록, 실장기판10 위에, 캡(20)을 절연성 접착제(도시하지 않았음)로 접합하여, 이에 의해 표면 실장형 발진자를 완성한다.
상술한 구성을 갖는 발진자에 있어서, 실장기판(10)은, 약 1011N/㎡ 이하의 영 모듈을 갖는 재료로 구성되는 것이 바람직하다.
도9는, 실장기판(10)의 영 모듈이 약 1011N/㎡ 이하인 경우에, 발진자의 임피던스 특성을 보여준다. 도10은 영 모듈이 약 1011N/㎡ 이상인 경우에, 발진자의 임피던스 특성을 보여준다.
영 모듈이 약 1011N/㎡ 이하인 경우에, 압전소자(1)의 진동이 지지부(7, 8)에 의해 실장기판(10)에 전달되지만, 실장기판(10)의 흡수효과가 발생하여, 압전소자(1)에 반사파를 반사하기 어렵게 된다. 요컨대, 진동누설이 방지되며, 도9에 나타낸 우수한 임피던스 특성이 얻어질 수 있다. 한편, 영 모듈이 약 1011N/㎡ 보다 큰 경우, 압전소자(1)의 진동은 지지부(7, 8)를 통하여 실장기판(10)에 의해 반사되며, 길이방향의 진동에 굴곡진동이 중첩된 상태로 방해된다. 이에 의해, 도10에 나타낸 바와 같이, 임피던스 특성의 파형왜곡(波形歪曲)이 발생된다.
상기한 바람직한 구현예에서는, 스퓨리어스를 한정하기 위해, 압전소자의 뒷면의 전극에 홈을 형성함으로써, 복수개의 전극들로 분할하지만, 이런 홈이 항상 필요한 것은 아니며, 즉, 압전소자의 각 측에 단일의 전극이 설치될 수 있다.
본 발명의 바람직한 구현예의 압전소자는 발진자로서 뿐만 아니라, 필터로서도 이용될 수 있다. 압전소자가 필터로서 이용된 경우, 한쪽 주면의 전극은 홈에 의해, 전위가 서로 다른 복수개의 전극들로 분할된다. 전극의 분할을 위한 홈의 개수는 1개 이상일 수 있다.
게다가, 각 전극에 항상 한 개의 지지부를 설치할 필요는 없다. 압전소자의 길이방향으로 떨어져 있는 복수개의 지지부가 이용될 수 있다. 이 경우, 지지부의 길이(L1)는, 떨어져 있는 지지부들의 외측(外側)들 사이의 거리를 나타낸다.
더욱이, 지지부 전체를 항상 도전성 재료로 형성할 필요가 없다. 지지부는, 이것의 일부분만이 도전성 재료로 형성되며, 또 이것의 다른 부분이 절연성 재료로 형성될 수 있도록 구성될 수 있다.
상기한 바람직한 구현예에서와 같이, 지지부를 도전성 접착제에 의해 외도체에 접합하는 것 이외에도, 지지부를 스프링 단자 등에 의해 외도체에 압착하여 접속할 수 있다. 그러나, 안정성 및 접착 신뢰성을 얻기 위하여, 도전성 접착제 등에 의한 접합이 더욱 바람직하다. 또한, 지지부 자체를 경화(硬化)되지 않은 도전성 접착제로 형성한 경우에는, 외도체에 지지부를 직접 접합할 수 있다.
본 발명의 바람직한 구현예에 따르면, 상기 조건에서 설명된 상술한 특색 및 관계에 의해, 공진저항이 상당히 감소되고, 길이방향으로의 진동이 방해받는 것이 방지되며, 종래의 장치에 관한 상술한 문제점들 및 손실에 의해 거의 영향받지 않는, 우수한 공진성능과 전기적 특성을 갖는 압전소자가 획득된다.
압전소자가 외도체(예를 들어, 실장기판의 패턴전극)에 확고하게 접속된 경우, 지지부는, 압전소자와 외도체간의 진동공간을 형성하는 스페이서(spacer)로서 기능하며, 또 압전소자의 전극과 외도체를 전기적으로 접속하기 위한 도전부재로서 기능한다. 이 경우, 압전소자의 안정성을 향상시킴과 함께 진동불량과 절연불량을 방지하기 위해, 지지부의 두께(T1)와 길이(L1)를 가능한 한 크게 설정하는 것이 바람직하다. 상술한 바와 같이 두께(T1)와 길이(L1)를 한정하지만, 진동특성에 방해되지 않는 범위내에서, 두께(T1)와 길이(L1)를 가능한 한 크게 하는 것이 바람직하다.
지지부의 치수 이외에도, 지지부를 형성하는데 이용되는 재료와 이런 재료의 영 모듈은 공진저항에 큰 영향을 준다. 그러므로, 약 109N/㎡ 이상의 영 모듈을 갖는 재료로 지지부를 구성하는 것이 바람직하다. 이러한 영 모듈이 높은 재료로 구성된 지지부는, 압전소자의 진동에 따라서 진동하고, 압전소자의 길이방향으로의 진동을 억제하지 않으므로, 이에 의해 공진저항이 상당히 감소된다.
절연성 실장기판의 상면에 배치되어 있는 패턴전극상에 상술한 바람직한 구현예에 따른 압전소자를 실장함으로써, 전자부품을 얻는다. 즉, 지지부가 고착되어 있는 압전소자의 주면은 패턴전극이 배치되어 있는 실장기판의 표면과 마주하여 배치되고, 지지부는 실장기판의 하나의 패턴전극에 확고하게 접속되며, 압전소자의 다른 주면상의 전극은 도전성 와이어(wire)에 의해 실장기판의 또 하나의 패턴전극에 접속된다. 캡은, 압전소자를 도포하도록 실장기판에 확고하게 접합될 수 있다.
이런 전자부품에 있어서, 약 1011N/㎡ 이하의 영 모듈을 갖는 재료로 실장기판을 구성하는 것이 바람직하다. 즉, 실장기판의 영 모듈이 바람직하게도, 약 1011N/㎡ 이하인 경우에는, 압전소자의 진동이 지지부를 통과하여 실장기판에 전달되지만, 실장기판의 진동흡수효과에 의해 압전소자에 반사파가 되돌아가기 어렵다. 그 결과, 특성이 우수한 압전부품이 얻어진다.
현재 본 발명의 바람직한 구현예들이라고 여겨지는 것들을 참조하여 본 발명을 설명하였지만, 기재되어 있는 바람직한 구현예들에만 본 발명이 한정되지 않는다는 것은 물론이다. 이에 반하여, 본 발명은, 요지 및 첨부한 청구항의 범위 이내에 포함되는 다양한 변형 및 상당하는 구성을 포함하도록 의도된다. 하기의 청구항의 범위는, 모든 이런 변형 및 유사구조와 유사기능을 포함하도록 광범위하게 해석되어야 한다.
Claims (4)
- 길이방향의 진동모드로 진동하는 압전기판;상기 압전기판의 표면과 배면의 양주면에 각각 설치되어 있는 한 쌍의 외부전극들; 및상기 한 쌍의 외부전극 중의 하나에서, 상기 압전기판의 노드부(nodal portion)에 배치되어 있는, 적어도 109N/㎡ 정도의 영 모듈을 갖는 재료로 구성된 도전성 지지부를 포함하는 압전소자에 있어서,T1/T ≤ 0.5(단, T는 상기 압전소자의 두께를 나타내며, T1은 상기 지지부의 두께를 나타낸다)인 조건을 만족하는 것을 특징으로 하는 압전소자.
- 길이방향의 진동모드로 진동하는 압전기판;상기 압전기판의 표면과 배면의 양주면에 각각 설치되어 있는 한 쌍의 외부전극들; 및상기 한 쌍의 외부전극 중의 하나에서, 상기 압전기판의 노드부(nodal portion)에 배치되어 있는, 적어도 109N/㎡ 정도의 영 모듈을 갖는 재료로 구성된 도전성 지지부를 포함하는 압전소자에 있어서,L1/L ≤ 0.2(단, L은 상기 압전소자의 길이를 나타내며, L1은 상기 지지부의 길이를 나타낸다)인 조건을 만족하는 것을 특징으로 하는 압전소자.
- 길이방향의 진동모드로 진동하는 압전기판;상기 압전기판의 표면과 배면의 양주면에 각각 설치되어 있는 한 쌍의 외부전극들; 및상기 한 쌍의 외부전극 중의 하나에서, 상기 압전기판의 노드부(nodal portion)에 배치되어 있는, 적어도 109N/㎡ 정도의 영 모듈을 갖는 재료로 구성된 도전성 지지부를 포함하는 압전소자에 있어서,T1/T ≤ 0.5 및 L1/L ≤ 0.2 (단, T는 상기 압전소자의 두께를 나타내고, T1은 상기 지지부의 두께를 나타내며, L은 상기 압전소자의 길이를 나타내며, L1은 상기 지지부의 길이를 나타낸다)인 조건을 만족하는 것을 특징으로 하는 압전소자.
- 길이방향의 진동모드로 진동하는 압전기판;상기 압전기판의 표면과 배면의 양주면에 각각 설치되어 있는 한 쌍의 외부전극들; 및상기 외부전극들 중의 하나에서, 상기 압전기판의 노드부(nodal portion)에 배치되어 있는, 적어도 109N/㎡ 정도의 영 모듈을 갖는 재료로 구성된 도전성 지지부를 구비하는 압전소자를 포함하는 전자부품에 있어서,상기 압전소자는 T1/T ≤ 0.5(단, T는 상기 압전소자의 두께를 나타내며, T1은 상기 지지부의 두께를 나타낸다)인 조건을 만족하며,실장기판은 이 위에 패턴전극을 구비하며, 또한 상기 압전소자를 지지하도록 구성되어, 그 결과 상기 압전소자가, 상기 절연성 실장기판 상에 설치되어 있는 패턴전극들 중의 하나에 접속되는 것을 특징으로 하며, 또,상기 지지부가 상기 패턴전극에 확고하게 접속되며,상기 압전소자의 또 하나의 주면의 상기 외부전극이, 도전성 와이어에 의해 상기 절연성 실장기판의 다른 패턴전극에 접속되며, 또,상기 절연성 실장기판이 약 1011N/㎡ 이하의 영 모듈을 갖는 재료로 구성되는 것을 특징으로 하는 전자부품.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26796197A JP3296264B2 (ja) | 1997-09-11 | 1997-09-11 | 圧電部品 |
JP9-267961 | 1997-09-11 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR19990029697A true KR19990029697A (ko) | 1999-04-26 |
KR100327909B1 KR100327909B1 (ko) | 2002-05-09 |
Family
ID=17452006
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019980037403A KR100327909B1 (ko) | 1997-09-11 | 1998-09-10 | 압전소자및이를포함하는전자부품 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6297581B1 (ko) |
JP (1) | JP3296264B2 (ko) |
KR (1) | KR100327909B1 (ko) |
CN (1) | CN1147940C (ko) |
DE (1) | DE19840515A1 (ko) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3538709B2 (ja) | 2000-06-14 | 2004-06-14 | 株式会社村田製作所 | 圧電共振部品 |
DE10126655A1 (de) * | 2001-06-01 | 2002-12-05 | Endress & Hauser Gmbh & Co Kg | Leiterplatte mit mindestens einem elektronischen Bauteil |
US7462942B2 (en) * | 2003-10-09 | 2008-12-09 | Advanpack Solutions Pte Ltd | Die pillar structures and a method of their formation |
WO2012060046A1 (ja) * | 2010-11-01 | 2012-05-10 | Necカシオモバイルコミュニケーションズ株式会社 | 電子機器 |
JP6822380B2 (ja) * | 2017-11-02 | 2021-01-27 | Tdk株式会社 | 振動デバイス |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3377043D1 (en) * | 1982-02-22 | 1988-07-14 | Fujitsu Ltd | Piezoelectric resonators |
US4455503A (en) * | 1982-06-17 | 1984-06-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Rectangular piezoelectric resonator with a slot in one surface |
US4455502A (en) * | 1982-06-17 | 1984-06-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Rectangular piezoelectric resonator with offset slot |
JPH02224515A (ja) | 1989-02-27 | 1990-09-06 | Tdk Corp | 圧電振動子及びその製造方法 |
US5973442A (en) * | 1996-02-22 | 1999-10-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezo-resonator, filter and AM receiving circuitry using piezo-resonator |
JP3570600B2 (ja) * | 1997-01-14 | 2004-09-29 | 株式会社村田製作所 | 圧電部品およびその製造方法 |
JP3570599B2 (ja) * | 1997-01-14 | 2004-09-29 | 株式会社村田製作所 | 圧電素子およびその製造方法 |
-
1997
- 1997-09-11 JP JP26796197A patent/JP3296264B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-08-24 US US09/138,688 patent/US6297581B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1998-09-04 DE DE19840515A patent/DE19840515A1/de not_active Ceased
- 1998-09-10 KR KR1019980037403A patent/KR100327909B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1998-09-11 CN CNB98119172XA patent/CN1147940C/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6297581B1 (en) | 2001-10-02 |
CN1211106A (zh) | 1999-03-17 |
DE19840515A1 (de) | 1999-03-18 |
JPH1188103A (ja) | 1999-03-30 |
KR100327909B1 (ko) | 2002-05-09 |
CN1147940C (zh) | 2004-04-28 |
JP3296264B2 (ja) | 2002-06-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5717365A (en) | Resonator and resonant component utilizing width vibration mode | |
US5925970A (en) | Piezoelectric resonator and electronic component containing same | |
US5825262A (en) | Ladder filter with piezoelectric resonators each having a plurality of layers with internal electrodes | |
US5925971A (en) | Piezoelectric resonator and electronic component containing same | |
KR100327909B1 (ko) | 압전소자및이를포함하는전자부품 | |
US6369489B1 (en) | Piezoelectric component | |
US6016024A (en) | Piezoelectric component | |
US6313569B1 (en) | Piezoelectric device and method for manufacturing the same | |
US6028390A (en) | Piezoelectric resonator and electronic component including same | |
US6144141A (en) | Piezoelectric resonator and electronic component containing same | |
JP3139273B2 (ja) | 幅拡がりモードを利用した共振子、圧電共振部品及び圧電フィルタ | |
US6064142A (en) | Piezoelectric resonator and electronic component containing same | |
US6097134A (en) | Piezoelectric resonator and electronic component including same | |
KR100272179B1 (ko) | 압전 부품 | |
US6376970B1 (en) | Piezoelectric resonator supporting structure and a piezoelectric component including the same | |
JPH088677A (ja) | 圧電部品 | |
US5962956A (en) | Piezoelectric resonator and electronic component containing same | |
US6720713B2 (en) | Piezoelectric resonant component | |
KR100301718B1 (ko) | 전자부품및사다리형필터 | |
KR100280071B1 (ko) | 압전공진자및이를포함하는전자부품 | |
JP3378163B2 (ja) | 圧電部品 | |
JPH06216692A (ja) | 圧電共振部品 | |
JPH1070432A (ja) | セラミックトラップ | |
JPH0583083A (ja) | 圧電部品 | |
JPH05347532A (ja) | 容量内蔵型セラミック共振子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20070223 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |