KR19990025834A

KR19990025834A - Support for inspection board of semiconductor device inspection device

Info

Publication number: KR19990025834A
Application number: KR1019970047624A
Authority: KR
Inventors: 성낙영
Original assignee: 윤종용; 삼성전자 주식회사
Priority date: 1997-09-18
Filing date: 1997-09-18
Publication date: 1999-04-06

Abstract

본 발명은 반도체 소자 검사 장치의 검사기판용 지지대에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 검사기판을 지지하는 접촉면을 갖는 지지수단을 수직·수평으로 회전시켜 고정함으로써 수직식 검사기판과 수평식 검사기판에 모두 사용할 수 있는 검사기판용 지지대에 관한 것이며, 이를 위하여 검사기판을 지지하는 접촉면을 지지대의 몸체에 연결함에 있어서 지지수단을 매개물로 하여 연결하고 지지수단을 수직·수평으로 회전시킨 후 고정시킬 수 있는 고정수단을 구비한 구조를 개시하며, 이러한 구조를 통하여 수직식·수평식 검사기판을 모두 지지할 수 있도록 하여 종래 검사 장치를 설치하거나 교체할 때마다 병행되던 검사기판용 지지대의 교체작업을 방지할 수 있고, 결과적으로 교체 작업을 할 때 발생하는 각종 손실을 줄여 검사 공정의 설비 효율을 높일 수 있다.The present invention relates to a support for an inspection substrate of a semiconductor device inspection apparatus, and more particularly, by fixing the support means having a contact surface for supporting the inspection substrate in a vertical and horizontal rotation to both the vertical inspection substrate and the horizontal inspection substrate. The present invention relates to a support for an inspection board that can be used, and for this purpose, in connecting the contact surface supporting the inspection board to the support body, the support means is connected as a medium, and the fixing means can be fixed after rotating the support means vertically and horizontally. Disclosed is a structure having a means, and through such a structure, it is possible to support both vertical and horizontal inspection substrates, thereby preventing the replacement of the support substrate for the inspection substrate, which is performed whenever the conventional inspection apparatus is installed or replaced. As a result, it is possible to reduce the various losses incurred during replacement work and to improve the efficiency of the inspection process. To be increased.

Description

Support for inspection board of semiconductor device inspection device

본 발명은 반도체 소자 검사 장치의 검사기판용 지지대에 관한 것이며, 더욱 구체적으로는 접촉면을 갖는 지지수단을 수직·수평으로 회전시켜 고정할 수 있도록 하여 반도체 소자 검사 장치의 수직·수평 검사기판을 모두 지지할 수 있는 검사기판용 지지대에 관한 것이다.The present invention relates to a support for an inspection substrate of a semiconductor device inspection apparatus, and more particularly, to support both vertical and horizontal inspection substrates of the semiconductor device inspection apparatus by rotating the support means having a contact surface vertically and horizontally. It relates to a test substrate support that can be.

반도체 소자를 검사하는 공정에 사용되는 검사 장치는 반도체 소자가 이송되는 방식에 따라 수직식 검사 장치와 수평식 검사 장치로 구분된다. 자중낙하(自重落下) 방식을 이용한 수직식 검사 장치는 메모리 집적회로(Memory IC)와 같은 반도체 소자들을 검사할 때 주로 사용되며, 피커(Picker)와 같은 이송수단을 통해 이송되는 강제이송(强制移送) 방식을 이용한 수평식 검사 장치는 주로 논리소자(Logic Device) 및 특정용도 집적회로(ASIC ; Application Specific IC) 등과 같은 반도체 소자들을 검사할 때 사용된다.The inspection apparatus used in the process of inspecting a semiconductor element is divided into a vertical inspection apparatus and a horizontal inspection apparatus according to the manner in which the semiconductor elements are transferred. The vertical inspection device using the self-falling method is mainly used when inspecting semiconductor devices such as a memory integrated circuit, and is forcedly conveyed through a conveying means such as a picker. The horizontal inspection apparatus using the) method is mainly used to inspect semiconductor devices such as logic devices and application specific ICs.

또한 이러한 검사 장치들은 반도체 소자가 직접 접속되어 각 반도체 소자의 전기적 특성을 검사할 수 있는 검사기판을 갖고 있으며, 이러한 검사기판은 검사 장치 내에서 반도체 소자와 접속되는 형태에 따라 수직식·수평식 검사기판으로 구분될 수 있다. 검사기판은 반도체 소자가 직접 접속되는 소켓을 포함하는 보조 회로 기판이며, 이러한 보조 회로 기판은 주검사 장치와 연결되어 있다. 검사기판용 지지대는 이러한 검사기판을 지지해 주는 역할을 한다. 검사기판용 지지대는 역시 검사기판이 수직식·수평식으로 구분됨에 따라 수직식·수평식 지지대로 구분된다.In addition, these inspection apparatuses have an inspection substrate for directly inspecting the electrical characteristics of each semiconductor element by directly connecting semiconductor elements, and such inspection substrates are vertically and horizontally inspected according to the form of connection with the semiconductor elements in the inspection apparatus. It can be divided into a substrate. The test substrate is an auxiliary circuit board including a socket to which a semiconductor element is directly connected, and the auxiliary circuit board is connected to the main test apparatus. An inspection board support serves to support such an inspection board. The support for test boards is also divided into vertical and horizontal supports as the test board is divided into vertical and horizontal types.

도 1a 및 도 1b에는 이와 같이 종래 수직식 검사기판과 수평식 검사기판에 각각 사용되던 수직식 검사기판용 지지대와 수평식 검사기판용 지지대가 도시되어 있다. 도 1a를 참고로 하면, 수직식 검사기판용 지지대(70)는 검사기판(도시되지 않음)을 지지할 수 있는 접촉면(10)이 돌출 되어 있고 승강대(26)와 이동장치(28)가 구비된 몸체(20)가 접촉면을 지탱하는 구조로 나타난다. 또한 도 1b를 참고로 하면, 수평식 검사기판용 지지대(80)는 승강대(26)와 이동장치(28)가 구비된 몸체(20)가 편평한 접촉면(10)을 지탱하는 구조로 나타난다. 승강대(26)는 상하로 길이가 연장·축소될 수 있는 형태로 제작되며, 잭(Jack)과 같은 승강구동기(도시되지 않음)를 연결하여 접촉면(10)의 높낮이를 조절할 수 있다.1A and 1B, the vertical inspection substrate support and the horizontal inspection substrate support used in the conventional vertical inspection substrate and the horizontal inspection substrate, respectively, are illustrated. Referring to FIG. 1A, a support 70 for a vertical test substrate has a contact surface 10 protruding thereon that can support a test substrate (not shown), and a lifting platform 26 and a moving device 28 are provided. The body 20 is shown in a structure supporting the contact surface. In addition, referring to Figure 1b, the horizontal test substrate support 80 is shown as a structure supporting the lifting surface 26 and the body 20 provided with the moving device 28 is a flat contact surface (10). The lifting platform 26 is manufactured in a form in which the length can be extended and reduced up and down, and the height of the contact surface 10 can be adjusted by connecting a lifting driver (not shown) such as a jack.

수직식·수평식 검사기판용 지지대는 검사 장치에 투입되는 반도체 소자에 따라 검사 장치가 설치되거나 또는 교체될 때, 검사 장치에 사용되는 검사기판의 형태에 따라 수직식 지지대와 수평식 지지대가 교체되어 이용된다. 이와 같은 검사기판용 지지대의 교체는 교체할 때 검사기판용 지지대가 파손될 수 있고, 검사 장치의 설치시간이 늘어날 수 있는 등 각종 손실을 야기할 수 있으며 결과적으로 검사 공정의 설비 효율을 낮출 수 있다.The support for vertical and horizontal test boards is replaced with the vertical support and the horizontal support when the test device is installed or replaced according to the semiconductor element inserted into the test device. Is used. Such replacement of the support for the test substrate may cause various damages such as damage to the support for the test substrate and increase the installation time of the test apparatus, and as a result, may lower the facility efficiency of the test process.

본 발명의 목적은 한 개의 검사기판용 지지대가 반도체 소자 검사 장치의 수직식·수평식 검사기판을 모두 지지할 수 있도록 하는 것이다.An object of the present invention is to allow one support for an inspection substrate to support both vertical and horizontal inspection substrates of a semiconductor device inspection apparatus.

본 발명의 또 다른 목적은 검사 장치를 설치하거나 교체할 때 검사기판용 지지대를 교체함에 따라 발생하는 각종 손실을 줄여 검사 공정의 설비 효율을 높이고자 한다.Another object of the present invention is to increase the efficiency of the inspection process by reducing the various losses generated by replacing the support for the test substrate when installing or replacing the inspection device.

도 1a는 종래의 수직식 검사기판용 지지대를 나타낸 사시도,Figure 1a is a perspective view showing a support for a conventional vertical test substrate,

도 1b는 종래의 수평식 검사기판용 지지대를 나타낸 사시도,Figure 1b is a perspective view showing a support for a conventional horizontal test substrate,

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사기판용 지지대를 나타낸 사시도,2 is a perspective view showing a support for a test substrate according to an embodiment of the present invention,

도 3은 도 2에서 접촉면과 지지수단의 연결 부분을 분해하여 나타낸 분해도,3 is an exploded view showing an exploded view of the connecting portion of the contact surface and the support means in FIG.

도 4a는 도 2의 접촉면이 수직을 이루며 검사기판을 지지하는 모습을 나타낸 부분 측면도,4A is a partial side view showing a state in which a contact surface of FIG. 2 is vertical and supports an inspection substrate;

도 4b는 도 2의 접촉면이 수평을 이루며 검사기판을 지지하는 모습을 나타낸 부분 측면도이다.4B is a partial side view illustrating a state in which the contact surface of FIG. 2 is horizontal and supports the test substrate.

도면의 주요 부분에 대한 설명Description of the main parts of the drawing

10, 110 : 접촉면 20, 120 : 몸체10, 110: contact surface 20, 120: body

26, 126 : 승강대 28, 128 : 이동장치26, 126: platform 28, 128: mobile device

70 : 수직식 지지대 80 : 수평식 지지대70: vertical support 80: horizontal support

100 : 수직·수평 지지대 115 : 지지수단100: vertical and horizontal support 115: support means

117 : 지지수단의 회전판 122, 124 : 몸체의 고정판117: rotating plate of the support means 122, 124: fixed plate of the body

130 : 축 140, 146, 148 : 관통홈130: shaft 140, 146, 148: through groove

142 : 삽입홈 144 : 핀142: insertion groove 144: pin

150 : 검사기판150: test substrate

이러한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 종래의 수직식 또는 수평식 검사기판용 지지대를 하나의 검사기판용 지지대 위에 구현함으로써 검사기판의 형태에 제한 없이 사용될 수 있는 검사기판용 지지대를 제공한다.In order to achieve this object, the present invention provides a support for a test substrate that can be used without limitation in the form of the test substrate by implementing a conventional vertical or horizontal test substrate support on one test substrate support.

본 발명에 따른 검사기판용 지지대를 설명하면 다음과 같다.Referring to the support for the test substrate according to the present invention.

종래와 마찬가지로 승강대와 이동장치가 구비된 몸체가 검사기판을 지지하는 접촉면을 지탱하는 구조를 갖는다. 이때 접촉면은 접촉면의 방향이 수직·수평을 이룰 수 있도록 회전할 수 있으며, 각 방향에 대해서 접촉면을 고정할 수 있는 고정수단이 몸체에 구현되어 있다.As in the prior art, the body provided with the platform and the moving device has a structure supporting the contact surface for supporting the test substrate. At this time, the contact surface can be rotated so that the direction of the contact surface is vertical, horizontal, and a fixing means for fixing the contact surface in each direction is implemented in the body.

이러한 지지대는 검사기판을 지지하는 접촉면을 몸체와 직접 기계적으로 연결하지 않고, 지지수단과 같은 매개물을 통하여 연결한 후 지지수단의 중심을 축으로 관통하거나 또는 지지수단의 양단을 몸체에 끼우는 구조를 가지며, 몸체와 지지수단 사이에 핀과 같은 고정수단을 이용하여 접촉면의 회전 상태를 고정할 수 있도록 한다. 이와 같이 지지수단은 단순히 접촉면을 몸체에 연결해주는 역할 외에도 접촉면의 방향을 임의로 고정시켜 주는 역할을 갖는다.Such a support has a structure in which the contact surface supporting the test substrate is not directly mechanically connected to the body, but is connected through a medium such as a support means, and then penetrates through the center of the support means or sandwiches both ends of the support means in the body. In addition, a fixing means such as a pin is used between the body and the supporting means to fix the rotation state of the contact surface. In this way, the support means has a role of arbitrarily fixing the direction of the contact surface in addition to simply connecting the contact surface to the body.

또한 접촉면이 수직식·수평식 검사기판을 모두 지지할 수 있도록 하기 위하여 각 반도체 소자 검사 장치들의 종류에 관계없이 검사기판의 규격을 통일하는 것이 바람직하다.In addition, in order to enable the contact surface to support both the vertical and horizontal test substrates, it is desirable to unify the test substrate specifications irrespective of the type of each semiconductor device test apparatus.

이하 첨부도면을 참고로 하여 본 발명을 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 2에는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사기판용 지지대가 사시도로 도시되어 있다. 도 2를 참고로 하여 지지대를 설명하면 다음과 같다.2 is a perspective view of a support for a test substrate according to an embodiment of the present invention. Referring to Figure 2 with reference to the support as follows.

본 발명의 일 실시예에 따른 검사기판용 지지대(100)는 승강대(126)와 이동장치(128)가 구비된 몸체(120) 위에 검사기판을 지지하는 접촉면(110)이 연결된 구조를 갖는다. 역시 승강대(126)는 잭과 같은 승강구동기를 이용하여 접촉면(110)의 높낮이를 조절할 수 있다. 접촉면(110)과 몸체(120)는 지지수단(115)을 매개물로 하여 연결되어 있고, 지지수단(115)은 몸체(120)의 상부에서 평행하게 뻗어있는 한 쌍의 고정판(122, 124) 사이를 가로지르는 축(130)이 관통된 구조를 형성하여 축(130)을 중심으로 회전할 수 있다. 지지수단(115)의 한 회전판(117)은 몸체의 한 고정판(124)과 마주보며 이러한 회전판(117)과 고정판(124)을 관통하는 핀(144)과 같은 고정수단이 지지수단(115)을 일정 방향으로 고정할 수 있다.An inspection board support 100 according to an embodiment of the present invention has a structure in which a contact surface 110 for supporting an inspection board is provided on a body 120 provided with a lifting platform 126 and a moving device 128. Also the platform 126 may adjust the height of the contact surface 110 using a lifting driver such as a jack. The contact surface 110 and the body 120 are connected by the support means 115 as a medium, and the support means 115 is between a pair of fixing plates 122 and 124 extending parallel to the upper portion of the body 120. A shaft 130 that traverses the through may form a structure to rotate about the shaft 130. One rotating plate 117 of the supporting means 115 faces one holding plate 124 of the body and a fixing means such as the pin 144 penetrating the rotating plate 117 and the fixing plate 124 supports the supporting means 115. Can be fixed in a certain direction.

도 3에는 핀(144)과 같은 고정수단을 이용하여 지지수단(115)의 방향을 고정함으로써 결과적으로 지지수단(115)에 부착된 접촉면(110)의 방향을 고정하는 모습이 도시되어 있다. 도 3은 몸체(120)의 고정판(122, 124)과 접촉면(110) 사이에서 매개물 역할을 하는 지지수단(115) 및 지지수단(115)을 관통하는 축(130) 등을 분해한 모습으로 하여 결합되는 전의 모습을 나타낸다.3 shows a state in which the direction of the contact surface 110 attached to the support means 115 is fixed by fixing the direction of the support means 115 using a fixing means such as the pin 144. 3 is an exploded view of the support means 115 and the shaft 130 penetrating the support means 115 serving as a medium between the fixing plate (122, 124) and the contact surface 110 of the body 120 It shows the state before being combined.

핀(144)으로 지지수단(115)을 고정시키기 위해서는 몸체(120)의 한 고정판(124)에 지지수단(115)을 고정시키고자 하는 방향에 맞추어 복수개의 관통홈들(140)을 형성하며, 지지수단(115)의 회전판(117)에 한 개의 삽입홈(142)을 형성한다. 이러한 관통홈들(140)은 지지수단(115)을 수직으로 고정시킬 수 있는 관통홈(146)과 지지수단(115)을 수평으로 고정시킬 수 있는 관통홈(148)을 포함하고 있으며, 이러한 관통홈들(146, 148)중의 한 개와 삽입홈(142)을 조합하여 핀(144)을 끼움으로서 지지수단(115)을 일정 방향으로 고정시킬 수 있다.In order to fix the support means 115 with the pin 144, a plurality of through grooves 140 are formed in a direction to fix the support means 115 to one fixing plate 124 of the body 120, One insertion groove 142 is formed in the rotating plate 117 of the support means 115. The through grooves 140 include a through groove 146 that can fix the support means 115 vertically and a through groove 148 that can fix the support means 115 horizontally. One of the grooves 146 and 148 and the insertion groove 142 may be combined to pin the pin 144 to fix the support means 115 in a predetermined direction.

도 4a 및 도 4b에는 위와 같은 고정수단을 이용하여 고정된 지지대(100)의 접촉면(110)이 검사기판(150)을 수직 및 수평 방향으로 지지하는 모습을 나타낸다. 도 4a는 고정판(124)의 관통홈(146)과 회전판(124)의 삽입홈(142)을 조합하여 핀(144)을 끼워 넣음으로써 지지수단(115)은 수직으로 고정되고 그에 따라 접촉면(110)이 수직식 검사기판(150)을 지지하는 모습을 나타내며, 도 4b는 고정판(124)의 관통홈(148)과 회전판(124)의 삽입홈(142)을 조합하여 핀(144)을 끼워 넣음으로써 지지수단(115)은 수평으로 고정되고 그에 따라 접촉면(110)이 수평식 검사기판(150)을 지지하는 모습을 나타낸다.4A and 4B show the contact surface 110 of the support 100 fixed using the fixing means as described above supporting the test substrate 150 in the vertical and horizontal directions. 4A shows that the support means 115 is vertically fixed by inserting the pin 144 by combining the through groove 146 of the fixing plate 124 and the insertion groove 142 of the rotating plate 124. ) Shows a state of supporting the vertical inspection substrate 150, Figure 4b is a combination of the through groove 148 of the fixed plate 124 and the insertion groove 142 of the rotating plate 124 to fit the pin 144. As a result, the supporting means 115 is horizontally fixed, and thus the contact surface 110 supports the horizontal inspection board 150.

이상에서 살펴본 바와 같이, 검사기판용 지지대는 검사기판을 지지하는 접촉면을 갖는 지지수단을 수직·수평으로 자유롭게 회전시켜 고정시킴으로써 수직식 검사기판과 수평식 검사기판을 지지할 수 있으며, 지지수단을 회전시켜 일정한 방향으로 고정하는 고정수단은 앞에서 언급된 핀 이외에도 지지수단을 고정할 수 있는 다른 임의의 수단을 이용할 수 있다.As described above, the support for the test substrate can support the vertical test substrate and the horizontal test substrate by freely rotating and fixing the support means having a contact surface for supporting the test substrate vertically and horizontally, and rotates the support means. The fixing means for fixing in a predetermined direction may use any other means capable of fixing the support means in addition to the pins mentioned above.

본 발명에 따른 검사기판용 지지대는 검사기판을 지지하는 접촉면을 갖는 지지수단을 회전시켜 수직·수평으로 자유롭게 고정할 수 있도록 함으로써, 반도체 소자 검사 장치에 투입되는 반도체 소자에 따라 검사 장치가 설치되거나 또는 교체될 때 검사 장치에 사용되는 검사기판의 형태에 관계없이 한 종류의 지지대를 사용할 수 있도록 하며, 이와 같이 검사기판용 지지대를 교체하지 않고 반도체 소자 검사 장치를 설치하거나 교체하게 되어 종래 지지대를 교체할 때 발생하던 검사기판용 지지대의 파손 및 검사 장치의 설치시간 증가 등 각종 손실을 줄일 수 있고, 결과적으로 검사 공정의 설비 효율을 높일 수 있다.According to the present invention, a support for an inspection substrate may be freely fixed vertically and horizontally by rotating a support means having a contact surface for supporting an inspection substrate, so that an inspection apparatus is installed according to a semiconductor element introduced into a semiconductor element inspection apparatus. Regardless of the type of inspection board used for the inspection device, it is possible to use one type of support.In this way, the semiconductor device inspection device is installed or replaced without replacing the support for the inspection board. It is possible to reduce various losses such as breakage of the support for the inspection substrate and increase in the installation time of the inspection device, which in turn can increase the efficiency of the inspection process.

Claims

Support means including a contact surface for supporting an inspection substrate and a pair of rotary plates rotating together with the contact surface at both ends of the contact surface; And

A body supporting the support means;

In the support for the test substrate of the semiconductor device inspection apparatus comprising:

The body includes a shaft penetrating the center of the support means parallel to the contact surface and a pair of fixing plates engaged with the rotating plate at both ends of the shaft and connected to the shaft, and the support means is fixed through the fixing means. Support for inspection board.

The support plate according to claim 1, wherein the fixing means is a pin which is inserted into the rotating plate of the supporting means engaged with the fixing plate through one fixing plate of the body.

According to claim 2, wherein the support means for supporting the test substrate, characterized in that the insertion groove into which the pin can be inserted is formed in the rotating plate.

The support board of claim 3, wherein the body has a plurality of through-holes through which the pin can pass.

5. The test board support according to claim 4, wherein the pin is inserted into one of the plurality of through grooves and the insertion groove to fix the support means so that the contact surface is vertically placed.

5. The support board for an inspection board according to claim 4, wherein the pin is inserted into another through groove and the insertion groove among the plurality of through grooves to fix the support means so that the contact surface is horizontally placed.