KR19990025705U - 레티클 이송 장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 레티클 이송장치에 관한 것으로, 종래의 장치는 레티클을 단순히 장비의 레티클 스테이지로 옮기는 것에 불과하여 레티클의 뒷면에 부착된 파티클들을 제거하지 못하였다. 따라서 파티클에 의한 공정 이상을 가져오고 있었다. 본 고안은 레티클을 이동시키는 캐리어의 레티클 스테이지로의 이동 통로상에 정전 플레이트를 설치하여 이송되는 레티클의 뒷면에 부착된 파티클을 제거하도록 구성함으로써 파티클에 의한 제반 문제점을 해소한다. 바람직하게는, 상기 정전 플레이트의 전,후에 배치되어 레티클의 로드 및/또는 언로드를 감지하여 컨트롤러에 정전기 발생용 구동 전압 신호를 보내는 두 개의 광센서로 이루어진 레티클 감지부와, 상기 레티클 감지부의 레티클 유/무에 대한 정보에 의하여 정전기 발생용 구동 전압의 출력을 제어하는 파워 서플라이 컨트롤러를 구비하여 레티클 감지시에만 정전 플레이트가 대전되도록 구성된다. 이러한 본 고안은 레티클의 이송과 동시에 그의 뒷면에 부착된 파티클이 제거되어 장비의 레티클 스테이지로 안착되므로, 파티클에 의한 종래와 같은 문제, 즉 레티클의 틸트 및 흡착 에러를 방지할 수 있고, 레티클 스테이지의 오염을 방지할 수 있다. 또 레티클 로딩 타임을 줄일 수 있으므로 장비 가동률을 향상시킬 수 있다.

Description

레티클 이송장치

본 고안은 반도체 제조장비의 레티클 스테이지(Reticle stage)로 레티클을 이송시키는 장치에 관한 것으로, 특히 정전 플레이트를 구비하여 이송되는 레티클이 정전 플레이트를 거치게함으로써 레티클의 뒷면에 부착되어 있는 파티클을 제거할 수 있도록 한 레티클 이송장치에 관한 것이다.

반도체 제조 공정에서 이물질이나 먼지 등의 파티클은 공정에 매우 큰 영향을 끼친다. 따라서 공정에 필요한 대부분의 부품들은 사람이 직접 이송시키지 않고, 별도의 전용 이송장치를 이용하여 장비로 이송시키고 있다.

특히, 레티클 공정은 반도체의 소자 배치 등을 결정하는 고도의 정밀도가 요구되는 공정으로 레티클의 철저한 관리는 물론 장비에로의 이송시에도 특별한 관리가 요구된다. 레티클을 장비의 레티클 스테이지로 안전하게 이송시키기 위한 것으로, 트랜스퍼 암을 이용하는 장치가 알려져 있다.

이러한 통상의 레티클 이송장치는 레티클 카세트에 보관되어 있는 레티클을 트랜스퍼 암으로 픽-업하고, 캐리어를 이용하여 장비의 레티클 스테이지로 이동시키도록 구성되어 있다.

그러나, 상기한 바와 같은 일반적인 레티클 이송장치는 카세트에 보관되어 있는 레티클을 픽-업하여 단순하게 이송시키도록 구성됨으로써, 레티클의 뒷면에 부착될 수 있는 파티클의 존재 여부를 체크하거나 또는 파티클을 제거할 수 없어, 파티클에 의한 공정 이상을 발생시킬 수 있다. 레티클의 뒷면 등에 파티클이 존재하면 레티클 틸트(Tilt) 및 흡착 에러가 발생될 수 있고, 또 레티클 스테이지가 오염될 수 있다. 레티클 스테이지가 오염되면, 차후의 공정에도 큰 영향을 끼치므로 장비를 클리닝하여야 파티클을 제거해 주어야 하는데, 이에 따른 장비의 다운 타임 증가로 인한 가동률 저하가 문제로 지적되고 있다.

본 고안은 상기와 같은 점을 감안하여 안출한 것으로, 장비의 레티클 스테이지로 이송되는 레티클의 뒷면에 부착된 파티클을 정전기 원리를 이용하여 제거함으로써 파티클에 의한 트러블을 줄이고 로딩 타임을 단축시킬 수 있는 레티클 이송장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

도 1은 본 고안에 의한 레티클 이송장치의 구성도.

도 2는 본 고안에 의한 레티클 이송장치의 정전 플레이트에 대한 회로 구성도.

도 3은 본 고안의 동작 상태도.

도 4는 본 고안의 요부인 정전 플레이트의 동작 순서도.

(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)

1;트랜스퍼 암 2;캐리어

3;레티클 스테이지 4;정전 플레이트

5;파워 서플라이 컨트롤러 6;광센서

7;매뉴얼 온/오프 스위치 9;레티클

상기와 같은 본 고안의 목적에 따라, 카세트에 보관되어 있는 임의의 레티클을 픽-업하는 트랜스퍼 암과, 픽-업된 레티클의 위치를 정렬함과 동시에 장비의 레티클 스테이지로 이동시키는 캐리어를 포함하여 구성되는 레티클 이송장치에 있어서, 상기 캐리어의 레티클 스테이지로의 이동 통로상에 정전 플레이트를 설치하여 이송되는 레티클의 뒷면에 부착된 파티클을 제거하도록 구성된 것을 특징으로 하는 레티클 이송장치가 제공된다.

바람직하게는, 상기 정전 플레이트의 전,후에 배치되어 레티클의 로드 및/또는 언로드를 감지하여 컨트롤러에 정전기 발생용 구동 전압 신호를 보내는 두 개의 광센서로 이루어진 레티클 감지부와, 상기 레티클 감지부의 레티클 유/무에 대한 정보에 의하여 정전기 발생용 구동 전압의 출력을 제어하는 파워 서플라이 컨트롤러를 구비하여 레티클 감지시에만 정전 플레이트가 대전되도록 구성된다.

또한, 본 고안은 레티클 감지부의 동작을 제어하기 위한 매뉴얼 온/오프 스위치를 더 구비하여 장비 점검 또는 정전 플레이트의 클리닝 작업 중 광센서의 출력에 의한 오동작을 방지할 수 있도록 구성된다.

이와 같은 본 고안에 의한 레티클 이송장치는, 트랜스퍼 암 및 캐리어에 의한 레티클의 이송시(로딩 및 언로딩을 모두 포함한다) 정전 플레이트의 전,후에 설치된 광센서가 레티클의 존재를 감지하면, 이 센서로부터 정전기 발생용 구동 전압 출력 신호가 파워 서플라이 컨트롤러에 보내지고, 컨트롤러는 정전 플레이트에 전압을 인가하여 정전 플레이트가 자력을 띠게 되는데, 정전 플레이트의 상부를 레티클이 지나가게 되므로 레티클의 뒷면에 부착되어 있는 파티클들은 정전 플레이트에 흡착되게 된다.

이하, 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부도면에 의거하여 설명한다.

첨부한 도 1은 본 고안에 의한 레티클 이송장치의 구성도 이고, 도 2는 본 고안에 의한 레티클 이송장치의 정전 플레이트에 대한 회로 구성도 이며, 도 3은 본 고안의 동작 상태에 대한 모식도로서, 도면에서 참조 부호 1은 트랜스퍼 암, 2는 캐리어, 3은 레티클 스테이지, 4는 정전 플레이트이다. 또한 부호 5는 파워 서플라이 컨트롤러, 6은 광센서, 7은 매뉴얼 온/오프 스위치 이고, 8은 레티클 카세트, 9는 레티클이다.

도시된 바와 같이, 트랜스퍼 암(1)에 인접하게 캐리어(2)가 설치되어 있고, 이 캐리어(2)와 레티클 스테이지(3)와의 사이에는 정전 플레이트(4)가 설치되어 있다.

상기 정전 플레이트(4)는 파워 서플라이 컨트롤러(5)에 연결되어 이 컨트롤러(5)로부터 인가되는 전압에 의해 선택적으로 자력을 띠게 되어 있으며, 상기 파워 서플라이 컨트롤러(5)는 캐리어(2)의 양측에 설치된 두 개의 광센서(6)로부터 입력되는 신호를 받아 정전기 발생용 구동 전압을 출력하도록 되어 있다.

여기서, 상기 정전 플레이트(4)는 세라믹 재질의 얇은 판에 (＋), (－)의 두 극을 내장시킨 구조로 되어 있으며, 약 200∼300V의 전압을 공급하게 되면 정전기가 발생하면서 자력을 띠게 되어 있는 바, 상술한 바와 같이, 파워 서플라이 컨트롤러(5)로부터 전압을 받게 되어 있다.

상기 파워 서플라이 컨트롤러(5)는 정전기 발생용 구동 전압의 출력을 제어하는 바, 레티클 감지용 광센서(6)의 레티클 유무에 대한 정보에 의하여 레티클 감지시에만 정전기 발생용 구동 전압을 출력하도록 되어 있다. 따라서 시스템 아이들 상태에서의 전력 낭비와 오동작을 방지할 수 있다.

한편, 상기 광센서(6)는 정전 플레이트(4)의 앞/뒤에 배치되도록 설치되어 레티클(9)이 어느 방향에서든 정전 플레이트(4)를 지나가는 것을 감지하여 컨트롤러(5)에 신호를 보낸다.

또한, 본 고안은 장비 점검 또는 정전 플레이트의 클리닝 작업 중 광센서의 출력에 의한 오동작을 방지하기 위한 안전장치로써의 매뉴얼 온/오프 스위치(7)를 더 구비하고 있다. 이 스위치(7)가 '오프'된 상태에서는 광센서의 신호가 컨트롤러로 입력되지 않으므로 장비 점검이나 플레이트의 클리닝시 필요없이 정전 플레이트가 구동되는 일이 없다.

도 3에서 미설명 부호 10은 모터, 11은 턴 테이블이다. 이 도면에서는 정전 플레이트(4)에 전압이 인가되어 그 상부를 지나는 레티클(9)의 뒷면에 부착되어 있는 파티클이 정전 플레이트에 달라 붙는 상태를 나타내고 있다. 또한 도 4에서는 본 고안의 요부인 정전 플레이트의 동작 순서를 보이고 있는 바, 이들을 참조하여 본 고안의 동작을 살펴보면 다음과 같다.

트랜스퍼 암(1) 및 캐리어(2)에 의한 레티클(9)의 이송시(로딩 및 언로딩을 모두 포함한다) 정전 플레이트(4)의 전,후에 설치된 광센서(6)가 레티클의 존재를 감지하면, 이 센서(6)로부터 정전기 발생용 구동 전압 출력 신호가 파워 서플라이 컨트롤러(5)에 보내지고, 컨트롤러(5)는 정전 플레이트(4)에 전압을 인가하게 된다. 따라서 정전 플레이트(4)는 자력을 띠게 되고, 이 정전 플레이트(4)의 상부를 레티클(9)이 지나가게 되므로 레티클(9)의 뒷면에 부착되어 있는 파티클들은 정전 플레이트에 흡착되게 된다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안에 의한 레티클 이송장치는, 레티클의 이송과 동시에 그의 뒷면에 부착된 파티클이 제거되어 장비의 레티클 스테이지로 안착되므로, 파티클에 의한 종래와 같은 문제, 즉 레티클의 틸트 및 흡착 에러를 방지할 수 있고, 레티클 스테이지의 오염을 방지할 수 있다. 또 레티클 로딩 타임을 줄일 수 있으므로 장비 가동률을 향상시킬 수 있다.

이상에서는 본 고안에 의한 레티클 이송장치를 실시하기 위한 하나의 실시예에 대하여 도시하고 또한 설명하였으나, 본 고안은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하 청구범위에서 청구하는 본 고안의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능할 것이다.

Claims (3)

1. 카세트에 보관되어 있는 임의의 레티클을 픽-업하는 트랜스퍼 암과, 픽-업된 레티클의 위치를 정렬함과 동시에 장비의 레티클 스테이지로 이동시키는 캐리어를 포함하여 구성되는 레티클 이송장치에 있어서, 상기 캐리어의 레티클 스테이지로의 이동 통로상에 정전 플레이트를 설치하여 이송되는 레티클의 뒷면에 부착된 파티클을 제거하도록 구성된 것을 특징으로 하는 레티클 이송장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 정전 플레이트의 전,후에 배치되어 레티클의 로드 및/또는 언로드를 감지하여 컨트롤러에 정전기 발생용 구동 전압 신호를 보내는 두 개의 광센서로 이루어진 레티클 감지부와, 상기 레티클 감지부의 레티클 유/무에 대한 정보에 의하여 정전기 발생용 구동 전압의 출력을 제어하는 파워 서플라이 컨트롤러를 더 구비하여 레티클 감지시에만 정전 플레이트가 대전되도록 구성된 것을 특징으로 하는 레티클 이송장치.
3. 제 2 항에 있어서, 레티클 감지부의 동작을 제어하기 위한 매뉴얼 온/오프 스위치를 더 구비하여 장비 점검 또는 정전 플레이트의 클리닝 작업 중 광센서의 출력에 의한 오동작을 방지할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 레티클 이송장치.